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az6& 内容简介 lb.Q^TghU Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 nf/?7~3?[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^~;ia7V&2 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 QM F m+hI3@j 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 &7f8\TG| 目录 tO8\} u4c Preface 1 Gv&G2^ 内容简介 2 E(P
6s;LZ 目录 i hc3hU 1 引言 1 `y3'v] 2 光学薄膜基础 2 8x U*j 2.1 一般规则 2 k0e}`#t 2.2 正交入射规则 3 t1adS:)s 2.3 斜入射规则 6 VTu#)I7A^@ 2.4 精确计算 7 ,2nu*+6Y/ 2.5 相干性 8 #y83tNev 2.6 参考文献 10 25)9R^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 cRVL1ne 4 Essential Macleod的特点 32 TwPQ8}pj? 4.1 容量和局限性 33 TU0-L35P1 4.2 程序在哪里? 33 js<d"m* 4.3 数据文件 35 [i` 4.4 设计规则 35 AU$~Ap*rsa 4.5 材料数据库和资料库 37 TlS? S+ 4.5.1材料损失 38 tk%f_"} 4.5.1材料数据库和导入材料 39 P C_! 4.5.2 材料库 41 F3}MM
dX 4.5.3导出材料数据 43 B`B=bn+4 4.6 常用单位 43 z%YNZ^d 4.7 插值和外推法 46 [Cl0Kw.LD 4.8 材料数据的平滑 50 etr-\Cp 4.9 更多光学常数模型 54 ,Z@#( =f 4.10 文档的一般编辑规则 55
@'R)$:I%L 4.11 撤销和重做 56 .>B'oD 4.12 设计文档 57 h=7q;-@7 4.10.1 公式 58 'Rn-SD~gIr 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <?nI O 4.10.3 沉积密度 59 );gY8UL^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Tn}`VW~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 0>sa{Z 4.10.4 性能 61 !%G]~ 4.10.5 保存设计和性能 64 r)iEtT!p* 4.10.6 默认设计 64 <k:I2LF_ 4.11 图表 64 +
Q-b} 4.11.1 合并曲线图 67 ;5 j|B|v 4.11.2 自适应绘制 68 $Z@*!B^ 4.11.3 动态绘图 68 hC<ROD 4.11.4 3D绘图 69 _uQ]I^ 'D 4.12 导入和导出 73 Hb=#` 4.12.1 剪贴板 73 #d-({blo< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 y&NqVR= 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 nje7?Vz 4.13 背景 77 ~Ru\Z-q1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4XN
\p 4.15 生成Rugate 84 a: "1LnvR 4.16 参考文献 91 }iUK`e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /f3/}x!po 5.1 Jobs 92 2LwJ%! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 E]@&<TFq 5.3 输入材料 94 p;+O/'/j 5.4 设计数据文件夹 95 =}`d 5.5 默认设计 95 v~nKO?{
6 细化和合成 97 ku]5sd >b 6.1 优化介绍 97 A[Mke 6.2 细化 (Refinement) 98 b>07t!; 6.3 合成 (Synthesis) 100 3B1\-ry1M 6.4 目标和评价函数 101 G^c,i5}w 6.4.1 目标输入 102 g&$=Y7G 6.4.2 目标 103 U]3!"+Y1P 6.4.3 特殊的评价函数 104 Unk/uk 6.5 层锁定和连接 104 X0.H(p#s 6.6 细化技术 104 Z.\q$U7'9 6.6.1 单纯形 105 QQl.5'PP 6.6.1.1 单纯形参数 106 pR
S! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ")Fd'&58 6.6.2.1 Optimac参数 108 cbJgeif 6.6.3 模拟退火算法 109 [6!k:-t+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 l/N<'T_G 6.6.4 共轭梯度 111 t1']q" 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7>yd 6.6.5 拟牛顿法 112 gu
k,GF9p] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 fs!dI 6.6.6 针合成 113 V[tebv! 6.6.6.1 针合成参数 114 Tv ``\< 6.6.7 差分进化 114 ea3w 6.6.8非局部细化 115 W:r[o%B 6.6.8.1非局部细化参数 115 b'z
$S+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 :aNjh 6.7.1 细化 116 {T4_Xn -I 6.7.2 合成 117 z$1RD)TQB 6.8 参考文献 117 0+>g/> 7 导纳图及其他工具 118 Sy8t2lk 7.1 简介 118 Q0J1"*P0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 n8,%<!F^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 8~'cP? 7.2.2 导纳图 120 ^z
