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<<LLEdB 内容简介 8p 4[:M@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 %JBLp xnq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "a2|WKpD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 v'?Smd1v
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N,'h 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 RVAku 目录 SY5}Bu# Preface 1 _p8u
&TZ 内容简介 2 ]AA|BeL?| 目录 i xy:Mb =r 1 引言 1 CtMqE+j^ 2 光学薄膜基础 2 #~'d
Y\& 2.1 一般规则 2 I8!>7`L 2.2 正交入射规则 3 ,G0"T~ 2.3 斜入射规则 6 6MM\nIU)/ 2.4 精确计算 7 P@@MQ[u?!. 2.5 相干性 8 C:No ^nH> 2.6 参考文献 10 U3_ O}X+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 |?J57( 4 Essential Macleod的特点 32 9^DAlY,x. 4.1 容量和局限性 33 4AEw[(t 4.2 程序在哪里? 33 EHq;eF 4.3 数据文件 35 oF$#7#0`;8 4.4 设计规则 35 kk`K;`[tB 4.5 材料数据库和资料库 37 G~y:ZEnN[ 4.5.1材料损失 38 .+S%hT,v6i 4.5.1材料数据库和导入材料 39 d 8;kM`U 4.5.2 材料库 41 i ZPNss 4.5.3导出材料数据 43 gw"SKp!] 4.6 常用单位 43 Fy\q>(v. 4.7 插值和外推法 46 q`PA~C]; 4.8 材料数据的平滑 50 jR}EBaI} 4.9 更多光学常数模型 54 +pgHCzwJE 4.10 文档的一般编辑规则 55 h._eP.W ` 4.11 撤销和重做 56 2p9^ = 4.12 设计文档 57 iPl,KjGk 4.10.1 公式 58 g"" 1\rc= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
;@k=9o]A 4.10.3 沉积密度 59 .aO6Y+Y 4.10.4 平行和楔形介质 60 rZwSo]gp 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 g%=K
rO 4.10.4 性能 61 mCt/\ 4.10.5 保存设计和性能 64 `W}pAmhj 4.10.6 默认设计 64 \(7A7~ 4.11 图表 64 pf'DbY! 4.11.1 合并曲线图 67 EGI$=Y 4.11.2 自适应绘制 68 e46`"}r 4.11.3 动态绘图 68 ]#4kqj} 4.11.4 3D绘图 69 00D.Jn 4.12 导入和导出 73 9h+Hd&= 4.12.1 剪贴板 73 Y$XzZ>VW 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z59;Qk 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =Pn"nkpML 4.13 背景 77 DcFY b|p 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zd 2_k 9 4.15 生成Rugate 84 $k)K}U 4.16 参考文献 91 h-Y>>l>PW0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,<+:xl 5.1 Jobs 92 } *)l 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Z1
)1s 5.3 输入材料 94 clyp0`,7 5.4 设计数据文件夹 95 p:b{>lM 5.5 默认设计 95 ms Cz\8Xd 6 细化和合成 97 >QJDO ]~V 6.1 优化介绍 97 .9Oj+:n 6.2 细化 (Refinement) 98 \C~6
' 6.3 合成 (Synthesis) 100 4y}z+4 6.4 目标和评价函数 101 %JPr 7 } 6.4.1 目标输入 102 kD+#| f 6.4.2 目标 103 Q)4[zStR# 6.4.3 特殊的评价函数 104 #tUhul/O 6.5 层锁定和连接 104 :RIqA/ 6.6 细化技术 104 m Qx1co 6.6.1 单纯形 105 7hx^U90K 6.6.1.1 单纯形参数 106 indbg
d 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mpD.x5jm< 6.6.2.1 Optimac参数 108 *`qI<]! 6.6.3 模拟退火算法 109 2\.23 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c8]%,26. 6.6.4 共轭梯度 111 [E<A/_z 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 `}P9[HP 6.6.5 拟牛顿法 112 (&)uWjq
` 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :T PG~`k( 6.6.6 针合成 113 Y:+:>[F 6.6.6.1 针合成参数 114 V6ECL6n 6.6.7 差分进化 114 COWlsca 6.6.8非局部细化 115 M@q)\UQ' 6.6.8.1非局部细化参数 115 `ba<eT': 6.7 我应该使用哪种技术? 116 qooTRqc#, 6.7.1 细化 116 Z>w@3$\z 6.7.2 合成 117 Q ijO%) 6.8 参考文献 117 .AX%6+o 7 导纳图及其他工具 118 d72( g$F 7.1 简介 118 \QSD* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Q$'\_zV 7.2.1 四分之一波长规则 119 h$~$a;2cR 7.2.2 导纳图 120 liB~vdqj 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 >~_>.R+{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V^D1:9i 7.5 斜入射导纳图 141 cbou1Ei
