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l)i&ATvCE 内容简介 {+/
.5 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $&xuVBs 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 RI5g+Du? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 G>[
NZE XAQ\OX# 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 X@bn?? 目录 _d\u!giy Preface 1 43{_Y] 内容简介 2 4Wi8$ 目录 i `bZ2x@ 1 引言 1 Msv*}^> 2 光学薄膜基础 2 ?`N57'iPb 2.1 一般规则 2 &Hlm{FHU 2.2 正交入射规则 3 +#-kIaU 2.3 斜入射规则 6 `'[7~ Ew[ 2.4 精确计算 7 ?ae[dif 2.5 相干性 8 SG
dfhno; 2.6 参考文献 10 -'O Q-5 3 Essential Macleod的快速预览 10 {?@t/.4[W3 4 Essential Macleod的特点 32 h V|v6 _ 4.1 容量和局限性 33 b"R, p=M 4.2 程序在哪里? 33 :Wyn+ 4.3 数据文件 35 P7'oXtW{o 4.4 设计规则 35 08Pt(kzNA 4.5 材料数据库和资料库 37 ih+*T1#:( 4.5.1材料损失 38 7]/dg*A )C 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ,>bGbx 4.5.2 材料库 41 YM# 4.5.3导出材料数据 43 .0nn0)" 4.6 常用单位 43 ;NiArcAS! 4.7 插值和外推法 46 3~[`[4n^ 4.8 材料数据的平滑 50 &\J?[>EJ. 4.9 更多光学常数模型 54 T:K" 4.10 文档的一般编辑规则 55 S s@u,`pr 4.11 撤销和重做 56 S3ab0JM 4.12 设计文档 57 NCowt|#t 4.10.1 公式 58 3W7;f! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Z&+NmOY4 4.10.3 沉积密度 59 ~")hE%Kl} 4.10.4 平行和楔形介质 60 dWsT Jyx~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 B`?N,N" 4.10.4 性能 61 5y1or 4.10.5 保存设计和性能 64 2Ueq6IuQ 4.10.6 默认设计 64 Lv
`#zgo_f 4.11 图表 64 I! h(` 4.11.1 合并曲线图 67 7ei>L]gm% 4.11.2 自适应绘制 68 ;;EDN45 4.11.3 动态绘图 68 N3uMkH-< 4.11.4 3D绘图 69 BA~a?"HS 4.12 导入和导出 73 /6+1{p 4.12.1 剪贴板 73 zW*}`S" 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
F^ I\X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 t$U3|r 4.13 背景 77 89LpklD 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 E
S#rs=" 4.15 生成Rugate 84 Ni+3b 4.16 参考文献 91 lhLnyg Uk 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 a{<p'_ 5.1 Jobs 92 BQyvj\uJ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?j1_
n,d 5.3 输入材料 94 N=OS\pz 5.4 设计数据文件夹 95
S304ncS|M 5.5 默认设计 95 EKqi+T^=F 6 细化和合成 97 c u\ls^ 6.1 优化介绍 97 W3 ^z Ij 6.2 细化 (Refinement) 98 v#RW{kI 6.3 合成 (Synthesis) 100 z7-`Y9Ypd 6.4 目标和评价函数 101 FhWmO 6.4.1 目标输入 102 R;H?gE^m- 6.4.2 目标 103 J&A;#<qY 6.4.3 特殊的评价函数 104 U{7 3Xax 6.5 层锁定和连接 104 "e~k-\^Y 6.6 细化技术 104 jr9&.8%W:v 6.6.1 单纯形 105 ?QGmoQ) 6.6.1.1 单纯形参数 106 xKY$L* 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 wb]*u7G
t/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 Y.q>EUSH 6.6.3 模拟退火算法 109 }KK2WJp#M 6.6.3.1 模拟退火参数 109 M(qxq(#{U 6.6.4 共轭梯度 111 {I`B[,* 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
}c}
( 5 6.6.5 拟牛顿法 112 /@Ez" ?V2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -g:lOht 6.6.6 针合成 113 k]Zo-xh4 6.6.6.1 针合成参数 114 8O;Vl 6.6.7 差分进化 114 |Dg;(i? 6.6.8非局部细化 115 N6h1|_o 6.6.8.1非局部细化参数 115 IQT cYl 6.7 我应该使用哪种技术? 116 pFpZbU^ 6.7.1 细化 116 R4V \B 6.7.2 合成 117 wDDx j 6.8 参考文献 117 lj)f4zu 7 导纳图及其他工具 118 ^Z2kq2}a 7.1 简介 118 sYI~dU2H 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 t)ld<9)eB 7.2.1 四分之一波长规则 119 [(1O" 7.2.2 导纳图 120 u,fA! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3@G;'|z 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 &} ,*\Oj 7.5 斜入射导纳图 141 5^>n5u/ 7.6 对称周期 141 9SY(EL 7.7 参考文献 142 k_!+V`Ro# 8 典型的镀膜实例 143 tev QW 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^\:yf.k 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Y~az!8j;Z 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 &Cq{
