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6<f(Zv? I 内容简介 dKa2_|k' Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {~XnmBs 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Epm8S}6K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (?"z!dg c BteeQ&A|~ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 c Ze59 目录 f5/s+H! Preface 1 8U!$()^? 内容简介 2 Ms-)S7tMz 目录 i \[ 4y 1 引言 1 |n~,{= 2 光学薄膜基础 2 6r`Xi& 2.1 一般规则 2 Xx\,<8Xn 2.2 正交入射规则 3 al7D3J 2.3 斜入射规则 6 'c3'eJ0 2.4 精确计算 7 8fPTxvXqL 2.5 相干性 8 bc>&Qj2Z7c 2.6 参考文献 10 3{|]@ L 3 Essential Macleod的快速预览 10 4b6)+*[O 4 Essential Macleod的特点 32 8O[l[5u& 4.1 容量和局限性 33 A,3qjd,$ c 4.2 程序在哪里? 33 n+ k,:O5 4.3 数据文件 35 2HF`}H)H 4.4 设计规则 35 WADEDl&,' 4.5 材料数据库和资料库 37 )c532
y 4.5.1材料损失 38 @3bVjQ`4f 4.5.1材料数据库和导入材料 39 vb}c)w
dp? 4.5.2 材料库 41 ^sqzlF 4.5.3导出材料数据 43 %.HLO.A 4.6 常用单位 43 =T1Xfib 4.7 插值和外推法 46 q4,/RZhzh 4.8 材料数据的平滑 50 WuTkYiF 4.9 更多光学常数模型 54 _/Ay$l;F 4.10 文档的一般编辑规则 55 ;^|):x+O 4.11 撤销和重做 56 oe!4ng[ 4.12 设计文档 57 7OS i2 4.10.1 公式 58 Jm"W+! E 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 d1'= \PYr 4.10.3 沉积密度 59 P!!O~P 4.10.4 平行和楔形介质 60 \C4wWh-A 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 mc{W\H 4.10.4 性能 61 z#GSt
ZT 4.10.5 保存设计和性能 64 .K`n;lVs 4.10.6 默认设计 64 m;L3c(r. 4.11 图表 64 W>:MK-_J 4.11.1 合并曲线图 67 (!YJ:,!so 4.11.2 自适应绘制 68 WZh_z^rwn 4.11.3 动态绘图 68
eC L_c>3! 4.11.4 3D绘图 69 C
&y
2I 4.12 导入和导出 73 nq~fH(QY 4.12.1 剪贴板 73 cvhwd\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 UT[{NltH 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [(&aVHUj 4.13 背景 77 l}&2A*c. 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4t3>`x
7 4.15 生成Rugate 84 $1Zr.ERL|( 4.16 参考文献 91 IreY8.FND 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 LXPO@2QF 5.1 Jobs 92 0j8`M"6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 emB<{kOkw 5.3 输入材料 94 GSd:Plc% 5.4 设计数据文件夹 95 W1Ye+vg/s 5.5 默认设计 95 B]Ec 6 细化和合成 97 C[d1n#@r 6.1 优化介绍 97 N">#fYix 6.2 细化 (Refinement) 98 8si{|*;hL 6.3 合成 (Synthesis) 100 #M5d,%?+#[ 6.4 目标和评价函数 101 z4$9,p
` 6.4.1 目标输入 102 :R>RCR2g) 6.4.2 目标 103 TQ0ZBhd 6.4.3 特殊的评价函数 104 4^ U%` 1 6.5 层锁定和连接 104 PN:`SWP 6.6 细化技术 104 b#R$P]dr= 6.6.1 单纯形 105 {TdxsE> 6.6.1.1 单纯形参数 106 AjoIL 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 1&<o3)L: 6.6.2.1 Optimac参数 108 jicH 94#(] 6.6.3 模拟退火算法 109 \u))1zRd 6.6.3.1 模拟退火参数 109 lnm@DWhf 6.6.4 共轭梯度 111 lP*=4Jh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
|=![J? 6.6.5 拟牛顿法 112 GlRjbNW?Q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 b;#_?2c 6.6.6 针合成 113 ?mSZQF:d@ 6.6.6.1 针合成参数 114 *ZFF$0} 6.6.7 差分进化 114 hZ!kh3@:` 6.6.8非局部细化 115 *c&OAL] 6.6.8.1非局部细化参数 115 " Up(Vj@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 u0G
tzk 6.7.1 细化 116 p<}y'7( 6.7.2 合成 117 }xi?vAaTl 6.8 参考文献 117 d|9]E&;, 7 导纳图及其他工具 118 'J5F+,\Ka 7.1 简介 118 j+{cc: h"X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 -Fu,oEj{* 7.2.1 四分之一波长规则 119 Fq5u%S 7.2.2 导纳图 120 noEl+5uY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 $ #2<f 6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .kMnq8u 7.5 斜入射导纳图 141 9!Jt}n?!g 7.6 对称周期 141 Oh>hyY)} 7.7 参考文献 142 u86PTp+ 8 典型的镀膜实例 143 aDxNAfP
