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@*roW{?! 内容简介 \YSprXe Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Ae%AG@L 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *L~?.9R 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 6 rWb2b
7&dK_x,a 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 CQPq5/@Y4 目录 "A> _U<Y Preface 1 e{H( 内容简介 2 8F&Y; 目录 i Z]w?RL 1 引言 1 fB 0X9iV6j 2 光学薄膜基础 2 DYoGtks( 2.1 一般规则 2 l.P;85/+ 2.2 正交入射规则 3 S!n?b|_ 2.3 斜入射规则 6 {.?pl]Zl6 2.4 精确计算 7 fRT4>So 2.5 相干性 8 w"37sv 2.6 参考文献 10 %OsxXO? 3 Essential Macleod的快速预览 10 \XO'7bNu- 4 Essential Macleod的特点 32 G+2 ,x0( 4.1 容量和局限性 33 ROXa/ 4.2 程序在哪里? 33 ?E<9H/ 4.3 数据文件 35 ^wD`sj<Qg 4.4 设计规则 35 gZiwXb 4.5 材料数据库和资料库 37 S503b*pM 4.5.1材料损失 38 >=:^N-a 4.5.1材料数据库和导入材料 39 tyWDa$u,u 4.5.2 材料库 41 UmArl)R/ 4.5.3导出材料数据 43 T2n3g|4 4.6 常用单位 43 ;!C_}P 4.7 插值和外推法 46 |MOz>1<a 4.8 材料数据的平滑 50 2m"cK^ 4.9 更多光学常数模型 54 <k0/O 4.10 文档的一般编辑规则 55 mlPvF%Ba 4.11 撤销和重做 56 zkiwFEHA= 4.12 设计文档 57 Abi(1nXdQ 4.10.1 公式 58 >_\[C?8 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Zu<S<??Jf 4.10.3 沉积密度 59 #WJ*)$A@& 4.10.4 平行和楔形介质 60 EqGpo_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 0yvp>{;p 4.10.4 性能 61 AF8:bk,R 4.10.5 保存设计和性能 64 C#4_`4{ 4.10.6 默认设计 64 *Hi}FI 4.11 图表 64 !.-u'6e
4.11.1 合并曲线图 67 i"=lxqWeaV 4.11.2 自适应绘制 68 +xgP&nw[- 4.11.3 动态绘图 68 #a2gRg 4.11.4 3D绘图 69 J .VZD 4.12 导入和导出 73 i]s%tEZ1 4.12.1 剪贴板 73 lD, ~% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Yg,;l-1 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (,tu7u{ 4.13 背景 77 #@xB ?u-0q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ky-nP8L} 4.15 生成Rugate 84 5KDCmw 4.16 参考文献 91 fUGappb 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0\vG
< 5.1 Jobs 92 0AdxV?6z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 (Q @'fb9z 5.3 输入材料 94 6Ol9P56j 5.4 设计数据文件夹 95 JT!9LNh;R` 5.5 默认设计 95 8]exsnZ 6 细化和合成 97
jr_z
? 6.1 优化介绍 97 5&h">_j 6.2 细化 (Refinement) 98 (Li0*wRb 6.3 合成 (Synthesis) 100 fm`V 2'Rm 6.4 目标和评价函数 101 qTN%9!0@9 6.4.1 目标输入 102 qv}ECQ 6.4.2 目标 103 HsUh5; 6.4.3 特殊的评价函数 104 U4^c{KWS 6.5 层锁定和连接 104 .c~z^6x 6.6 细化技术 104 H1 7I"5N 6.6.1 单纯形 105 *z)gSX 6.6.1.1 单纯形参数 106 EFljUT?& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 beC%Tnb7 6.6.2.1 Optimac参数 108 %Zbm%YaW5 6.6.3 模拟退火算法 109 {wsJ1v8! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 oC*a;o 6.6.4 共轭梯度 111 |Tc4a4 jS 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 '"\'<>Be 6.6.5 拟牛顿法 112 6_])(F3+w. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 E5@ =LS
6.6.6 针合成 113 CoNaGb 6.6.6.1 针合成参数 114 '?mF,Co{ 6.6.7 差分进化 114 F]P sS( 6.6.8非局部细化 115 6%ofS8[ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^/#G,MxNy 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ooUVVp 6.7.1 细化 116 lZ.lf.{F 6.7.2 合成 117 7U_ob"`JV 6.8 参考文献 117 *d;TpwUI 7 导纳图及其他工具 118 {_\cd.AuT 7.1 简介 118 R-9o3TPa 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Zfcf?&>< 7.2.1 四分之一波长规则 119 A8{ xZsH 7.2.2 导纳图 120 !CcDA/0 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 MO0NNVVi%U 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 WV.hQX9P 7.5 斜入射导纳图 141 %" 7UYLX 7.6 对称周期 141 bTmhz 7.7 参考文献 142 #`
