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y"!+Fus9 内容简介 Z\i@Qa +r Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 tb&{[|O^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 SLz^Wg._ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 HnioB=fc ,/:#=TuYm 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 sqac>v 目录 r6 ,5&`& Preface 1 `6lc] r 内容简介 2 <8r%_ '] 目录 i $>5|TG
0i 1 引言 1 FL0(q>$*8 2 光学薄膜基础 2 +n^$4f 2.1 一般规则 2 ThwE1M 2.2 正交入射规则 3 69r<Z 2.3 斜入射规则 6 398}a!XM 2.4 精确计算 7 hXbb+j 2.5 相干性 8 rt!5Tl+v 2.6 参考文献 10 a,M7Bbx 3 Essential Macleod的快速预览 10 E;D9S 4 Essential Macleod的特点 32 f]%$HfF@ 4.1 容量和局限性 33 M*8Ef^-U`t 4.2 程序在哪里? 33 QF'N8Kla 4.3 数据文件 35 LurBqr 4.4 设计规则 35 io$AGi 4.5 材料数据库和资料库 37 ?J6J#{LRd 4.5.1材料损失 38 J03yFT,dF 4.5.1材料数据库和导入材料 39 0j7\.aaK 4.5.2 材料库 41 >=6tfLQ 4.5.3导出材料数据 43 EmVE<kY. 4.6 常用单位 43 #r#UO 4.7 插值和外推法 46 ~WehG<p v[ 4.8 材料数据的平滑 50 qL,! 4.9 更多光学常数模型 54 C{-e(G`Yd 4.10 文档的一般编辑规则 55 9'\18_w 4.11 撤销和重做 56 4mQ:i7~ 4.12 设计文档 57 g"hm"m}i 4.10.1 公式 58 _CciU.1k&, 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 K.",=\53 4.10.3 沉积密度 59 rrwBsa3 4.10.4 平行和楔形介质 60 j1Q G-Rs& 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 z6ArSLlZ 4.10.4 性能 61 |.)oV;9 4.10.5 保存设计和性能 64 a 5:YP 4.10.6 默认设计 64 4nXS}bW f 4.11 图表 64 D7olu29 4.11.1 合并曲线图 67 f,k'gM{K 4.11.2 自适应绘制 68 =UM30
P/ 4.11.3 动态绘图 68 ' n#;~ 4.11.4 3D绘图 69 (@pE 4.12 导入和导出 73 >ys>Q) 4.12.1 剪贴板 73 pD eqBO 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 `QnKal ) 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 SZzS$6t 4.13 背景 77 a:XVu0`( 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >hJ$~4? 4.15 生成Rugate 84 3uZY.H+H 4.16 参考文献 91 XWf8ZZj 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 :0Rd )*k,v 5.1 Jobs 92 /![S 3Ol 5.2 创建一个新Job(工作) 93 k>FMy#N|@ 5.3 输入材料 94 kBS;SDl) 5.4 设计数据文件夹 95 x$[<<@F% 5.5 默认设计 95 %r=uS.+hrF 6 细化和合成 97 VL?ubt< 6.1 优化介绍 97 J3Qv|w[3Y 6.2 细化 (Refinement) 98 Yo/U /dB 6.3 合成 (Synthesis) 100 4h@jJm
6.4 目标和评价函数 101 <IC=x(T 6.4.1 目标输入 102 \j+O |#`|) 6.4.2 目标 103 lQ<2Vw#Yl 6.4.3 特殊的评价函数 104 E5~HH($b 6.5 层锁定和连接 104 +?w 7Nm` 6.6 细化技术 104 osoreo;V^ 6.6.1 单纯形 105 iKnH6}`?U 6.6.1.1 单纯形参数 106 w4Qqo( 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mSp- 6.6.2.1 Optimac参数 108 Hzcy' 6.6.3 模拟退火算法 109 1XSA3;ZEc 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $3[IlQ? 6.6.4 共轭梯度 111 y<W?hE[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 CC0@RU 6.6.5 拟牛顿法 112 `MAee8u' 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 w},' 1 6.6.6 针合成 113 g{.>nE^Sc5 6.6.6.1 针合成参数 114 !
