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w[\rS`J 内容简介 \{]y(GT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 s*_fRf: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Ue60Mf 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 F~qZIggD )`(]jx! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 dCS f$5 目录 j}B86oX Preface 1 }IZw6KiN 内容简介 2 Ef?hkq7X< 目录 i \v6lcAL- 1 引言 1 +t%2V? 2 光学薄膜基础 2 <G|i5/|7 2.1 一般规则 2 r#2Fk&Z9 2.2 正交入射规则 3 JB].ht 2.3 斜入射规则 6 z6l'v~\ 2.4 精确计算 7 4p-"1 c$ 2.5 相干性 8 I#M>b:"te 2.6 参考文献 10 pqb`g@ 3 Essential Macleod的快速预览 10 qB,0(I1-! 4 Essential Macleod的特点 32 ^9Cu?!xu0 4.1 容量和局限性 33 p4MWX12 4.2 程序在哪里? 33 "OK[uug 4.3 数据文件 35 :UP8nq 4.4 设计规则 35 e3W~6P 4.5 材料数据库和资料库 37 z'$1$~I 4.5.1材料损失 38 =EMB~i 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }mK,Bi?bj 4.5.2 材料库 41 PU,$YPrZ 4.5.3导出材料数据 43 'sH_^{V2 4.6 常用单位 43 {QylNC9 4.7 插值和外推法 46 OqDP{X: 4.8 材料数据的平滑 50 M2|h.+[Q 4.9 更多光学常数模型 54 tE{M 4.10 文档的一般编辑规则 55 +)WU:aKI 4.11 撤销和重做 56 \.O&-oi 4.12 设计文档 57 jq*`| m;Q 4.10.1 公式 58 =#[oi3k 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hL6;n*S= 4.10.3 沉积密度 59 ;aWk- 4.10.4 平行和楔形介质 60 )MK$E,W 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Iq4B%xo6G 4.10.4 性能 61 N'9T*&o+ 4.10.5 保存设计和性能 64 1w(3!Ps+ 4.10.6 默认设计 64 =WW5H\? 4.11 图表 64 vg[3\!8z[ 4.11.1 合并曲线图 67 RU4X#gP4Vh 4.11.2 自适应绘制 68 o.A:29KoU 4.11.3 动态绘图 68 sAqy(oy#M 4.11.4 3D绘图 69 oV0 45G 4.12 导入和导出 73 .4[3r[ 4.12.1 剪贴板 73 K _YOp1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -ycYQ~R 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Sk>=C0f: 4.13 背景 77 Z;81" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ed#fDMXGQ% 4.15 生成Rugate 84 $1|E(d1 4.16 参考文献 91 ;]Q6K9.d8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;J,(YNI
1 5.1 Jobs 92 EG3,TuDH8 5.2 创建一个新Job(工作) 93 :M6v<Kg{; 5.3 输入材料 94 o>,r< 5.4 设计数据文件夹 95 \8QOZjy 5.5 默认设计 95 J'|=J 6 细化和合成 97 dGBjV #bNT 6.1 优化介绍 97 Y06^M?} 6.2 细化 (Refinement) 98 n]'
r3 6.3 合成 (Synthesis) 100 gtu<#h( 6.4 目标和评价函数 101 oH%[8!# 6.4.1 目标输入 102 "Mj#P9 6.4.2 目标 103 CL1*pL 6.4.3 特殊的评价函数 104 )wM%Ul<s 6.5 层锁定和连接 104 Lo!hyQ) 6.6 细化技术 104 M['O`^ 6.6.1 单纯形 105 VZWo.Br'W 6.6.1.1 单纯形参数 106 N~8H\ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 W<prY 6.6.2.1 Optimac参数 108 f1ANziC;i 6.6.3 模拟退火算法 109 ai sa2# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {+WY,%e 6.6.4 共轭梯度 111
F/5G~17 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 u7hu8U= 6.6.5 拟牛顿法 112 w/m@(EBK 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 jjj<B'zt 6.6.6 针合成 113 [A84R04_% 6.6.6.1 针合成参数 114 ?<!qF:r: 6.6.7 差分进化 114 f_S$CFa@ 6.6.8非局部细化 115 &/WM:]^?0) 6.6.8.1非局部细化参数 115 MZ,1 mR 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8eS(gKD 6.7.1 细化 116 )dhR&@r*w 6.7.2 合成 117 Qs,\P^n 6.8 参考文献 117 hXjZ>n`` 7 导纳图及其他工具 118 )DXt_leLg 7.1 简介 118 baII!ks 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 r$={_M$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 Bgm8IK)6 7.2.2 导纳图 120 cr!W5+r 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Qi`3$<W> 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 NLMvi!5w, 7.5 斜入射导纳图 141 uxU-N 7.6 对称周期 141 5 qfvHQ ~M 7.7 参考文献 142 ~o^| >] 8 典型的镀膜实例 143 fAULuF 8.1 单层抗反射薄膜 145 hI86WP9* 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ;pW8a? 