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U?A3> 内容简介 lD6PKZ\RIj Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 O:jaA3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 C~R,, 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Vw+RRi(
495A\8# 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 w:/QB-`% 目录 s_cur- Preface 1 WP >VQZ& 内容简介 2 *}=z^;_oq 目录 i +u;RFY^ 1 引言 1 7uq^TO>9f 2 光学薄膜基础 2 #]z_pp: 2.1 一般规则 2 =i>i,>bv 2.2 正交入射规则 3 [U_ 2.3 斜入射规则 6 +Sak_*fq 2.4 精确计算 7 Yz? 8n 2.5 相干性 8 \-CL}Z}S 2.6 参考文献 10 b=XHE1^rM 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]}L tf,9 4 Essential Macleod的特点 32 Xp0S 4.1 容量和局限性 33 _:HQ4s@ 4.2 程序在哪里? 33 ?wREX[Tqs 4.3 数据文件 35
,P^4??' o 4.4 设计规则 35 S^A+Km3VB 4.5 材料数据库和资料库 37 :(#5%6F 4.5.1材料损失 38 UnOcw 4.5.1材料数据库和导入材料 39 j> dL:V&` 4.5.2 材料库 41 'M,O(utGv 4.5.3导出材料数据 43 /ommM 4.6 常用单位 43 -ju}I 4.7 插值和外推法 46 jbp?6GW 4.8 材料数据的平滑 50 G(gZL%M6 4.9 更多光学常数模型 54 S#nW )=
4.10 文档的一般编辑规则 55 FTWjIa/[ 4.11 撤销和重做 56 Ch73=V 4.12 设计文档 57 mq+<2 S 4.10.1 公式 58 \{;3'< 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $Z<x r 4.10.3 沉积密度 59 $^`@ lyr 4.10.4 平行和楔形介质 60 a V#phP 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 \e~5Dx1 4.10.4 性能 61 "~L$oji 4.10.5 保存设计和性能 64 i9D<jkc 4.10.6 默认设计 64 O3tw@ &k 4.11 图表 64 "x
O+ 4.11.1 合并曲线图 67 Fhga^.5U& 4.11.2 自适应绘制 68 ;lf $)3%[ 4.11.3 动态绘图 68 yaYJmhG 4.11.4 3D绘图 69
75;g|+ 4.12 导入和导出 73 \`R8s_S 4.12.1 剪贴板 73 7yUX]95y8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 X<&Y5\%F 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 8/R9YiY5* 4.13 背景 77 ;Q0H7)t: 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 fndbGbl8p 4.15 生成Rugate 84 N5.kDT 4.16 参考文献 91 ~W-5-Nl{s 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
F8|m i`f- 5.1 Jobs 92 ;*cCaB0u 5.2 创建一个新Job(工作) 93 !Y10UmMu 5.3 输入材料 94 R# ZO<g%' 5.4 设计数据文件夹 95 i5SDy(?r 5.5 默认设计 95 p3V?n[/} 6 细化和合成 97 f dJ<(i]7W 6.1 优化介绍 97 U#|6n , 6.2 细化 (Refinement) 98 hGRHuJ 6.3 合成 (Synthesis) 100 Uh+6fE]p 6.4 目标和评价函数 101 k:URP`w[X= 6.4.1 目标输入 102 3~?m?vj|Y 6.4.2 目标 103 %DM0Z8P$B- 6.4.3 特殊的评价函数 104 "O~kIT?/v 6.5 层锁定和连接 104 E6zPN?\ < 6.6 细化技术 104 ?_ eHvw 6.6.1 单纯形 105 <GLn!~Px@5 6.6.1.1 单纯形参数 106 }=|plz} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 8vQR'<, 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?C']R(fQ\ 6.6.3 模拟退火算法 109 'V\V=yc1 6.6.3.1 模拟退火参数 109 vRH2[{KQ9 6.6.4 共轭梯度 111 EI496bsRHm 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 hD{
`j 6.6.5 拟牛顿法 112 R?M>uaxn 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 C7K]c4T 6.6.6 针合成 113 Dt(xj}[tC 6.6.6.1 针合成参数 114 D 9UM8Hxi 6.6.7 差分进化 114 ij1YV2v 6.6.8非局部细化 115 H4$f+ 6.6.8.1非局部细化参数 115 J$lfI^^ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 W}#n.c4+ 6.7.1 细化 116 :6]qr 86 6.7.2 合成 117 ]E6r)C 6.8 参考文献 117 0{ 7 导纳图及其他工具 118 GJF &id 7.1 简介 118 j4u
["O3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 (T%Ue2zlY 7.2.1 四分之一波长规则 119 $9@AwS@Uu 7.2.2 导纳图 120 mtdy@=?1Y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 GWv i
