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$uVHSH5l 内容简介 B[?Ng}<g` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 c<Tf
2]vZE 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ;85>xHK 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &d^m 1 8'io$6d= 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 TKmf+ZT*r 目录 yYA$I'Bm\ Preface 1 M%P:n/j 内容简介 2 >U27];}y 目录 i tl^9WG 1 引言 1 $B5aje}i 2 光学薄膜基础 2 w+u3*/Zf 2.1 一般规则 2 ,R*
]>' 2.2 正交入射规则 3 M!D3 }JRm 2.3 斜入射规则 6 U8n V[ 2.4 精确计算 7 cU!vsdR3 2.5 相干性 8 S3Xl 2.6 参考文献 10 ope^~+c~\ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Z o(rTCZX 4 Essential Macleod的特点 32 v;D~Pa 4.1 容量和局限性 33 @Z:l62l=bE 4.2 程序在哪里? 33 @Qt{jI! 4.3 数据文件 35 ')<hON44EX 4.4 设计规则 35 \xw5JGm 4.5 材料数据库和资料库 37 K_Eux rPn 4.5.1材料损失 38 *#+An<iT ; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7Kxp=-k 4.5.2 材料库 41 Yufc{M00 4.5.3导出材料数据 43 59;KQ 4.6 常用单位 43 T%*D~=fQ' 4.7 插值和外推法 46 ":QZy8f9% 4.8 材料数据的平滑 50 tJ$_lk
~6q 4.9 更多光学常数模型 54 U-tTW*[1] 4.10 文档的一般编辑规则 55 bdE[;+58 4.11 撤销和重做 56 4zFW-yy 4.12 设计文档 57 m
GYoM 4.10.1 公式 58 gT6jYQ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 8$Y9ORs4 4.10.3 沉积密度 59 QD]6C2j* 4.10.4 平行和楔形介质 60 Vp@?^imL 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 88wa7i* 4.10.4 性能 61 _L=h0H l 4.10.5 保存设计和性能 64 YNsJZnGr8# 4.10.6 默认设计 64 r$s Qf&= 4.11 图表 64 4ID5q~ 4.11.1 合并曲线图 67 ' %o#q6O 4.11.2 自适应绘制 68 HY:7? <r 4.11.3 动态绘图 68 or}[h09qA 4.11.4 3D绘图 69 sdw(R#GE 4.12 导入和导出 73 9V*qQS5<p 4.12.1 剪贴板 73 m^;f(IK5 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )bscBj@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 /aZ`[m2 4.13 背景 77 M[,@{u/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 -m~#Bq 4.15 生成Rugate 84 onxLyx|A 4.16 参考文献 91 ge8ZsaiU 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 draN0vf 5.1 Jobs 92 9InVQCf2J 5.2 创建一个新Job(工作) 93 T1=fNF 5.3 输入材料 94 s?L 5.4 设计数据文件夹 95 Z"fJ`-- 5.5 默认设计 95 VRB;$ 6 细化和合成 97 v):Or'$~M 6.1 优化介绍 97 -PR N:'T 6.2 细化 (Refinement) 98 {F.[&/A 6.3 合成 (Synthesis) 100 >e$PP8&i_T 6.4 目标和评价函数 101 86F1.ve 6.4.1 目标输入 102 I9ep`X6Y 6.4.2 目标 103 4@ai6,< 6.4.3 特殊的评价函数 104 gc$l^`+M 6.5 层锁定和连接 104 U&p${IcEm 6.6 细化技术 104 JT_ `.( 6.6.1 单纯形 105 -6B4sZpzD 6.6.1.1 单纯形参数 106 =Jb>x#Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9q~s}='" 6.6.2.1 Optimac参数 108 c9h6C 6.6.3 模拟退火算法 109 6(ol1
(U 6.6.3.1 模拟退火参数 109 l2Rb\4 6.6.4 共轭梯度 111 z-)O9PV 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 |@4' <4t 6.6.5 拟牛顿法 112 20Wg=p9L 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^k9I(f^c-_ 6.6.6 针合成 113 @E|}Y 6.6.6.1 针合成参数 114 eehb1L2(b 6.6.7 差分进化 114 {R6ZKB 6.6.8非局部细化 115 <7jW_R@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 g3y+&Y_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I
