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?&pjP,a 内容简介 8L9xP'[^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 b~y1'|}g 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 sq*d?<:3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |wQ|h$| }<9*eAn` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 u&mB;:& 目录 218ZUg -a Preface 1 n$F&gx'^ 内容简介 2 Jou~>0,/j 目录 i HhH[p E 1 引言 1 l;b5 v]~ 2 光学薄膜基础 2 LoPWho[8 2.1 一般规则 2 ''s]6Jjw 2.2 正交入射规则 3 GG/~)^VMe 2.3 斜入射规则 6 A d=NJhzl 2.4 精确计算 7 \\Fl,' 2.5 相干性 8 l5l:'EY> 2.6 参考文献 10 (S&X??jfB5 3 Essential Macleod的快速预览 10 M%/ML=eLi 4 Essential Macleod的特点 32 q]`XUGC 4.1 容量和局限性 33 "AS;\-Jk 4.2 程序在哪里? 33 ]Z&2 4.3 数据文件 35 &JVe-. 4.4 设计规则 35 "9Sxj 4.5 材料数据库和资料库 37 OAEJ?ik 4.5.1材料损失 38 H
:}|UW 4.5.1材料数据库和导入材料 39 #O7|&DqF{ 4.5.2 材料库 41 A?06fo, 4.5.3导出材料数据 43 {()8 Wr 4.6 常用单位 43 C6Ap
4 4.7 插值和外推法 46 Ps4spy0Fp 4.8 材料数据的平滑 50 A84I*d 4.9 更多光学常数模型 54 ,/BBG\mJ 4.10 文档的一般编辑规则 55 5Y"JRWC 4.11 撤销和重做 56 hug8Hhf_& 4.12 设计文档 57 uZ&,tH/ 4.10.1 公式 58 =mxmJFA 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 C%85Aq* 4 4.10.3 沉积密度 59 ~T|?!zML 4.10.4 平行和楔形介质 60 sF:3|Yy0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 |
y\B*P 4.10.4 性能 61 l'fUa 4.10.5 保存设计和性能 64 vZ\~+qV,A 4.10.6 默认设计 64 Ratg!l|'- 4.11 图表 64 %u-l6<w#R 4.11.1 合并曲线图 67 v<,?%(g)7 4.11.2 自适应绘制 68 P
1X8 4.11.3 动态绘图 68 v[T5D: 4.11.4 3D绘图 69 iEux`CcJ. 4.12 导入和导出 73 $5z
O=` 4.12.1 剪贴板 73 [R iCa 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
"<SK=W 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 _'JKPD[ 4.13 背景 77 bEfxu;Su3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 )zkk%mE/IM 4.15 生成Rugate 84 eNY$N_P 4.16 参考文献 91 V
lN&Lz 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -z)I;R 5.1 Jobs 92 N9 3
ZI|T 5.2 创建一个新Job(工作) 93 3rhH0{ 5.3 输入材料 94 \/I@&$"F 5.4 设计数据文件夹 95 8
C @iD% 5.5 默认设计 95 CS"2Sd 1` 6 细化和合成 97 HA&][%^ 6.1 优化介绍 97 ymT&[+V 6.2 细化 (Refinement) 98 a]|P rjPI 6.3 合成 (Synthesis) 100 C s?kZ
% 6.4 目标和评价函数 101 @5K/z<p% 6.4.1 目标输入 102 js/N qf2> 6.4.2 目标 103 Q7zg i 6.4.3 特殊的评价函数 104 j
yR9a! 6.5 层锁定和连接 104 W]{mEB 6.6 细化技术 104 Gt{~u^< 6.6.1 单纯形 105 j4$XAq~W 6.6.1.1 单纯形参数 106 sqFMO+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 g|tnYN 6.6.2.1 Optimac参数 108 WBLfxr 6.6.3 模拟退火算法 109 Ho9 a#9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 UaA6 6.6.4 共轭梯度 111 kaQn'5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 JL45!+ 6.6.5 拟牛顿法 112 # kl?ww U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 }A;J-7g6 6.6.6 针合成 113 .YKqYN?y4 6.6.6.1 针合成参数 114 E#X(0(A) 6.6.7 差分进化 114 v@TP_Ka 6.6.8非局部细化 115 6cQh8_/>{# 6.6.8.1非局部细化参数 115 6|+I~zJ88 6.7 我应该使用哪种技术? 116 %:yJ/&-Q,Z 6.7.1 细化 116 ZNNgi@6> 6.7.2 合成 117 ?NoG. 6.8 参考文献 117 uA dgR 7 导纳图及其他工具 118 | z=:D*uh~ 7.1 简介 118 zBV7b| j 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 p "EQ6_f 7.2.1 四分之一波长规则 119 *oqQ=#\ 7.2.2 导纳图 120 i7v> 9p7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #?-2f{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |pqc(B u 7.5 斜入射导纳图 141 *}DCxv 7.6 对称周期 141 //S/pCqED 7.7 参考文献 142 Rqu_[M 8 典型的镀膜实例 143 ya8MjGo 8.1 单层抗反射薄膜 145 T!u&r 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 " )T;3/c 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Y4q; 8.4 W-膜层 148 aEBQx 8.5 V-膜层 149 H`|8x4 8.6 V-膜层高折射基底 150 RGvfy/T 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