7.6 对称周期 141 V#1v5mWVx 7.7 参考文献 142 ?JRfhJ:j 8 典型的镀膜实例 143 ]+^4Yq>2 8.1 单层抗反射薄膜 145 +&X>ul 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 23;\l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 T3)m{gv0` 8.4 W-膜层 148 \sVzBHy d 8.5 V-膜层 149 },5LrX`L 8.6 V-膜层高折射基底 150 3\<(!yY8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Um/ g&k 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 D 5Z7?Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 v"sU87+ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^CDh! ) 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _cfAJ)8= 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 blbzh';0} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 hA~5,K0b 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W89J]#v)k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 TSL/zTLDJ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \=W t{ 8.17 1/4波长堆栈 162 5oD%~Fk l 8.18 陷波滤波器 163 -Xgup,}? 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 h7]>b'H 8.20 褶皱 165 l`K5fk 8.21 消偏振分光器1 169 cz>`$Zz 8.22 消偏振分光器2 171 7.^1I7O 8.23 消偏振立体分光器 172 !Nhq)i 8.24 消偏振截止滤光片 173 =U~\iJ 8.25 立体偏振分束器1 174 t9
id^ 8.26 立方偏振分束器2 177 f V/ 8.27 相位延迟器 178 ?=Z0N&}[ 8.28 红外截止器 179 Zf\It<zT5 8.29 21层长波带通滤波器 180 a<D]Gz^h 8.30 49层长波带通滤波器 181 +7)/SQM5 8.31 55层短波带通滤波器 182 !jJH}o/KW 8.32 47 红外截止器 183 ws}>swR, 8.33 宽带通滤波器 184 }5;3c % 8.34 诱导透射滤波器 186 }xzbg 8.35 诱导透射滤波器2 188 1T7;=<g` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \?.M1a[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N(&/ Ud 8.35 增益平坦滤波器 193 nr9cG/" 8.38 啁啾反射镜 1 196 ;,_c1x/F 8.39 啁啾反射镜2 198 ]
i\a[3 8.40 啁啾反射镜3 199 <~qhy{hRn 8.41 带保护层的铝膜层 200 y {1p# 8.42 增加铝反射率膜 201 !g-19at 8.43 参考文献 202 &5wM` 9 多层膜 204 j]_"MMwk$< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 F_Mi/pB^`9 9.2 内部透过率 204 5/{gY{ 9.3 内部透射率数据 205 80ms7 B 9.4 实例 206 #
OQ(oyT 9.5 实例2 210 vo DTU]pf 9.6 圆锥和带宽计算 212 E
:Y
*; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 e6?h4}[+* 10 光学薄膜的颜色 216 s8N\cOd#i 10.1 导言 216 Me*]Bh 10.2 色彩 216 M%2F7 FY 10.3 主波长和纯度 220 68LB745 10.4 色相和纯度 221 W|kKH5E& 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 FVcooV 10.6 色差 226 ^^Tu/YC9x 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Ot}
E 10.8 颜色渲染指数 234 pYs"Y;% 10.9 色差计算 235 [0e}%!%M 10.10 参考文献 236 zZ=.riK 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 >m{)shBX 11.1 短脉冲 238 =r:-CRq( 11.2 群速度 239 =p)Wxk 11.3 群速度色散 241 |f0KIb}d 11.4 啁啾(chirped) 245 uNYHEs6%T$ 11.5 光学薄膜—相变 245 [
Q6v #I 11.6 群延迟和延迟色散 246 [Hww3+~+ 11.7 色度色散 246 r`L$[C5I 11.8 色散补偿 249 8Mq]
V
v 11.9 空间光线偏移 256 HJ*W3Mg
