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g)nT]+& 内容简介 ?63ep:QEk Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Y?\PU{O 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 KN".0WU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 y\ax?(z sF~!qag4q' 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 dWiX_&g 目录 R})b%y`] Preface 1 U3BhoD#f\ 内容简介 2 IC+!XZqS 目录 i k1~? }+<e 1 引言 1 6&_K; 2 光学薄膜基础 2 LL+PAvMg 2.1 一般规则 2 B!((N{4H+ 2.2 正交入射规则 3 Kon|TeC>d 2.3 斜入射规则 6 g9gi7.'0 2.4 精确计算 7 %PC8}++ 2.5 相干性 8 h_15 " rd 2.6 参考文献 10 Sh\Jm*5 3 Essential Macleod的快速预览 10 f"t+r
/d 4 Essential Macleod的特点 32 _
qU-@Y$ 4.1 容量和局限性 33 7'Gkip 4.2 程序在哪里? 33 \WxBtpbQB 4.3 数据文件 35 , FR/X/8 4.4 设计规则 35 }ZJJqJ`*e 4.5 材料数据库和资料库 37 6UM1>xq9A 4.5.1材料损失 38 Pxf /*z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 >tE6^7B* 4.5.2 材料库 41 IqqBUH 4.5.3导出材料数据 43
75;g|+ 4.6 常用单位 43 6 tl#AJ- 4.7 插值和外推法 46 dP=,<H#]m 4.8 材料数据的平滑 50 e*M-y C 4.9 更多光学常数模型 54 sBLOrbo 4.10 文档的一般编辑规则 55 t"P:}ps{? 4.11 撤销和重做 56 a?@lX>Z 4.12 设计文档 57 t]E@AJOK 4.10.1 公式 58 :ZadPn56 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 rUZ09>nDy 4.10.3 沉积密度 59 P4fnBH4OQ 4.10.4 平行和楔形介质 60 "6gBbm 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .yB{+ 4.10.4 性能 61 E_\V^ 4.10.5 保存设计和性能 64 f([d/ 4.10.6 默认设计 64 ?X$*8;==6 4.11 图表 64 }WHq? 4.11.1 合并曲线图 67 wK0],,RN,h 4.11.2 自适应绘制 68 !V-(K_\t 4.11.3 动态绘图 68 +asO4'r 4.11.4 3D绘图 69 .0p'G}1 4.12 导入和导出 73 7G%:ckg 4.12.1 剪贴板 73 >fzFNcO* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 yz=aJ
v;
H 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1vdG\$ 4.13 背景 77 6[-[6%o#z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 onl,R{,`0 4.15 生成Rugate 84 CW
-[c 4.16 参考文献 91 ZqXp f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 f o idneus 5.1 Jobs 92 Qh+zs^-? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 0+/ew8~$ 5.3 输入材料 94 (wf3HEb_ 5.4 设计数据文件夹 95 0wt4C% .0 5.5 默认设计 95 w<Bw2c 6 细化和合成 97 %DM0Z8P$B- 6.1 优化介绍 97 "O~kIT?/v 6.2 细化 (Refinement) 98 E6zPN?\ < 6.3 合成 (Synthesis) 100 ?_ eHvw 6.4 目标和评价函数 101 <GLn!~Px@5 6.4.1 目标输入 102 6zI}?KZf 6.4.2 目标 103
g([M hf# 6.4.3 特殊的评价函数 104 e-#Vs{?|r 6.5 层锁定和连接 104 d>V#?1$h 6.6 细化技术 104 %e:[[yq)G 6.6.1 单纯形 105 vRH2[{KQ9 6.6.1.1 单纯形参数 106 @hy~H?XN 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 \2CEEs' 6.6.2.1 Optimac参数 108 8RQv 6.6.3 模拟退火算法 109 f{2I2kJr 6.6.3.1 模拟退火参数 109 l#Vg=zrT 6.6.4 共轭梯度 111 GP;N1/= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L3A2A 6.6.5 拟牛顿法 112 ,&L}^ Up 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 dWdD^>8Ef 6.6.6 针合成 113 rU6A^p\, 6.6.6.1 针合成参数 114 !+]KxB 6.6.7 差分进化 114 +.Xi7x+#O 6.6.8非局部细化 115 u<4bOJn({ 6.6.8.1非局部细化参数 115 <v=s:^;C0 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ]^,! ;do 6.7.1 细化 116 !(gSXe)* 6.7.2 合成 117 yCN?kHG 6.8 参考文献 117 'V&Tlw| 7 导纳图及其他工具 118 Qe-PW9C 7.1 简介 118 @8$z2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~/XDA:nfL: 7.2.1 四分之一波长规则 119 3O;"{E=
< 7.2.2 导纳图 120 zrf
