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\=xS?(v! 内容简介 _#{qDG= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;cp||uO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Mm9*$g!R 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 5@I/+D >g@@ yR, 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 hJz]N$@W 目录 9U=6l]Np Preface 1 P97i<pB Y_ 内容简介 2 -dfs8 [i 目录 i ,068IEs 1 引言 1 B7.&yXWgn 2 光学薄膜基础 2 {k[dg0UV 2.1 一般规则 2 xe3Jxo!U 2.2 正交入射规则 3 Rtl1eJ- 2.3 斜入射规则 6 ZA@zs,o% 2.4 精确计算 7 2 &_>2"=<@ 2.5 相干性 8 @e$EwCV, 2.6 参考文献 10 )p:+!sX( 3 Essential Macleod的快速预览 10 'm-5 4 Essential Macleod的特点 32 uss!E!_%, 4.1 容量和局限性 33
:m/qR74+" 4.2 程序在哪里? 33 P 6=5:-Hh 4.3 数据文件 35 }_@p`>|)rB 4.4 设计规则 35
?.beN[X 4.5 材料数据库和资料库 37 HW#@e kh 4.5.1材料损失 38 Pt-O1$C[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 r)Ml-r= 4.5.2 材料库 41 4%JJ}{Ff 4.5.3导出材料数据 43 v#: ?:< 4.6 常用单位 43 }Gx@1)?? 4.7 插值和外推法 46 E]r<t# 4.8 材料数据的平滑 50 c>+68<H 4.9 更多光学常数模型 54 *Ue#Sade 4.10 文档的一般编辑规则 55 [UB*39D7 4.11 撤销和重做 56 8qxZ7|Y@ 4.12 设计文档 57 5 [4{1v 4.10.1 公式 58 Dqd2e&a\ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S1C#5= 4.10.3 沉积密度 59 [6/8O 4.10.4 平行和楔形介质 60 z92Xc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L&uPNcZ`- 4.10.4 性能 61 U:[CcN/~3 4.10.5 保存设计和性能 64 Ra:UnA 4.10.6 默认设计 64 @uG/2'B( 4.11 图表 64 x;LO{S4Z 4.11.1 合并曲线图 67 G{Uqp'=G 4.11.2 自适应绘制 68 Vh]=sd<F 4.11.3 动态绘图 68 B[+b%a3 4.11.4 3D绘图 69 lZ <D,& 4.12 导入和导出 73 MfKru,LSh 4.12.1 剪贴板 73 %e|UA-( 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %*IH~/Ld;] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &SPr#OkW 4.13 背景 77 `Ao"fRv# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ZU2D.Kf_: 4.15 生成Rugate 84 X\*H7;k, 4.16 参考文献 91 zN-Y=-c 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ?`6Mfpvj96 5.1 Jobs 92 -_]Ceq/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1YU?+K 5.3 输入材料 94 ^v:XON< 5.4 设计数据文件夹 95 X?/32~\ 5.5 默认设计 95 b!nA.`T 6 细化和合成 97 D}-HWJQA3 6.1 优化介绍 97 #Pg?T%('` 6.2 细化 (Refinement) 98 Y|W#VyM- 6.3 合成 (Synthesis) 100 :R$v7{1 6.4 目标和评价函数 101 HW"5MZ8E 6.4.1 目标输入 102 -Hy>
z 6.4.2 目标 103 A.r.tf}: 6.4.3 特殊的评价函数 104 M*~X pT3 6.5 层锁定和连接 104 Y$+v " 6.6 细化技术 104 wOrj-Smx 6.6.1 单纯形 105 u9]M3> 6.6.1.1 单纯形参数 106 ??++0<75 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 (IA:4E} 6.6.2.1 Optimac参数 108 V|{~9^ 6.6.3 模拟退火算法 109 qP=a:R- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2|`Mb~E; 6.6.4 共轭梯度 111 TY` R_ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [?g}<fa 6.6.5 拟牛顿法 112 6Yqqq[#V/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 '[HU!8F 6.6.6 针合成 113 w[EEA_\ 6.6.6.1 针合成参数 114 PMvm4< 6.6.7 差分进化 114 F`+S(APT8 6.6.8非局部细化 115 A v;NQt8ut 6.6.8.1非局部细化参数 115 <Oy2JjY 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l
SuNZYaO 6.7.1 细化 116 >gn@NJ2 N 6.7.2 合成 117 <UGM/+aO 6.8 参考文献 117 pNu?DF{
