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f<0nj? 内容简介 $?u ^hMU= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 vMOit,{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [bvI T]Z 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 )v67wn*1A sx0:g?F3j 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]n:)W.|`R 目录 3#ua Preface 1 Q[k7taoy 内容简介 2 3q.O^`y FU 目录 i cHMS[.=; 1 引言 1 &~7b-foCq 2 光学薄膜基础 2 5? s$(Lt~ 2.1 一般规则 2 7=ZB?@bU~ 2.2 正交入射规则 3 {^#62Y 2.3 斜入射规则 6 'L2M
W 2.4 精确计算 7 8vcV-+x 2.5 相干性 8 qe:,%a-9 2.6 参考文献 10 \5_7!. 3 Essential Macleod的快速预览 10 vO2 o/
4 Essential Macleod的特点 32 dviL5Eaj 4.1 容量和局限性 33 /*bS~7f1 4.2 程序在哪里? 33 aMFUJrXo 4.3 数据文件 35 v&B*InR?+ 4.4 设计规则 35 ~o+HAc`=v 4.5 材料数据库和资料库 37 8]N+V: 4.5.1材料损失 38 h*Y);mc$# 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Wb"*9q06 4.5.2 材料库 41 Nd~?kZZu 4.5.3导出材料数据 43 (Ia} ]q 4.6 常用单位 43 $Rsf`*0- 4.7 插值和外推法 46 qF(F<$B 4.8 材料数据的平滑 50 q@p-)+D; 4.9 更多光学常数模型 54 !0~$u3[b 4.10 文档的一般编辑规则 55
2Ek6YNx 4.11 撤销和重做 56 Q-%Q7n'c 4.12 设计文档 57 "}]1OL S V 4.10.1 公式 58 gaC^<\J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 #s1O(rLRl 4.10.3 沉积密度 59 ~3.1.
'A 4.10.4 平行和楔形介质 60 */n)_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 EW{z?/ 4.10.4 性能 61 V$+xJ m 4.10.5 保存设计和性能 64 })|+tZ 4.10.6 默认设计 64 |Q^ZI 4.11 图表 64 +'?p $@d 4.11.1 合并曲线图 67 XGEAcN 4.11.2 自适应绘制 68 Nf>1`eP 4.11.3 动态绘图 68 dvk?A$ 4.11.4 3D绘图 69 \c+)Y}:D 4.12 导入和导出 73 *lg1iP{] 4.12.1 剪贴板 73 qbkvwL9 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 l,*v/95h 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 u7&r'rZ1_! 4.13 背景 77 !Ljs9 =UF 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 y5.Z <Y 4.15 生成Rugate 84 9/RbfV[) 4.16 参考文献 91 5f7;pS< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 SG8H~]CO) 5.1 Jobs 92 50(/LV1 5.2 创建一个新Job(工作) 93 qu8i Jq 5.3 输入材料 94 b1jh2pG(V 5.4 设计数据文件夹 95 #"6(Q2|
l 5.5 默认设计 95 S'HM|& 6 细化和合成 97 G.O0*E2V 6.1 优化介绍 97 }.7!@!q. 6.2 细化 (Refinement) 98 Va06(Cq 6.3 合成 (Synthesis) 100 tq?lF$mM: 6.4 目标和评价函数 101 [zK|OMxoV 6.4.1 目标输入 102 V#|#%
8 6.4.2 目标 103 /g712\?M4 6.4.3 特殊的评价函数 104 'bkecC 6.5 层锁定和连接 104 ,-t3gc1~X 6.6 细化技术 104 Y*O7lZuF% 6.6.1 单纯形 105 XZA3TZ 6.6.1.1 单纯形参数 106 iqghcY) 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e%j+,)Ry 6.6.2.1 Optimac参数 108 O1coay 6.6.3 模拟退火算法 109 :N%cIxrqP 6.6.3.1 模拟退火参数 109 1^R @X 6.6.4 共轭梯度 111 X(1nAeQ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =V_}z3b 6.6.5 拟牛顿法 112 ji`N1e,l 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /Yc!m$uCW 6.6.6 针合成 113 31wact^ 6.6.6.1 针合成参数 114
n
w @cAv 6.6.7 差分进化 114 )dG7$,g 6.6.8非局部细化 115 0[xum 6.6.8.1非局部细化参数 115 m1VyYG 6.7 我应该使用哪种技术? 116 9">}@1k 6.7.1 细化 116 6
EE7<& 6.7.2 合成 117 Rs{L 6.8 参考文献 117 k _hiGg 7 导纳图及其他工具 118 ${KDGJ,^ 7.1 简介 118 G[r_|-^S 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 57)S" 7.2.1 四分之一波长规则 119 ! k||-Q& 7.2.2 导纳图 120 WhSQ>h!@s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `.Y["f
