[技术]用阿贝判据研究显微系统的分辨率 [复制链接]

54Vb[;`Kkb  
显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 Mlo:\ST
|  
vAtR\Vh  
Is!+`[ma  
.K+5k`kd  
1. 案例 K*5Ij]j&  
7e Hj
"_;  
<o@__l.  
  W,.Exh  
在VirtualLab Fusion中构建系统 uCj)7>}v{M  

iThf\  
1. 系统构建模块 pz]KUQ  
33NzQ
b  
6\x/Z=}L  
7
2dd%  
2. 组件连接器 Nk?L<'  
ki8Jl}dr  
C <H$}f  
  O*9d[jw[  
几何光学仿真 3*e )D/lm  
6G:7r [  
以光线追迹 ZSn6JV'g  
hne}G._b  
1. 结果：光线追迹 >|hqt8lY  
k!!d2y6  
4TcW%  
  G$jw#a[L  
快速物理光学仿真 q^b12@.  
WB"90!  
以场追迹 o3.b='HAm  
H4BuxM_r  
1. NA=1.4时的光栅成像 GX N:=  
G.qjw]Llf  
qcfg 55]'c  
     ,1i
l&  
2.  NA=0.75时的光栅成像 lht :%Ts$  
   on f
7V  
!uhh_3RH  
     :(i=> ~O  
3. NA=0.5时的光栅成像 Zc=#Y  
       XpdjWLO]C<  
nW]T-!