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,T$ GOjt 7.5 斜入射导纳图 141 F|@\IVEB] 7.6 对称周期 141 Vcnc=ct 7.7 参考文献 142 RhC|x,E 8 典型的镀膜实例 143 BWNI|pq)v 8.1 单层抗反射薄膜 145 z#1"0Ks&P 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 `jVRabZ0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 2[qoqd( 8.4 W-膜层 148 a$Hq<~46 8.5 V-膜层 149 4-I7"pW5 8.6 V-膜层高折射基底 150 EWQLLH "h 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _EJP I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 M8/:PmR< 8.9 四层抗反射薄膜 153 +(y8q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 N9*:]a 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 vPc*x5w- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 q;UGiB^(A 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |* ^LsuFb 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 @DF7j|]tV 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %ZX9YuXQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0a bQY 8.17 1/4波长堆栈 162 PQa0m)H@ 8.18 陷波滤波器 163 (=%0$(S> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 klH?!r& 8.20 褶皱 165 }r@yBUW 8.21 消偏振分光器1 169 @$'pMg 8.22 消偏振分光器2 171 >239SyC-, 8.23 消偏振立体分光器 172 -*i_8` 8.24 消偏振截止滤光片 173 A=IpP}7J 8.25 立体偏振分束器1 174 !Q*w] 8.26 立方偏振分束器2 177 Z4rk$K'=1w 8.27 相位延迟器 178
{f@Q&(g 8.28 红外截止器 179 ?~4x/d% 8.29 21层长波带通滤波器 180 5+;Mc[V3- 8.30 49层长波带通滤波器 181 P|Gwt& 8.31 55层短波带通滤波器 182 f*xr0l 8.32 47 红外截止器 183 C ocw%Yl 8.33 宽带通滤波器 184 SOn)'!g 8.34 诱导透射滤波器 186 3u& ,3: 8.35 诱导透射滤波器2 188 ?$T ^L"~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 kkWv#,qwU 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 O ;[Mi 8.35 增益平坦滤波器 193 ^i_+ugJX 8.38 啁啾反射镜 1 196 @d^Z^H*Yv 8.39 啁啾反射镜2 198 EmR82^_: 8.40 啁啾反射镜3 199 ZWo~!Z [Y 8.41 带保护层的铝膜层 200 %y|pVN!U 8.42 增加铝反射率膜 201 _U-`/r o 8.43 参考文献 202 vSC1n8 / 9 多层膜 204 y_w
<3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 I:G8B5{J 9.2 内部透过率 204 '4<o&b^yQ 9.3 内部透射率数据 205 8Znr1=1
9.4 实例 206 elQjPvb 9.5 实例2 210 3Ovx)qKxd 9.6 圆锥和带宽计算 212 nc\`y,>l8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 0 !{X8>x 10 光学薄膜的颜色 216 (RV#piM 10.1 导言 216 q4&! mDU 10.2 色彩 216 af %w|M 10.3 主波长和纯度 220 ES AX}uF 10.4 色相和纯度 221 kLF`6ZXtd 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 At?|[%<` 10.6 色差 226 Yj/o17 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 yF?O+9R
A 10.8 颜色渲染指数 234 !%ju.Xs8 10.9 色差计算 235 EJ#I7_ 10.10 参考文献 236 I;%1xdPt 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 peBHZJ``RX 11.1 短脉冲 238 jwa6`u 11.2 群速度 239 #dL,d6a 11.3 群速度色散 241 wbrOL(q.m 11.4 啁啾(chirped) 245 (
_6j@?u 11.5 光学薄膜—相变 245 6PYt>r&TO 11.6 群延迟和延迟色散 246 j1%8r*Jj 11.7 色度色散 246 fmj}NV&ma 11.8 色散补偿 249 =eUKpYI
11.9 空间光线偏移 256 Ux*xz|^ 11.10 参考文献 258 )9_W"'V 12 公差与误差 260 G3io!XM)D 12.1 蒙特卡罗模型 260 "Zh,;)hS 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 BVNJas 12.2.1 误差工具 267 nPdkvs 12.2.2 灵敏度工具 271 ,v
K%e>e& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5L[imO M0 12.2.2.2 灵敏度分布 275 eyJWFJh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 oI/_WY[t 12.3 参考文献 276 ''@Tke3IG6 13 Runsheet 与Simulator 277 w01[oU$x= 13.1 原理介绍 277 [0y,K{8t 13.2 截止滤光片设计 277 Zf3(!
a[ 14 光学常数提取 289 c-(RjQ~M5 14.1 介绍 289 Os'E7;:1h 14.2 电介质薄膜 289 J<"K`|F 14.3 n 和k 的提取工具 295 * @]wT' 14.4 基底的参数提取 302 C/Tk`C& 14.5 金属的参数提取 306 CLzF84@W= 14.6 不正确的模型 306 jmwN 1Se> 14.7 参考文献 311 SoM,o]s#y 15 反演工程 313 O}zHkcL 15.1 随机性和系统性 313 ,HTwEq>-G 15.2 常见的系统性问题 314 }6\,kFc 15.3 单层膜 314 F_'{:v1GW 15.4 多层膜 314 U1y!R<qlp 15.5 含义 319 mc%.