3 7 导纳图及其他工具 118 2<V` 7.1 简介 118 f;&XTF5D^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 uD ;T 7.2.1 四分之一波长规则 119 "ZmxHMf 7.2.2 导纳图 120 &iy7It 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +]hc!s8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^lK!tOeO 7.5 斜入射导纳图 141 2t=&h|6EW 7.6 对称周期 141 I Qmlmu 7.7 参考文献 142 X6?Gxf, 8 典型的镀膜实例 143 (?.h<v1} 8.1 单层抗反射薄膜 145 yV&]i-ey 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a<((\c_8G 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ]a:T]x6' 8.4 W-膜层 148 ;B:\e8 8.5 V-膜层 149 (F:|tiV+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 =~dsIG 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 X-j<fX_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 7&V3f=aj6 8.9 四层抗反射薄膜 153 @Qqf4h 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~BBh 4t& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 E6- ~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5yroi@KT 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 e)F_zX 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Y`xAJ#=
,i 8.15十五层宽带抗反射膜 159 li}>xDSQ4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 V:AA{< 8.17 1/4波长堆栈 162 mxwG~a'_ 8.18 陷波滤波器 163 +bWo{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1O90 ]c0 8.20 褶皱 165 H;FzWcm 8.21 消偏振分光器1 169 `_J>R 8.22 消偏振分光器2 171 M IU B] 8.23 消偏振立体分光器 172 KXu1%`x=%Z 8.24 消偏振截止滤光片 173 #vPk
XcP 8.25 立体偏振分束器1 174 v6T<K)S 8.26 立方偏振分束器2 177 =Q!V6+}nY^ 8.27 相位延迟器 178 mx2Ov u 8.28 红外截止器 179 `0R>r7f)H 8.29 21层长波带通滤波器 180 gLbTZM4i 8.30 49层长波带通滤波器 181 AJP-7PPD 8.31 55层短波带通滤波器 182 of`WP 8.32 47 红外截止器 183 ,awkL
: 8.33 宽带通滤波器 184 u$ ^r(.EV 8.34 诱导透射滤波器 186 ~y ?v 8.35 诱导透射滤波器2 188 m`@~ZIa?>B 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 C{V,=Fo^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A5G@u}YS5 8.35 增益平坦滤波器 193 #}UI 8.38 啁啾反射镜 1 196 `3dGn.M 8.39 啁啾反射镜2 198 os+]ct 8.40 啁啾反射镜3 199 ZP.~Y;Ch;- 8.41 带保护层的铝膜层 200 *uF Iw}C/ 8.42 增加铝反射率膜 201 c{i\F D 8.43 参考文献 202 9}d^ll& 9 多层膜 204 qp/nWGj 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 asbFNJG{ 9.2 内部透过率 204 1Msc:7:L 9.3 内部透射率数据 205 >5Sm.7}R 9.4 实例 206 \Oe8h#% 9.5 实例2 210 d ?,wEfwp 9.6 圆锥和带宽计算 212 1(Lq9hs` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Oc/ i' 10 光学薄膜的颜色 216 B)qcu'>iy 10.1 导言 216 nA+gqY6 6| 10.2 色彩 216 08nA}+k 10.3 主波长和纯度 220 Dh9C9<Ta: 10.4 色相和纯度 221 NcIr;
} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Qgl5Jr. 10.6 色差 226 I"WmDC`1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ban;HGGNG{ 10.8 颜色渲染指数 234 2K{)8;^ 10.9 色差计算 235 ,{#L i 10.10 参考文献 236 V:1_k"zQ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 %D+NrL( 11.1 短脉冲 238 MAgoxq~;V 11.2 群速度 239 I -V=Z: 11.3 群速度色散 241 5^36nEoA( 11.4 啁啾(chirped) 245 R=L-Ulhk 11.5 光学薄膜—相变 245 I$I',x5Z 11.6 群延迟和延迟色散 246 stOD5yi 11.7 色度色散 246 d-#yN:}0 11.8 色散补偿 249 hDTM\>.c;s 11.9 空间光线偏移 256 ezr'"1Ba} 11.10 参考文献 258 Odbm"Y 12 公差与误差 260 257q%" 12.1 蒙特卡罗模型 260 Gq.fQ_oOb 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^:o^g'Yab 12.2.1 误差工具 267 Yg]!`(db 12.2.2 灵敏度工具 271 K1-y[pS]E 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <{k8 K6 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _RG2I)P 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /#e-x|L 12.3 参考文献 276 #!]~E@;E 13 Runsheet 与Simulator 277 1K{hj% 13.1 原理介绍 277 f,8PPJ:, 13.2 截止滤光片设计 277 >F;yfv; 14 光学常数提取 289 v`~egE17 14.1 介绍 289 qk!,:T 14.2 电介质薄膜 289 -W)8Z. 14.3 n 和k 的提取工具 295 Vpf7~2[q% 14.4 基底的参数提取 302 gnZc`)z 14.5 金属的参数提取 306 gPy}.g{tH$ 14.6 不正确的模型 306 ^e1mK4` 14.7 参考文献 311 r-c1_
