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<7_ |Q 内容简介 (cOND/S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 R&u)=~O\5 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yj}bY?4I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 J6@(X8w{j oj,HJH+ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 HGP%a1RF# 目录 )@8'k]Glw. Preface 1 @Og\SZhn 内容简介 2 w0a+8gexi 目录 i SY!`a:It 1 引言 1 {
4_I7r 2 光学薄膜基础 2 &A ;3; R 2.1 一般规则 2 <GL}1W"Ay 2.2 正交入射规则 3 Zd[y+$> 2.3 斜入射规则 6 c]AKeq] 2.4 精确计算 7 dXA{+<!! 2.5 相干性 8 `l[6rf_. 2.6 参考文献 10 kcq9p2zKv 3 Essential Macleod的快速预览 10 aH5t.x79b 4 Essential Macleod的特点 32 hYP6z^ 4.1 容量和局限性 33 {#dp-5V 4.2 程序在哪里? 33 Mr5('9% 4.3 数据文件 35 _Ewy^;S%L 4.4 设计规则 35 !#,- 4.5 材料数据库和资料库 37 B|]t\(~$[ 4.5.1材料损失 38 7AGZu?1]M 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [M7iJcwt 4.5.2 材料库 41 pz*/4 4.5.3导出材料数据 43 N3XVT{yo 4.6 常用单位 43 U<ku_(2"# 4.7 插值和外推法 46 0UM@L
}L 4.8 材料数据的平滑 50 :,h=2a_ 8 4.9 更多光学常数模型 54 !L0E03')k 4.10 文档的一般编辑规则 55 }<5\O*kX4 4.11 撤销和重做 56 FT*yso:X/ 4.12 设计文档 57 U(S@1i( 4.10.1 公式 58 sx)$=~o 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 )H[h53bIq 4.10.3 沉积密度 59 mFgb_Cd 4.10.4 平行和楔形介质 60 z. _C*c 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :)A.E}G 4.10.4 性能 61 ~# h E&nq 4.10.5 保存设计和性能 64 1}n)J6m 4.10.6 默认设计 64 t?%}hs\! 4.11 图表 64 FT3,k&i 4.11.1 合并曲线图 67 #"=yQZ6Y 4.11.2 自适应绘制 68 OUBgBr 4.11.3 动态绘图 68 y]QQvCJr3d 4.11.4 3D绘图 69 0]:*v? 4.12 导入和导出 73 F'?5V0\he 4.12.1 剪贴板 73 |k7ts&2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 c"%_]7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y]E)2:B[d 4.13 背景 77 2#$}yP~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 T 9<H%iF 4.15 生成Rugate 84 JL]k:i^`A 4.16 参考文献 91 uusY,Dt/9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 HonAK 5.1 Jobs 92 6S! lD= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 a!^-~pH: 5.3 输入材料 94 NR;S3-Iq( 5.4 设计数据文件夹 95 WRLu3nBx 5.5 默认设计 95 (_%JF[W 6 细化和合成 97 nL7S3 6.1 优化介绍 97 >PTu*6Z 6.2 细化 (Refinement) 98 d 40'3]/{ 6.3 合成 (Synthesis) 100 i)`zKbK 6.4 目标和评价函数 101 T,xVQ4J? 6.4.1 目标输入 102 r0Y?X\l* 6.4.2 目标 103 b]so9aCz 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ivt)Eg 6.5 层锁定和连接 104 :nbW.B3GV 6.6 细化技术 104 ,h wf 6.6.1 单纯形 105 psyH?&T 6.6.1.1 单纯形参数 106 YV ZSKU 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e$/Zb`k 6.6.2.1 Optimac参数 108 J<5vs3[9 6.6.3 模拟退火算法 109 W"}*Q-8W 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )qe$rD;N 6.6.4 共轭梯度 111
6>N u=~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [hv3o0". 6.6.5 拟牛顿法 112 o{-USUGj7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 x9&tlKKxf 6.6.6 针合成 113 9/X v&<Tn 6.6.6.1 针合成参数 114 !+*?pq 6.6.7 差分进化 114 {C0OrO2: 6.6.8非局部细化 115 P`IMvOs& 6.6.8.1非局部细化参数 115 t#D\*:Xi 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Tm~#wL
