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|a-fE]{7 内容简介 Ipe n Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 HeLG?6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l30Y8t~d 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 R_ ZK 0ar +bA% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 "?3` 目录 z.36;yT/ Preface 1 }rq9I"/L 内容简介 2 :z&7W< 目录 i tF7hFL5f 1 引言 1 j+rG7z){K 2 光学薄膜基础 2 u5B:^.:p 2.1 一般规则 2 /@"Y^ 2.2 正交入射规则 3 I9?Ec6a_ 2.3 斜入射规则 6 DY\J[l<< 2.4 精确计算 7 Kcy@$uF{2 2.5 相干性 8 ;=4Xz\2 2.6 参考文献 10 a0=WfeT 3 Essential Macleod的快速预览 10 OhVs#^ 4 Essential Macleod的特点 32 W/fuKGZi_ 4.1 容量和局限性 33 dOFD5}_ 4.2 程序在哪里? 33 ]p7jhd= 4.3 数据文件 35 EON:B>2a 4.4 设计规则 35 S<`I
Jpkv 4.5 材料数据库和资料库 37 hI},~af 4.5.1材料损失 38 nXy>7H[0 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &@% $2O.3 4.5.2 材料库 41 KC`q#&dt 4.5.3导出材料数据 43 [P~hjmJ(y 4.6 常用单位 43 P 43P]M2 4.7 插值和外推法 46 }}|)Yq 4.8 材料数据的平滑 50 ? *>]")[> 4.9 更多光学常数模型 54 9QQyl\ 4.10 文档的一般编辑规则 55 gNYqAUG5 4.11 撤销和重做 56 up>c$jJ 4.12 设计文档 57 ;G\8jP'
4.10.1 公式 58 q1?&Ev^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ZfrVjUB 4.10.3 沉积密度 59 -fS.9+k0/ 4.10.4 平行和楔形介质 60 \C,p
WW 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 D^Jk@<* 4.10.4 性能 61 MUnEuhXTr 4.10.5 保存设计和性能 64 m_+sR!\H8 4.10.6 默认设计 64 5Xn.CBd] 4.11 图表 64 ]\ !5}L 4.11.1 合并曲线图 67 c;?fMX
4.11.2 自适应绘制 68 */:uV
B,b2 4.11.3 动态绘图 68 9h&R]yz; 4.11.4 3D绘图 69 ",6M)3{|c 4.12 导入和导出 73 eI45PMP 4.12.1 剪贴板 73 [NMVoBvG 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :cB=SYcC% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 0k)rc$eDF+ 4.13 背景 77 kF(n!2"W 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [AMAa]^ 4.15 生成Rugate 84 >NYW{(j 4.16 参考文献 91 [e[<p\] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 gzoEUp=s 5.1 Jobs 92 #Cpd9| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 y!tC20Q 5.3 输入材料 94 ktIi$v 5.4 设计数据文件夹 95 *(C(tPhC 5.5 默认设计 95 )e5 @ 6 细化和合成 97 n3AaZp[ 6.1 优化介绍 97 ;AO#xv+# 6.2 细化 (Refinement) 98 '5&s=M_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^nbnbU4' 6.4 目标和评价函数 101 hxQqa 0B 6.4.1 目标输入 102
nt*Hc1I 6.4.2 目标 103 VD_$$Gn*q 6.4.3 特殊的评价函数 104 2hzsKkrA
{ 6.5 层锁定和连接 104 _ODbY;M 6.6 细化技术 104 _S>JKz 6.6.1 单纯形 105 QQWadVQo 6.6.1.1 单纯形参数 106 lpz2 m\ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 'Ut7{rZ5 6.6.2.1 Optimac参数 108 0lhVqy}:}o 6.6.3 模拟退火算法 109 !1e6Ss 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^#-nE7 6.6.4 共轭梯度 111 <HbcNE~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !pD*p)`s 6.6.5 拟牛顿法 112 _/i4MtM 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 uEX!xx?Q# 6.6.6 针合成 113 PLK3v4kVM! 6.6.6.1 针合成参数 114 j~!X;PV3 6.6.7 差分进化 114 &mb{.= 6.6.8非局部细化 115 293M\5: 6.6.8.1非局部细化参数 115 8-2cRs 6.7 我应该使用哪种技术? 116 sBcPq SMby 6.7.1 细化 116 ?Y@N`S 6.7.2 合成 117 |`.