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(KR$PLxDK 内容简介 ;u!qu$O Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 [8AGW7_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 PLR[nB7K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 RWtD81(oC'
]5W0zNb* 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 a9PSg/p 目录 PVvNu5k Preface 1 zK893) 内容简介 2 #y13(u,dN 目录 i Q':x i;?Kt 1 引言 1 5qtZ`1Hq 2 光学薄膜基础 2 tjc3;9 2.1 一般规则 2 %7 h_D 2.2 正交入射规则 3 mDz{8N9<FG 2.3 斜入射规则 6 8#NtZ 2.4 精确计算 7 p@] \ N 2.5 相干性 8 z?`&HU Nf 2.6 参考文献 10 z><=F,W 3 Essential Macleod的快速预览 10 K.c6n,' 4 Essential Macleod的特点 32 uc9t0]o=h 4.1 容量和局限性 33 ]kA0C~4 4.2 程序在哪里? 33 YG , 4.3 数据文件 35 |SC^H56+ 4.4 设计规则 35 r#
MJ 4.5 材料数据库和资料库 37 S05+G}[$ 4.5.1材料损失 38 ^T`)ltI]V 4.5.1材料数据库和导入材料 39 s7=CH 4.5.2 材料库 41 _]8FCO 4.5.3导出材料数据 43 .w3.zZ0[ 4.6 常用单位 43 d;O16xcM/ 4.7 插值和外推法 46 DJ;il)^ 4.8 材料数据的平滑 50 @~%R%Vu 4.9 更多光学常数模型 54 aOHf#!/"sb 4.10 文档的一般编辑规则 55 'PRsZ`x. 4.11 撤销和重做 56 (@*[^@ipV 4.12 设计文档 57 >2l1t}"\ 4.10.1 公式 58 }eh<F^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P F#+G;q; 4.10.3 沉积密度 59 n{JBC%^g 4.10.4 平行和楔形介质 60 }}y$T(:l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 NNSHA'F,.\ 4.10.4 性能 61 j\&
` 4.10.5 保存设计和性能 64 =Tv|kJ|
j 4.10.6 默认设计 64 heJ I5t, 4.11 图表 64 V(Ll]g/T_; 4.11.1 合并曲线图 67 d 2sY.L 4.11.2 自适应绘制 68 KM$Lu2 4.11.3 动态绘图 68 `>&V_^y+ 4.11.4 3D绘图 69 (A(7?eq 4.12 导入和导出 73 9qS~-'&q# 4.12.1 剪贴板 73 :N$^x /{ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 y}5V3)P 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9/3gF)I} 4.13 背景 77 l"^'uGB'
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 U@21N3_@_ 4.15 生成Rugate 84 SV#$Cf g 4.16 参考文献 91 d_s=5+Yj 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ApHs`0=( 5.1 Jobs 92 {`,dWjy{% 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ~t7?5b?*\ 5.3 输入材料 94 Hx[YHu
KL^ 5.4 设计数据文件夹 95 t}L kl( 5.5 默认设计 95 >d-By 6 细化和合成 97 wSoIU,I 6.1 优化介绍 97 Vg'vL[Y 6.2 细化 (Refinement) 98 AjBwj5K 6.3 合成 (Synthesis) 100 B1)gudP` 6.4 目标和评价函数 101 ?'ID7mL 6.4.1 目标输入 102 "D#+:ix8G| 6.4.2 目标 103 {FRUB(68b 6.4.3 特殊的评价函数 104 Kn-cwz5 6.5 层锁定和连接 104 -7E)u 6.6 细化技术 104 gDbj!(tm 6.6.1 单纯形 105 T-e'r 6.6.1.1 单纯形参数 106 nmIos]B 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 u^.7zL+ 6.6.2.1 Optimac参数 108 Qj;wklq 6.6.3 模拟退火算法 109 Fy:CG6@X 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ROcI.tL 6.6.4 共轭梯度 111 IoO t n 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 n
N.6?a 6.6.5 拟牛顿法 112 x(oL\I_Z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ,z<J`n 6.6.6 针合成 113 LsaE-l 6.6.6.1 针合成参数 114 nE.w 6.6.7 差分进化 114 UrtA]pc3L 6.6.8非局部细化 115 zq]I"0Bi. 6.6.8.1非局部细化参数 115 :/YHU3 ~Y 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ..jc^'L 6.7.1 细化 116 qw^kA? 6.7.2 合成 117 >YG1sMV-J 6.8 参考文献 117 KnL-qc 7 导纳图及其他工具 118 4lrF{S8 7.1 简介 118 L#U-dzy\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Gy}WZ9{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 -u)f@e 7.2.2 导纳图 120 )[S~W 35 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 sBUK v(U) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 \dvzL(, 7.5 斜入射导纳图 141 dH]0(aJ 7.6 对称周期 141 U\OfB'Dn 7.7 参考文献 142 z+3GzDLy 8 典型的镀膜实例 143 r~f*aD 8.1 单层抗反射薄膜 145 'T=$Q%Qv 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 k;EG28