11.10 参考文献 258 ~WJEH# 12 公差与误差 260 B jR:#*<qD 12.1 蒙特卡罗模型 260 3y?ig2 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 h^5'i}@u 12.2.1 误差工具 267 1qb 3. 12.2.2 灵敏度工具 271 'qhA4W9 12.2.2.1 独立灵敏度 271 NTVdSK7z~H 12.2.2.2 灵敏度分布 275 V<@]Iv 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 X] /r'Tz 12.3 参考文献 276 Rd5r~iT 13 Runsheet 与Simulator 277 @&]j[if(s 13.1 原理介绍 277 jv]:`$}G\ 13.2 截止滤光片设计 277 dHnId2@# 14 光学常数提取 289 QP?Z+P< 14.1 介绍 289 y@G5I>v 14.2 电介质薄膜 289 7@m 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?zN v7Bj 14.4 基底的参数提取 302 lV^sVN Z] 14.5 金属的参数提取 306 w8(qiU 14.6 不正确的模型 306 }9Z?UtS 14.7 参考文献 311 kG+CT 15 反演工程 313 M#d_kDMw 15.1 随机性和系统性 313 X.g")Bt7 15.2 常见的系统性问题 314 $_l@k= 15.3 单层膜 314 R)#D{/#FW 15.4 多层膜 314 gRKmfJ*u 15.5 含义 319 pscCXk(|A` 15.6 反演工程实例 319 Sj}@5 X6 C 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Sg0 _ l( 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ne.W-,X^cL 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 OXzJ%&h 16.1 光学性质的热致偏移 329 7k:}9M~ 16.2 应力工具 335 S~}?6/G. 16.3 均匀性误差 339 <Dt,FWWkv' 16.3.1 圆锥工具 339 rsvZi1N4w$ 16.3.2 波前问题 341 PS@`
=Z 16.4 参考文献 343 #Qy*zU#9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 O.1Z3~r-N 17.1 引言 345 `96:Z-!} 17.2 操作数 345 h&5H`CR[ 18 如何在Function中编写脚本 351 U\
y?P:yy 18.1 简介 351 S0g5Ym
ia 18.2 什么是脚本? 351 6,0pkx&Nv 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 q=}Lm;r 18.4 基础 352 *n2Q_o 18.4.1 Classes(类别) 352 >3X!c"#l 18.4.2 对象 352 ZqkP# ]+Y' 18.4.3 信息(Messages) 352 MlsF?"H p 18.4.4 属性 352 = M7FD 18.4.5 方法 353 PT|^RF%fT 18.4.6 变量声明 353 OgS6#X 18.5 创建对象 354 OsAXHjX} 18.5.1 创建对象函数 355 +:~&"U^z& 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 jfS?#;T) 18.5.3 丢弃对象 356 lVXgp'!#j 18.5.4 总结 356 U{LDtn%@h6 18.6 脚本中的表格 357 o~gduNG# 18.6.1 方法1 357 M,t8<y4W/ 18.6.2 方法2 357 CjOaw$s 18.7 2D Plots in Scripts 358 iX.=8~3 18.8 3D Plots in Scripts 359 nV
McHN 18.9 注释 360 zV4%F"- 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #'^p-Jdm 18.11 一个更高级的脚本 362 }`IN5NdYp 18.12 <esc>键 364 8b(UqyV 18.13 包含文件 365 %zd1\We 18.14 脚本被优化调用 366 _w^p~To^ 18.15 脚本中的对话框 368 M[R, m_p 18.15.1 介绍 368 phbdV8$L 18.15.2 消息框-MsgBox 368 1
xiq]~H 18.15.3 输入框函数 370 sG0cN;I]t 18.15.4 自定义对话框 371 E[nW B"pxE 18.15.5 对话框编辑器 371 X+P&
up06 18.15.6 控制对话框 377 e1}h|HLj 18.15.7 更高级的对话框 380 ~{Tus.jk 18.16 Types语句 384 )+oDa{dZ 18.17 打开文件 385 (~}yt .7K 18.18 Bags 387 qp 18.13 进一步研究 388 d~S.PRg= 19 vStack 389 &>@nW!n
u 19.1 vStack基本原理 389 HG=!#-$9 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 0OEyJ|g 19.3 五棱镜 393 =:6Y<ftC 19.4 光束距离 396 mV`Z]-$$i 19.5 误差 399 [ #A!B#` 19.6 二向分色棱镜 399 ;TMH.E,h: 19.7 偏振泄漏 404 %nF6n:| : 19.8 波前误差—相位 405 /qo. Z 19.9 其它计算参数 405 eAu3,qoM 20 报表生成器 406 =
Yh>5A 20.1 入门 406 &{x5 |$SD 20.2 指令(Instructions) 406 ',kYZay 20.3 页面布局指令 406 V{{b^y 20.4 常见的参数图和三维图 407 vsqfvx 20.5 表格中的常见参数 408 GZXUB0W\@) 20.6 迭代指令 408 A37Z;/H~k 20.7 报表模版 408 B:qZh$YN 20.8 开始设计一个报表模版 409 q^([ & + 21 一个新的project 413 zJ3{!E}`v 21.1 创建一个新Job 414 /ta-jOcRH& 21.2 默认设计 415 hP`3Ao 21.3 薄膜设计 416 Z)62/`C) 21.4 误差的灵敏度计算 420 -g;iMqh# 21.5 显色指数计算 422 w;}P<K 21.6 电场分布 424 :~zK0v" 后记 426 ,U],Wu) 有兴趣加微咨询 j@ UIN3
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