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4Eh BpTg
内容简介 HA.NZkq.tV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 cevV<Wy+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Q xF8=p 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &Y>~^$`J
):fu 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ~sHZh 目录 "">fn( Preface 1 CAFE}| 内容简介 2 wz0$g4 目录 i ({_:^$E\ 1 引言 1 Sp~Gv>uMK 2 光学薄膜基础 2 Z:Y.":[
Qi 2.1 一般规则 2 Kpp*^ 2.2 正交入射规则 3 ilRm}lU|x 2.3 斜入射规则 6 KYRm
Ui# 2.4 精确计算 7 -6~dJTm[t 2.5 相干性 8 WQLHjGehe 2.6 参考文献 10 !Zyx$2K 3 Essential Macleod的快速预览 10 vzyI::f? 4 Essential Macleod的特点 32 i3 l #~ 4.1 容量和局限性 33 `/wq3+ ? 4.2 程序在哪里? 33 F%_,]^ n[ 4.3 数据文件 35 }u3H4S<o 4.4 设计规则 35 $>h!J.t 4.5 材料数据库和资料库 37 *L4]\wf 4.5.1材料损失 38 W#Hv~1 4.5.1材料数据库和导入材料 39 J<($L}T*$ 4.5.2 材料库 41 SCh7O} 4.5.3导出材料数据 43 IGK_1@tq 4.6 常用单位 43 bDZKQ& 4.7 插值和外推法 46 l\sS? 4.8 材料数据的平滑 50 -0KbdHIKb' 4.9 更多光学常数模型 54 (|36!-(iK 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^!o1l-Y^gr 4.11 撤销和重做 56 csFJ5 4.12 设计文档 57 kHJDX; 4.10.1 公式 58 5y[b8mur 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @!&Jgg53G 4.10.3 沉积密度 59 4gv.E 0Fo 4.10.4 平行和楔形介质 60 pRrqs+IJZ\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 wHt#'`5 4.10.4 性能 61 u_p7Mcb 4.10.5 保存设计和性能 64 #GY&$8.u* 4.10.6 默认设计 64 |>IUtUg\ 4.11 图表 64 rAlh&
?X 4.11.1 合并曲线图 67 FD
XWFJ 4.11.2 自适应绘制 68 nqurY62Ip 4.11.3 动态绘图 68 %Vw|5yA4 4.11.4 3D绘图 69 s#+"5&!s 4.12 导入和导出 73 '!+P{ 4.12.1 剪贴板 73 \`P2Yq 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 <*A|pns 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 z|G|Y 22 4.13 背景 77 /jZaU` 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l`v
+sV^1 4.15 生成Rugate 84 7z/(V\9B 4.16 参考文献 91 ^&`sWO@= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 WbC0H78] 5.1 Jobs 92 7Ykj#"BZ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 aDN6MZM 5.3 输入材料 94 LXh@o1 5.4 设计数据文件夹 95 hs!UX=x| 5.5 默认设计 95 |5}rX!wS4 6 细化和合成 97 8 l'bRyuS 6.1 优化介绍 97 k9^+9P^L 6.2 细化 (Refinement) 98 ,Lt~u_ lve 6.3 合成 (Synthesis) 100 IFd )OZ5 6.4 目标和评价函数 101 K9e~Wl<3 6.4.1 目标输入 102 [)Z'N/;0 6.4.2 目标 103 Qq,i 6.4.3 特殊的评价函数 104 OYszW]UMg 6.5 层锁定和连接 104 W"b&M%y| 6.6 细化技术 104 p@?7^nIR*u 6.6.1 单纯形 105 b(PHZCy# 6.6.1.1 单纯形参数 106 05l0B5'p 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 3bbp>7V! 6.6.2.1 Optimac参数 108 dN$ 1$B^k 6.6.3 模拟退火算法 109 yCF"Z/. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Z&+NmOY4 6.6.4 共轭梯度 111 ~")hE%Kl} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 dWsT Jyx~ 6.6.5 拟牛顿法 112 B`?N,N" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 5y1or 6.6.6 针合成 113 4zo4H~@gk 6.6.6.1 针合成参数 114 JCcN>DtP 6.6.7 差分进化 114 F[>7z3I 6.6.8非局部细化 115 Od0S2hHO 6.6.8.1非局部细化参数 115 -M7K8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 p{iG{ 6.7.1 细化 116 "rme~w Di 6.7.2 合成 117 82j'MgGP 6.8 参考文献 117 fH{9]TU_: 7 导纳图及其他工具 118 B<|:K\MA 7.1 简介 118 }1U#Ve,=_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 =)(3Dp 7.2.1 四分之一波长规则 119 xN#bzma 7.2.2 导纳图 120 t{/hkXq] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1^Kj8*O8e 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?8 SK\{9r6 7.5 斜入射导纳图 141 k_,MoDz 7.6 对称周期 141 *)MX%`Z} 7.7 参考文献 142 >Y7r\ 8 典型的镀膜实例 143 j y7 8.1 单层抗反射薄膜 145 a$w},=
