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lD"(MQV@0 内容简介 }"=AG Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 TYJ:! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3E>frR\!I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 3
|hHR `0P$#5? 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ?RK]FP"A 目录 o3I Tr'; Preface 1 EGZb7:Y? 内容简介 2 dgA-MQ5{ 目录 i ,!dh2xNH^ 1 引言 1 >p.O0G
gg 2 光学薄膜基础 2 Q(<)KZIK 2.1 一般规则 2 s<oNE)xe 2.2 正交入射规则 3 7PANtCFb& 2.3 斜入射规则 6
"Qja1TQ 2.4 精确计算 7 6ek;8dL 2.5 相干性 8 wvbPnf^y 2.6 参考文献 10 -[6z 1"* 3 Essential Macleod的快速预览 10 -PS#Z0> 4 Essential Macleod的特点 32 g>dA$h% 4.1 容量和局限性 33 #a`a$A 4.2 程序在哪里? 33 \>CYC| 4.3 数据文件 35 f}1&HI8r 4.4 设计规则 35 qEpi] =| 4.5 材料数据库和资料库 37 Z00+!Tnd 4.5.1材料损失 38 ]`&Yqg 4.5.1材料数据库和导入材料 39 R}lsnX< 4.5.2 材料库 41 KuMF^0V%c 4.5.3导出材料数据 43 )('%R|$ / 4.6 常用单位 43 VUhbD 4.7 插值和外推法 46 wi4=OU1L)a 4.8 材料数据的平滑 50 GDD '[; 4.9 更多光学常数模型 54 sFQ^2PwbS 4.10 文档的一般编辑规则 55 4\6N~P86 4.11 撤销和重做 56 'B@e8S)y 4.12 设计文档 57 tI7:5Cm 4.10.1 公式 58 emdoA:w+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P#fM:z@[ 4.10.3 沉积密度 59 sO.`x* 4.10.4 平行和楔形介质 60 ,(;lIP 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 k'#(1(xj 4.10.4 性能 61 Hd,p!_ 4.10.5 保存设计和性能 64 nS&3?lx9_ 4.10.6 默认设计 64 tkXEHsRT 4.11 图表 64 )l!3( 4.11.1 合并曲线图 67 ]R=,5kK3 4.11.2 自适应绘制 68 M-;4 4.11.3 动态绘图 68 ^_ kJKM, 4.11.4 3D绘图 69 BRk0CLr5 4.12 导入和导出 73 hWKJ,r%9; 4.12.1 剪贴板 73 55;g1o}}f 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 wlEdt1G 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
~i21%$ 4.13 背景 77 *Mw_0Y 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 NcP.;u;` 4.15 生成Rugate 84 CE"JS-S? 4.16 参考文献 91 (4\d]*u5-c 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 A?`jnRo=\ 5.1 Jobs 92 M?[h0{^K 5.2 创建一个新Job(工作) 93 '
4ER00 5.3 输入材料 94 qA!]E^0*Ke 5.4 设计数据文件夹 95 xCYE
B}o9r 5.5 默认设计 95 i:Zm*+Gi 6 细化和合成 97 F35#dIs`& 6.1 优化介绍 97 $*kxTiG!7 6.2 细化 (Refinement) 98 %zSuK8kxV 6.3 合成 (Synthesis) 100 8
O 67 6.4 目标和评价函数 101 ;q:jl~ 6.4.1 目标输入 102 J]q%gcM 6.4.2 目标 103 Y}[ c^$S 6.4.3 特殊的评价函数 104 %~jkB.\* ) 6.5 层锁定和连接 104 L*Me."* 6.6 细化技术 104 0
s70r 6.6.1 单纯形 105 |U_]vMq 6.6.1.1 单纯形参数 106 &m[Qn!>i6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 gt/zpiKmV 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,9P:Draxs` 6.6.3 模拟退火算法 109 Zr-U&9.` 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {&"L~>/o 6.6.4 共轭梯度 111 OQ,NOiNkap 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3LfC{ER 6.6.5 拟牛顿法 112 [xT:]Pw} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 RGK8'i/X 6.6.6 针合成 113 :Dd$i_3= 6.6.6.1 针合成参数 114 5r?m&28X 6.6.7 差分进化 114 XfKo A0 6.6.8非局部细化 115 11,!XD*" 6.6.8.1非局部细化参数 115 8HZs>l 6.7 我应该使用哪种技术? 116 P<Zh XN' 6.7.1 细化 116 }=v)Js 6.7.2 合成 117 [2dn\z28 6.8 参考文献 117 e{KByFl 7 导纳图及其他工具 118 4&HXkRs: 7.1 简介 118 \T;\XAGr 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &<+ A((/i 7.2.1 四分之一波长规则 119 #BQ.R, 7.2.2 导纳图 120 @?[1_g_'P 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 7Su#Je] 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Ed:eGm } 7.5 斜入射导纳图 141 W;1|+6x 7.6 对称周期 141 FVKW9"AyW 7.7 参考文献 142 ncSFj.