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.Jt[(; 内容简介 Eve.QAl| Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Uc_'(IyO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 31rx-D8o 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 e
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0BH_'ZW 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Z$0uH* h 目录 |`lzfe Preface 1 t: #6sF 内容简介 2 o3I Tr'; 目录 i J]&y$?C 1 引言 1 G`\f 2 光学薄膜基础 2 EX?MA6U 2.1 一般规则 2 XVKfl3'% 2.2 正交入射规则 3 E_8\f_%wK 2.3 斜入射规则 6 VJdIHsI 2.4 精确计算 7 1_\;- !t 2.5 相干性 8 bzX\IrJpOZ 2.6 参考文献 10 dHK`eS$sb 3 Essential Macleod的快速预览 10 ~.UrL(l= 4 Essential Macleod的特点 32 zgs (Dt; 4.1 容量和局限性 33 ))&;}2{ 4.2 程序在哪里? 33 gF$V$cU 4.3 数据文件 35 (N&lHLy 4.4 设计规则 35 'Y56+P\u 4.5 材料数据库和资料库 37 ,Fi>p0bz 4.5.1材料损失 38 9G+V;0Q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 qIY~dQ| 4.5.2 材料库 41 ?Rj ~f{%g 4.5.3导出材料数据 43 w9,iq@ 4.6 常用单位 43 kAu+zX>S+ 4.7 插值和外推法 46 Kj<^zo%w 4.8 材料数据的平滑 50 L{(QpgHZ 4.9 更多光学常数模型 54 ?r?jl;A& 4.10 文档的一般编辑规则 55 " )V130< 4.11 撤销和重做 56 ^4,a 8` 4.12 设计文档 57 (cN}Epi(D 4.10.1 公式 58 iVG-_RsKK 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hi0R.V& 4.10.3 沉积密度 59 _>9.v%5cs( 4.10.4 平行和楔形介质 60 |fSe>uVZ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L2, 1Kt7 4.10.4 性能 61 |37
g ~ 4.10.5 保存设计和性能 64 Nkp)Ax& 4.10.6 默认设计 64 wc!onZX5 4.11 图表 64 w~
[b*$ 4.11.1 合并曲线图 67 xA9:*>+> 4.11.2 自适应绘制 68 b^p"|L 4.11.3 动态绘图 68 h=(DX5:A 4.11.4 3D绘图 69 5g9; +}X; 4.12 导入和导出 73 # g_Bx 4.12.1 剪贴板 73 /w]!wM 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 lKlU-4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 NMww>80 4.13 背景 77 7c~u=U" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 FIbp"~ 4.15 生成Rugate 84 3"G>>nC& 4.16 参考文献 91 de>v 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (s{RnD 5.1 Jobs 92 6%fKuMpK( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?c7*_<W5 5.3 输入材料 94 7f~Sf 5.4 设计数据文件夹 95 40|,*wi 5.5 默认设计 95 TEMw8@b 6 细化和合成 97 *X4PM\ck 6.1 优化介绍 97 VMCLHpSfW 6.2 细化 (Refinement) 98 k%E2n:|* 6.3 合成 (Synthesis) 100 H)>@/"j; 6.4 目标和评价函数 101 $*kxTiG!7 6.4.1 目标输入 102 %zSuK8kxV 6.4.2 目标 103 8
O 67 6.4.3 特殊的评价函数 104 ;q:jl~ 6.5 层锁定和连接 104 'w14sr% 6.6 细化技术 104 @"o@}9=d 6.6.1 单纯形 105 x3u4v~ "- 6.6.1.1 单纯形参数 106 L*Me."* 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0
s70r 6.6.2.1 Optimac参数 108 |U_]vMq 6.6.3 模拟退火算法 109 V=lfl1Ev0J 6.6.3.1 模拟退火参数 109 3;8!rNN 6.6.4 共轭梯度 111 Dc+'<" 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9JWa$iBH@ 6.6.5 拟牛顿法 112 )x]3Zq 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 8Th` ]tI 6.6.6 针合成 113 tqy@iEz+ 6.6.6.1 针合成参数 114 in(U:04 6.6.7 差分进化 114 EZYBeqv 6.6.8非局部细化 115 =b[_@zq] 6.6.8.1非局部细化参数 115 \'M3|w`f 6.7 我应该使用哪种技术? 116 CEC