[Q# 15 反演工程 313 8>ODtKI* 15.1 随机性和系统性 313 1tFx
Z#(G 15.2 常见的系统性问题 314 jGOE
CKP 15.3 单层膜 314 \Oa11c`6 15.4 多层膜 314 nbSu|sX~r5 15.5 含义 319 Z(o]8*;Ai 15.6 反演工程实例 319 >Gr,!yP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Cq<k(TKAX 15.6.2 反演工程提取折射率 327 sm;\;MP*yH 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 -|/*S]6kK 16.1 光学性质的热致偏移 329 m~vEandm 16.2 应力工具 335 4d
$T6b 16.3 均匀性误差 339 MK, $# 16.3.1 圆锥工具 339 jg=}l1M" 16.3.2 波前问题 341 >SHW 16.4 参考文献 343 5@{~830 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (Z at|R.F 17.1 引言 345 *vIC9./ 17.2 操作数 345 5s1XO*s)>X 18 如何在Function中编写脚本 351 >twog}% 18.1 简介 351 "o$)z'q 18.2 什么是脚本? 351 B3V+/o6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 H@ .1cO 18.4 基础 352 hg}R(.1K= 18.4.1 Classes(类别) 352 {$)pkhJ 18.4.2 对象 352 Oftjm
X_ 18.4.3 信息(Messages) 352 U7d05y' 18.4.4 属性 352 n.xOu`gj 18.4.5 方法 353 H.[t&VO 18.4.6 变量声明 353 3+WostOx 18.5 创建对象 354 OJPi*i 5* 18.5.1 创建对象函数 355 T+)#Du 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 j'nrdr6n 18.5.3 丢弃对象 356 LkUi^1((e 18.5.4 总结 356 2"L a}Vx2 18.6 脚本中的表格 357 SSa0x9T 18.6.1 方法1 357 E JJW 18.6.2 方法2 357 kDK0L3}nr] 18.7 2D Plots in Scripts 358 6ragRS/'x 18.8 3D Plots in Scripts 359 ak]H|D" 9 18.9 注释 360
NUGiDJ+[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 p$@l,4@{ 18.11 一个更高级的脚本 362
Yjp*T:6 18.12 <esc>键 364 oD~q/04! 18.13 包含文件 365 rd4mAX6@ 18.14 脚本被优化调用 366 td\'BV 18.15 脚本中的对话框 368 F]`_ak E 18.15.1 介绍 368 zr[|~- 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $h8,QPy 18.15.3 输入框函数 370 wxo{gBq 18.15.4 自定义对话框 371 *aS[^iX?s 18.15.5 对话框编辑器 371 gatxvR7H 18.15.6 控制对话框 377 7?"-NrW~ 18.15.7 更高级的对话框 380 yVb yw(gS 18.16 Types语句 384 1c}LX.9 K 18.17 打开文件 385 t Ai?B jo 18.18 Bags 387 {xJ<)^fD8 18.13 进一步研究 388 C?lZu\L 19 vStack 389 H(F9&6} 19.1 vStack基本原理 389 2, r{zJ8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 QVPJ$~x 19.3 五棱镜 393 fIm=^}?fwK 19.4 光束距离 396 glgXSOj 19.5 误差 399 d m$iiRY 19.6 二向分色棱镜 399 5r(Y,m"? 19.7 偏振泄漏 404 {.D/MdwW; 19.8 波前误差—相位 405 >'2=3L^Q 19.9 其它计算参数 405 nTxN>?l2E 20 报表生成器 406 [p&2k&.XYe 20.1 入门 406 4dI= 20.2 指令(Instructions) 406 QN OA66 20.3 页面布局指令 406 L<H6AzR+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 *4RL 20.5 表格中的常见参数 408 ^fxS=Qs+ 20.6 迭代指令 408 y`p(}X`> 20.7 报表模版 408 5qQ\ H} 20.8 开始设计一个报表模版 409 BF+i82$zo 21 一个新的project 413 3IDX3cM9 21.1 创建一个新Job 414 &1,{.:@e 21.2 默认设计 415 XCQPVSh 21.3 薄膜设计 416 e?
n8S 21.4 误差的灵敏度计算 420 _Q6` Wp6m 21.5 显色指数计算 422 "| W``&pM 21.6 电场分布 424 xmbFJUMH 后记 426 PHQ99&F1 Kzf^ras4u 有兴趣扫码联系
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