+r 6.7.1 细化 116 {7pE9R 5 6.7.2 合成 117 RfKxwo|M< 6.8 参考文献 117 k>z-Zg 7 导纳图及其他工具 118 vS*0CR\ 7.1 简介 118 1Z$99 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <1'X)n&Kw$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 yS.fe[ 7.2.2 导纳图 120 }&C!^v
o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 82@;.% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |z<wPJ,;2 7.5 斜入射导纳图 141 ^)0{42!] 7.6 对称周期 141 2G:{ FY 7.7 参考文献 142 !,(bXa\^ 8 典型的镀膜实例 143 Vp-OGX[ 8.1 单层抗反射薄膜 145 _I70qz8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7i|hlk; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 RWh}?vs_ 8.4 W-膜层 148 hk$nlc|$ 8.5 V-膜层 149 S,<.!v 57 8.6 V-膜层高折射基底 150 \tw#pk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &40JN} 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;|$]Qq 8.9 四层抗反射薄膜 153 %},S#5L3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 sp|y/r# 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ks` 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 r0$9c 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @okm@6J*X 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 g7Q*KA+ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "y
,(9_# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \3:{LOr%* 8.17 1/4波长堆栈 162 Y"\T*lKa 8.18 陷波滤波器 163 WO*WAP)n 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 N n-6/]d# 8.20 褶皱 165 +MoxvW6 8.21 消偏振分光器1 169 O>):^$-K% 8.22 消偏振分光器2 171 b+j_EA_b 8.23 消偏振立体分光器 172 BRok 89 8.24 消偏振截止滤光片 173 N, +g/o\f 8.25 立体偏振分束器1 174 hG3$ ]i9 8.26 立方偏振分束器2 177 E,?aBRxy 8.27 相位延迟器 178 ;<)-*?m9 8.28 红外截止器 179 yURh4@ 8.29 21层长波带通滤波器 180 d=OO(sf 8.30 49层长波带通滤波器 181 N{ z(|2{A# 8.31 55层短波带通滤波器 182 FEi,^V 8.32 47 红外截止器 183 Y&Vbf>Hi+ 8.33 宽带通滤波器 184 7Hlh
(k 8.34 诱导透射滤波器 186 K[;,/:Y 8.35 诱导透射滤波器2 188 VKfHN_m* 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Hf]}OvT>Z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 /Ta0}Y(y 8.35 增益平坦滤波器 193 p`.fYW:p 8.38 啁啾反射镜 1 196 kX .1#%Ex 8.39 啁啾反射镜2 198 7ofH@U 8.40 啁啾反射镜3 199 ;A'17B8 8.41 带保护层的铝膜层 200 pO+wJ|f 8.42 增加铝反射率膜 201 LUVJ218p 8.43 参考文献 202 9v3Nba 9 多层膜 204 MJR\ g3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "&o@%){] 9.2 内部透过率 204 5<8>G?Y 9.3 内部透射率数据 205 1ZW'PXUZ 9.4 实例 206 ]T$w7puaJ 9.5 实例2 210 [goPmVe+ 9.6 圆锥和带宽计算 212 hfa_M[#Q- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 jN{xpd 10 光学薄膜的颜色 216 X10TZ 10.1 导言 216 w)SxwlW} 10.2 色彩 216 -ns a3P 10.3 主波长和纯度 220 U5%]nT"[] 10.4 色相和纯度 221 n8D;6#P^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 JM9Q]#'t 10.6 色差 226 8$tpPOhzb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Z"nuO\zH~ 10.8 颜色渲染指数 234 1ucUnNkcV 10.9 色差计算 235 Uy'ZL(2 10.10 参考文献 236 XzFqQ-H 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 z#67rh{ 11.1 短脉冲 238 aL6 5t\2 11.2 群速度 239 7#*CWh1BNO 11.3 群速度色散 241 \V\ET 11.4 啁啾(chirped) 245 %pKs- n` 11.5 光学薄膜—相变 245 \Le#+P 11.6 群延迟和延迟色散 246 cDol