1B 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 06pLa3oi 7.5 斜入射导纳图 141 f/?#
1 7.6 对称周期 141 Z~~{!C+G 7.7 参考文献 142 ,2[laJ 8 典型的镀膜实例 143 }-)2CEj3L% 8.1 单层抗反射薄膜 145 U{RW=sYB~9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ;)5d
wq 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7h<Q{X<A 8.4 W-膜层 148 >yg mE`g 8.5 V-膜层 149 AASw^A3p 8.6 V-膜层高折射基底 150 gT'c`3Gkz 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 #SQT!4 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 K&9|0xt 8.9 四层抗反射薄膜 153 $f*N 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @YMef`T: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 0lF[N.!\9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 wZh&w<l' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <O?iJ=$ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 bAeC=?U 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Va\dMv-b 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 MJV)|
2C 8.17 1/4波长堆栈 162 IaH8#3+a 8.18 陷波滤波器 163 k)b}"' I 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 *.ri8 8.20 褶皱 165 CVo@zr$ 8.21 消偏振分光器1 169 Av^{$9yl 8.22 消偏振分光器2 171 ?&_ -,\t 8.23 消偏振立体分光器 172 g6IG>) 8.24 消偏振截止滤光片 173 LgjL+w19 8.25 立体偏振分束器1 174 [95(%&k.Q 8.26 立方偏振分束器2 177 tjBs>w 8.27 相位延迟器 178 w W1aG 8.28 红外截止器 179 pB&3JmgR$) 8.29 21层长波带通滤波器 180 >:Na^ +c 8.30 49层长波带通滤波器 181 &xgMqv2/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 iP~5= 8.32 47 红外截止器 183 yaMNt}y-q 8.33 宽带通滤波器 184 KF|+#qCN 8.34 诱导透射滤波器 186 84DneSpHsp 8.35 诱导透射滤波器2 188 F.HD;C-;( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ?!U=S=8 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Mhm3u 8.35 增益平坦滤波器 193 j5|_SQOmt 8.38 啁啾反射镜 1 196 $]%;u: Sa 8.39 啁啾反射镜2 198 X,IjM&o"Y 8.40 啁啾反射镜3 199 Yewn 8.41 带保护层的铝膜层 200 -/ ;y*mP 8.42 增加铝反射率膜 201 C$vKRg\o 8.43 参考文献 202 & 1p\.Y 9 多层膜 204 9AD`,]b 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 6b~Zv$5^Y- 9.2 内部透过率 204 NEa: 9.3 内部透射率数据 205 y{,HpPp#o 9.4 实例 206
7"2L|fG 9.5 实例2 210 x9Y1v1!5Pu 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,aeQXI#@ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =MEv{9_ 10 光学薄膜的颜色 216 dFS>uIT7X 10.1 导言 216 5B#q/d1/a 10.2 色彩 216 (wEaa'XL 10.3 主波长和纯度 220 7*^-3Tt83 10.4 色相和纯度 221 x9Fga _ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 _7'9omq@ 10.6 色差 226 n .ZLR=P4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 4*}[h9J}\ 10.8 颜色渲染指数 234 uMh[Ht^. 10.9 色差计算 235 D*6v.`]X 10.10 参考文献 236 svCD&~|K# 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 K 4QJDC8 11.1 短脉冲 238 rdhK&5x* 11.2 群速度 239 <+o-{{E[ 11.3 群速度色散 241 dqnH7okZ 11.4 啁啾(chirped) 245 <vJPKQ`=: 11.5 光学薄膜—相变 245 hEi]-N\X 11.6 群延迟和延迟色散 246 1