b5rqU\ 6.7.1 细化 116 j&qub_j"xX 6.7.2 合成 117 TarY|P7_ 6.8 参考文献 117 tY4;F\e2|A 7 导纳图及其他工具 118 Rnq7LGy 7.1 简介 118 {bY%# m 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 i=2N;sAl 7.2.1 四分之一波长规则 119
[/8%3 7.2.2 导纳图 120 l+^*LqEW2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 b d!Y\OD 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 d/~9&wLSb 7.5 斜入射导纳图 141 DSn_0D 7.6 对称周期 141 hp|YE'uYT 7.7 参考文献 142 L.JT[zOfb 8 典型的镀膜实例 143 b4N[)%@ 8.1 单层抗反射薄膜 145 IW] rb/H 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 3/eca 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 fe_5LC" 8.4 W-膜层 148 6.yu-xm 8.5 V-膜层 149 ;9QEK]@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 }Jj}%XxKs 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @f3E`8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;
BHtCuY 8.9 四层抗反射薄膜 153 KoT%Mfu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {E|$8)58i 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^} >w<'0 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5\VWC I 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 DZtsy!xA 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 a0)QH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 DkDmE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 7WzxA=*# 8.17 1/4波长堆栈 162 s6`?LZ0(z 8.18 陷波滤波器 163 j^RmrOg, 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 [j+sC* 8.20 褶皱 165 PLBrP 8.21 消偏振分光器1 169 a/xn'"eli 8.22 消偏振分光器2 171 MkXmA`cP 8.23 消偏振立体分光器 172 c'\dFb9a 8.24 消偏振截止滤光片 173 SNk=b6`9 8.25 立体偏振分束器1 174 Z6MO^_m2 8.26 立方偏振分束器2 177 QS;f\'1bb 8.27 相位延迟器 178 'i|YlMFI g 8.28 红外截止器 179 /PXzwP_(A 8.29 21层长波带通滤波器 180 ,f?*{Q2 8.30 49层长波带通滤波器 181 tw)mepwB 8.31 55层短波带通滤波器 182 }3WxZv]I} 8.32 47 红外截止器 183 Ar#(psU 8.33 宽带通滤波器 184 +G>\-tjSD 8.34 诱导透射滤波器 186 @d1Q"9}B 8.35 诱导透射滤波器2 188 S~G]~gt 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 - " 9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 4Ftu 8.35 增益平坦滤波器 193 <<O$ G7c 8.38 啁啾反射镜 1 196 R`-S/C 8.39 啁啾反射镜2 198 <qt|d& 8.40 啁啾反射镜3 199 C\hM =% 8.41 带保护层的铝膜层 200 &_8947 8.42 增加铝反射率膜 201 1s;Saq+ 8.43 参考文献 202 _Y m2/3! 9 多层膜 204 {Qj~M<@3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (S Yln>o 9.2 内部透过率 204 Bk{]g=DO 9.3 内部透射率数据 205 SUK?z!f<i 9.4 实例 206 {?7Uj 9.5 实例2 210 %E;'ln4h&, 9.6 圆锥和带宽计算 212 %mgE;~"& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;8 lfOMf 10 光学薄膜的颜色 216 m+$VVn3Z} 10.1 导言 216 XL/u#EA0< 10.2 色彩 216 kD"{g#c 10.3 主波长和纯度 220 $<[79al# 10.4 色相和纯度 221 }c:M^Ff 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 WUTowr 10.6 色差 226 ?+8\.a! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3=V&K- 10.8 颜色渲染指数 234 ql~J8G9 10.9 色差计算 235 +1!ia] 10.10 参考文献 236 o^wqFX(Y 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 2MK-5Kg 11.1 短脉冲 238 O^rD HFj, 11.2 群速度 239 u)Whr@m 11.3 群速度色散 241 `">= 11.4 啁啾(chirped) 245 `kSZX:=}; 11.5 光学薄膜—相变 245 4Wp=y 11.6 群延迟和延迟色散 246 hgE71H\s 11.7 色度色散 246 ZYNsHcTY 11.8 色散补偿 249 -trkA'ewZ 11.9 空间光线偏移 256 2st3 11.10 参考文献 258 b\,+f n 12 公差与误差 260 yaX