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 nd8<*ru$ 8.4 W-膜层 148 1z6aMd6. 8.5 V-膜层 149 KNAvLcg 8.6 V-膜层高折射基底 150 N3L$"g5^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @ar%`+_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 f1_; da 8.9 四层抗反射薄膜 153 c6xr[tc% 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _'!?fA 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ['}|#3*w 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <J;O$S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |:R\j0t 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :.+w'SEn4M 8.15十五层宽带抗反射膜 159 TRi# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ydzsJ+dx 8.17 1/4波长堆栈 162 tw$EwNI[ 8.18 陷波滤波器 163 9xK>fM&u 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5?>4I"ne 8.20 褶皱 165 lKejWT`; 8.21 消偏振分光器1 169 k={D!4kKz 8.22 消偏振分光器2 171 J -z. 8.23 消偏振立体分光器 172 %1A8m-u]M 8.24 消偏振截止滤光片 173 "mJo<i} 8.25 立体偏振分束器1 174 .jQx2O 8.26 立方偏振分束器2 177 s1 >8uW 8.27 相位延迟器 178
]20:8l' 8.28 红外截止器 179 *LB-V%{|' 8.29 21层长波带通滤波器 180 1yE',9? 8.30 49层长波带通滤波器 181 }h;Z_XF& 8.31 55层短波带通滤波器 182 s=jmvvs_V} 8.32 47 红外截止器 183 W]D YfR, 8.33 宽带通滤波器 184 fxcE1=a 8.34 诱导透射滤波器 186 X
<xM ' 8.35 诱导透射滤波器2 188 8`*5[ L~~/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 1-p#}VX 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ^s6~*n<fH 8.35 增益平坦滤波器 193 lu{
*]! 8.38 啁啾反射镜 1 196 :5~Dca_iU4 8.39 啁啾反射镜2 198 { }/ 8.40 啁啾反射镜3 199 y ~
K8 8.41 带保护层的铝膜层 200 @H?OHpJ"` 8.42 增加铝反射率膜 201 RkG?R3e 8.43 参考文献 202 3 ~P$p< 9 多层膜 204 wnX;eU/n 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 QgU]3`z" 9.2 内部透过率 204 _|C3\x1c 9.3 内部透射率数据 205 Ms6;iW9 9.4 实例 206 %h ;oi/pe 9.5 实例2 210 uN<=v&]q 9.6 圆锥和带宽计算 212 c/K#W$ l 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 U=D;CjAh 10 光学薄膜的颜色 216 961&rR}d 10.1 导言 216 F[\T'{ 10.2 色彩 216 #eKKH]J/ 10.3 主波长和纯度 220 MlWKfe< 10.4 色相和纯度 221 OG<*&V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 =r/K#hOR\J 10.6 色差 226 bnfeZR1m_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 85#
3|5n 10.8 颜色渲染指数 234 ph6/+[: 10.9 色差计算 235 =~O3j:<6 10.10 参考文献 236 &;ddnxFI
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -btNwE6[. 11.1 短脉冲 238 &pI\VIx ? 11.2 群速度 239 |5;,]lbt 11.3 群速度色散 241 KN_n :`cH{ 11.4 啁啾(chirped) 245 O])vR< [ 11.5 光学薄膜—相变 245 |E K6txRb 11.6 群延迟和延迟色散 246 '~b 11.7 色度色散 246 2+pw%#fe 11.8 色散补偿 249 w31O~Ve 11.9 空间光线偏移 256 G:b6Wf 11.10 参考文献 258 ;fqp!|J 12 公差与误差 260 R~oY
R,L; 12.1 蒙特卡罗模型 260 pu MVvo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 TQeIAy 12.2.1 误差工具 267 <tTNtBb 12.2.2 灵敏度工具 271 [5xm>Y&} 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;L87