([2 6.8 参考文献 117 y3fGWa*7e 7 导纳图及其他工具 118 A!h`]%0B 7.1 简介 118 j KoG7HH 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 rk #sy$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 @)fd}tV 7.2.2 导纳图 120 ZpnxecJUJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 R6]Gk)5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 cXKjrL[b 7.5 斜入射导纳图 141 Evedc*z~P 7.6 对称周期 141 q^Y-}=w 7.7 参考文献 142 *{L)dW+: 8 典型的镀膜实例 143 s,]z[qB#$ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ME*LHr, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 g"}%2~Urf 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 k7T`bYv 8.4 W-膜层 148 "hsb8- 8.5 V-膜层 149 ,%M$0poKM 8.6 V-膜层高折射基底 150 tNbN7yI 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 v_DedVhe 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 / G7vwC 8.9 四层抗反射薄膜 153 s+<Yg$) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $42{HFGq 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 tP$<UKtU 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 a ?)NC 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `~By)?cT_> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Zcx`SC-0 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =,6z4" ) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Zg{KFM% 8.17 1/4波长堆栈 162 tM'P m 8.18 陷波滤波器 163 1pgU}sRk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <nT
+$ 8.20 褶皱 165 }khV'6"'| 8.21 消偏振分光器1 169 5Ou`z5S\k 8.22 消偏振分光器2 171 %5"9</a&G 8.23 消偏振立体分光器 172 YwjKAyLU 8.24 消偏振截止滤光片 173 62ws/8d6f 8.25 立体偏振分束器1 174 <h:x= 8.26 立方偏振分束器2 177 X:nN0p # 8.27 相位延迟器 178 SC)g^E# 8.28 红外截止器 179 huh6 t ! 8.29 21层长波带通滤波器 180 n<z[J=I 8.30 49层长波带通滤波器 181 9
a!$z!. 8.31 55层短波带通滤波器 182 |}Nn!Sj>#; 8.32 47 红外截止器 183 5>D>% iaHv 8.33 宽带通滤波器 184 $Avjnm 8.34 诱导透射滤波器 186 Dv5D~on{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 {#?N 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %N>%!m 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #Y
a4ps_ 8.35 增益平坦滤波器 193 CYY=R'1:G{ 8.38 啁啾反射镜 1 196 q_MG?re 8.39 啁啾反射镜2 198 svcK?^
HTe 8.40 啁啾反射镜3 199 L.*M&Ry 8.41 带保护层的铝膜层 200 'h|DO/X~L 8.42 增加铝反射率膜 201 128EPK 8.43 参考文献 202 KBx6NU?;PO 9 多层膜 204 ~j}cyHg 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 g| I6'K!< 9.2 内部透过率 204 :VRNs 9.3 内部透射率数据 205 qNB<T(' 9.4 实例 206 R;uvkg[o 9.5 实例2 210 >UiYL}'br6 9.6 圆锥和带宽计算 212 N4F.Y"R$( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 cPyE 6\lN 10 光学薄膜的颜色 216 DgId_\Ze 10.1 导言 216 1ySk;;3 10.2 色彩 216 Vc&!OE 10.3 主波长和纯度 220 3no%E03p 10.4 色相和纯度 221 V5V
bJBpf 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 S9]'?| 10.6 色差 226 E7j(QOf 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [9evz}X 10.8 颜色渲染指数 234 PUp6Q;AdQ 10.9 色差计算 235 ayR-\mZ 10.10 参考文献 236 6-N?mSQU 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $p#Bi-& 11.1 短脉冲 238 t5\-v_mG=& 11.2 群速度 239 i[7\[ 11.3 群速度色散 241 gc_:%ki 11.4 啁啾(chirped) 245 _n0CfH.v 11.5 光学薄膜—相变 245 >E;uU[v)I 11.6 群延迟和延迟色散 246 B+P(M!m3 11.7 色度色散 246 >%}C^gu) 11.8 色散补偿 249 QwW&\h[8? 11.9 空间光线偏移 256 AYqX| 11.10 参考文献 258 %9KldcQ}~ 12 公差与误差 260 c}lb%^;)E 12.1 蒙特卡罗模型 260 q9KHmhUD 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 X5zDpi|Dq 12.2.1 误差工具 267 6Zm# bFQ 12.2.2 灵敏度工具 271 AifWf2$S 12.2.2.1 独立灵敏度 271 yj 3cyLXw 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Yb|c\[ % 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]sf7{lVT 12.3 参考文献 276 ?GKb7Oj 13 Runsheet 与Simulator 277 7Wf/$vRab 13.1 原理介绍 277 !JHL\M>A5 13.2 截止滤光片设计 277 T0wW<_jh 14 光学常数提取 289 W9 GxXPA 14.1 介绍 289 ! ` 14.2 电介质薄膜 289 W,V:R 14.3 n 和k 的提取工具 295 ysQ_[