8.1 单层抗反射薄膜 145 '
i<4;=M& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 >goHQ30: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8oXp8CC 8.4 W-膜层 148 .Dl ?a>I 8.5 V-膜层 149 qu dY9_ 8.6 V-膜层高折射基底 150 r|jM; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 r<Cr)%z! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `Syfl^9B 8.9 四层抗反射薄膜 153 (2M00J-o 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _nEVmz!zg 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }Nwp{["}]L 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 O>a1S*mxP 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U{LS_VI~ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 *" C9F/R 8.15十五层宽带抗反射膜 159 -)3+/4Q( 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^FBu|eAkE 8.17 1/4波长堆栈 162 _)!*,\*`{ 8.18 陷波滤波器 163 Dj'?12Onu= 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &}7R\co3 8.20 褶皱 165 0GeL">v,:= 8.21 消偏振分光器1 169 VBF:MAA 8.22 消偏振分光器2 171 fjl9* 8.23 消偏振立体分光器 172 ->.9[|lIg 8.24 消偏振截止滤光片 173 #N>66!/V 8.25 立体偏振分束器1 174 "` cP V){] 8.26 立方偏振分束器2 177 3o/f, }_ 8.27 相位延迟器 178 VwZ~ntk 8.28 红外截止器 179 ; '
vkF 8.29 21层长波带通滤波器 180 D15-pz|Q 8.30 49层长波带通滤波器 181 B@0#*I
Rm 8.31 55层短波带通滤波器 182 % XZ&( 8.32 47 红外截止器 183 ztX$kX:_m 8.33 宽带通滤波器 184 |9IOZ>H9 8.34 诱导透射滤波器 186 NCG;`B`i 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^B}m~qT 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 qQG? k~r 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ag47 $9( 8.35 增益平坦滤波器 193 t8h*SHD9 8.38 啁啾反射镜 1 196 HiU)q 8.39 啁啾反射镜2 198 uL1lB@G@ 8.40 啁啾反射镜3 199 Zl3e=sg= 8.41 带保护层的铝膜层 200 CM++:Y vJ 8.42 增加铝反射率膜 201 |pWu|M _' 8.43 参考文献 202 HF_8661g 9 多层膜 204 hhZ%{lqL 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Ng*-Bw)p] 9.2 内部透过率 204 0'$67pY 9.3 内部透射率数据 205 Tq?Ai_
9.4 实例 206 L3xN#W;m7 9.5 实例2 210 % X %zK1 9.6 圆锥和带宽计算 212 =RRv&
"2r 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 U.P1KRY|= 10 光学薄膜的颜色 216 #G F.M,O/h 10.1 导言 216 Ew|Z<( 10.2 色彩 216 JW^ ${4 10.3 主波长和纯度 220 JJ_Z{ 10.4 色相和纯度 221 w?|qKO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 6Z J-oT!. 10.6 色差 226 M."/"hV`- 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 d4\JM 65 10.8 颜色渲染指数 234 )?(Ux1:w) 10.9 色差计算 235 .<z7$lz\ 10.10 参考文献 236 1v`|mU}i, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 l7^^MnkC 11.1 短脉冲 238 u^{p'a' 11.2 群速度 239 ux(~+<k 11.3 群速度色散 241 la-:"gKC 11.4 啁啾(chirped) 245 uK"FopUJ4i 11.5 光学薄膜—相变 245
wLqj<ot 11.6 群延迟和延迟色散 246 Sqb>aj 11.7 色度色散 246 !8[A;+o3P 11.8 色散补偿 249 GuU-<*u(d 11.9 空间光线偏移 256 Q. O4R_H 11.10 参考文献 258 ov,s]g83 12 公差与误差 260 5!qf{4j 12.1 蒙特卡罗模型 260 !'F1Ht 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 2672oFD 12.2.1 误差工具 267 {x,)OgK!{ 12.2.2 灵敏度工具 271 +ynhN\S$/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ui#nN 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .-tR <{