}w] 8 典型的镀膜实例 143 Hk7q{`:N 8.1 单层抗反射薄膜 145 8v71e> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 c)Ic#<e( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 qiZO _=0 8.4 W-膜层 148 1lsLJ4P 8.5 V-膜层 149 ^0#;YOk 8.6 V-膜层高折射基底 150 $46{<4. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ]7Fs$y. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 TyKWy0x-3 8.9 四层抗反射薄膜 153 4HAp{a1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 vm'5s]kdh 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 m{7^EF 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 )?2e 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 (Z}>1WRju 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 9z
I.pv+] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 z`6fotL 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9
C{;h 8.17 1/4波长堆栈 162 fA=#Fzk 2 8.18 陷波滤波器 163 HAYMX:% 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 w0ZLcND{ 8.20 褶皱 165 kSc{^-<R 8.21 消偏振分光器1 169 HK)cKzG[s! 8.22 消偏振分光器2 171 IG?'zppjd6 8.23 消偏振立体分光器 172 ;Efcw[< 8.24 消偏振截止滤光片 173 \]9.zlB 8.25 立体偏振分束器1 174 &3Zy|p4V< 8.26 立方偏振分束器2 177 azP+GM=i7 8.27 相位延迟器 178 7n o5b]
\ 8.28 红外截止器 179 WU4U Zpz 8.29 21层长波带通滤波器 180 n}mR~YqD 8.30 49层长波带通滤波器 181 < pTTo 8.31 55层短波带通滤波器 182 Eh|. 8.32 47 红外截止器 183 =&dW(uyzY 8.33 宽带通滤波器 184 jEz+1Nl) 8.34 诱导透射滤波器 186 m uW!xY 8.35 诱导透射滤波器2 188 B$ KwkhMe 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 $hR)i 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Cv)/7vyB8 8.35 增益平坦滤波器 193 \tyg(srw0 8.38 啁啾反射镜 1 196 #&8}<8V 8.39 啁啾反射镜2 198 0lM{l? 8.40 啁啾反射镜3 199 B$?qQ|0:= 8.41 带保护层的铝膜层 200 mfny4R1_ 8.42 增加铝反射率膜 201 K1?Gmue#I 8.43 参考文献 202 %g]vxm5? 9 多层膜 204 l$*=<tV 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 qEUT90 9.2 内部透过率 204 ]v G{kAnH 9.3 内部透射率数据 205 "Dy'Kd%,%/ 9.4 实例 206 YYg) 9.5 实例2 210 k#}g,0@ 9.6 圆锥和带宽计算 212 1\L[i];L8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 IgL_5A 10 光学薄膜的颜色 216 #(LfYw.P1V 10.1 导言 216 `A/j1UWJ 10.2 色彩 216 'z=:[#b 10.3 主波长和纯度 220 JM.XH7k 10.4 色相和纯度 221 .w6eJ4] 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Xj+q~4{|vt 10.6 色差 226 E3/:.t 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 d h^^G^ 10.8 颜色渲染指数 234 ~9Cz6yF 10.9 色差计算 235 Ap\AP{S4 10.10 参考文献 236 rAdacnZV 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 p3^jGj@ 11.1 短脉冲 238 '[ P}&<ie, 11.2 群速度 239 :Zw@yt 11.3 群速度色散 241 f!t69nd%L 11.4 啁啾(chirped) 245 1+y"i<3) 11.5 光学薄膜—相变 245 ^]p 11.6 群延迟和延迟色散 246 3b[jwCt 11.7 色度色散 246 ~<qt%W? 11.8 色散补偿 249 Lp:6 ; 11.9 空间光线偏移 256 0m9ZQ
O 11.10 参考文献 258 qBk``!|s] 12 公差与误差 260 fvo<(c#Y# 12.1 蒙特卡罗模型 260 +:jT=V"X 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 P}3}ek1Ax 12.2.1 误差工具 267 t@bt6J .{ 12.2.2 灵敏度工具 271 o5Rz%k#h 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9vGs; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 3mt%!}S 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8_\W/I!7b 12.3 参考文献 276 I12KT~z<r 13 Runsheet 与Simulator 277 ZX`J8lZP 13.1 原理介绍 277 1@sM1WMX 13.2 截止滤光片设计 277 @fn6<3 14 光学常数提取 289 r;cV&T/?