gu<xlW 8 典型的镀膜实例 143 N+B!AK0. 8.1 单层抗反射薄膜 145 |[Fb&x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 S-88m/"]s 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Qd
kus214 8.4 W-膜层 148 -5+Yz9pv[ 8.5 V-膜层 149 }Le]qoW[' 8.6 V-膜层高折射基底 150 7~XA92 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 )Yy5u'} 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 7=^}{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 B I)@n:p 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 69)"T{7 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 EI6kBRMo 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 BJWlx*U] 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ; Z7!BU 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &RARK8^ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8IRKCuV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 X"+p=PGZK 8.17 1/4波长堆栈 162 <_<zrXc] 8.18 陷波滤波器 163 GHd1?$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 IRx%L? 8.20 褶皱 165 'QG`^@Z 8.21 消偏振分光器1 169 6,q_M(;c 8.22 消偏振分光器2 171
_$c o Y 8.23 消偏振立体分光器 172 ||QK)$" 8.24 消偏振截止滤光片 173 XZARy:+bc 8.25 立体偏振分束器1 174 xm1di@ 8.26 立方偏振分束器2 177 YR-G:-(#b 8.27 相位延迟器 178 C 8wGbU6` 8.28 红外截止器 179 d=qVIpZ 8.29 21层长波带通滤波器 180 vLHn4>J,R 8.30 49层长波带通滤波器 181 j;@a~bks6z 8.31 55层短波带通滤波器 182 ygIn6.p 8.32 47 红外截止器 183 3=sBe HL 8.33 宽带通滤波器 184 F&R*njJcc 8.34 诱导透射滤波器 186
5)'Y\~2 8.35 诱导透射滤波器2 188 .Ji9j[[#D 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7`J2/( 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 d;Y Kw1 8.35 增益平坦滤波器 193 BYEZ[cM 8.38 啁啾反射镜 1 196 2K};-}eW 8.39 啁啾反射镜2 198 &lSNI5l 8.40 啁啾反射镜3 199 L7buY(F( 8.41 带保护层的铝膜层 200 r/'!#7dLG- 8.42 增加铝反射率膜 201 }i"[5: 8.43 参考文献 202 gR# k' 9 多层膜 204 6R<+_e+v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 y*+8Z&i.: 9.2 内部透过率 204 z+Fu{<#( 9.3 内部透射率数据 205 A)"L+Yu5 9.4 实例 206 SgewAng?@o 9.5 实例2 210 b`D]L/}pr 9.6 圆锥和带宽计算 212 3pvqF,"~D 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 3{?X>6T 10 光学薄膜的颜色 216 Z3{1`"\<K
10.1 导言 216 &Jj|+P-lY 10.2 色彩 216 ,H+Y1N4W( 10.3 主波长和纯度 220 F*@2 ) 10.4 色相和纯度 221 .cJoNl'q 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]#f%Dku.m 10.6 色差 226 /-FV1G,h 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ;hDk gp 10.8 颜色渲染指数 234 Gh=I2GSo 10.9 色差计算 235 07:V[@' 10.10 参考文献 236 -V6caVlg 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 w6!97x 11.1 短脉冲 238 E8r6P:5d` 11.2 群速度 239 y@~ VE5N 11.3 群速度色散 241 |8CxMs 11.4 啁啾(chirped) 245 OJa(Gds 11.5 光学薄膜—相变 245 <A Hzs 11.6 群延迟和延迟色散 246 S:j{R^$k 11.7 色度色散 246 u~M$<|; 11.8 色散补偿 249 Cwls e- 11.9 空间光线偏移 256 2_HIn 11.10 参考文献 258 IxuK<Oe:O 12 公差与误差 260 Z[*unIk 12.1 蒙特卡罗模型 260 o|h=M/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 VBi gUK4 12.2.1 误差工具 267 ^zV_vB)n 12.2.2 灵敏度工具 271 o=7,U/{D! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 hQj@D\} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 q-;Y }q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 C3W4:kbau 12.3 参考文献 276 /.7RWy` 13 Runsheet 与Simulator 277 S=)