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,Dh+-} 8.4 W-膜层 148 0,a/t
jSr 8.5 V-膜层 149 scr`] tD 8.6 V-膜层高折射基底 150 W5 l)mAv 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 MU_8bK9m 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 2ed4xhV 8.9 四层抗反射薄膜 153 DX3xWdnr 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2;8I0BH*' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 jnF-kia 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 m@(8-_ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 $MW-c*5a 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Buxn!s 8.15十五层宽带抗反射膜 159 dU4 h 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _6U=7<f 8.17 1/4波长堆栈 162 :Q\Es:y 8.18 陷波滤波器 163 m.:2G 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 |76G#K~<X 8.20 褶皱 165 >.sdLA Si 8.21 消偏振分光器1 169 jV W .=FK 8.22 消偏振分光器2 171 <]:X 8.23 消偏振立体分光器 172 pTzwyj!SD 8.24 消偏振截止滤光片 173 s,z$Vt"h*K 8.25 立体偏振分束器1 174 KImBQ2 ^Tu 8.26 立方偏振分束器2 177 w_gFN%8 8.27 相位延迟器 178 WA'4y\ N 8.28 红外截止器 179 !V%h0OE\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 a"ct"g= 8.30 49层长波带通滤波器 181 b\{34z, 8.31 55层短波带通滤波器 182 QmHj=s:x\ 8.32 47 红外截止器 183 $!?tJ@{ 8.33 宽带通滤波器 184 B7'rbc' 8.34 诱导透射滤波器 186 p?@R0] 8.35 诱导透射滤波器2 188 Ai*R%# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !UzMuGj 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 QaVxP1V#U 8.35 增益平坦滤波器 193 ]t2zwHo# 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]TE(:]o7V 8.39 啁啾反射镜2 198 c@|!0
U%j 8.40 啁啾反射镜3 199 kU75 8.41 带保护层的铝膜层 200 vk:k ~
8.42 增加铝反射率膜 201 OV~]-5gau 8.43 参考文献 202 ?cyBF*o 9 多层膜 204 r%:Q(|v? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 6H]rO3[8 9.2 内部透过率 204 pxGDzU 9.3 内部透射率数据 205 U{`Q_Uw@$: 9.4 实例 206 HpXQD; 9.5 实例2 210 "Y1]6
Zu 9.6 圆锥和带宽计算 212 k vuSE 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^i"~6QYE 10 光学薄膜的颜色 216 bmid;X| 10.1 导言 216 !^Ly#$-X 10.2 色彩 216 <2.87: 10.3 主波长和纯度 220 {M_*hR;lL 10.4 色相和纯度 221 Q
*]d[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 `F(ghC 10.6 色差 226 L2ybL#dz 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 x$SxGc~4gb 10.8 颜色渲染指数 234 uc~/l4~N 10.9 色差计算 235 z+5ZUS2~& 10.10 参考文献 236 `GpOS_; 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
23(j < 11.1 短脉冲 238 _o+z#Fn z 11.2 群速度 239 qN=l$_UD 11.3 群速度色散 241 &s{" Vc9] 11.4 啁啾(chirped) 245
/N8>>g 11.5 光学薄膜—相变 245 ~K2.T7= 11.6 群延迟和延迟色散 246 TXWYQ~]3w 11.7 色度色散 246 RE<s$B$[ 11.8 色散补偿 249 kq4ii`zi8 11.9 空间光线偏移 256 u3k{s 11.10 参考文献 258 f,
