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W dIr3 内容简介 RJBNY;0 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3+n&Ya1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fa<83<.D 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 PX]A1Kt? /*D]4AK 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 b?HW6Kfc 目录 Fnll&TF Preface 1 B;7L: 内容简介 2 tQ=U22&7 目录 i 6Y}#vZ 1 引言 1 >@TZYdl 2 光学薄膜基础 2 B.&q]CAv- 2.1 一般规则 2 ^dqyX( 2.2 正交入射规则 3 lza'l 2.3 斜入射规则 6 6S`eN\s 2.4 精确计算 7 :/Sx\Nz78 2.5 相干性 8 -V4@BKI8 2.6 参考文献 10 xj%h-@o6 3 Essential Macleod的快速预览 10 "p$`CUtI 4 Essential Macleod的特点 32 <R]?8L0{h 4.1 容量和局限性 33 dc%+f 4.2 程序在哪里? 33 DZLSn Ax 4.3 数据文件 35 na8A}\!< 4.4 设计规则 35 ULQ*cW&;? 4.5 材料数据库和资料库 37 jF-z? 4.5.1材料损失 38 >@y5R^B` 4.5.1材料数据库和导入材料 39 VN`2bp>5I 4.5.2 材料库 41 4-cnkv\~ 4.5.3导出材料数据 43 ? )0U!)tK 4.6 常用单位 43 &XgB-}^: 4.7 插值和外推法 46 H>_%ZXL 4.8 材料数据的平滑 50 uCUQxFp 4.9 更多光学常数模型 54 \Sg&Qv` 4.10 文档的一般编辑规则 55 Q1s`d?P/` 4.11 撤销和重做 56 my*UN_] 4.12 设计文档 57 m0un=>{ 4.10.1 公式 58 *"1]NAz+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 D!)'c(b 4.10.3 沉积密度 59 a.c2ScXG 4.10.4 平行和楔形介质 60 xN2{Vi{ad 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 _=4Dh/Dv 4.10.4 性能 61 1 ht4LRFi 4.10.5 保存设计和性能 64 g-')|0py 4.10.6 默认设计 64 l+YpRx/T\ 4.11 图表 64 s u![ST( 4.11.1 合并曲线图 67 JUwP<C[ 4.11.2 自适应绘制 68 hDVD@b 4.11.3 动态绘图 68 w*Kw#m'U 4.11.4 3D绘图 69 \?
MuORg 4.12 导入和导出 73 ,:;nq> ; 4.12.1 剪贴板 73 T6AFwo,Q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 u%h]k ,(E 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Rn-L:o@?
4.13 背景 77 G^ n|9)CVW 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 AO/J:` 4.15 生成Rugate 84 #M{}Grg 4.16 参考文献 91 f+L )x 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 jd(=? !_ 5.1 Jobs 92 G7zfyw}W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 "FG6R' 5.3 输入材料 94 hQHV]xW 5.4 设计数据文件夹 95 <}i\fJX6 5.5 默认设计 95 3H4p$\;C 6 细化和合成 97 zjVb+Z\n 6.1 优化介绍 97 =EV8~hMyqh 6.2 细化 (Refinement) 98 0]i#1Si~@ 6.3 合成 (Synthesis) 100 C5;"mo- 6.4 目标和评价函数 101 V3F2Z_VH2 6.4.1 目标输入 102 uQpV1o5iA 6.4.2 目标 103 M|Z]B<_x 6.4.3 特殊的评价函数 104 >I!dJH/gj 6.5 层锁定和连接 104 7J0PO}N 6.6 细化技术 104 ` LU&]NS3 6.6.1 单纯形 105 )[%#HT 6.6.1.1 单纯形参数 106 l^"gpO${K 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 !cWKY\lpv 6.6.2.1 Optimac参数 108 _3kAN.g 6.6.3 模拟退火算法 109 I /> .P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ))306*X\ 6.6.4 共轭梯度 111 |%b' L.$4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 p/SJt0 6.6.5 拟牛顿法 112 !aIIjWz] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #?8'Z/1) 6.6.6 针合成 113 Pm"