0lvhzU 11.7 色度色散 246 0vuL(W8) 11.8 色散补偿 249 }l~|c{WH` 11.9 空间光线偏移 256 _ui03veA1 11.10 参考文献 258 f]`#BE)V 12 公差与误差 260 e:fp8 k< 12.1 蒙特卡罗模型 260 Ef{rY|E 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 '9c`[^ 12.2.1 误差工具 267 X1&Ug^ 12.2.2 灵敏度工具 271 _*7h1[,{f 12.2.2.1 独立灵敏度 271 .<`i!Ls 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^u&oS1U 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 GmP)"@O](; 12.3 参考文献 276 JQ=i{ 9iJ 13 Runsheet 与Simulator 277 3I&=1o 13.1 原理介绍 277 T]Z|Wq`bot 13.2 截止滤光片设计 277 gF-<%<RV 14 光学常数提取 289 ~qt)r_jW 14.1 介绍 289 0<_|K>5dS| 14.2 电介质薄膜 289 to,DN2rN 14.3 n 和k 的提取工具 295 *GleeJWz 14.4 基底的参数提取 302 w
F6ywr 14.5 金属的参数提取 306 ;*1bTdB5a 14.6 不正确的模型 306 G6(kwv4 14.7 参考文献 311 :Rv?>I j 15 反演工程 313 XI:8_F;Q 15.1 随机性和系统性 313 BLZ#vJR 15.2 常见的系统性问题 314 o`5p
"v
r 15.3 单层膜 314 Ec
IgX_\ 15.4 多层膜 314
*vt5dxB 15.5 含义 319 aSdh5? 15.6 反演工程实例 319 *p:`F: 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 CF"$&+ s9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9qN4f8R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 J!5BH2bg 16.1 光学性质的热致偏移 329 KiYO,nD;\ 16.2 应力工具 335 1{l18B` 16.3 均匀性误差 339 6(awO2{BP 16.3.1 圆锥工具 339 /WlK*8C 16.3.2 波前问题 341 OLh`R]Sd 16.4 参考文献 343 t\~lGG-p 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 b?9c\-} 17.1 引言 345 Ot}fGiio 17.2 操作数 345 Atl`J.;G 18 如何在Function中编写脚本 351 IN=pki|. 18.1 简介 351 pm$2*!1F( 18.2 什么是脚本? 351 n@n608 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,K9\;{C 18.4 基础 352 Vij P; 18.4.1 Classes(类别) 352 ?~~sOf AP 18.4.2 对象 352 zvjVM"=G 18.4.3 信息(Messages) 352 8|^dM$ 18.4.4 属性 352 HDQhXw!!hc 18.4.5 方法 353 =OfU#i"c 18.4.6 变量声明 353 PN9^ sLx= 18.5 创建对象 354 vzV,}
S*c 18.5.1 创建对象函数 355 #p&&w1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 -c-af%xD 18.5.3 丢弃对象 356 2WQKj9iyN
18.5.4 总结 356 _Gs*4: 18.6 脚本中的表格 357 3sG7G:4 18.6.1 方法1 357 Oop5bg 18.6.2 方法2 357 V.zKjoky@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 q-s! hiK 18.8 3D Plots in Scripts 359 q/y4HT,x 18.9 注释 360 272j$T 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 L9tjHC] 18.11 一个更高级的脚本 362 ,M2u (9 18.12 <esc>键 364 XMhDx 18.13 包含文件 365 @X`~r8& 18.14 脚本被优化调用 366 AA][}lU:5 18.15 脚本中的对话框 368 [MSLVTR 18.15.1 介绍 368 9~+A<X]Hd 18.15.2 消息框-MsgBox 368 *hVbjI$ 18.15.3 输入框函数 370 mF!/8qk 18.15.4 自定义对话框 371 )aoB-Lu 18.15.5 对话框编辑器 371 s_]p6M 18.15.6 控制对话框 377 F) w.q 18.15.7 更高级的对话框 380 @L^Fz$Sx 18.16 Types语句 384 YnnpgR. 18.17 打开文件 385 TymE(,1 18.18 Bags 387 GwiG..Y]& 18.13 进一步研究 388 3:Bwf)* 19 vStack 389 >55c{|"@L 19.1 vStack基本原理 389 a<X8l^Ln 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 DLMG<4Cd~ 19.3 五棱镜 393 #Mo`l/Cwp 19.4 光束距离 396 IV{,'+hT 19.5 误差 399 36>pa 19.6 二向分色棱镜 399 OJd!g/V 19.7 偏振泄漏 404 (;u tiupW 19.8 波前误差—相位 405 _^4\z*x 19.9 其它计算参数 405 =H*}{'# 20 报表生成器 406 Enee\!@v 20.1 入门 406 vW4~\] 20.2 指令(Instructions) 406 Ov3W;jD 20.3 页面布局指令 406 (]wi^dE 20.4 常见的参数图和三维图 407 B5J!&suX 20.5 表格中的常见参数 408 *S_e:^ 20.6 迭代指令 408 3/IQ]8g" 20.7 报表模版 408 8r[ZGUV 20.8 开始设计一个报表模版 409 ;9r
Z{'i+| 21 一个新的project 413 {Z[yY6Nu 21.1 创建一个新Job 414 rQiX7 21.2 默认设计 415 %bf+Y7m 21.3 薄膜设计 416 xGbr>OqkTX 21.4 误差的灵敏度计算 420 NfLvK o8 21.5 显色指数计算 422 j0J}d _ 21.6 电场分布 424 Q,Tet&in ) 后记 426 $iQ>c6 有兴趣加微咨询 }qfr&Ffh@
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