MgkeD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 NK.] yw' 8.9 四层抗反射薄膜 153 IIcG+zwx 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 :23w[vt= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -,+zA.{+W 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 hF|N81T 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 da<B6! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 2>3#/I9Y 8.15十五层宽带抗反射膜 159 y5gTd_- 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %>u(UmFO 8.17 1/4波长堆栈 162 >qkZn7C 8.18 陷波滤波器 163 +Q pgG4h 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 0<Q['l4Ar 8.20 褶皱 165 ?T]3I.3
2^ 8.21 消偏振分光器1 169 ahQdBoj 8.22 消偏振分光器2 171 vJTdZ p 8.23 消偏振立体分光器 172 LCKCg[D
8.24 消偏振截止滤光片 173 }n /6.% 8.25 立体偏振分束器1 174 }Fs;sfH 8.26 立方偏振分束器2 177 ;Qe-y|> 8.27 相位延迟器 178 eU/o I} A 8.28 红外截止器 179 x-J.*X/aB 8.29 21层长波带通滤波器 180 otTv,T182 8.30 49层长波带通滤波器 181 g:&YSjO>G 8.31 55层短波带通滤波器 182 _D<=Yo 8.32 47 红外截止器 183 HoE@t-S 8.33 宽带通滤波器 184 2:b3+{\f 8.34 诱导透射滤波器 186 ;$=kfj9 :7 8.35 诱导透射滤波器2 188 lsJl+%&8 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Z',Z7QW7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 /Wos{}Z0 8.35 增益平坦滤波器 193 3azyqpwU$ 8.38 啁啾反射镜 1 196 NPc@;g]d" 8.39 啁啾反射镜2 198 0m8mHJ<& 8.40 啁啾反射镜3 199 cP8g.+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 APye 8.42 增加铝反射率膜 201 [\|`C4@3a 8.43 参考文献 202 $#2zxpr, 9 多层膜 204 *nZe|)m 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 i3
?cL4 9.2 内部透过率 204 m/M=.\] 9.3 内部透射率数据 205 I?y!d
G 9.4 实例 206 B8J_^kd 9.5 实例2 210 &|6 A
8, 9.6 圆锥和带宽计算 212 f7&53yZF 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,v^A;,q 10 光学薄膜的颜色 216 s0EF{2<F 10.1 导言 216 ^LAP*R 10.2 色彩 216 aL?+# j^" 10.3 主波长和纯度 220 sn>2dRW{ 10.4 色相和纯度 221 U1oZ\Mh 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 M{(g"ha 10.6 色差 226 'c]Fhe fb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3:H[S_q 10.8 颜色渲染指数 234 v*Dz4K# 10.9 色差计算 235 `LroH>_ 10.10 参考文献 236 w^BF.Nu 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 &oJ1v<` 11.1 短脉冲 238 R%%Uw %` 11.2 群速度 239 ([g[\c,H 11.3 群速度色散 241 ZwzN=03T 11.4 啁啾(chirped) 245 r^g"%nq9/ 11.5 光学薄膜—相变 245 $%:=;1Jl 11.6 群延迟和延迟色散 246 ab-z 7g 11.7 色度色散 246 Qk5pRoL_ 11.8 色散补偿 249
:r+BL@9 11.9 空间光线偏移 256 FGRdA^` 11.10 参考文献 258 6VUkZKc 12 公差与误差 260 4DwQ7KX 12.1 蒙特卡罗模型 260 '}$]V>/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 i#pBzJ 12.2.1 误差工具 267 l.>3gjr 12.2.2 灵敏度工具 271 o&U'zaj 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ":I@>t{H* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 s@$SM,tnn 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 V7S[rI<<r 12.3 参考文献 276 FN+x<VXo( 13 Runsheet 与Simulator 277 uge~*S 13.1 原理介绍 277 w%2|Po5 13.2 截止滤光片设计 277 )/:j$aq 14 光学常数提取 289 L>3- z>u, 14.1 介绍 289 ~DL-@*& 14.2 电介质薄膜 289 :q>uj5% 14.3 n 和k 的提取工具 295 \Bvy~UeE)> 14.4 基底的参数提取 302 eV5