8i 15.6 反演工程实例 319 klnNBo! 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 a<q9~QS 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ftTD-d 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 >^Wpc 16.1 光学性质的热致偏移 329 ~6kF`}5 16.2 应力工具 335 1[O cZCS 16.3 均匀性误差 339 fYy w2" 16.3.1 圆锥工具 339 Nuot[1kS 16.3.2 波前问题 341 z@3gNY&7.8 16.4 参考文献 343 >y#MEN>? 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /B?wn=][ 17.1 引言 345 z0/+P 17.2 操作数 345
Yc]k<tQ 18 如何在Function中编写脚本 351 OP=brLGu0 18.1 简介 351 S?JCi= 18.2 什么是脚本? 351 fVgK6?<8^ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 gU+yqT7= 18.4 基础 352 ;X+tCkzF 18.4.1 Classes(类别) 352 DCiU?u~ 18.4.2 对象 352 tqh)yr; 18.4.3 信息(Messages) 352 ]rj~3du\ 18.4.4 属性 352 0vfMJzk 18.4.5 方法 353 ^UKY1Q. 18.4.6 变量声明 353 Q2ne]MI 18.5 创建对象 354 8iY.!.G#| 18.5.1 创建对象函数 355 F]6G<6T[ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 I\6C0x 18.5.3 丢弃对象 356 ffL]_E 18.5.4 总结 356 &%j`WF4p 18.6 脚本中的表格 357 9_5>MmiB 18.6.1 方法1 357 Sy <E@1 18.6.2 方法2 357 yJC:
bD1xi 18.7 2D Plots in Scripts 358 1$E [`` n 18.8 3D Plots in Scripts 359 +BtLd+)R 18.9 注释 360 A'jL+dI. 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 18%$Z$K, 18.11 一个更高级的脚本 362 >$rH,Er 18.12 <esc>键 364 +
>dC 18.13 包含文件 365 vzI>:Bf 18.14 脚本被优化调用 366 ]@z!r2[ 18.15 脚本中的对话框 368 jW8ad{ 18.15.1 介绍 368 V)~b+D 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {ObY1Y`ea 18.15.3 输入框函数 370 [rcM32 18.15.4 自定义对话框 371 %IVM1 18.15.5 对话框编辑器 371 lH_pG ~ 18.15.6 控制对话框 377 jG`PyIgw 18.15.7 更高级的对话框 380 .jP|b~ 18.16 Types语句 384 1VFCK& 18.17 打开文件 385 6)YckxN^ 18.18 Bags 387 n%36a(]
t 18.13 进一步研究 388 1N $OXLu 19 vStack 389 @*xP A 19.1 vStack基本原理 389 3t9+Y dNKU 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 tE-bHu370 19.3 五棱镜 393 o<48' >[ 19.4 光束距离 396 uaP5(hUI 19.5 误差 399 -:_3N2U=+ 19.6 二向分色棱镜 399 nnRb 19.7 偏振泄漏 404 bvB7d`wx 19.8 波前误差—相位 405 Mj>QV(L8t 19.9 其它计算参数 405 >?JUGXAi'{ 20 报表生成器 406 C3=0st$ 20.1 入门 406 8SroA$^n 20.2 指令(Instructions) 406 X=?9-z]
QO 20.3 页面布局指令 406 uYlyU~M:D 20.4 常见的参数图和三维图 407 <^>
nR3E 20.5 表格中的常见参数 408 3<)][<Ud 20.6 迭代指令 408 )Az0.} 20.7 报表模版 408 e`LvHU_0 20.8 开始设计一个报表模版 409 Q$p3cepsK 21 一个新的project 413 bydI+pVMo 21.1 创建一个新Job 414 *\:sHVyG( 21.2 默认设计 415 /z!y[ri+J 21.3 薄膜设计 416 s^PsA9EAn 21.4 误差的灵敏度计算 420 T-4dD 21.5 显色指数计算 422 EY !o#m 21.6 电场分布 424 f\$_^dV 后记 426 +pK 35u Y<Ae_yLa 有兴趣扫码联系 -8"K|ev
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