%P(. 12.2.2.2 灵敏度分布 275 `GqF/?i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /TbJCZ 12.3 参考文献 276 !"phz&E5ah 13 Runsheet 与Simulator 277 6p;Pf9
f 13.1 原理介绍 277 7Z]?a 13.2 截止滤光片设计 277 tz65Tn_M 14 光学常数提取 289 >%6j -:S 14.1 介绍 289 ("A45\5 14.2 电介质薄膜 289 L`M{bRl+1 14.3 n 和k 的提取工具 295 N/-(~r[ 14.4 基底的参数提取 302 n\Is}Czl 14.5 金属的参数提取 306 vH6(p(l 14.6 不正确的模型 306 \t{4pobo 14.7 参考文献 311 >}.~Y#Ge 15 反演工程 313 hK4ww"- 15.1 随机性和系统性 313 2 br>{^T 15.2 常见的系统性问题 314 Flpl,|n
a 15.3 单层膜 314 yT%<
t 15.4 多层膜 314 b^[>\s' 15.5 含义 319 :fX61S6) 15.6 反演工程实例 319 DDIRJd<J 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >.39OQ# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 U'b}%[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 hTAc}'^$ 16.1 光学性质的热致偏移 329 7g8\q@', 16.2 应力工具 335 )e[q%%ks 16.3 均匀性误差 339 unYPvrd 16.3.1 圆锥工具 339 x?6^EB|@ 16.3.2 波前问题 341 lKQjG+YF 16.4 参考文献 343 :;#^gvH 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 h Q Att 17.1 引言 345 9[{q5 17.2 操作数 345 5FJ%"5n& 18 如何在Function中编写脚本 351 .h
w(; 18.1 简介 351 jz'%(6#'gW 18.2 什么是脚本? 351 k"dE?v\cG 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B$=1@ 18.4 基础 352 /;TD n>lq 18.4.1 Classes(类别) 352 HU
+271A8 18.4.2 对象 352 brE%/%!e 18.4.3 信息(Messages) 352 K~&3etQF 18.4.4 属性 352 WFug-#;e 18.4.5 方法 353 RionKiN 18.4.6 变量声明 353 bMqS:+ 18.5 创建对象 354 ENYc.$r 18.5.1 创建对象函数 355 qsN}KgTjg 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 h9A=20fj 18.5.3 丢弃对象 356 ' z^v}~ 18.5.4 总结 356 qk&BCkPT 18.6 脚本中的表格 357 ;h~k B 18.6.1 方法1 357 5=poe@1g 18.6.2 方法2 357 ^*NOG\BK@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 q<g!bW% 18.8 3D Plots in Scripts 359 <1V>0[[e 18.9 注释 360 >]bS"S 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,E(M<n|. 18.11 一个更高级的脚本 362 5',b~Pp 18.12 <esc>键 364 CwEb ? 18.13 包含文件 365 6>d3* 18.14 脚本被优化调用 366 H/#WpRg 18.15 脚本中的对话框 368 FP6JfI8 18.15.1 介绍 368 0"@p|nAa 18.15.2 消息框-MsgBox 368 z_&T>ME 18.15.3 输入框函数 370 G~lnX^46" 18.15.4 自定义对话框 371 /X\:3P 18.15.5 对话框编辑器 371 (yeN> x}_ 18.15.6 控制对话框 377 2Q/V D,yU 18.15.7 更高级的对话框 380 toox`| 18.16 Types语句 384 dfeN_0`- 18.17 打开文件 385
2IDn4<` 18.18 Bags 387 (n{!~'3 18.13 进一步研究 388 xiQd[[(sM 19 vStack 389 sMw"C~XL 19.1 vStack基本原理 389 L-3wez;hm 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 vinn|_s% 19.3 五棱镜 393 0c#|LF_ 19.4 光束距离 396 du=[ r 19.5 误差 399 jAFJ?L( 19.6 二向分色棱镜 399 `\-mqe 19.7 偏振泄漏 404 `MMZR=LA 19.8 波前误差—相位 405 Gc!&I+kd 19.9 其它计算参数 405 iEBxBsz_ 20 报表生成器 406 "k7C 20.1 入门 406 u z>V 20.2 指令(Instructions) 406 6FI`0j=~ 20.3 页面布局指令 406 kh*td(pfP9 20.4 常见的参数图和三维图 407 ]O68~+6 20.5 表格中的常见参数 408 ~\+mo 20.6 迭代指令 408 FiN B$A 20.7 报表模版 408 }Mh`j$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 +?[iB"F 21 一个新的project 413 CY.i0 21.1 创建一个新Job 414 ) ]]PhGX~ 21.2 默认设计 415 I*
JSb9r 21.3 薄膜设计 416 hrnY0 21.4 误差的灵敏度计算 420 Yh;A 21.5 显色指数计算 422 7vsXfIP+ 21.6 电场分布 424 '#Y[(5 后记 426 "CWqPcr 有兴趣加微咨询 u!VY6y7p
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