iE_. 12.1 蒙特卡罗模型 260 EKN~H$. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]eV8b*d6 12.2.1 误差工具 267 r:
:b 12.2.2 灵敏度工具 271 tO&^>&;5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 X5w$4Kj&4l 12.2.2.2 灵敏度分布 275 A]3k4DLYS 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 cidP|ie^ 12.3 参考文献 276 iN.n8MN=I 13 Runsheet 与Simulator 277 \
B%+fw 13.1 原理介绍 277 TkF[x%o 13.2 截止滤光片设计 277 Pc]HP 14 光学常数提取 289 1xx}~|F?| 14.1 介绍 289 W}ofAkF 14.2 电介质薄膜 289 u$`a7Lp,n 14.3 n 和k 的提取工具 295 BFt> 9x]T 14.4 基底的参数提取 302 NX&_p!_V 14.5 金属的参数提取 306 wdoR%b{M 14.6 不正确的模型 306 -I%5$`z 14.7 参考文献 311 gI`m.EH}}N 15 反演工程 313 *=xr-!MEk 15.1 随机性和系统性 313 ?r!o~|9| 15.2 常见的系统性问题 314 2>59q$| 15.3 单层膜 314 og>uj>H& 15.4 多层膜 314 R^e'}+Z 15.5 含义 319 2t1ZIyv3D 15.6 反演工程实例 319 -7|H}!DFT 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 iJ|uvPCE 15.6.2 反演工程提取折射率 327 MfkN]\Jyw 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 UL9n-M= 16.1 光学性质的热致偏移 329 $NO&YLS@ 16.2 应力工具 335 HOJV,9v N 16.3 均匀性误差 339 . 'yCw#f 16.3.1 圆锥工具 339 P+HXn8@ 16.3.2 波前问题 341 `QY)!$mUIF 16.4 参考文献 343 d0 /#nz 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Ht&YC<X 17.1 引言 345 LXCx~;{\
17.2 操作数 345 kvj#c 18 如何在Function中编写脚本 351 9Gz=lc[!7 18.1 简介 351 xd0 L{ue. 18.2 什么是脚本? 351 >KKMcTOYY 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {f p[BF 18.4 基础 352 hFBe,'3M 18.4.1 Classes(类别) 352 e8b:)"R 18.4.2 对象 352 ,"0:3+(8; 18.4.3 信息(Messages) 352 Yz93'HDB 18.4.4 属性 352 @|T'0_' 18.4.5 方法 353 h@wgd~X9 18.4.6 变量声明 353 pmYHUj
# 18.5 创建对象 354 rU(+T0t?I 18.5.1 创建对象函数 355 uXl3k:_n 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 f|oh.z_R 18.5.3 丢弃对象 356 ~7Ux@Sx; 18.5.4 总结 356 .5{ab\_af 18.6 脚本中的表格 357 p{dj~ &v 18.6.1 方法1 357 GsM<2@? 18.6.2 方法2 357 mB)bcuPv 18.7 2D Plots in Scripts 358 1yY0dOoLG) 18.8 3D Plots in Scripts 359 @9|hMo 18.9 注释 360 T&7qC=E#5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8Xs8A. 18.11 一个更高级的脚本 362 |
VDV<g5h 18.12 <esc>键 364 r#mx~OVkk 18.13 包含文件 365 #A8sLkY 18.14 脚本被优化调用 366 ( &x['IR 18.15 脚本中的对话框 368 sW8dPw
O 18.15.1 介绍 368 r9G>jiw8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Ny)X+2Ae 18.15.3 输入框函数 370 Z;)%%V%o 18.15.4 自定义对话框 371 &PtJ$0%q 18.15.5 对话框编辑器 371 ZqO^f*F>h 18.15.6 控制对话框 377 zT-_5uZQ 18.15.7 更高级的对话框 380 y1L,0 ] 18.16 Types语句 384 ,5<Cd,`* 18.17 打开文件 385 BTrn0 18.18 Bags 387 ,~W|]/b<q 18.13 进一步研究 388 |#N& |