@{rkp 6.6.7 差分进化 114 u_;*Ay 6.6.8非局部细化 115 +FfT)8@W 6.6.8.1非局部细化参数 115 :3^b>(W. 6.7 我应该使用哪种技术? 116 F l83
Z> 6.7.1 细化 116 L(\sO=t 6.7.2 合成 117 an_qE}P 6.8 参考文献 117 CoDu|M% 7 导纳图及其他工具 118 )G\23P 7.1 简介 118 8c(}*,O/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 bE#=\kf| 7.2.1 四分之一波长规则 119 P~Q5d&1SO 7.2.2 导纳图 120 uSLO"\zysX 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zpV@{%VSj 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 lhw]?\ 7.5 斜入射导纳图 141 \(Dq=UzQI 7.6 对称周期 141 1sl^+)z8 7.7 参考文献 142 QWH1xId 8 典型的镀膜实例 143 '(mJ*Eb 8.1 单层抗反射薄膜 145 8Y *SZTzV 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a% |[m,FvP 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [HI&>dm=$ 8.4 W-膜层 148 .=~beTS'Vo 8.5 V-膜层 149 9_h3<3e 8.6 V-膜层高折射基底 150 U_v{Vs 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Sj]k5(& 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A ${b] 8.9 四层抗反射薄膜 153 hLPg=8nJ_ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _P
0,UgZz 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 fzO4S^mTo8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 b#bdz1@s 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 rUEoz |e4a 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 A`v (hBM 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %lNv?sWb 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 lTJ1]7) 8.17 1/4波长堆栈 162 -CfGWO#Gbx 8.18 陷波滤波器 163 s\i=-` 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 eZ5UR014 8.20 褶皱 165 !<H[h4g 8.21 消偏振分光器1 169 Mez;DKJ` 8.22 消偏振分光器2 171 lc>)7UF 8.23 消偏振立体分光器 172 q$z#+2u 8.24 消偏振截止滤光片 173 mA}-hR% 8.25 立体偏振分束器1 174 #mlTN3 8.26 立方偏振分束器2 177 AN7WMX 8.27 相位延迟器 178 :#0uy1h 8.28 红外截止器 179 (mz5vzyw 8.29 21层长波带通滤波器 180 8:;_MBt 8.30 49层长波带通滤波器 181 .CdaOWM7 8.31 55层短波带通滤波器 182 pW7vY)hj 8.32 47 红外截止器 183 UZ0fw@R M 8.33 宽带通滤波器 184 :VP4|H#SP 8.34 诱导透射滤波器 186 ,oX48Wg_+ 8.35 诱导透射滤波器2 188 _5%SYxF*y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _/ bF t6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 wNL!T6"G 8.35 增益平坦滤波器 193 ljVtFm< 8.38 啁啾反射镜 1 196 []:;8fY 8.39 啁啾反射镜2 198 )QE7$|s 8.40 啁啾反射镜3 199 .w/#S-at 8.41 带保护层的铝膜层 200 fL.;- 8.42 增加铝反射率膜 201 r?Jxl< 8.43 参考文献 202 [tsi8r=T 9 多层膜 204 #&0)kr66 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 '$pT:4EuGq 9.2 内部透过率 204 UMwB. * 9.3 内部透射率数据 205 7)$U>|= 9.4 实例 206 0cZyO$. 9.5 实例2 210 ;l>
xXSB7$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 $fhrGe 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Dww]D|M 10 光学薄膜的颜色 216 @;kw6f:{d 10.1 导言 216 q9.)p 10.2 色彩 216 au7%K5 10.3 主波长和纯度 220 F{)YdqQ 10.4 色相和纯度 221 geU-T\1[l 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 +jYO?uaT 10.6 色差 226 Cnd70tbD ) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 r)Ts(#Z 10.8 颜色渲染指数 234 @3KVYv,q 10.9 色差计算 235 8(3'YNC 10.10 参考文献 236 ~E-YXl9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 a(Ka2;M4J 11.1 短脉冲 238 '<~rV 11.2 群速度 239 UgDai?b1 11.3 群速度色散 241 mj5$ 2J 11.4 啁啾(chirped) 245 uMa: GDh7 11.5 光学薄膜—相变 245 `M/=_O3 11.6 群延迟和延迟色散 246 6}
"?eW 11.7 色度色散 246 #%z--xuJL 11.8 色散补偿 249 !O
F#4N 11.9 空间光线偏移 256
