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9;E=w+ 内容简介 kAki9a(=! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .T|
}rB<c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Bq q=2lj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Oynb"T&8 x HRSzYn$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日
c0oHE8@ 目录 *doNPp)m Preface 1 ={qcDgn~C 内容简介 2 c0qp-=^&. 目录 i 5(3O/C{?~ 1 引言 1 qt@L&v}~j 2 光学薄膜基础 2 cHs3:F~~ 2.1 一般规则 2 `(e :H 2.2 正交入射规则 3 1(
pHC 2.3 斜入射规则 6 lW+mH= 2.4 精确计算 7 $[ {5+ * 2.5 相干性 8 LeKovt% 2.6 参考文献 10 a=iupXre9 3 Essential Macleod的快速预览 10 JVZ-nHf(9 4 Essential Macleod的特点 32 E}@C4pS 4.1 容量和局限性 33 IH]9%d) 4.2 程序在哪里? 33 *'%V}R[> 4.3 数据文件 35 %FO{:@CH 4.4 设计规则 35 (l{vlFWd 4.5 材料数据库和资料库 37 TNX9Z)=>g 4.5.1材料损失 38 UUah5$Iy 4.5.1材料数据库和导入材料 39 YW7W6mWspS 4.5.2 材料库 41 #z\ub5um 4.5.3导出材料数据 43 dzf2`@8# 4.6 常用单位 43 dY*q[N/pO 4.7 插值和外推法 46 x:Y9z_)O 4.8 材料数据的平滑 50 (WM3(US| 4.9 更多光学常数模型 54 C]`uC^6g 4.10 文档的一般编辑规则 55 {/'T:n# 4.11 撤销和重做 56 |=?#Xbxz 4.12 设计文档 57 +iVEA(0&$
4.10.1 公式 58 p3Sh%=HE' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 :E:e ^$p 4.10.3 沉积密度 59 I6>J.6luF9 4.10.4 平行和楔形介质 60 p_FM 2K7! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 JJ?{V: 4.10.4 性能 61 g@.$P>Bh 4.10.5 保存设计和性能 64 #[93$)Gd! 4.10.6 默认设计 64 k]b*&.EY1 4.11 图表 64 *ByHTd 4.11.1 合并曲线图 67 v}B%:1P4 4.11.2 自适应绘制 68 S;|:ci<[= 4.11.3 动态绘图 68 vQAFg G 4.11.4 3D绘图 69 ^h(wi`i 4.12 导入和导出 73 !l:GrT8J 4.12.1 剪贴板 73 e+
xQ\LH 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $|K
d<wv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ><V*`{bD9) 4.13 背景 77 Dl,QCZeM 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %y1!'R:ZW 4.15 生成Rugate 84 d*(aue= 4.16 参考文献 91 K,b
M9>} 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 YeH!v, > 5.1 Jobs 92 ?jx]%n fV 5.2 创建一个新Job(工作) 93 &Y@i:O 5.3 输入材料 94 8|u4xf< 5.4 设计数据文件夹 95 HU3:6R& 5.5 默认设计 95 N8<J'7% 6 细化和合成 97 _;lw,;ftA 6.1 优化介绍 97 Oy6fl'FIt 6.2 细化 (Refinement) 98 _fAgp_) 6.3 合成 (Synthesis) 100 Zt=|q$" 6.4 目标和评价函数 101 R4?>C-; 6.4.1 目标输入 102 kaG/8G( 6.4.2 目标 103 NBikYxa 6.4.3 特殊的评价函数 104 h
><Sp*z_V 6.5 层锁定和连接 104 LPk@t^[ 6.6 细化技术 104 TP }a9-9? 6.6.1 单纯形 105 36d nS>4 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]9@:7d6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 &|yLTx 6.6.2.1 Optimac参数 108 @AyteHK
6.6.3 模拟退火算法 109 /{M<FVXK+| 6.6.3.1 模拟退火参数 109 O-iE 0t 6.6.4 共轭梯度 111 >{#JIG. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 |tXA$}"L8 6.6.5 拟牛顿法 112 wxN)dB 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 "oP^2|${ 6.6.6 针合成 113 tbrU>KCBD 6.6.6.1 针合成参数 114 v.0qE}'