nq3 6.7.1 细化 116 e#B#B 6.7.2 合成 117 CT\;xt,S 6.8 参考文献 117 LC})ciWa 7 导纳图及其他工具 118 ru`U' 7.1 简介 118 _$p$") 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 NBF MN% 7.2.1 四分之一波长规则 119 $-&BB(-{E& 7.2.2 导纳图 120 Ed:eGm } 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Iu{kPyx 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 I"1;|`L~: 7.5 斜入射导纳图 141 jM&r{^( 7.6 对称周期 141 }/,HM9Ke 7.7 参考文献 142 n 3lE,b 8 典型的镀膜实例 143 [lk'xzE 8.1 单层抗反射薄膜 145 :=9] c17= 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 \V>?Do7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :0/q5_t 8.4 W-膜层 148 .^bft P\ 8.5 V-膜层 149 cv(PP-'\ 8.6 V-膜层高折射基底 150 WsFk:h'r 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
[|~2X> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fGv#s
X 8.9 四层抗反射薄膜 153 9
C{;h 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ?DH"V7bs 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [I:KpAd/
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Bk}><H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 a,Gxm! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ?+c`]gO7N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 GdVhK:<> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 KvQ,;A 8.17 1/4波长堆栈 162 ]hud4i~ 8.18 陷波滤波器 163 h C=:q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 /j"sS2$U 8.20 褶皱 165 +m}Pmi$ 8.21 消偏振分光器1 169 zKFp5H1!%+ 8.22 消偏振分光器2 171 hCYQGx0 8.23 消偏振立体分光器 172 4Iq'/r 8.24 消偏振截止滤光片 173 rtQHWRUn 8.25 立体偏振分束器1 174 IZ3{>NV 8.26 立方偏振分束器2 177 $DBGLmw 8.27 相位延迟器 178 ~dHM4lGY 8.28 红外截止器 179 FA90`VOWYU 8.29 21层长波带通滤波器 180 OquAql: 8.30 49层长波带通滤波器 181 @mt0kV9 8.31 55层短波带通滤波器 182 qpJ{2Q 8.32 47 红外截止器 183 ]ALc;lb-} 8.33 宽带通滤波器 184 /?/#B ` 8.34 诱导透射滤波器 186 :
t$l.+B 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^")F7`PF 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @OV-KT[> 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0(8H;T 8.35 增益平坦滤波器 193 W2-=U@ 8.38 啁啾反射镜 1 196 #kkY@k$4 8.39 啁啾反射镜2 198 4*Z6}" 8.40 啁啾反射镜3 199 =\,
qP 8.41 带保护层的铝膜层 200 K:y^OAZfV 8.42 增加铝反射率膜 201 >yJ-4lgZ 8.43 参考文献 202 i;PL\Er:tX 9 多层膜 204 4y}"Hy 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 MVCl.o 9.2 内部透过率 204 $mA5@O~C5\ 9.3 内部透射率数据 205 VyG4(Xva 9.4 实例 206 lz |
64J 9.5 实例2 210 1;eX& 9.6 圆锥和带宽计算 212 t@?u 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?lCd{14Mkh 10 光学薄膜的颜色 216 Wx)K*9 10.1 导言 216 !wLg67X$
- 10.2 色彩 216 [LM^),J? 10.3 主波长和纯度 220 0m9ZQ
O 10.4 色相和纯度 221 h7_)%U<J2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 X7*` 10.6 色差 226 >
^[z3T 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 BRG|Asg( 10.8 颜色渲染指数 234 @nV5.r0W}B 10.9 色差计算 235 `BZ&~vJ_ 10.10 参考文献 236 0>6DSQq~t( 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 mjnUs-`W| 11.1 短脉冲 238 6\dX 11.2 群速度 239 cJ}QXuuUv 11.3 群速度色散 241 q$ghLGz 11.4 啁啾(chirped) 245 iy5R5L2 11.5 光学薄膜—相变 245 @u4=e4eF` 11.6 群延迟和延迟色散 246