,7 6.6.6.1 针合成参数 114 5n?fZ?6( 6.6.7 差分进化 114 Lo9+#ITyx 6.6.8非局部细化 115 5TzMv3;in2 6.6.8.1非局部细化参数 115 u~a<Psp&| 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =Z%&jul 6.7.1 细化 116 5k<HO _] 6.7.2 合成 117 Hyc19| 6.8 参考文献 117 CX\#
|Q8q 7 导纳图及其他工具 118 $yc&f(Tv 7.1 简介 118 Nu|?s- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6VCw>x 7.2.1 四分之一波长规则 119 `[Z?&'CRQ 7.2.2 导纳图 120 5b|_?Em7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 njvmf*A?S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ) ~ C)4 7.5 斜入射导纳图 141 8 I,(\<Xv 7.6 对称周期 141 9SMM%(3, r 7.7 参考文献 142 ?XW+&!ar 8 典型的镀膜实例 143 X8?|5$Ey 8.1 单层抗反射薄膜 145 [+ 1([# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 kw?RUt0-V 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 S(/@.gI:f 8.4 W-膜层 148 [(UQQa=+ 8.5 V-膜层 149 .B>|>W O 8.6 V-膜层高折射基底 150 rd. "mG. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 VZw( "a*TB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @HaWd3 8.9 四层抗反射薄膜 153 r ZGA9duy 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #YhKAG@| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /C3=-Hp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^c.b@BE 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <>2QDI6_ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 A}[Lk#|n 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =:9n+7~$
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 (Tc ~ 8.17 1/4波长堆栈 162 C^l)n!fq 8.18 陷波滤波器 163 -+?0|>Nh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Vv6xVX 8.20 褶皱 165 $mp7IZE| 8.21 消偏振分光器1 169 ib uA~\5 8.22 消偏振分光器2 171 aJIj%Y$ 8.23 消偏振立体分光器 172 b!_l(2 8.24 消偏振截止滤光片 173 >8jDW "Ua 8.25 立体偏振分束器1 174 ~hP[[? 8.26 立方偏振分束器2 177 !)_5 z< 8.27 相位延迟器 178 ^3AJYu 8.28 红外截止器 179 .r]n< 8.29 21层长波带通滤波器 180 }1Wo#b+ 8.30 49层长波带通滤波器 181 0D0 #*J 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;?%2dv2d 8.32 47 红外截止器 183 PMkwY{.u 8.33 宽带通滤波器 184 @AVx4,!>[ 8.34 诱导透射滤波器 186 d|DIqT~{W 8.35 诱导透射滤波器2 188 Zw"6-h4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 bncK8SK 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }{E//o:Ta 8.35 增益平坦滤波器 193 zXZy:SD 8.38 啁啾反射镜 1 196 )mwY]
! 8.39 啁啾反射镜2 198 rA{h/T" 8.40 啁啾反射镜3 199 kZF\V7k 8.41 带保护层的铝膜层 200 u%v^(9z 8.42 增加铝反射率膜 201 v }P~g 8.43 参考文献 202
xAz gQ 9 多层膜 204 ^<sX^V+{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,gD30Pylz 9.2 内部透过率 204 cF,u)+2b|6 9.3 内部透射率数据 205 [o|]>(tk 9.4 实例 206 Ya\G/R 9.5 实例2 210 t41\nTZr 9.6 圆锥和带宽计算 212 x-Xb4?{ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (;Lz`r' 10 光学薄膜的颜色 216 L{
