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L`K)mCr 内容简介 ?OF$J|h Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Bj2iYk_cLa 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 g2TK(S|# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0@b<?Ms9 Mn/ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 g]HWaFjc5 目录 qjkWCLOd Preface 1 {$[0YRNk
u 内容简介 2 NAE|iyw 目录 i ,&4
[`d 1 引言 1 Gdb0e]Vt+ 2 光学薄膜基础 2 Y=<ABtertS 2.1 一般规则 2 nbP}a?XC 2.2 正交入射规则 3 "?6*W"N9 2.3 斜入射规则 6 hs;|,r 2.4 精确计算 7 *!"T^4DEg 2.5 相干性 8 faLfdUimJ 2.6 参考文献 10 =Xr{ Dg 3 Essential Macleod的快速预览 10 U&B(uk(2 4 Essential Macleod的特点 32 /G7^ l>pa 4.1 容量和局限性 33 EJC}"%h 4.2 程序在哪里? 33 ^Ff fc@= 4.3 数据文件 35 p%>!1_'( 4.4 设计规则 35 "~=}& 4.5 材料数据库和资料库 37 [7`S`\_NK 4.5.1材料损失 38 dfVI*5[Z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _?{KTgJ G 4.5.2 材料库 41 `k
I}p 4.5.3导出材料数据 43 adoK-bS t 4.6 常用单位 43 9mMQ 4.7 插值和外推法 46 ._x"b5C 4.8 材料数据的平滑 50 xP1D 9 4.9 更多光学常数模型 54 av(qV$2 4.10 文档的一般编辑规则 55 jzDPn<WQ 4.11 撤销和重做 56 ;_<
Yzl 4.12 设计文档 57 ~8k`~t! 4.10.1 公式 58 aRWj+[[7y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Dy. |bUB!f 4.10.3 沉积密度 59 5C`Vno~v 4.10.4 平行和楔形介质 60 $?kTS1I( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9} C(M?d 4.10.4 性能 61 j/uMSE 4.10.5 保存设计和性能 64 GPs4:CIgG 4.10.6 默认设计 64 olo9YrHn 4.11 图表 64 t9W* N\ 4.11.1 合并曲线图 67 Aj\m57e,6 4.11.2 自适应绘制 68 tx1TtWo 4.11.3 动态绘图 68 Q"pZPpl& 4.11.4 3D绘图 69 9Y# vKb{> 4.12 导入和导出 73 :Oj!J&A 4.12.1 剪贴板 73
!&KE">3Qu 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 p0Ij4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 TffeCaBv 4.13 背景 77 Jn?ZJZ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 REJBm 4.15 生成Rugate 84 Gqar5 4.16 参考文献 91 9WoTo ,q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 `o+J/nc 5.1 Jobs 92 /WAOpf5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]a~gnz&1 5.3 输入材料 94 0#ePg6n 5.4 设计数据文件夹 95 ]Ah<kq2sk 5.5 默认设计 95 g ?%]()E 6 细化和合成 97 `$;%%/tx 6.1 优化介绍 97 ,`ehR6b 6.2 细化 (Refinement) 98 r`0oI66B/ 6.3 合成 (Synthesis) 100 0F 4%Xz 6.4 目标和评价函数 101 J0@#xw=+ 6.4.1 目标输入 102 Y-DHW/Z~ 6.4.2 目标 103 4NFvX4 6.4.3 特殊的评价函数 104 pi*?fUg!W 6.5 层锁定和连接 104 [ dVRVm0N 6.6 细化技术 104 FO|Eg9l 6.6.1 单纯形 105 jA%R8hdr_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 %8%0l*n' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
3AuLRI 6.6.2.1 Optimac参数 108 L|2WTyMU 6.6.3 模拟退火算法 109 ss7Z-A 4z 6.6.3.1 模拟退火参数 109 MIAC'_<-e 6.6.4 共轭梯度 111 h7\16j 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 6O'B:5~[2 6.6.5 拟牛顿法 112 l(tMo7iPa 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 G`jJKiC 6.6.6 针合成 113 Bd13p_V"6 6.6.6.1 针合成参数 114 6CWm;%B#G 6.6.7 差分进化 114 r<kqs,-~ 6.6.8非局部细化 115 /(ArA=# 6.6.8.1非局部细化参数 115 6x_D0j%^] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 CM%;r5 6.7.1 细化 116 `Yu4h+T 6.7.2 合成 117 O`0A#h&No 6.8 参考文献 117 9fqCE619a 7 导纳图及其他工具 118 \]t}N 7.1 简介 118 b;(BMO,( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 q&k?$rn 7.2.1 四分之一波长规则 119 !='&#@7u 7.2.2 导纳图 120