o1* 11.7 色度色散 246 J-?(sjIX 11.8 色散补偿 249 qiJ;v1 11.9 空间光线偏移 256 *Z(C')7r 11.10 参考文献 258 l_IX+4(@b| 12 公差与误差 260 >(J!8*7 12.1 蒙特卡罗模型 260 f3|=T8"t 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 jl29~^@}1i 12.2.1 误差工具 267 itMc!bUQ 12.2.2 灵敏度工具 271 }+Z;zm@/6 12.2.2.1 独立灵敏度 271 QZP;k!"w 12.2.2.2 灵敏度分布 275 56aJE
.?< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [NDYJ'VGe 12.3 参考文献 276 X2 kLbe 13 Runsheet 与Simulator 277 z1A-EeT 13.1 原理介绍 277 uT2cHzqKB 13.2 截止滤光片设计 277 )Em,3I/.l 14 光学常数提取 289 HYa!$P3}[ 14.1 介绍 289 hzVO.Q* 14.2 电介质薄膜 289 gvt4'kp 14.3 n 和k 的提取工具 295 $
$+z^%'_ 14.4 基底的参数提取 302 2Rt ZTn 14.5 金属的参数提取 306 o?8j*] 14.6 不正确的模型 306 g
0=t9J 14.7 参考文献 311 5mBk[{ 15 反演工程 313 f
8U;T$) 15.1 随机性和系统性 313 $$>,2^qr&L 15.2 常见的系统性问题 314 1 SZa\ ][@ 15.3 单层膜 314 P3>2=qK"E( 15.4 多层膜 314 +}'K6x_ 15.5 含义 319 I9 aber1 15.6 反演工程实例 319 5lY9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :/Zh[Q@EG 15.6.2 反演工程提取折射率 327 (P_+m# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 p 1fnuN |, 16.1 光学性质的热致偏移 329 -OAH6U9^ 16.2 应力工具 335 $o^}<)DW 16.3 均匀性误差 339 Etk<`GRfA 16.3.1 圆锥工具 339 I<#kw)W! 16.3.2 波前问题 341 6P$q7G 16.4 参考文献 343 % QkvBg* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 69L&H!<i: 17.1 引言 345 ;W:Q}[ 17.2 操作数 345 3g?T,|2K 18 如何在Function中编写脚本 351 Jl}7]cVq# 18.1 简介 351 (ZJ_&8C# 18.2 什么是脚本? 351 >X,6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 OMNdvrE*=O 18.4 基础 352 8i"fhN3?Y 18.4.1 Classes(类别) 352 G_RK3E[FK 18.4.2 对象 352 dD!SgK [Jv 18.4.3 信息(Messages) 352 _E7eJSM. 18.4.4 属性 352 i[lH@fJm_ 18.4.5 方法 353 =="SW"vNi 18.4.6 变量声明 353 U[u6UG 18.5 创建对象 354 !Zx>)V6. 18.5.1 创建对象函数 355 )/w2]d/9 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `WL*Jb 18.5.3 丢弃对象 356 ,kI1"@Tu 18.5.4 总结 356 &kt#p;/p? 18.6 脚本中的表格 357 ==9Ez 18.6.1 方法1 357 a!.8^:B& 18.6.2 方法2 357 !Ai;S 18.7 2D Plots in Scripts 358 #{a <{HX 18.8 3D Plots in Scripts 359 P*Nl3?T 18.9 注释 360 I-I5^s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 uR[i9%=8L( 18.11 一个更高级的脚本 362 T9 1Iz+j 18.12 <esc>键 364 Q=E6ZxH5; 18.13 包含文件 365 |,crQ'N' 18.14 脚本被优化调用 366 vJ s/ett 18.15 脚本中的对话框 368 K(Nk|gQ 18.15.1 介绍 368 Ar_/9@n 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }M@ pdE 18.15.3 输入框函数 370 "k/x+%!Spc 18.15.4 自定义对话框 371 *@Z'{V\ 18.15.5 对话框编辑器 371 dEnhNPeRl 18.15.6 控制对话框 377 Hqk2W*UTl 18.15.7 更高级的对话框 380 ?T"crX 18.16 Types语句 384 |k0VJi 18.17 打开文件 385 <dZ{E7l 18.18 Bags 387 sQ$FtKm6 18.13 进一步研究 388 uB?YJf .T@ 19 vStack 389 3h>Ji1vV 19.1 vStack基本原理 389 6 9Cxh 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 uBXI*51{ 19.3 五棱镜 393 go@}r< |