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4~y(`\0?4 内容简介 Kw-gojZ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ^.KwcXr 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %{ABaeb] 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ;hYS6 YwteZSbp6M 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 (mgS"zPS 目录 U[SaY0Z Preface 1 ?6Jx@ Sh 内容简介 2 XaCX!Lr, 目录 i 18~>ZR 1 引言 1 )#P;
x" 2 光学薄膜基础 2 }3o|EXx= 2.1 一般规则 2 DSC$i| 2.2 正交入射规则 3 ;-9=RI0 2.3 斜入射规则 6
UmNa[s 2.4 精确计算 7 V@Rrn <l 2.5 相干性 8 cVubb}ou 2.6 参考文献 10 3x5JFM 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?kWC}k{ 4 Essential Macleod的特点 32 y&Mr=5:y 4.1 容量和局限性 33 ZNf6;%oGG 4.2 程序在哪里? 33 %C$%!C 4.3 数据文件 35 _jJPbKz 4.4 设计规则 35 UF?H>Y& 4.5 材料数据库和资料库 37 74H)|Dkx 4.5.1材料损失 38 \Z]UA&v_ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 eCN })An 4.5.2 材料库 41 _&N2'hG=sn 4.5.3导出材料数据 43 \]%6|V 4.6 常用单位 43 |<#{"'/= 4.7 插值和外推法 46 M:-.o 4.8 材料数据的平滑 50 bu
|a0h7e 4.9 更多光学常数模型 54 8dZ0rPd? 4.10 文档的一般编辑规则 55 j/>$, 4.11 撤销和重做 56 fG}tMSI 4.12 设计文档 57 b?TO=~k, 4.10.1 公式 58 q<\, 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 E_k$W5 4.10.3 沉积密度 59 dls
ss\c^M 4.10.4 平行和楔形介质 60 1y-y6q 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K <pV 4.10.4 性能 61 L!rw[x 4.10.5 保存设计和性能 64
f#?fxUH~ 4.10.6 默认设计 64 m1),;RsH 4.11 图表 64 R#2 t)y 4.11.1 合并曲线图 67 qp/v^$EA 4.11.2 自适应绘制 68 T?
tG~ 4.11.3 动态绘图 68 .#1~Rz1r 4.11.4 3D绘图 69 ?0)&U 4.12 导入和导出 73 \=uKHNP?# 4.12.1 剪贴板 73 4"{ooy^Q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]<H&+ &! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 q8^^H$<Db 4.13 背景 77 &GlwC%$S 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 MO&}r7qq 4.15 生成Rugate 84 CPP`
qt%f 4.16 参考文献 91 9:,V5n= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 V>ieh2G( 5.1 Jobs 92 !OBEM1~
1 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Ys@}3\Mc 5.3 输入材料 94 pV20oSJNt 5.4 设计数据文件夹 95 kBYNf = 5.5 默认设计 95 UG2nX3? 6 细化和合成 97 >Y
#t`6,! 6.1 优化介绍 97 _h X]% 6.2 细化 (Refinement) 98 FP;Ccl"s 6.3 合成 (Synthesis) 100 P^w#S 6.4 目标和评价函数 101 |_`E1Y}} 6.4.1 目标输入 102 V#cqRE3XNi 6.4.2 目标 103 %7"X(Ts7B 6.4.3 特殊的评价函数 104 :@ %4 6.5 层锁定和连接 104 "NgxkbDEbG 6.6 细化技术 104 |
\'rP_I> 6.6.1 单纯形 105 2'_:S@ 6.6.1.1 单纯形参数 106 bty/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 } w
5l 6.6.2.1 Optimac参数 108 O+?<h{" 6.6.3 模拟退火算法 109 r41\r,`Dj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 O9EKRt 6.6.4 共轭梯度 111 JcbwDlUb 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ^1Zeb$Nw' 6.6.5 拟牛顿法 112 9T|IvQK8 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]@uE#a:[ 6.6.6 针合成 113 ZCB_ 6.6.6.1 针合成参数 114 J.ck~;3 6.6.7 差分进化 114 t%'Z<DmG+ 6.6.8非局部细化 115 q~3,yyu 6.6.8.1非局部细化参数 115 xER\ZpA:, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 EmODBTu+ 6.7.1 细化 116 u86"Y^d# 6.7.2 合成 117 \
C+(~9@| 6.8 参考文献 117 PI`jExL 7 导纳图及其他工具 118 yto,>Utzg 7.1 简介 118 )yTm.F 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 d/bEt& 7.2.1 四分之一波长规则 119 qe!fk?T} 7.2.2 导纳图 120 o(S{VGi, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 f.