tF2U 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 RhC|x,E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 | AiMx2 7.5 斜入射导纳图 141 3W{!\ 7.6 对称周期 141 F)v 7.7 参考文献 142 UmY{2 nzY 8 典型的镀膜实例 143 ;#9ioGx 8.1 单层抗反射薄膜 145 %NM={X|' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |(AFU3~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (][-()YV 8.4 W-膜层 148 .(3ec/i4CF 8.5 V-膜层 149 X?XB!D7[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 v\_\bT1 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {e q378d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 q^?a|l 8.9 四层抗反射薄膜 153 #sxv?r 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 r=~K#:66 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 kdp^{zW} 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 k1ja ([Q 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 aO S,%J^? 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 y#th&YC_b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 n oM=8C&U 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 k/sfak{Q 8.17 1/4波长堆栈 162 PG}Roj
I 8.18 陷波滤波器 163 b`@C #qB 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (w:,iw# 8.20 褶皱 165 #<Lv&-U<KT 8.21 消偏振分光器1 169 <XQwu*_\ 8.22 消偏振分光器2 171 W6_ rSVm 8.23 消偏振立体分光器 172 jU* D 8.24 消偏振截止滤光片 173 j9l32<h7] 8.25 立体偏振分束器1 174 b*H*(}A6"' 8.26 立方偏振分束器2 177 GdY@$&z{i 8.27 相位延迟器 178 LrT EF
j 8.28 红外截止器 179 szb@2fK 8.29 21层长波带通滤波器 180 <i]0EE}% 8.30 49层长波带通滤波器 181 j--byk6PB 8.31 55层短波带通滤波器 182 j>B* 8*Ss 8.32 47 红外截止器 183 1U/RMN3` 8.33 宽带通滤波器 184 6`20 8.34 诱导透射滤波器 186 iy_Y!wZ{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 zBu@a:E%H 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ar6+n^pi0] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N-_APWA 8.35 增益平坦滤波器 193 jT}={[9b 8.38 啁啾反射镜 1 196 qw?(^uZNW 8.39 啁啾反射镜2 198 .a7RGT3]m 8.40 啁啾反射镜3 199 %y|pVN!U 8.41 带保护层的铝膜层 200 _U-`/r o 8.42 增加铝反射率膜 201 vSC1n8 / 8.43 参考文献 202 6@t& 9 多层膜 204 I:G8B5{J 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 d;]mwLB0 9.2 内部透过率 204 8Znr1=1
9.3 内部透射率数据 205 &)gc{(4$ 9.4 实例 206 3Ovx)qKxd 9.5 实例2 210 6<$.Z-, 9.6 圆锥和带宽计算 212 0 !{X8>x 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (RV#piM 10 光学薄膜的颜色 216 s1[&WDedM 10.1 导言 216 af %w|M 10.2 色彩 216 _+NjfF| 10.3 主波长和纯度 220 r)>3YM5 10.4 色相和纯度 221 5RFro^S9E 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 , ?U)mYhI 10.6 色差 226 @j_o CDS 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 XsQ81j. 10.8 颜色渲染指数 234 ]% HxzJ 10.9 色差计算 235 ?d^6ynzn 10.10 参考文献 236 e15yDwvB 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _:=\h5}8 11.1 短脉冲 238 ,]7ouH$H} 11.2 群速度 239 ZY]$MZf5yo 11.3 群速度色散 241 G<D8a2q 11.4 啁啾(chirped) 245 D
5n\h5 11.5 光学薄膜—相变 245 l<GN<[/.+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 'z
AvQm 11.7 色度色散 246 #UoFU{6tM 11.8 色散补偿 249 $wp>2 11.9 空间光线偏移 256 2[ofz}k]r) 11.10 参考文献 258 7@\.()
12 公差与误差 260 q+9->D(6 12.1 蒙特卡罗模型 260 {$hWz ( 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Gd_0FF . 12.2.1 误差工具 267 ?'+]d;UO& 12.2.2 灵敏度工具 271 R/Bjc}J' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4KtD