(>x_fDv 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 V)r6bb{^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 <Dp[F|r 7.5 斜入射导纳图 141 z 4`H<Pn 7.6 对称周期 141 F,
p~O{
Q 7.7 参考文献 142 o>4GtvA* 8 典型的镀膜实例 143 uQg&A`4 8.1 单层抗反射薄膜 145 yy3-Xu4 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 O>L
5
dP 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ulnlRx 8.4 W-膜层 148 wd~!j&`a 8.5 V-膜层 149 :E9 @9>3S 8.6 V-膜层高折射基底 150 RV+0C&0ff 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 [mI;>q 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 L[:b\O/p, 8.9 四层抗反射薄膜 153 _NJq%-,' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 'd
6z^Z6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 )h?Pz1-W1 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
PP)-g0^@ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 DWRq \`P
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 mo3HUXf}8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Wd_KZ}lX 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8klu* 8.17 1/4波长堆栈 162 d_}q.%* 8.18 陷波滤波器 163 yY42+%P 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 HBnnIbEtF' 8.20 褶皱 165 p8MPn>h< 8.21 消偏振分光器1 169 1
9C=' TMS 8.22 消偏振分光器2 171 9i+SU|;j 8.23 消偏振立体分光器 172 _!*??B6u 8.24 消偏振截止滤光片 173 mC(q8%/; 8.25 立体偏振分束器1 174 4#y 8.26 立方偏振分束器2 177 (>Tq 8.27 相位延迟器 178 5}t}Wc8 8.28 红外截止器 179 f'<MDLl 8.29 21层长波带通滤波器 180 n XOJ 8.30 49层长波带通滤波器 181 6> Szxkz 8.31 55层短波带通滤波器 182 wtw 8.32 47 红外截止器 183 I=I'O?w 8.33 宽带通滤波器 184 (AnM_s 8.34 诱导透射滤波器 186 XZFM|=%X 8.35 诱导透射滤波器2 188 noa=wy 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 g4 |s9RMD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 eO:wx.PW 8.35 增益平坦滤波器 193 n++L
=&Wd 8.38 啁啾反射镜 1 196 dLMKfh/4Q 8.39 啁啾反射镜2 198 qEoa%O 8.40 啁啾反射镜3 199 Sc zYL?w^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 l4sFT)}-J 8.42 增加铝反射率膜 201 +5+?)8Ls 8.43 参考文献 202 IPhV|7 9 多层膜 204 80M"`6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "NamP\hj 9.2 内部透过率 204 ]%PQ3MT. 9.3 内部透射率数据 205 RMx$]wn_ 9.4 实例 206 `'{>2d%\g 9.5 实例2 210 ,:QzF"MV 9.6 圆锥和带宽计算 212 SGREpOlJ+ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 m*MfGj( 10 光学薄膜的颜色 216 CcZ\QOet&C 10.1 导言 216 9_z u* 10.2 色彩 216 I(*4N^9++ 10.3 主波长和纯度 220 #;32(II 10.4 色相和纯度 221 02_%a1g 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (*Jcx:rH 10.6 色差 226 X;I;CZ={ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :!h1S`wS 10.8 颜色渲染指数 234 !Rzw[~ 10.9 色差计算 235 <"g ^V 10.10 参考文献 236 M@V.?;F}, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 C]tHk)<|42 11.1 短脉冲 238 jQp7TdvLE$ 11.2 群速度 239 Fx.hti 11.3 群速度色散 241 w{t2Oo6Q0+ 11.4 啁啾(chirped) 245 9w Pc03a 11.5 光学薄膜—相变 245 ^nYS@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 EhkvC>y 11.7 色度色散 246 #l6L7u0~wC 11.8 色散补偿 249 RY(\/W#$ 11.9 空间光线偏移 256 hDp
-,ag{ 11.10 参考文献 258 ,&;#$ b5 12 公差与误差 260 ]F5qXF5 12.1 蒙特卡罗模型 260 8 ]N 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,{ C 12.2.1 误差工具 267 rTiW 12.2.2 灵敏度工具 271 %8 )GuxG* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 J2BW>T!tuw 12.2.2.2 灵敏度分布 275 4Lo8Eue 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Ub%al