`E 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )>(L{y|uYX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 u9TzZ 8.4 W-膜层 148 lp,\]] 8.5 V-膜层 149 Cw
1 9y 8.6 V-膜层高折射基底 150 `d75@0: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 285_|!.Y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +O)]^"TG 8.9 四层抗反射薄膜 153 @@'nit 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 1a<]$tZk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 M-{*92y&
| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Up<~0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 S3SV.C:z> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Y8)}PWMs 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %0vTA_W 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 cvKV95bn 8.17 1/4波长堆栈 162 aGpCNc{+ 8.18 陷波滤波器 163 o[o:A|n 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }0$mn)*k 8.20 褶皱 165 N*~_\x 8.21 消偏振分光器1 169 Z`rK\Bc 8.22 消偏振分光器2 171 plK=D#) 8.23 消偏振立体分光器 172 pJd 0k"{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 yc*<:(p 8.25 立体偏振分束器1 174 1<`9HCm 8.26 立方偏振分束器2 177 6G'<[gL
j 8.27 相位延迟器 178 BEln6zj 8.28 红外截止器 179 WElrk:b 8.29 21层长波带通滤波器 180 mKV'jm0 8.30 49层长波带通滤波器 181 XdcG0D^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 K>kLUcC7Z 8.32 47 红外截止器 183 !/947Rn 8.33 宽带通滤波器 184 Yj)
e$f 8.34 诱导透射滤波器 186 G-arnu) 8.35 诱导透射滤波器2 188 [(1O" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 u,fA! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3@G;'|z 8.35 增益平坦滤波器 193 &} ,*\Oj 8.38 啁啾反射镜 1 196 5^>n5u/ 8.39 啁啾反射镜2 198 9SY(EL 8.40 啁啾反射镜3 199 k_!+V`Ro# 8.41 带保护层的铝膜层 200 tev QW 8.42 增加铝反射率膜 201 ^\:yf.k 8.43 参考文献 202 N=#4L$@- 9 多层膜 204 &Cq{
_M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Q!K`e )R 9.2 内部透过率 204 M`~!u/D7 9.3 内部透射率数据 205 $_)=8"Sn 9.4 实例 206 +jtA&1cf 9.5 实例2 210 :7\9xH 9.6 圆锥和带宽计算 212
a"QU:<-v 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 f/ajejYo?, 10 光学薄膜的颜色 216 3%^z ?_ 10.1 导言 216 >\ZR*CS 10.2 色彩 216 ET)>#zp+s 10.3 主波长和纯度 220 2Pp&d>E4 10.4 色相和纯度 221 a}>Dz 1R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]ZTcOf 10.6 色差 226 =Ey`M#t; 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 g]|_
` 10.8 颜色渲染指数 234 7UKYmJk. 10.9 色差计算 235 kM!V.e[g 10.10 参考文献 236 5 [4Z=RP 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^YKy9zkTl 11.1 短脉冲 238 cn%2OP:L^ 11.2 群速度 239 f jI #- 11.3 群速度色散 241 H0a-( 11.4 啁啾(chirped) 245 ?U_9{}r 11.5 光学薄膜—相变 245 ' "'Btxz 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^mg*;8eGa 11.7 色度色散 246 Zhzy.u/> 11.8 色散补偿 249 iITp**l 11.9 空间光线偏移 256 DZe}y^F 11.10 参考文献 258 BDe]18X 12 公差与误差 260 'L{p, 12.1 蒙特卡罗模型 260 tWY2o3j 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 M$A#I51 12.2.1 误差工具 267 HM&1yubh# 12.2.2 灵敏度工具 271 -(>qu.