14.1 介绍 289 Sj
3oV 14.2 电介质薄膜 289 `m%dX'0E 14.3 n 和k 的提取工具 295 _EYB
8e 14.4 基底的参数提取 302 IvBGpT"(I 14.5 金属的参数提取 306 ,WTTJN 14.6 不正确的模型 306 KAA3iA@>+ 14.7 参考文献 311 q{4|Kpx@ 15 反演工程 313 uf) Oy7FQ 15.1 随机性和系统性 313 <ZPZk'53<f 15.2 常见的系统性问题 314 J0<p4%Cf 15.3 单层膜 314 \x\. 15.4 多层膜 314 :pKG\A 15.5 含义 319 q7]>i!A 15.6 反演工程实例 319 CUmH,`hu 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]gd/}m)1 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KHj6Tg;) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ~\_T5/I% 16.1 光学性质的热致偏移 329 2g`[u| 16.2 应力工具 335 ^o<[.
) 16.3 均匀性误差 339 $@[)nvV\ 16.3.1 圆锥工具 339 9k2,3It 16.3.2 波前问题 341 whkJ pK(
16.4 参考文献 343 w{7ji} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ]
VG?+ 17.1 引言 345 {K.rl%_|N 17.2 操作数 345 u35q,u=I 18 如何在Function中编写脚本 351 b&t[S[P.V 18.1 简介 351 f~gSJ<t4 18.2 什么是脚本? 351 |+E KF.K 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 V2`;4d X*2 18.4 基础 352 I"Q<n[g0' 18.4.1 Classes(类别) 352 6Dzs? P 18.4.2 对象 352 m4**>!I 18.4.3 信息(Messages) 352 LcUlc)YH5 18.4.4 属性 352 ?eWJa 18.4.5 方法 353 _`aR_%Gx 18.4.6 变量声明 353 W8/(;K`/ 18.5 创建对象 354 lCFU1 GHH 18.5.1 创建对象函数 355 APHPN:v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ?V+wjw 18.5.3 丢弃对象 356 1mUTtYU 18.5.4 总结 356 qC
j*>D 18.6 脚本中的表格 357 XJFnih 18.6.1 方法1 357 zA{8C];~ 18.6.2 方法2 357 |zMqJ.qu 18.7 2D Plots in Scripts 358 /?3:X* 18.8 3D Plots in Scripts 359 q) _r3 18.9 注释 360 Ow3a0cF[9 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 z> :U{!5k 18.11 一个更高级的脚本 362 c^-YcGwa 18.12 <esc>键 364 |!b9b(_j9 18.13 包含文件 365 9v?V 18.14 脚本被优化调用 366 %|?1B$s0 18.15 脚本中的对话框 368 Jr?!Mh- 18.15.1 介绍 368 )5i*/I\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 [:pl-_.C 18.15.3 输入框函数 370 ,kE=TR.| 18.15.4 自定义对话框 371 \dNhzd# 18.15.5 对话框编辑器 371 h]}`@M" 18.15.6 控制对话框 377 :0dfB&7 18.15.7 更高级的对话框 380 w b+<a 18.16 Types语句 384 .\4l'THn,0 18.17 打开文件 385 C38XQLC 18.18 Bags 387 G1r V<,#m 18.13 进一步研究 388 7kM4Ei 19 vStack 389 KL~AzLI 19.1 vStack基本原理 389 R\ q):, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 !&0a<~Wi 19.3 五棱镜 393 J(hA^;8: 19.4 光束距离 396 y {;u@o?T 19.5 误差 399 ~9i qD 19.6 二向分色棱镜 399 E@]sq A 19.7 偏振泄漏 404 s<#N]mp' 19.8 波前误差—相位 405 1w) fu 19.9 其它计算参数 405 r$?Vx_f`Q 20 报表生成器 406 N4+g(" 20.1 入门 406 R}.3|0 20.2 指令(Instructions) 406 >DS}#'N4l 20.3 页面布局指令 406 HYFN?~G 20.4 常见的参数图和三维图 407 #rq?f 20.5 表格中的常见参数 408 EFv4=OWB 20.6 迭代指令 408 wJ(8}eI 20.7 报表模版 408 2moIgJ 20.8 开始设计一个报表模版 409 lG
<yJ~{ 21 一个新的project 413 mCG;[4gM 21.1 创建一个新Job 414 t}c v2S 21.2 默认设计 415 fT
x4vlI4 21.3 薄膜设计 416 VX&WlG`wa 21.4 误差的灵敏度计算 420 @oA0{&G{ 21.5 显色指数计算 422 A{t"M-< 21.6 电场分布 424 V:QdQ;c 后记 426 W\a!Q]pV 79a9L{gso 有兴趣扫码联系 g X8**g'
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