D 12.3 参考文献 276 Qo!/]\ 13 Runsheet 与Simulator 277 8$:4~:]/ 13.1 原理介绍 277 |-Z9-rl 13.2 截止滤光片设计 277 7T]}<aK<c[ 14 光学常数提取 289 c5?;^a[ 14.1 介绍 289 ZE@!s3\ 14.2 电介质薄膜 289 .D^=vuxt~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;IC :]Zu 14.4 基底的参数提取 302 $z!o&3c'x 14.5 金属的参数提取 306 W_NQi 14.6 不正确的模型 306 ]bG8DEwD 14.7 参考文献 311 ]wg+zOJu]+ 15 反演工程 313 4+t9"SD 15.1 随机性和系统性 313 Ixhe86-:T 15.2 常见的系统性问题 314 w`(EW>i 15.3 单层膜 314 36154*q 15.4 多层膜 314 pJC@}z^cw 15.5 含义 319 ^mLZT* 15.6 反演工程实例 319 NGD?.^ (G 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 bE-{
U/; 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?u/Uov@rD 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 VjbRjn5LI 16.1 光学性质的热致偏移 329
c}a. 16.2 应力工具 335 >5{Z'UWxh 16.3 均匀性误差 339 !7MC[z(|N 16.3.1 圆锥工具 339 #>+O=YO 16.3.2 波前问题 341 Np4';H 16.4 参考文献 343 =,q,W$- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 -hav/7g 17.1 引言 345 @B;2z_Y!l 17.2 操作数 345 =.9L/74@ 18 如何在Function中编写脚本 351 )~1QOl
"~ 18.1 简介 351 58"Cn ||tF 18.2 什么是脚本? 351 yUF<qB 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 _RT3Fk 18.4 基础 352 Pa%;[hbn 18.4.1 Classes(类别) 352 m}\G.$ h4 18.4.2 对象 352 3 8>?Z]V 18.4.3 信息(Messages) 352 3fJGJW!zu 18.4.4 属性 352 TAbd[:2{F 18.4.5 方法 353 <]6])f,y\ 18.4.6 变量声明 353 a%"mgCB 18.5 创建对象 354 byl#8=? 18.5.1 创建对象函数 355 #9Z\jW6b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 xc.(-g[ 18.5.3 丢弃对象 356 Hi$J@xU 18.5.4 总结 356 q@K;u[zFK 18.6 脚本中的表格 357 8<UD#i@:C 18.6.1 方法1 357 vtyk\e) 18.6.2 方法2 357 `y5?lS* 18.7 2D Plots in Scripts 358 z1t
YD 18.8 3D Plots in Scripts 359 tMxa:h;/x 18.9 注释 360 4,CQJ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "'us.t. 18.11 一个更高级的脚本 362 .i[rd4MCK 18.12 <esc>键 364 i3~"qbU%z[ 18.13 包含文件 365 B#RwW, 18.14 脚本被优化调用 366 okfGd=
& 18.15 脚本中的对话框 368 x8i;uH\8 18.15.1 介绍 368 n?vw|'(} 18.15.2 消息框-MsgBox 368 +cQGX5 K 18.15.3 输入框函数 370 q_eGY&M 18.15.4 自定义对话框 371 )N`a4p 18.15.5 对话框编辑器 371 0d!1;jy,T 18.15.6 控制对话框 377 m\>531& 18.15.7 更高级的对话框 380 tu}AJ 18.16 Types语句 384 ]-d:wEj 18.17 打开文件 385 CL{R.OA 18.18 Bags 387 4fPbwiKj 18.13 进一步研究 388 + yX\!H" 19 vStack 389 XQAdb"` 19.1 vStack基本原理 389 s@^(1g[w` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 '@)47]~ 19.3 五棱镜 393 40}qf}8n t 19.4 光束距离 396 !=j\pu}
Z 19.5 误差 399 InDISl] 19.6 二向分色棱镜 399 O,(p><k$/ 19.7 偏振泄漏 404 Rg3 Lo ? 19.8 波前误差—相位 405 |=H*" ( 19.9 其它计算参数 405 asT:/z0 20 报表生成器 406 P6,~0v(S 20.1 入门 406 //63?s+ 20.2 指令(Instructions) 406 x&qC~F*QR% 20.3 页面布局指令 406 rYUhGmg` 20.4 常见的参数图和三维图 407 'EFSr!+ 20.5 表格中的常见参数 408 K7 >Z)21 20.6 迭代指令 408 <Z%iP{ 20.7 报表模版 408 fx@Hd!nO~" 20.8 开始设计一个报表模版 409 *sI`+4h[ 21 一个新的project 413 C%8nr8po 21.1 创建一个新Job 414 J
[}8&sn 21.2 默认设计 415 .a._WZF 21.3 薄膜设计 416 X]6Hgz66 21.4 误差的灵敏度计算 420 EU?)AxH^ 21.5 显色指数计算 422 b~?FV>gl 21.6 电场分布 424 '"C$E922 后记 426 5 _X|U*+5 ['%]tWT9 有兴趣扫码联系 k$`~,LJ p
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