iHM 12 公差与误差 260 W'xJh0o 12.1 蒙特卡罗模型 260 `w(~[`F t 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 wCitQ0? 12.2.1 误差工具 267 .7K<9K +P 12.2.2 灵敏度工具 271 6OPYq*| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 VpO+52& 12.2.2.2 灵敏度分布 275 2uEvu 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 0XzrzT"& 12.3 参考文献 276 h>:eu# 13 Runsheet 与Simulator 277 k|r|*|8 13.1 原理介绍 277 \UEO$~Km 13.2 截止滤光片设计 277 2R`dyg 14 光学常数提取 289 a W9_[#z5 14.1 介绍 289 AzZb0wW6p 14.2 电介质薄膜 289 3 q^^Os 14.3 n 和k 的提取工具 295 n85d
g 14.4 基底的参数提取 302 x-@}x@n&[ 14.5 金属的参数提取 306 v;ZIqn" 14.6 不正确的模型 306 - %'ys 14.7 参考文献 311 Hs#q 7 15 反演工程 313 (/[wM>q:r 15.1 随机性和系统性 313 O/ih9, 15.2 常见的系统性问题 314 tj1M1s|a 15.3 单层膜 314 gLzQM3{X9 15.4 多层膜 314 N]dsGvX 15.5 含义 319 W } 15.6 反演工程实例 319 3$n O@rOS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6 mml96( 15.6.2 反演工程提取折射率 327 w7e+~8| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 INF}~DN] 16.1 光学性质的热致偏移 329 K)&oDwk 16.2 应力工具 335 K?]c 16.3 均匀性误差 339 *Z}9S9YtN 16.3.1 圆锥工具 339 [9H986= 16.3.2 波前问题 341 d) $B 16.4 参考文献 343 vwIP8z~< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0ME.O+ 17.1 引言 345 grZ?F~P8 17.2 操作数 345 u}(K3H3 18 如何在Function中编写脚本 351 G|+naZ 18.1 简介 351 "V>p 18.2 什么是脚本? 351 XdV(=PS!a@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 5tUN'KEbN 18.4 基础 352 \ sc's7 18.4.1 Classes(类别) 352 * R_mvJlT 18.4.2 对象 352 f}ES8Hh[ 18.4.3 信息(Messages) 352 l|"SM6 18.4.4 属性 352 48g`i 18.4.5 方法 353 4iC=+YUn 18.4.6 变量声明 353 TO]7 %aB 18.5 创建对象 354 l}&&f8n 18.5.1 创建对象函数 355 *Hed^[sO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \Pt_5.bTs[ 18.5.3 丢弃对象 356 VI(2/** 18.5.4 总结 356 LQDU8[- 18.6 脚本中的表格 357 9
lH00n+' 18.6.1 方法1 357 +<$b6^>!$ 18.6.2 方法2 357 `Qxdb1>mjY 18.7 2D Plots in Scripts 358 Nu4PY@m]C 18.8 3D Plots in Scripts 359 )9~-^V0A^> 18.9 注释 360 t +h}hL 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 T(q/$p&q 18.11 一个更高级的脚本 362 iT,Ya-9" 18.12 <esc>键 364 4&}dA^F 18.13 包含文件 365 e;r?g67 18.14 脚本被优化调用 366 JL:\\JT. 18.15 脚本中的对话框 368 Yue# 18.15.1 介绍 368 4VI'd|Ed 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~`!{5:v 18.15.3 输入框函数 370 D]*<J"/]d 18.15.4 自定义对话框 371 CU_8
`} 18.15.5 对话框编辑器 371 4)z*Vux 18.15.6 控制对话框 377 /;V:<mekf 18.15.7 更高级的对话框 380 GSa U:A 18.16 Types语句 384 !J k|ha~r 18.17 打开文件 385 ^#p+#_*V 18.18 Bags 387 bc%N !d 18.13 进一步研究 388 p)YI8nW 19 vStack 389 ?7cT$/4 19.1 vStack基本原理 389 TBu[3X% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 nv}z%.rRUj 19.3 五棱镜 393 [l:}#5\]4 19.4 光束距离 396 E0_S+`o2y 19.5 误差 399 yl UkVr
19.6 二向分色棱镜 399 &A)u!l Ue 19.7 偏振泄漏 404 +GFK!Pf 19.8 波前误差—相位 405 {-.ZFUZmT 19.9 其它计算参数 405
ZO\x|E!b 20 报表生成器 406 bPHtP\) 20.1 入门 406 0;n}{26a 20.2 指令(Instructions) 406 g;._Q 20.3 页面布局指令 406 [*W l= 20.4 常见的参数图和三维图 407 Rw]lW;EN< 20.5 表格中的常见参数 408 B4{clI _i 20.6 迭代指令 408 Mcm%G# 20.7 报表模版 408 Fh
U* mAX) 20.8 开始设计一个报表模版 409 ty-erdsP 21 一个新的project 413 E`gUNAKQ 21.1 创建一个新Job 414 XTS%:S 21.2 默认设计 415 "C'T>^qw* 21.3 薄膜设计 416 gf^XqTLs 21.4 误差的灵敏度计算 420 <)9dTOdd 21.5 显色指数计算 422 {"n=t`E)3 21.6 电场分布 424 1b`WzoJgH 后记 426 6o=Q;Mezl 有兴趣加微咨询 R,f"2
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