| 6.6.7 差分进化 114 o%d
TcoCN 6.6.8非局部细化 115 @]\fO)\f 6.6.8.1非局部细化参数 115 Fs+tcr/\[ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 QX,$JM3 6.7.1 细化 116 G0FzXtu)q 6.7.2 合成 117 BK$y>=
` 6.8 参考文献 117 j3-YZKpg 7 导纳图及其他工具 118 n1[c\1 7.1 简介 118 b)wcGBS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 m5Bf<E,c 7.2.1 四分之一波长规则 119 JsEJ6!1 7.2.2 导纳图 120 sdp&D@ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ?R`S- 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 2TK \pfD 7.5 斜入射导纳图 141 ts]e M1; 7.6 对称周期 141 lExQp2E 7.7 参考文献 142 KE?t?p 8 典型的镀膜实例 143 AFLtgoXn: 8.1 单层抗反射薄膜 145 r]B8\5|<d 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 CH++3i2& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 JK,MK| 8.4 W-膜层 148 n#_B4UqW% 8.5 V-膜层 149 hpdI5 8.6 V-膜层高折射基底 150
}{0}$#zu 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 qF)J#$4;6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 =H95?\}T[ 8.9 四层抗反射薄膜 153 C6+ 5G-Z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 P^Hgm 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Q*M# e 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 T,38Pu@r 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ,EqQU| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 VQ= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5Cf!NNV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 sz7*x{E 8.17 1/4波长堆栈 162 CEfqFn3^ 8.18 陷波滤波器 163 UmKE]1Yw4r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L!f~Am:# 8.20 褶皱 165 MT6p@b5 8.21 消偏振分光器1 169 "8za'@D"f 8.22 消偏振分光器2 171 .1QGNW 8.23 消偏振立体分光器 172 pn" !wqg 8.24 消偏振截止滤光片 173 q<RjAi 8.25 立体偏振分束器1 174 @2(u=E: ^ 8.26 立方偏振分束器2 177 uWS]l[Ga 8.27 相位延迟器 178 sG g458 8.28 红外截止器 179 ;`AB- 8.29 21层长波带通滤波器 180 >a3m!`lq 8.30 49层长波带通滤波器 181 n,T
&n 8.31 55层短波带通滤波器 182 e02Hf{eOfw 8.32 47 红外截止器 183 HcRw9,I' 8.33 宽带通滤波器 184 7w
)?s@CD 8.34 诱导透射滤波器 186 S!K<kn`E3 8.35 诱导透射滤波器2 188 0aT:Gy; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =4TQ*;V: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ~M~DH-aX 8.35 增益平坦滤波器 193 z']6C9m} 8.38 啁啾反射镜 1 196 aZZ0eH 8.39 啁啾反射镜2 198 fy+5i^{= 8.40 啁啾反射镜3 199 18$d-[hX 8.41 带保护层的铝膜层 200 "LlpZtw 8.42 增加铝反射率膜 201 j26i+Z 8.43 参考文献 202 n%Oi~7> 9 多层膜 204 5Fy dh0. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 n"iS[uj, 9.2 内部透过率 204 #p+iwW- 9.3 内部透射率数据 205 gUiO66#x 9.4 实例 206 C-pR$WM:HN 9.5 实例2 210 ~[H8R|j " 9.6 圆锥和带宽计算 212 7i5B=y7b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 5(~Lr3v0 10 光学薄膜的颜色 216 XtCIUC{r, 10.1 导言 216 (bm^R-SbB 10.2 色彩 216 @$slGY 10.3 主波长和纯度 220 $S>'0mL 10.4 色相和纯度 221 9J:|"@)N 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 dv+Gv7&2/ 10.6 色差 226 Mi]^wCF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 F .S^KK 10.8 颜色渲染指数 234 r8"2C# 10.9 色差计算 235 bvD}N<>3N 10.10 参考文献 236 %oBP6|e 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [kg^S`gc# 11.1 短脉冲 238 u|KjoO
11.2 群速度 239 8Z!%rS 11.3 群速度色散 241 08\w!!a: 11.4 啁啾(chirped) 245 ,#;hI{E 11.5 光学薄膜—相变 245 (]w6q&, 11.6 群延迟和延迟色散 246 eA N{BPN[ 11.7 色度色散 246 y\v#qFVOZ 11.8 色散补偿 249 H*]Vs=1 11.9 空间光线偏移 256 re*Zs}(N\ 11.10 参考文献 258 <zCWLj3 12 公差与误差 260 GR|\OJ<2 12.1 蒙特卡罗模型 260 B/X$ZQ0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 $SQ$2\iC 12.2.1 误差工具 267 R;HE{q[ f 12.2.2 灵敏度工具 271 *iB&tWv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,^bgk
-x- 12.2.2.2 灵敏度分布 275 5mamWPw 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Cab-:2L] 12.3 参考文献 276 'p5M|h\:T 13 Runsheet 与Simulator 277 GZO:lDdA 13.1 原理介绍 277 WIU]>_$. 13.2 截止滤光片设计 277 pW+uVv, 14 光学常数提取 289 ;_\yg)X, 14.1 介绍 289 h: yJ 14.2 电介质薄膜 289 D%+yp 14.3 n 和k 的提取工具 295 !aSj1
2J 14.4 基底的参数提取 302 /KvJjt'8 14.5 金属的参数提取 306 .I_atv 14.6 不正确的模型 306 ezw*Lo! 14.7 参考文献 311 =rymd3/ 15 反演工程 313 x8aOXN#w} 15.1 随机性和系统性 313 ?OW!D? 15.2 常见的系统性问题 314 ]Ea-MeH 15.3 单层膜 314 CUJq [ 15.4 多层膜 314 )l9KDObis 15.5 含义 319 4Q !A w 15.6 反演工程实例 319 , >aa2 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 jyD~ER}J 15.6.2 反演工程提取折射率 327 -ED}
6E 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /"J 6``MV 16.1 光学性质的热致偏移 329 U[MeK)* 16.2 应力工具 335 a4UwhbH 16.3 均匀性误差 339 \ Bj{.jL 16.3.1 圆锥工具 339 u<8b5An; 16.3.2 波前问题 341 %}(`? 16.4 参考文献 343 $y6 <2w%b 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 A|LO!P,w 17.1 引言 345 n
UmyPQ~ 17.2 操作数 345 I?Iz5e- 18 如何在Function中编写脚本 351 -E1-(TS 18.1 简介 351 WzstO}?P( 18.2 什么是脚本? 351 |8f }3R 9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,c:NdY(,) 18.4 基础 352 )!v"(i.5Xo 18.4.1 Classes(类别) 352 ~*bfS}F8I 18.4.2 对象 352 7d
R?70Sz 18.4.3 信息(Messages) 352 `Pc6
G*p 18.4.4 属性 352 W8 Ssv 18.4.5 方法 353 1J0gjO)AZ 18.4.6 变量声明 353 {U2AAQSa 18.5 创建对象 354 mt+i0PIfj 18.5.1 创建对象函数 355 !-tw 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Zb2pZhkW 18.5.3 丢弃对象 356 s.p>
?U 18.5.4 总结 356 O)`L(
x 18.6 脚本中的表格 357 Xk.OyQ@ 18.6.1 方法1 357 ;@=3
@v 18.6.2 方法2 357 |l8=z*v< |