k 12.2.2.2 灵敏度分布 275 )'T].kWW 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2Ax"X12{6 12.3 参考文献 276 =VzJ>!0 13 Runsheet 与Simulator 277 G=|?aK{p 13.1 原理介绍 277 4@3 \Ihv 13.2 截止滤光片设计 277 Dg.~"h5mT 14 光学常数提取 289 e'A_4;~@s 14.1 介绍 289 K~,!IU_QG 14.2 电介质薄膜 289 ?D _4KFr 14.3 n 和k 的提取工具 295 1C{0 R. 14.4 基底的参数提取 302 <<u]WsW{C 14.5 金属的参数提取 306
*6` ^8Y\ 14.6 不正确的模型 306 %xCL&}bY 14.7 参考文献 311 JCnHEH 15 反演工程 313 <q!HY~"V 15.1 随机性和系统性 313 P|@[D=y 15.2 常见的系统性问题 314 @i!+Z 15.3 单层膜 314 pI-Qq%Nwt 15.4 多层膜 314 -Yse^(^"s 15.5 含义 319 )VkVZf | S 15.6 反演工程实例 319 ocWl]h]. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 e}yF2|0FD 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ,$:u^;V( 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 eLPtdP5k 16.1 光学性质的热致偏移 329 O=7S=Rm4& 16.2 应力工具 335 ejZ-A?f-K 16.3 均匀性误差 339 dY&v(~&;] 16.3.1 圆锥工具 339 #X'-/q`. 16.3.2 波前问题 341 U<0Wa>3zj 16.4 参考文献 343 8xAI n>,_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 W7WHDL^ 17.1 引言 345 / ^d9At614 17.2 操作数 345 A?#i{R 18 如何在Function中编写脚本 351 ]sb?lAxh{ 18.1 简介 351 1a(\F7 18.2 什么是脚本? 351 #;a+)~3*O 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~/K&=xE 18.4 基础 352 -c?x5/@3 18.4.1 Classes(类别) 352 f|B\Y/*X 18.4.2 对象 352 ^g6v#]&WA 18.4.3 信息(Messages) 352 z3i`O
La 18.4.4 属性 352 KBtqtE'(L 18.4.5 方法 353 !9
kNL 18.4.6 变量声明 353 51|s2+GG 18.5 创建对象 354 f\=
@jV 18.5.1 创建对象函数 355 ,H"}Rw 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ##Pzc~xSn 18.5.3 丢弃对象 356 8Pa*d/5Y( 18.5.4 总结 356 ^2$b8]q 18.6 脚本中的表格 357 A"M;kzAfHM 18.6.1 方法1 357 4 N$Wpx 18.6.2 方法2 357 oCOv
6( 18.7 2D Plots in Scripts 358 0Sd>*nC 18.8 3D Plots in Scripts 359 `PtB2,? 18.9 注释 360 >oJabR 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ZrEou}z(* 18.11 一个更高级的脚本 362 ]I,&Bme 18.12 <esc>键 364 >$rH,Er 18.13 包含文件 365 +
>dC 18.14 脚本被优化调用 366 h )Y.jY 18.15 脚本中的对话框 368 q!0HsF 18.15.1 介绍 368 HLDv{G'7 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |+Rx) 18.15.3 输入框函数 370 2Xv}JPS2As 18.15.4 自定义对话框 371 }GURq# 18.15.5 对话框编辑器 371 8BAe6-*S8 18.15.6 控制对话框 377 >Um(gbG 18.15.7 更高级的对话框 380 GOdWc9Ta! 18.16 Types语句 384 n
Yx[9H N 18.17 打开文件 385 U9`Co&Z2 18.18 Bags 387 h='&^1 18.13 进一步研究 388 &&<l}E 19 vStack 389 ;U?=YSHk7 19.1 vStack基本原理 389 wS|k3^OV% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^E\4` 19.3 五棱镜 393 WP\kg\o 19.4 光束距离 396 cLL2
' 19.5 误差 399 $> QJ%v9+ 19.6 二向分色棱镜 399 ,|$1(z*a{c 19.7 偏振泄漏 404 D]iyr>V6' 19.8 波前误差—相位 405 P|ibUxSA~, 19.9 其它计算参数 405 sqhIKw@ 20 报表生成器 406 a+v.(mCG 20.1 入门 406 g/$RuT2U 20.2 指令(Instructions) 406
z [[qrR 20.3 页面布局指令 406 8hww({S2 20.4 常见的参数图和三维图 407 F7C+uGTs 20.5 表格中的常见参数 408 6W YVHG 20.6 迭代指令 408 ~u0<c:C^ 20.7 报表模版 408 Y]6dYq{k 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?Mo)&,__ 21 一个新的project 413 8v/,<eARJ 21.1 创建一个新Job 414 mnZfk 21.2 默认设计 415 b (HJ| 21.3 薄膜设计 416 bydI+pVMo 21.4 误差的灵敏度计算 420 GJU(1%- 21.5 显色指数计算 422 "\+\,C 21.6 电场分布 424 6X'0 T} 后记 426 nvQX)Xf 有兴趣加微咨询 _8PNMbv{
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