FYR|%tq 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 p;W.lcO`0 7.5 斜入射导纳图 141 Td G!&:> 7.6 对称周期 141 !<SA6m# 7.7 参考文献 142 |!"2fI 8 典型的镀膜实例 143 PB#fP_0C 8.1 单层抗反射薄膜 145 6xZ=^;H 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |b*?
qf 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 iVd.f
A 8.4 W-膜层 148 7.Z@Wr? 8.5 V-膜层 149 S(uf(q|{ 8.6 V-膜层高折射基底 150 Q8DQlqHm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 G(~;]xNW+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "g'jPwFG 8.9 四层抗反射薄膜 153 7vABq( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |7X:TfJ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;gs
^%z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !zPa_`P 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 2n `S5(V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 )l!3( 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ]R=,5kK3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 RTv
qls 8.17 1/4波长堆栈 162 (iRide 8.18 陷波滤波器 163 oI.G-ChP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 tUgEeh6 8.20 褶皱 165 |i ZfYi&^ 8.21 消偏振分光器1 169 aBNZdX]vzO 8.22 消偏振分光器2 171 * 1Od-3 8.23 消偏振立体分光器 172 J,zO2572u 8.24 消偏振截止滤光片 173 i:u1s"3~ 8.25 立体偏振分束器1 174 L3n_ 5| 8.26 立方偏振分束器2 177 z,VD=Hnz 8.27 相位延迟器 178 qQ0cJIISb\ 8.28 红外截止器 179 C&6IU8l\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 i} N8(B( 8.30 49层长波带通滤波器 181 1.gG^$J d 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?}m']4p 8.32 47 红外截止器 183 5cEcTJL[C 8.33 宽带通滤波器 184 wbe<'/X+ 8.34 诱导透射滤波器 186 &NSY9'N, 8.35 诱导透射滤波器2 188 jS]><rm 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 :"l-KQ0 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ak:ibV 8.35 增益平坦滤波器 193 {'AWZ( 8.38 啁啾反射镜 1 196 cKn`/\.H 8.39 啁啾反射镜2 198 ]ix!tb.Q 8.40 啁啾反射镜3 199 me'd6!O9- 8.41 带保护层的铝膜层 200
zcva-ze:; 8.42 增加铝反射率膜 201 g7&9" 8.43 参考文献 202 YSj+\Z$( 9 多层膜 204 8X I? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 VwEb7v,^0\ 9.2 内部透过率 204 M4d47<'*~ 9.3 内部透射率数据 205 fPrLM' 9.4 实例 206 r YF #^ 9.5 实例2 210 j~FD{%4N 9.6 圆锥和带宽计算 212 tOOchu?= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 aDehqP6vf 10 光学薄膜的颜色 216 yB3; 10.1 导言 216 NHl|x4Zpw 10.2 色彩 216 A.D{.a 10.3 主波长和纯度 220 2CzaL,je[ 10.4 色相和纯度 221 TuW/N
L| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Z(9u< 10.6 色差 226 J!5v~<v?- 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5l,ZoB8 10.8 颜色渲染指数 234 Nr0
(E 10.9 色差计算 235 sg8/#_S1i 10.10 参考文献 236 ]I L;`>Gp 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 LC})ciWa 11.1 短脉冲 238 Gdg)9 11.2 群速度 239 '}rRzD: 11.3 群速度色散 241 #BQ.R, 11.4 啁啾(chirped) 245 gN>2xnh'm 11.5 光学薄膜—相变 245 @rHK(25+d 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^::EikpF% 11.7 色度色散 246 Vf`7V$sr 11.8 色散补偿 249 sO5?aB& 11.9 空间光线偏移 256 MgC:b-&5_ 11.10 参考文献 258 c5Q<$86 12 公差与误差 260 zz^F