e:9
14.5 金属的参数提取 306 evQk,;pIm 14.6 不正确的模型 306 <V
b
SEi 14.7 参考文献 311 <(E9U. 15 反演工程 313 SuJa?VU1w 15.1 随机性和系统性 313 Dug{)h_2 15.2 常见的系统性问题 314 NScUlR"nE 15.3 单层膜 314 _xz>O[unf 15.4 多层膜 314 ^D]y<@01 15.5 含义 319 w3>.d(Q 15.6 反演工程实例 319 I9ZJ"29 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zcE`.)y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 A+QOox]< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 j
e;^i,& 16.1 光学性质的热致偏移 329 J|uSj/8 16.2 应力工具 335 Fs_zNN 16.3 均匀性误差 339 ^ZD0rp(l 16.3.1 圆锥工具 339 b~td^ 16.3.2 波前问题 341 Y$4dqn 16.4 参考文献 343 dfR?O#JPU 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 B*;PF 17.1 引言 345 )VM'^sV? 17.2 操作数 345 .a_xQ]eQ 18 如何在Function中编写脚本 351 p5V.O20 18.1 简介 351 6DxT(VU} 18.2 什么是脚本? 351 IAFj_VWC0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 +01bjM6F_1 18.4 基础 352 5uAUi=XA>S 18.4.1 Classes(类别) 352 jQX9KwSP 18.4.2 对象 352 i}_d&.DbF 18.4.3 信息(Messages) 352 UNhM:!A 18.4.4 属性 352 KkPr08 18.4.5 方法 353 +rOfQ'lQ 18.4.6 变量声明 353 z#Cgd-^7.# 18.5 创建对象 354 _s~F/G`iT 18.5.1 创建对象函数 355 [E:-$R 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Sd?+j;/" 18.5.3 丢弃对象 356 ( jtkY_ 18.5.4 总结 356 '(fCi 18.6 脚本中的表格 357 Uv|^k8( 18.6.1 方法1 357 zz[[9Am! 18.6.2 方法2 357 Epm%/ {sHV 18.7 2D Plots in Scripts 358 dx)v`.%V 18.8 3D Plots in Scripts 359 E[8i$ 18.9 注释 360 qYbPF|Y=Z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 J?[}h&otQ 18.11 一个更高级的脚本 362 be(p13&od 18.12 <esc>键 364 G1S:hw%rp 18.13 包含文件 365 IEQ6J}L 18.14 脚本被优化调用 366 L.$+W} 18.15 脚本中的对话框 368 q@%9Y3 18.15.1 介绍 368 -FW'i10\2+ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^SJa/I EZ. 18.15.3 输入框函数 370 =G-u "QJ6 18.15.4 自定义对话框 371 'k!V!wcD^y 18.15.5 对话框编辑器 371 0qk.NPMB0 18.15.6 控制对话框 377 tbq_Rg7s 18.15.7 更高级的对话框 380 F^}n7h=qk 18.16 Types语句 384 A]%hM_5 s 18.17 打开文件 385 gLQbA$gB 18.18 Bags 387 ]M.)N.T 18.13 进一步研究 388 F/chE c
V 19 vStack 389 xx
EcmS#> 19.1 vStack基本原理 389 1`@rAA>h' 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 1`I#4f 19.3 五棱镜 393 jY8u1z 19.4 光束距离 396 0ZpWfL 19.5 误差 399 o](nK5? 19.6 二向分色棱镜 399 K$Yc!4M 19.7 偏振泄漏 404 ' $5o5\ 19.8 波前误差—相位 405 J6*B=PX=( 19.9 其它计算参数 405 _.ELN/$- 20 报表生成器 406 ]J6+nA6)
20.1 入门 406 Xn:ac^ 20.2 指令(Instructions) 406 :O{oVR 20.3 页面布局指令 406 m[!AOln) 20.4 常见的参数图和三维图 407 ICI8xP}a? 20.5 表格中的常见参数 408 EL=}xug,? 20.6 迭代指令 408 "K*+8IO2 20.7 报表模版 408 uH?lj& 20.8 开始设计一个报表模版 409 DU:
sQS4 21 一个新的project 413 Zjh9jvsW 21.1 创建一个新Job 414 DozC> 21.2 默认设计 415 L7&| 21.3 薄膜设计 416 BlvNBB1^ 21.4 误差的灵敏度计算 420 dk9nhS+faJ 21.5 显色指数计算 422 C},$(2>0+ 21.6 电场分布 424 DUK.-|a7 后记 426 BA+:}81&<q r]vD] 有兴趣扫码联系 3`aJ"qQE
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