hh<5?1 11.10 参考文献 258 p 7IJ3YY 12 公差与误差 260 iY"I:1l. 12.1 蒙特卡罗模型 260 KJWYG^zI 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 %HSS
x+2oR 12.2.1 误差工具 267 W"Hjn/xSS 12.2.2 灵敏度工具 271 {`QF(WL 12.2.2.1 独立灵敏度 271 hnZI{2XzBE 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ANtp7ad 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 H6E@C}cyM 12.3 参考文献 276 6G6Hg&B 13 Runsheet 与Simulator 277 5EDHJU> 13.1 原理介绍 277 vLn<=. 13.2 截止滤光片设计 277 u^a\02aV[ 14 光学常数提取 289 S_LY>k? 14.1 介绍 289 o/buU{)y 14.2 电介质薄膜 289 LinARMPv 14.3 n 和k 的提取工具 295 2+"=i/8 14.4 基底的参数提取 302 :p@H 14.5 金属的参数提取 306 iKv`[k 14.6 不正确的模型 306 |57KTiiNLI 14.7 参考文献 311 (y|{^@ 15 反演工程 313 IcZ_AIjlk 15.1 随机性和系统性 313 :}x\&]uC#k 15.2 常见的系统性问题 314
Y<TlvB)w 15.3 单层膜 314 *LcLYxWo 15.4 多层膜 314 EceZ1b 15.5 含义 319 I9*o[Jp5 15.6 反演工程实例 319 Fp4?/-] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Q_QmyD~m 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ]Vhhx`0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 qyl~*r* 16.1 光学性质的热致偏移 329 ?15k~1nA 16.2 应力工具 335 y$s}-O]/- 16.3 均匀性误差 339 n>>hfxv(O! 16.3.1 圆锥工具 339 $t.N|b`' 16.3.2 波前问题 341 jjBcoQU$o 16.4 参考文献 343 hor ok:{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &=fBqod 17.1 引言 345 Lv,~M f1| 17.2 操作数 345 a<tUpI$ 18 如何在Function中编写脚本 351 j{VxB 18.1 简介 351 S;NChu?8
18.2 什么是脚本? 351 D}"\nCz}y& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ;Fcdjy 18.4 基础 352 9pE)S^P 18.4.1 Classes(类别) 352 ?# >|P-4 18.4.2 对象 352 deaxb8'7 18.4.3 信息(Messages) 352 9;dP7o 18.4.4 属性 352 C
fQj7{ 18.4.5 方法 353 %s$_KG !& 18.4.6 变量声明 353 n-,~Bp
[ 18.5 创建对象 354 SZg+5MD;X 18.5.1 创建对象函数 355 dDW],d}B; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 hw_7N)} 18.5.3 丢弃对象 356 eC9~
wc 18.5.4 总结 356 Mp75 L5 18.6 脚本中的表格 357 Wr`=P, 18.6.1 方法1 357 l,h#RTfry 18.6.2 方法2 357 Bp^>R`, 18.7 2D Plots in Scripts 358 d(,-13 18.8 3D Plots in Scripts 359 Q9K
Gf; 18.9 注释 360 8/b_4!5c 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9L%&4V}BIS 18.11 一个更高级的脚本 362 r!Eo8C 18.12 <esc>键 364 )U<4ul 18.13 包含文件 365 A42At] 18.14 脚本被优化调用 366
)%;#~\A 18.15 脚本中的对话框 368 dge58A)Q 18.15.1 介绍 368 $f1L<euH 18.15.2 消息框-MsgBox 368 U,iTURd 18.15.3 输入框函数 370 i/O!bq[o 18.15.4 自定义对话框 371 )%X\5]w` 18.15.5 对话框编辑器 371 )~d2`1zGS 18.15.6 控制对话框 377 ,~K_rNNZ 18.15.7 更高级的对话框 380 W$gSpZ_7 18.16 Types语句 384 j])iyn~-Ke 18.17 打开文件 385 "4g1I< 18.18 Bags 387 =eac,]31 18.13 进一步研究 388 XIBw&mWf 19 vStack 389 P%Q}R[Q 19.1 vStack基本原理 389 +hjc~|RK 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 }C"#b\A2 19.3 五棱镜 393 fhH* R*4 19.4 光束距离 396 UeHS4cW 19.5 误差 399 b4%IyJr 19.6 二向分色棱镜 399 8>pFpS 19.7 偏振泄漏 404 ]-x#zp;= 19.8 波前误差—相位 405 Q2rZMK 19.9 其它计算参数 405 Crpkq/ M 20 报表生成器 406 Om}&`AP}; 20.1 入门 406 "45BOw&72G 20.2 指令(Instructions) 406 qh.c#t 20.3 页面布局指令 406 {GWcw<g.B 20.4 常见的参数图和三维图 407 sE/9~L 20.5 表格中的常见参数 408 !+>yCy$~_ 20.6 迭代指令 408 KL5rF,DME 20.7 报表模版 408 r`<evwIe 20.8 开始设计一个报表模版 409 \Z+v\5nmO 21 一个新的project 413 9s*Lzi[} 21.1 创建一个新Job 414 /E]4N=T 21.2 默认设计 415 tD4IwX 21.3 薄膜设计 416 ,\=u(Y\I[ 21.4 误差的灵敏度计算 420 }FM<uBKW 21.5 显色指数计算 422 H>DJ-lG( 21.6 电场分布 424 u'32nf? 后记 426 nosEo?{ 有兴趣加微咨询 ._FgQ``PL
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