]/ 14.4 基底的参数提取 302 '.IW.{;$ 14.5 金属的参数提取 306 &N2N6&Ta/ 14.6 不正确的模型 306 W#9BNKL 14.7 参考文献 311 PCHu#5j_a 15 反演工程 313 l+xX/A) 15.1 随机性和系统性 313 Si2k"<5U 15.2 常见的系统性问题 314 hO\<%0F 15.3 单层膜 314 (5$!MUS~9 15.4 多层膜 314 [%"|G9 15.5 含义 319 OcR$zlgs[v 15.6 反演工程实例 319 CM/H9Kz. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >N^Jj:~l 15.6.2 反演工程提取折射率 327 lHN5Dr 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 b z`+ k,* 16.1 光学性质的热致偏移 329 7Haa;2
T' 16.2 应力工具 335 I:R[;TB?y 16.3 均匀性误差 339 -]0OKE& 16.3.1 圆锥工具 339 g!g#]9j 16.3.2 波前问题 341 .0zY}` 16.4 参考文献 343 -^&<Z
0m 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 {f Py=,>Nb 17.1 引言 345 'F+C4QAq 17.2 操作数 345 x,=&JtKVc 18 如何在Function中编写脚本 351 >!eAM ) 18.1 简介 351 ;km`P|<U 18.2 什么是脚本? 351 j$M h+5 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 K0u|U` 18.4 基础 352 *RI]?j%B 18.4.1 Classes(类别) 352 u
1>2v 18.4.2 对象 352 0M_ DB= 18.4.3 信息(Messages) 352 LdYB7T,
18.4.4 属性 352
(ZS}G8 18.4.5 方法 353 H*d9l2,KZS 18.4.6 变量声明 353 jZu[n)u'C 18.5 创建对象 354 m(r,Acy6 18.5.1 创建对象函数 355 -$pzl,^ h 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 lEH65;Nh* 18.5.3 丢弃对象 356 l.q&D< _ 18.5.4 总结 356 9g9HlB&Ze 18.6 脚本中的表格 357 !y\'EW3|G 18.6.1 方法1 357 }z eO]"` 18.6.2 方法2 357 ,82S=N5V! 18.7 2D Plots in Scripts 358 ^=GC3%
J 18.8 3D Plots in Scripts 359 6hno)kd{= 18.9 注释 360 E(*0jAvO[z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 &fDIQISC 18.11 一个更高级的脚本 362 3lf=b~Zi) 18.12 <esc>键 364
-WY<zJ 18.13 包含文件 365 .M qP_Z', 18.14 脚本被优化调用 366 NxkGOAOE 18.15 脚本中的对话框 368 bg!/%[ {M 18.15.1 介绍 368 ahJ`T*)HY 18.15.2 消息框-MsgBox 368 L^r#o-H< 18.15.3 输入框函数 370 aZH:#lUlj 18.15.4 自定义对话框 371 K?6jXJseb 18.15.5 对话框编辑器 371 GoJ.&aH $ 18.15.6 控制对话框 377 rlML W 18.15.7 更高级的对话框 380 w^\52 18.16 Types语句 384
|tKsgj 18.17 打开文件 385 bHY=x}Hv 18.18 Bags 387 W/=.@JjI 18.13 进一步研究 388 _('=b/ 19 vStack 389 T.])diuvj- 19.1 vStack基本原理 389 T(#J_Y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 PIJr{6B/PA 19.3 五棱镜 393 %41m~Wh2 19.4 光束距离 396 zG }@0 19.5 误差 399 e6`Jbu+J<f 19.6 二向分色棱镜 399 =J18eH!] 19.7 偏振泄漏 404 E@z<:pG{ 19.8 波前误差—相位 405 Df}A^G >X 19.9 其它计算参数 405 S-a]j;U 20 报表生成器 406 DF&(8NoX~ 20.1 入门 406 ny]?I 20.2 指令(Instructions) 406 evya7^,F 20.3 页面布局指令 406 a[>/h3 20.4 常见的参数图和三维图 407 EGGWrl}1 20.5 表格中的常见参数 408 \S"is z 20.6 迭代指令 408 _mj,u64 20.7 报表模版 408 |T<_ 5Ik 20.8 开始设计一个报表模版 409 dph{74Dc 21 一个新的project 413 l#g\X'bK 21.1 创建一个新Job 414 ;nI] !g: 21.2 默认设计 415 U#0Q) 21.3 薄膜设计 416 lXx=But 21.4 误差的灵敏度计算 420 h8x MI 21.5 显色指数计算 422 l?E{YQq] 21.6 电场分布 424 s%vis{2 后记 426 a1g,@0s 有兴趣加微咨询 ADz ^\
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