*0 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #HcQ*BiF3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |J&\/8Q 7.5 斜入射导纳图 141 SyL"Bmi 7.6 对称周期 141 b<a3Ue% 7.7 参考文献 142 mY 1l2 8 典型的镀膜实例 143 i2qN 0?n 8.1 单层抗反射薄膜 145 V;SfW2`) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 b<u\THy# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 gfL :SP8 8.4 W-膜层 148 P
y'BMk 8.5 V-膜层 149 5U?O1}P 8.6 V-膜层高折射基底 150 qYoW8e 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 =D(a~8&, 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v^C\
GDH 8.9 四层抗反射薄膜 153 9wL2NC31Q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 x?Sx cQP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 {\$S585 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #/qcp|m 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )q$[uS_1[ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 <exCK*G 8.15十五层宽带抗反射膜 159 lU1SN/'zx 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ?1\5X<|, 8.17 1/4波长堆栈 162 A[P7hMn 8.18 陷波滤波器 163 ]5'*^rz ^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 OS[
s Qo5 8.20 褶皱 165 2-F7tcya| 8.21 消偏振分光器1 169 Zr}>>aIJ]k 8.22 消偏振分光器2 171 LW=qX%o{ 8.23 消偏振立体分光器 172 \9+,ynJH8z 8.24 消偏振截止滤光片 173 Z_ElLY 8.25 立体偏振分束器1 174 5 H._Q 8.26 立方偏振分束器2 177 NZGO8u 8.27 相位延迟器 178 SlsNtaNt 8.28 红外截止器 179 $
DN. 8.29 21层长波带通滤波器 180 cC8$ oCR? 8.30 49层长波带通滤波器 181 oCo~,~kTR 8.31 55层短波带通滤波器 182 0hS&4nW 8.32 47 红外截止器 183 m0G"Aj 8.33 宽带通滤波器 184 IQBL;=.J. 8.34 诱导透射滤波器 186 LsR<r1KDJ 8.35 诱导透射滤波器2 188 2?,lr2 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 q~qz^E\T 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (s'xO~p 8.35 增益平坦滤波器 193 v=^^Mr"Z^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 >D=X
Tgqqq 8.39 啁啾反射镜2 198 RlfI]uCDM 8.40 啁啾反射镜3 199 !KV!Tkx h 8.41 带保护层的铝膜层 200 +HE,Q6-A 8.42 增加铝反射率膜 201 CX#d 8.43 参考文献 202 puOMtCI 9 多层膜 204 %Vo'\| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 2K~v`c*4 9.2 内部透过率 204 CQ!D{o= 9.3 内部透射率数据 205 PCCE+wC6 9.4 实例 206 y95
#t 9.5 实例2 210 Z@q1&}D! 9.6 圆锥和带宽计算 212 xEG:KSH 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 H8HH) ^ 10 光学薄膜的颜色 216 T:j41`g%s 10.1 导言 216 I>MLI=[Kg 10.2 色彩 216 *r>Y]VG;S 10.3 主波长和纯度 220 '(lsJY[-x 10.4 色相和纯度 221 }r04*P( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 X'd\b}Bm 10.6 色差 226 @kd$.7Y9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -/8V2dv3 10.8 颜色渲染指数 234 ,,FhE 10.9 色差计算 235 ycN!N 10.10 参考文献 236 n(A;:)W{ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 jhT/}"v 11.1 短脉冲 238 E2hML 11.2 群速度 239 m<Gd 6V5 11.3 群速度色散 241 |QrVGm@2 11.4 啁啾(chirped) 245 W&A^.