c7t?a 13.1 原理介绍 277 Up?RN %gq 13.2 截止滤光片设计 277
"LB
MYZ 14 光学常数提取 289 q}L`8(a 14.1 介绍 289 37kFbR@x 14.2 电介质薄膜 289 Jg=!GU/:: 14.3 n 和k 的提取工具 295 b;jdk w| 14.4 基底的参数提取 302 o 7kg.w| 14.5 金属的参数提取 306 W=^.s>7G 14.6 不正确的模型 306 K\9CW%W 14.7 参考文献 311 m_0y ]RfG 15 反演工程 313 u@e.5_:S) 15.1 随机性和系统性 313 [k%hl`} 15.2 常见的系统性问题 314 YOLzCnI4 15.3 单层膜 314 +U<YM94? 15.4 多层膜 314 $|g1 _;(G 15.5 含义 319 9F[3B`w
15.6 反演工程实例 319 ^wBlQmW7J 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _-({MX[3k< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ph""[0n%o 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ULz<P 16.1 光学性质的热致偏移 329 {DP9^hg 16.2 应力工具 335 Ga02Zk 16.3 均匀性误差 339 k)7i^1U 16.3.1 圆锥工具 339 1Zc=QJw@ 16.3.2 波前问题 341 7P3pjgh 16.4 参考文献 343 l,h`YIy 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 '(B -{}l 17.1 引言 345 !gW`xVGv 17.2 操作数 345 n-8/CBEH( 18 如何在Function中编写脚本 351 RD[P|4eY 18.1 简介 351 RBf#5VjOG! 18.2 什么是脚本? 351
}p6]az3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Jyg1z,B < 18.4 基础 352 VB*c1i 18.4.1 Classes(类别) 352 )M0(vog 18.4.2 对象 352 W;I{4ed6 18.4.3 信息(Messages) 352 xP'0a 18.4.4 属性 352 1ygEyC[1 18.4.5 方法 353 8%B_nVc 18.4.6 变量声明 353 )-!)D 18.5 创建对象 354 BkB_?^Nv8 18.5.1 创建对象函数 355 B,%6sa~I 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8d5#vm 18.5.3 丢弃对象 356 {rMf/ RAE 18.5.4 总结 356 zGU MH7 M 18.6 脚本中的表格 357 rd0Fd+t/ 18.6.1 方法1 357 u]NsCHKlT 18.6.2 方法2 357 I"czo9Yspd 18.7 2D Plots in Scripts 358 .q
MxShUU 18.8 3D Plots in Scripts 359 9*s8%pL 18.9 注释 360 =nCA=-Jv 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 05ClPT\BCr 18.11 一个更高级的脚本 362
n(Nu 18.12 <esc>键 364 El9T>!Z 18.13 包含文件 365 :'wxm3f 18.14 脚本被优化调用 366 #sCR} 18.15 脚本中的对话框 368 K
Ha,6X 18.15.1 介绍 368 DlCN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 DDkN3\w 18.15.3 输入框函数 370 +3.9)w 18.15.4 自定义对话框 371 QDY uJ&!h 18.15.5 对话框编辑器 371 YQ:$m5ai 18.15.6 控制对话框 377 @uyQH c,V 18.15.7 更高级的对话框 380
:MF`q.:X 18.16 Types语句 384 a({Rb?b 18.17 打开文件 385 &_Cc 18.18 Bags 387 ."dT6u E 18.13 进一步研究 388 9U<WR*H 19 vStack 389 >mA]2gV<a 19.1 vStack基本原理 389 BEb?jRMjLg 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Qc*p+N+$ 19.3 五棱镜 393 Te}gmt+#% 19.4 光束距离 396 UNb7WN 19.5 误差 399 d4IQ;u 19.6 二向分色棱镜 399 0O'M^[=d.8 19.7 偏振泄漏 404 -x6_HibbD 19.8 波前误差—相位 405 QmSj6pB> 19.9 其它计算参数 405 ;q-c[TZC 20 报表生成器 406 sT1OAK\^ 20.1 入门 406 4qDO(YWf 20.2 指令(Instructions) 406 hd'QMr[; 20.3 页面布局指令 406 Zex~ $r 20.4 常见的参数图和三维图 407 <#BK(W~$ 20.5 表格中的常见参数 408 a K6dy\ 20.6 迭代指令 408 31^/9lb
20.7 报表模版 408 Y~*p27@fR 20.8 开始设计一个报表模版 409 <fBJ@> 21 一个新的project 413 8t=H 21.1 创建一个新Job 414 Y{j~;G@Wl 21.2 默认设计 415 Nt\07*`qCr 21.3 薄膜设计 416 n5~Dxk 21.4 误差的灵敏度计算 420 FYik}wH] 21.5 显色指数计算 422 5u9 lKno 21.6 电场分布 424 phb
;D 后记 426 1 M!4hM
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