k& 12.1 蒙特卡罗模型 260 .)+hH y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8k^|G 12.2.1 误差工具 267 ~h"/Tce 12.2.2 灵敏度工具 271 !bC+TYsU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 kvh&d| 12.2.2.2 灵敏度分布 275 $46{<4. 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]7Fs$y. 12.3 参考文献 276 ~Aq5XI%i 13 Runsheet 与Simulator 277 c,Euv>*` 13.1 原理介绍 277 87WBM;$&s 13.2 截止滤光片设计 277 J|3E- p\o 14 光学常数提取 289 5~.ZlGd 14.1 介绍 289 r|*&GHo L 14.2 电介质薄膜 289 #UtFD^h 14.3 n 和k 的提取工具 295 zFQ&5@43 14.4 基底的参数提取 302 fgj^bcp- 14.5 金属的参数提取 306 bT6sb#"W 14.6 不正确的模型 306 zd_HxYrN 14.7 参考文献 311 xcJ`1*1N 15 反演工程 313 y}v+c%d 15.1 随机性和系统性 313 2qi'g:qe 15.2 常见的系统性问题 314 +p8BGNW, 15.3 单层膜 314 %hN.ktZ/s 15.4 多层膜 314 ~O 3D[PNW~ 15.5 含义 319 kF;5L)o 15.6 反演工程实例 319 %Rh;=p` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5/QRL\ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 f1PN| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 "C?5f]T 16.1 光学性质的热致偏移 329 \7z^!m 16.2 应力工具 335 .d?%;2*{q 16.3 均匀性误差 339 _al|'obomy 16.3.1 圆锥工具 339 ICB~_O5 16.3.2 波前问题 341 0GDvwy D1 16.4 参考文献 343 0Y]0!} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 L&-hXGx=7 17.1 引言 345 ?4CNkk=v 17.2 操作数 345 _28<m
JfG 18 如何在Function中编写脚本 351 ]0B|V2D#e 18.1 简介 351 <?0~1o\Ur 18.2 什么是脚本? 351 )c/Fasfg[P 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?4G|+yby 18.4 基础 352 { m8+Wju} 18.4.1 Classes(类别) 352 <As9>5|% 18.4.2 对象 352 YHV-|UNF 18.4.3 信息(Messages) 352 Q/I)V2a1i 18.4.4 属性 352 QFPfIb/ 18.4.5 方法 353 B`$L' 18.4.6 变量声明 353 U"f??y%) 18.5 创建对象 354 W
YW|P2* 18.5.1 创建对象函数 355 3ew8m}A{O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @^ ik[9^H 18.5.3 丢弃对象 356 ~e@>zoM'^ 18.5.4 总结 356 CY?G*nS?iK 18.6 脚本中的表格 357 dz#5q-r 18.6.1 方法1 357 /cFzotr"9 18.6.2 方法2 357 gLE7Edcp6V 18.7 2D Plots in Scripts 358 RE 3Z%;' 18.8 3D Plots in Scripts 359 _kFYBd 18.9 注释 360 f DgD@YC D 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :RxHw;! 18.11 一个更高级的脚本 362 2WvN2"f3 18.12 <esc>键 364 ]J2:194 18.13 包含文件 365 fR-C0"c 18.14 脚本被优化调用 366 EA<}[4#jS 18.15 脚本中的对话框 368 $\a5&1rl 18.15.1 介绍 368 )<4_: 18.15.2 消息框-MsgBox 368 L3(^{W]| 18.15.3 输入框函数 370
Aw!gSf) 18.15.4 自定义对话框 371 V_U'P>_I 18.15.5 对话框编辑器 371 r!N]$lB 18.15.6 控制对话框 377 *B)yy[8j+ 18.15.7 更高级的对话框 380 (y4#.vZh: 18.16 Types语句 384 RBGlzk 18.17 打开文件 385 IxDWJ#k 18.18 Bags 387 ^ons:$0h 18.13 进一步研究 388 CPazEe1S 19 vStack 389 |`yZIY_ 19.1 vStack基本原理 389 @nV5.r0W}B 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 u3tZ[Y2 c 19.3 五棱镜 393 ET^ |z 19.4 光束距离 396 f%qt)Ick 19.5 误差 399 6\dX 19.6 二向分色棱镜 399 cm>E[SHr 19.7 偏振泄漏 404 7_KhV 19.8 波前误差—相位 405 ^DAa%u 19.9 其它计算参数 405 _.18z+ 20 报表生成器 406
r@)A
k 20.1 入门 406 q<=:
>? 20.2 指令(Instructions) 406 t]_S 20.3 页面布局指令 406 i&+w _hD 20.4 常见的参数图和三维图 407 v$|mo;6 20.5 表格中的常见参数 408 Yig0/" 20.6 迭代指令 408 )+O r 20.7 报表模版 408 ]Nk!4" 20.8 开始设计一个报表模版 409 OjnJV 21 一个新的project 413 3=4SGt5m 21.1 创建一个新Job 414 +`| *s3M 21.2 默认设计 415 h%#_~IA:| 21.3 薄膜设计 416 8LM#WIm? 21.4 误差的灵敏度计算 420 \ a-CN> 21.5 显色指数计算 422 a,Kky^B 21.6 电场分布 424 aSnp/g 后记 426 |DG@ht 有兴趣加微咨询 &,W$-[
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