.r8wSrI 10.1 导言 216 VwtGHF' 10.2 色彩 216 o)1wF
X 10.3 主波长和纯度 220 I~4`NV0 10.4 色相和纯度 221 bYG}CO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 FKL}6W: 10.6 色差 226 %'^m6^g; 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 RTF{<,E.UX 10.8 颜色渲染指数 234 REFisH- 10.9 色差计算 235 gU+BRTZ&x 10.10 参考文献 236 R Af+%h* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 gxt2Mq;q~} 11.1 短脉冲 238 *Q51'?y 11.2 群速度 239 15 nc 11.3 群速度色散 241 7e}p:Vfp 11.4 啁啾(chirped) 245 &+%CC 11.5 光学薄膜—相变 245 P`U5kNN 11.6 群延迟和延迟色散 246 ub.pJJlC 11.7 色度色散 246 d7KeJ$xy}p 11.8 色散补偿 249 Z AZQFr'* 11.9 空间光线偏移 256 XXe7w3x{ 11.10 参考文献 258 S7N54X2JwL 12 公差与误差 260 )
e;F@o3 12.1 蒙特卡罗模型 260 nJ2l$J< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 U.>n]/& 12.2.1 误差工具 267 rr9HC]63 12.2.2 灵敏度工具 271 Q5 ohaxjF 12.2.2.1 独立灵敏度 271 E7*1QR{Q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 eaF5S'k 4$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Wy4v~]xd% 12.3 参考文献 276 HJ_xg6.x 13 Runsheet 与Simulator 277 73N%_8DH 13.1 原理介绍 277 7d'@Z2%J0 13.2 截止滤光片设计 277 |k?,4
Pk 14 光学常数提取 289 x-%nnC6e 14.1 介绍 289 ;5y!,OF6 14.2 电介质薄膜 289 ;&:UxmTf 14.3 n 和k 的提取工具 295 }8x[ 14.4 基底的参数提取 302 EHo"y.ODg 14.5 金属的参数提取 306 2hU4g
e?6 14.6 不正确的模型 306 b\^ Sz{ 14.7 参考文献 311 eZ
]6Q 15 反演工程 313 q{KRM\ooYs 15.1 随机性和系统性 313 fI"`[cA"] 15.2 常见的系统性问题 314 V|b?H6Q 15.3 单层膜 314 hA/FK 15.4 多层膜 314 ~(hmiNa; 15.5 含义 319 {/B) YR 15.6 反演工程实例 319 I-;JDC? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5HOhk"
15.6.2 反演工程提取折射率 327 (y(V,kXwa8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 JziMjR 16.1 光学性质的热致偏移 329 Fb-NG.Z# 16.2 应力工具 335 tx5@r; 16.3 均匀性误差 339 NPf,9c; 16.3.1 圆锥工具 339 :()4eK/\ 16.3.2 波前问题 341 E}"&?oY 16.4 参考文献 343 ?]paAP;4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 1X#`NUJ?2 17.1 引言 345 C ,fIwqOr3 17.2 操作数 345 ~ZvZk 18 如何在Function中编写脚本 351 /md`tqI>i< 18.1 简介 351 @&h<jM{D 18.2 什么是脚本? 351 eeL%Yp3+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 PT\5P&2o@ 18.4 基础 352 9)f1CC] 18.4.1 Classes(类别) 352 3&2,[G04 18.4.2 对象 352 b<:s{f"t, 18.4.3 信息(Messages) 352 ;>Z#1~8 18.4.4 属性 352 hXMC!~Th 18.4.5 方法 353 #!,xjd 18.4.6 变量声明 353 QP\vN|r 18.5 创建对象 354 !)LR41>? 18.5.1 创建对象函数 355 qTffh{q V 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 l(&CO<4q? 18.5.3 丢弃对象 356 <`MHra8 18.5.4 总结 356 .h7b 4J 18.6 脚本中的表格 357 a"WnBdFZ 18.6.1 方法1 357 @br%:Nt 18.6.2 方法2 357 y`(z_5ClT 18.7 2D Plots in Scripts 358 gHox{*hb[ 18.8 3D Plots in Scripts 359 G& |