_M 8.4 W-膜层 148 ^;zWWg/d 8.5 V-膜层 149 y?>#t^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 sAVefL? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +jtA&1cf 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 :7\9xH 8.9 四层抗反射薄膜 153
a"QU:<-v 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +3Y!xD?= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +e'X; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 >\ZR*CS 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ET)>#zp+s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 2Pp&d>E4 8.15十五层宽带抗反射膜 159 a}>Dz 1R 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]ZTcOf 8.17 1/4波长堆栈 162 =Ey`M#t; 8.18 陷波滤波器 163 g]|_
` 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 snYr9O[E6 8.20 褶皱 165 XrS\+y3 8.21 消偏振分光器1 169 Ziz=]D_ 8.22 消偏振分光器2 171 (S oo<.9~ 8.23 消偏振立体分光器 172 TFy7HX\Oq 8.24 消偏振截止滤光片 173 4\p-TPM 8.25 立体偏振分束器1 174 0KAj]5nvb 8.26 立方偏振分束器2 177 bD<qNqX$ 8.27 相位延迟器 178
-4flV D 8.28 红外截止器 179 nLy#|C 8.29 21层长波带通滤波器 180 `U{mbw, 8.30 49层长波带通滤波器 181 !8*McOI 8.31 55层短波带通滤波器 182 B
wC+ov= 8.32 47 红外截止器 183 ;LRW
8Wd 8.33 宽带通滤波器 184 $b>}C= gt 8.34 诱导透射滤波器 186 5h8o4 8.35 诱导透射滤波器2 188 Z)&D`RCf 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 g_w&"=.jBq 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,=o0BD2q 8.35 增益平坦滤波器 193 O"*`'D|hK 8.38 啁啾反射镜 1 196 Q>8pP \ho 8.39 啁啾反射镜2 198 aqMc6N`z 8.40 啁啾反射镜3 199 $
[7 Vgs 8.41 带保护层的铝膜层 200 R#(G%66
8.42 增加铝反射率膜 201 @T&t.|` 8.43 参考文献 202 iePf ]O* 9 多层膜 204 xNpg{cQ= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 lJ{V 9.2 内部透过率 204 1pP1d% 9.3 内部透射率数据 205 >t3'_cBC! 9.4 实例 206 hVP
IHQt 9.5 实例2 210 jxw_*^w" 9.6 圆锥和带宽计算 212 W#XG; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 gUVn;_ 10 光学薄膜的颜色 216 8g*hvPc 10.1 导言 216 = .oHnMX2M 10.2 色彩 216 }rbZ&IN\?E 10.3 主波长和纯度 220 *8)2iv4[ 10.4 色相和纯度 221 4/*H.Fl 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 E'c%d[:H, 10.6 色差 226 lj2=._@R 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5H lWfD 10.8 颜色渲染指数 234 )%Ru#}1X6 10.9 色差计算 235 x*}bo))hb 10.10 参考文献 236 ?a.+j8pbGg 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ] hE="z=n 11.1 短脉冲 238 1H{jy^sP 7 11.2 群速度 239 ~rv})4h 11.3 群速度色散 241 B@t'U=@7 11.4 啁啾(chirped) 245 I^3:YVR& 11.5 光学薄膜—相变 245 &ZJgQ-Pc(m 11.6 群延迟和延迟色散 246 Ip?]K*sq 11.7 色度色散 246 ~`eHHgX 11.8 色散补偿 249 Z$'IBv 11.9 空间光线偏移 256 z`$J_Cj Y 11.10 参考文献 258 ;(6P6@+o 12 公差与误差 260 ,EEPh>cXc 12.1 蒙特卡罗模型 260 #[ -\lU| 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 A0xC,V~z 12.2.1 误差工具 267 R,Oe$J< 12.2.2 灵敏度工具 271 Q:MhjkOr} 12.2.2.1 独立灵敏度 271 lKV"Mh+6 12.2.2.2 灵敏度分布 275 wW`}VKu 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?m;;D'1j 12.3 参考文献 276 $Ui&D
I 13 Runsheet 与Simulator 277 |L:Cn J 13.1 原理介绍 277 ]hTb@. 13.2 截止滤光片设计 277 SEF6B45}1 14 光学常数提取 289 {CUk1+ 14.1 介绍 289 cHD%{xlb 14.2 电介质薄膜 289 c3xl9S,5 14.3 n 和k 的提取工具 295 Hs0pW5oZ 14.4 基底的参数提取 302 &ak6zM 14.5 金属的参数提取 306 WZFH@I28 14.6 不正确的模型 306 / 8gL.i$ 14.7 参考文献 311 6C-YyI#s# 15 反演工程 313 >a>fb|r 15.1 随机性和系统性 313 j"7
JLe* 15.2 常见的系统性问题 314 85 ]SC$ 15.3 单层膜 314 & |