g 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Zf!Q4a" 12.3 参考文献 276 8_HBcZWs 13 Runsheet 与Simulator 277 zs
I?X>4 13.1 原理介绍 277 r1<*=Fs=>> 13.2 截止滤光片设计 277 +<[ q"3 14 光学常数提取 289 $Uy+]9
14.1 介绍 289
-WqhOZ 14.2 电介质薄膜 289 Q}lCQK/g 14.3 n 和k 的提取工具 295 f7Nmvla[q 14.4 基底的参数提取 302 ;iKtv+" 14.5 金属的参数提取 306 ly*v|(S& 14.6 不正确的模型 306 )/)u.$pi 14.7 参考文献 311 ]9/A=p?J@ 15 反演工程 313 L{F]uz_[x 15.1 随机性和系统性 313 @U5gxK* 15.2 常见的系统性问题 314 %?gG-R 15.3 单层膜 314 Tt~[hC
h 15.4 多层膜 314 SIrNZ^I 15.5 含义 319 fTy:Re 15.6 反演工程实例 319 Icg-rwa<Z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `+\$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Z@Q*An 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 g&2g>] 16.1 光学性质的热致偏移 329 T&pCLvkz 16.2 应力工具 335 ]9w)0iH 16.3 均匀性误差 339 _p0Yhju? 16.3.1 圆锥工具 339 \z !lw 16.3.2 波前问题 341 TA*}p=?6?! 16.4 参考文献 343 b=MW;]F 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^\O*e)#* 17.1 引言 345 >VIFQ\ 17.2 操作数 345 }>BNdm"Er 18 如何在Function中编写脚本 351 _yN5sLLyb 18.1 简介 351 W1"NKg~4 18.2 什么是脚本? 351 .p e3L7g 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 a}NB6E)- 18.4 基础 352 n8;L_43U 18.4.1 Classes(类别) 352 qfJ2iE|o2. 18.4.2 对象 352 f]%SFQ+ 18.4.3 信息(Messages) 352 8el6z2 18.4.4 属性 352 @~ke=w6&pe 18.4.5 方法 353 Fik;hB 18.4.6 变量声明 353 Ep./->fOA 18.5 创建对象 354 EEZ~Bs}d 18.5.1 创建对象函数 355 ,S`n?.&& 7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 BI)C\D3[ 18.5.3 丢弃对象 356 4lX_2QT]E 18.5.4 总结 356 #!O)-dyF 18.6 脚本中的表格 357 T>nH= 18.6.1 方法1 357 O8\f]!O( 18.6.2 方法2 357 &&C70+_po 18.7 2D Plots in Scripts 358 Q}B]b-c+E 18.8 3D Plots in Scripts 359 8h=m()Eu 18.9 注释 360 hizM}d-"C 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )GG9[%H! 18.11 一个更高级的脚本 362 N80ogio_Tk 18.12 <esc>键 364 nD
eVY K 18.13 包含文件 365 EL3X8H 18.14 脚本被优化调用 366 5Q8 H8!^
18.15 脚本中的对话框 368 ,iao56`E 18.15.1 介绍 368 +jB; 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !zOj`lx 18.15.3 输入框函数 370 [#@lsI 18.15.4 自定义对话框 371 X5.9~ 18.15.5 对话框编辑器 371 w#A\(z%;x 18.15.6 控制对话框 377 xOShO"4Z 18.15.7 更高级的对话框 380 yD& Y`f# 18.16 Types语句 384 NCi~. I 18.17 打开文件 385 2=K|kp5 18.18 Bags 387 !^F_7u@Q 18.13 进一步研究 388 BSHS)_xs 19 vStack 389 c$ib- 19.1 vStack基本原理 389 3^
UoK 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 tTTHQ7o*BD 19.3 五棱镜 393 4bL *7bA 19.4 光束距离 396 [sH3REE1h 19.5 误差 399 =6ru%.8U, 19.6 二向分色棱镜 399 8=Oym~ 19.7 偏振泄漏 404 LRu*%3xx 19.8 波前误差—相位 405 [5IbR9_ 19.9 其它计算参数 405 %eofG]VM< 20 报表生成器 406 %D#&RS 20.1 入门 406 &D{!zF 20.2 指令(Instructions) 406 9VTAs:0D= 20.3 页面布局指令 406 Ddq*}Pf0K 20.4 常见的参数图和三维图 407 cd1-2-4U 20.5 表格中的常见参数 408 !YGHJwW: 20.6 迭代指令 408 HM)D/CO,? 20.7 报表模版 408 w]qM
20.8 开始设计一个报表模版 409 Vv(buG 21 一个新的project 413 T\p>wiY2|F 21.1 创建一个新Job 414 #lqH/>`> 21.2 默认设计 415 ^(+q1O' 21.3 薄膜设计 416 <h9nt4F 21.4 误差的灵敏度计算 420 U{ 0~& 21.5 显色指数计算 422 ~xY"P)(x; 21.6 电场分布 424
G-1qxK 后记 426 _PPC?k{z! r3' DXP 有兴趣扫码联系 #'KM$l,P
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