% 2l 11.5 光学薄膜—相变 245 @>`N%wH' 11.6 群延迟和延迟色散 246 8hV4l'Pa72 11.7 色度色散 246 L `2{H%J` 11.8 色散补偿 249 d3oRan}z 11.9 空间光线偏移 256 xfUV'=~( 11.10 参考文献 258 25G~rklk 12 公差与误差 260 N#J8 4i;ry 12.1 蒙特卡罗模型 260 *`s*l+0b 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :CM2kh"Iu 12.2.1 误差工具 267 Z'AjeZyyE 12.2.2 灵敏度工具 271 m%U=:u7#M 12.2.2.1 独立灵敏度 271 `34+~;;Jh 12.2.2.2 灵敏度分布 275 B"7~[,he 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5G<`c 12.3 参考文献 276 iR4"I7J 13 Runsheet 与Simulator 277 MDpx@.A, 13.1 原理介绍 277 jp-(n z\ 13.2 截止滤光片设计 277 }m!T~XR</ 14 光学常数提取 289 ~HctXe' x 14.1 介绍 289 eT F s9$ 14.2 电介质薄膜 289 JpQV7}$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 Lxa<zy~b 14.4 基底的参数提取 302 V(G{_>> 14.5 金属的参数提取 306 *{fZA;<R 14.6 不正确的模型 306 ]<},[s 14.7 参考文献 311 ?:PF;\U 15 反演工程 313 CyS.GdyP 15.1 随机性和系统性 313 gYL#} ) g 15.2 常见的系统性问题 314
X/!Y mV! 15.3 单层膜 314 +C$wkx] 15.4 多层膜 314 ^]LWcJ?"^! 15.5 含义 319 dDe$<g5L4 15.6 反演工程实例 319 OoOwEV2p_ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 k%RQf0`T 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [c>YKN2qa 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Kt#X'!9/< 16.1 光学性质的热致偏移 329 eET1f8B=L 16.2 应力工具 335 6%VRQ#g! 16.3 均匀性误差 339 &I(3/u 16.3.1 圆锥工具 339 l)Cg?9 16.3.2 波前问题 341 %F*h}i 16.4 参考文献 343 B3u:D"t 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 'kCr1t 17.1 引言 345 &53LJlL
Co 17.2 操作数 345 V=GP_^F 18 如何在Function中编写脚本 351 Yu9(qRK 18.1 简介 351 b<g9L4s 18.2 什么是脚本? 351 *=QWx[K| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~:A=o?V2 18.4 基础 352 X{5(i3?S 18.4.1 Classes(类别) 352 a
' <B0' 18.4.2 对象 352 CJLfpvV 18.4.3 信息(Messages) 352 g<4@5OQKu 18.4.4 属性 352 O~bzTn 18.4.5 方法 353 LZpqv~av 18.4.6 变量声明 353 o
3 G* 18.5 创建对象 354 mVyF M -` 18.5.1 创建对象函数 355 tjy@sO/Q 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 6[%4Q[ 18.5.3 丢弃对象 356 r/ LgmVRn 18.5.4 总结 356 ;x=0+0JD 18.6 脚本中的表格 357 =
:\o/)+ 18.6.1 方法1 357 XuW>GT/ 18.6.2 方法2 357 {Ve_u 18.7 2D Plots in Scripts 358 X04JQLhy" 18.8 3D Plots in Scripts 359 /`B:F5r 18.9 注释 360 LT '2446 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,
rc
%#eF 18.11 一个更高级的脚本 362 ON3~!Q) 18.12 <esc>键 364 ,dk!hm u 18.13 包含文件 365 K<w$ 18.14 脚本被优化调用 366 ]$WwPDZ 18.15 脚本中的对话框 368 v+`gQXJ"G 18.15.1 介绍 368 lZ }H?n% 18.15.2 消息框-MsgBox 368 w`K=J!5y2g 18.15.3 输入框函数 370 FAd4p9[Y 18.15.4 自定义对话框 371 &Ukh 18.15.5 对话框编辑器 371 g)~"-uQQ 18.15.6 控制对话框 377 )KD*G;<O]L 18.15.7 更高级的对话框 380 p# (5
; 18.16 Types语句 384 Xkb\fR6<K 18.17 打开文件 385 ??`zW 18.18 Bags 387 ]EPFyVt~3 18.13 进一步研究 388 4Q(GX.5 19 vStack 389 w+3-j 19.1 vStack基本原理 389 *U^7MU0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 s(Llz]E~ZX 19.3 五棱镜 393 },G5!3 19.4 光束距离 396 <-m[0zgq 19.5 误差 399 >FM2T<.; 19.6 二向分色棱镜 399 6{PlclI ! 19.7 偏振泄漏 404 p{4nWeH?B 19.8 波前误差—相位 405 YeCS`IXm 19.9 其它计算参数 405 vTU*6) 20 报表生成器 406 loFApBD=$^ 20.1 入门 406 1|Z!8:&pj 20.2 指令(Instructions) 406 ,O/ t6' 20.3 页面布局指令 406 "_T8Km008 20.4 常见的参数图和三维图 407 i"o
%Gc 20.5 表格中的常见参数 408 w0L+Sj db 20.6 迭代指令 408 h#rziZ( 20.7 报表模版 408 u'+;/8 20.8 开始设计一个报表模版 409 $UGX vCR 21 一个新的project 413
h"DxgG 21.1 创建一个新Job 414 FpM0 % 21.2 默认设计 415 ?B~S4:9 21.3 薄膜设计 416 s xp>9& 21.4 误差的灵敏度计算 420 \bPSy0 21.5 显色指数计算 422 pw5uH 21.6 电场分布 424 3c.,T 后记 426 \_J;i[ )4BLm 有兴趣扫码联系 TmIw?#q^
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