[8= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =-~;OH/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 aI(>]sWJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 e7xj_QH 12.3 参考文献 276 ni6r{eSQ 13 Runsheet 与Simulator 277 rGlRAn#?, 13.1 原理介绍 277 t)N;'v & 13.2 截止滤光片设计 277 k=/eM$": 14 光学常数提取 289 4DLq}v 14.1 介绍 289 -[R!O'N9 14.2 电介质薄膜 289 nxaT.uFd1 14.3 n 和k 的提取工具 295 +y&d;0! 14.4 基底的参数提取 302 Y)XvlfJ,h? 14.5 金属的参数提取 306 Pl+xH%U+? 14.6 不正确的模型 306 ~ y;y(4< 14.7 参考文献 311 pm USF #u 15 反演工程 313 `qiQ$kz 15.1 随机性和系统性 313 #SkX@sl@ 15.2 常见的系统性问题 314 7zDiHac 15.3 单层膜 314 - 8bNQU 15.4 多层膜 314 MJ\[Dt 15.5 含义 319 WM,i:P)b 15.6 反演工程实例 319 /N)5
3!LT 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 !@g)10u 15.6.2 反演工程提取折射率 327 V5"HwN+` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 6)e5zKW!? 16.1 光学性质的热致偏移 329 Cd]/ 16.2 应力工具 335 1;&;5 16.3 均匀性误差 339 'r+PH*Mr 16.3.1 圆锥工具 339 |dmh 16.3.2 波前问题 341 +.Bmkim 16.4 参考文献 343 9"sDm}5% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 fSA)G$b] 17.1 引言 345 f9TV%fG? 17.2 操作数 345 (j&A",^^S 18 如何在Function中编写脚本 351 V 0{tap} 18.1 简介 351 Yck~xt&] 18.2 什么是脚本? 351 g4&jo_3:p 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 wJG$c-(\0 18.4 基础 352 *P2[qhP2 18.4.1 Classes(类别) 352 Qw)9r{f 18.4.2 对象 352 @5<CXTdF9c 18.4.3 信息(Messages) 352 ~kKrDLW+ 18.4.4 属性 352 {6
.o=EyM{ 18.4.5 方法 353 kzO&24 18.4.6 变量声明 353 ULBg{e?l8 18.5 创建对象 354 D>sYPrf 18.5.1 创建对象函数 355 hu5!ev2 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 orIQ~pF# 18.5.3 丢弃对象 356 1 W'F3 18.5.4 总结 356 v{;7LXy0 18.6 脚本中的表格 357 `UzVS>]l[+ 18.6.1 方法1 357 =AOWeLk*G 18.6.2 方法2 357 <I=$ry6 8 18.7 2D Plots in Scripts 358 I&]G 18.8 3D Plots in Scripts 359 GAEO$e: 18.9 注释 360 H+ZSPHs 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 >q7
%UK]& 18.11 一个更高级的脚本 362 9=+-QdX+0] 18.12 <esc>键 364 rwqv V^ 18.13 包含文件 365 KN[d!}W: 18.14 脚本被优化调用 366 |4b)>8TL/ 18.15 脚本中的对话框 368 ?Zcj}e.r 18.15.1 介绍 368 w+AuMc 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #a9_~\s 18.15.3 输入框函数 370 $v27]"] 18.15.4 自定义对话框 371 3/goCg 18.15.5 对话框编辑器 371 k#)Ad*t 18.15.6 控制对话框 377 &%F@O<: 18.15.7 更高级的对话框 380 rPiNv
30L 18.16 Types语句 384 q<{NO/Mm 18.17 打开文件 385 O\beKBT; 18.18 Bags 387 F 3RB 18.13 进一步研究 388 jqcz\n d 19 vStack 389 cFZCf8:zB 19.1 vStack基本原理 389 i~yX tya 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 \t.}-u<7{ 19.3 五棱镜 393 (> "QVxr 19.4 光束距离 396 ]/dVRkZeAE 19.5 误差 399 kE)!<1yy2 19.6 二向分色棱镜 399 %c/^_. 19.7 偏振泄漏 404 d;G~hVu 19.8 波前误差—相位 405 1dG06<! 19.9 其它计算参数 405 zlf}. 20 报表生成器 406 t[C1z 20.1 入门 406 OtUrGQP 20.2 指令(Instructions) 406 }ot"Sx\. 20.3 页面布局指令 406 ]]uHM}l 20.4 常见的参数图和三维图 407 [ygF0-3ND 20.5 表格中的常见参数 408 w2"]Pl 20.6 迭代指令 408 TZB+lj1 20.7 报表模版 408 1'KishHK= 20.8 开始设计一个报表模版 409 :Jxh2 21 一个新的project 413 Z=$T1| 21.1 创建一个新Job 414 *^XbDg9 21.2 默认设计 415 /Jlv"R1, 21.3 薄膜设计 416 &a)vdlZSE= 21.4 误差的灵敏度计算 420 "S!3m9_# 21.5 显色指数计算 422 UQ8bN I7 21.6 电场分布 424 JWHSnu! 后记 426 :pC;`iQ :BZ0 7`9 有兴趣扫码联系 !,&yyx.
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