6DSH`-; 11.7 色度色散 246 eQX`,9:5 11.8 色散补偿 249 YwT-T,oD 11.9 空间光线偏移 256 W,hWOO 11.10 参考文献 258 P]<= ! F 12 公差与误差 260 wod/&!)]A 12.1 蒙特卡罗模型 260 s'a= _cN 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 R 4EEelSZu 12.2.1 误差工具 267 mU{4g`Iw 12.2.2 灵敏度工具 271 :9d\Uj, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 dXu {p 12.2.2.2 灵敏度分布 275 jPu5nwvUV> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 :pKG\A 12.3 参考文献 276 q7]>i!A 13 Runsheet 与Simulator 277 Ns~&sE: 13.1 原理介绍 277 +QqH}=
M 13.2 截止滤光片设计 277 !r&Bn6* 14 光学常数提取 289 ,I*X)( 14.1 介绍 289 {/M\Q@j 14.2 电介质薄膜 289 }#N]0I)JI 14.3 n 和k 的提取工具 295 s^|\9%WD 14.4 基底的参数提取 302 =q
CF%~ 14.5 金属的参数提取 306 Q^h5">P 14.6 不正确的模型 306 #+sF`qR, 14.7 参考文献 311 jq oPLbxT 15 反演工程 313 >2-F2E, 15.1 随机性和系统性 313 A]y*so!)> 15.2 常见的系统性问题 314 /#q")4Mf 15.3 单层膜 314 bejGfc 15.4 多层膜 314 F,Fo}YQX 15.5 含义 319 -Ds|qzrN% 15.6 反演工程实例 319 ~w.2-D 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %jKH?%Ih 15.6.2 反演工程提取折射率 327 W%8+t) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 gL]'B!dGd 16.1 光学性质的热致偏移 329 i!~>\r\6\ 16.2 应力工具 335 GgdlVi 2 16.3 均匀性误差 339 ^8742. 16.3.1 圆锥工具 339 $pu3Ig$^ 16.3.2 波前问题 341 ofwQ:0@ 16.4 参考文献 343 G1_Nd2w 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Zc\S$+PM 17.1 引言 345 t"YIq/08 17.2 操作数 345 gX/NtO% 18 如何在Function中编写脚本 351 ~zMKVM1Q., 18.1 简介 351 (|0b7|'T 18.2 什么是脚本? 351 Ow3a0cF[9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 z> :U{!5k 18.4 基础 352 c^-YcGwa 18.4.1 Classes(类别) 352 i_Ar<9a~ 18.4.2 对象 352 =J.EH| 18.4.3 信息(Messages) 352 <9 },M 18.4.4 属性 352 wznn #j 18.4.5 方法 353 FE6C6dW{ 18.4.6 变量声明 353 R~c1)[[E 18.5 创建对象 354 TzY!D*%z 18.5.1 创建对象函数 355 u9}!Gq 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 + U5U.f% 18.5.3 丢弃对象 356 3/tJDb5 18.5.4 总结 356 twv
lQ| 18.6 脚本中的表格 357 MgnE-6_c 18.6.1 方法1 357 (HSw%e 18.6.2 方法2 357 ((9YG 18.7 2D Plots in Scripts 358 51/sTx<Z} 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?z"YC&Tp 18.9 注释 360 *. dKR 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8_awMVAy 18.11 一个更高级的脚本 362 =+(Q.LmhC 18.12 <esc>键 364 65"uD7; 18.13 包含文件 365 &?}1AQAYg 18.14 脚本被优化调用 366 '_E c_F 18.15 脚本中的对话框 368 0%;MVMH 18.15.1 介绍 368 C,='3^Nc 18.15.2 消息框-MsgBox 368 u2,H ]- 18.15.3 输入框函数 370 ~bFdJj 1* 18.15.4 自定义对话框 371 aZxO/b^j 18.15.5 对话框编辑器 371
w[{*9 18.15.6 控制对话框 377 *s36OF! 18.15.7 更高级的对话框 380 S]b
xQa+ 18.16 Types语句 384 M)tv;!eQ 18.17 打开文件 385 EFv4=OWB 18.18 Bags 387 wJ(8}eI 18.13 进一步研究 388 hqWbp* 19 vStack 389 :4] J2U\@ 19.1 vStack基本原理 389 F%y{%
C7l 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 hJ4S3b 19.3 五棱镜 393 Ir>2sTrm 19.4 光束距离 396 BWohMT 19.5 误差 399 J2=*-O: 19.6 二向分色棱镜 399 lkN'uZ 19.7 偏振泄漏 404 tUrNp~ve, 19.8 波前误差—相位 405 ac3_L$X[ 19.9 其它计算参数 405 iU,/!IQ 20 报表生成器 406 YjL
t&D:IZ 20.1 入门 406 GGp{b>E+
# 20.2 指令(Instructions) 406 DUQ9AT#3 20.3 页面布局指令 406 OU6^+Ta 20.4 常见的参数图和三维图 407 y78z>(jV 20.5 表格中的常见参数 408 2$ 20.6 迭代指令 408 c0SX]4}
G 20.7 报表模版 408 "s>
>V, 20.8 开始设计一个报表模版 409 !b'IfDp[-! 21 一个新的project 413 gDMAc/V`l 21.1 创建一个新Job 414 4^`PiRGt 21.2 默认设计 415 H[Cj7{V 21.3 薄膜设计 416 #[Z< |