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gM3:J:N 内容简介 UPuoIfuqI Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >>P5 4|& 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
?IVJ#6[ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +)sX8zb*gY \sAaVdZJH( 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ;|5-{+2 U% 目录 oZvG Kf Preface 1 ,/{e%J 内容简介 2 v745FIy< 目录 i t>\sP 1 引言 1 ukSv70Ev 2 光学薄膜基础 2 5g7@Dj,. 2.1 一般规则 2 `pfIgryns 2.2 正交入射规则 3 H#SQ>vyAV 2.3 斜入射规则 6
':vZ& 2.4 精确计算 7 ]u|fLK.| 2.5 相干性 8 5daq}hsQs 2.6 参考文献 10 3PNdc}h 3 Essential Macleod的快速预览 10 ODxZO3 4 Essential Macleod的特点 32 'k,2*.A 4.1 容量和局限性 33 rm[C{Pn 4.2 程序在哪里? 33 Z>9@)wo 4.3 数据文件 35 (I>Ch)' 4.4 设计规则 35 XIdh9)]^} 4.5 材料数据库和资料库 37 ,;`f* # 4.5.1材料损失 38 &zEQbHK6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h@Q^&%w 4.5.2 材料库 41 KxkBP/`3Q 4.5.3导出材料数据 43 ==dKC; 4.6 常用单位 43 *jlIV$r_ 4.7 插值和外推法 46 cpQ5F;FI 4.8 材料数据的平滑 50 Xqf,_I=V 4.9 更多光学常数模型 54 pE5v~~9Ikv 4.10 文档的一般编辑规则 55 |\,OlX, 4.11 撤销和重做 56 M13HD/~O 4.12 设计文档 57 /|0-O'' 4.10.1 公式 58 jc5[r;# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]||b2[* 4.10.3 沉积密度 59 W;vNmg}mn 4.10.4 平行和楔形介质 60 G !q[NRu 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ue_wuZi 4.10.4 性能 61 gQn%RPMh 4.10.5 保存设计和性能 64 yKc-:IBb{u 4.10.6 默认设计 64 f>N DtG.6 4.11 图表 64 o`bc/3! 4.11.1 合并曲线图 67 /WuYg
OI 4.11.2 自适应绘制 68 ']M/'CcM 4.11.3 动态绘图 68 Pyo|Sgk 4.11.4 3D绘图 69 [4z,hob 4.12 导入和导出 73 >+2&7u 4.12.1 剪贴板 73 aGD< #] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 V(7,N( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 --5F*a{R| 4.13 背景 77 :X0L6y)u 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QQ(}71U 4.15 生成Rugate 84 n4K!Wv&u 4.16 参考文献 91 [X(4( 1i 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /LD3Bb)O 5.1 Jobs 92 3!CUJs/W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 UqP{Cyy{ 5.3 输入材料 94 =oBpS=<7 5.4 设计数据文件夹 95 76nH)^%l< 5.5 默认设计 95 |mEWN/@C 6 细化和合成 97 MEDh 6.1 优化介绍 97 SMN.AJ
J 6.2 细化 (Refinement) 98 pQz1!0 6.3 合成 (Synthesis) 100 UL+Txc 6.4 目标和评价函数 101 gEh/m.L7 6.4.1 目标输入 102 4 PK}lc 6.4.2 目标 103 QaWS%0go 6.4.3 特殊的评价函数 104 +?_!8N8 6.5 层锁定和连接 104 G@8)3 @ 6.6 细化技术 104 #HUn~r 6.6.1 单纯形 105 5ya9VZ5# 6.6.1.1 单纯形参数 106 {9x_E { 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]E`<8hRB 6.6.2.1 Optimac参数 108 qN!oN* 6.6.3 模拟退火算法 109 a|ufm^F 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zx.qN 6.6.4 共轭梯度 111 B8@mL-Z-; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &LLU@ | 6.6.5 拟牛顿法 112 uFkl^2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +:MSY p 6.6.6 针合成 113 ":!$Jnj, 6.6.6.1 针合成参数 114 RZa/la* 6.6.7 差分进化 114 1Viz`y)^ 6.6.8非局部细化 115 ~ ld.I4 6.6.8.1非局部细化参数 115 qmrT dG 6.7 我应该使用哪种技术? 116 SDnl^a 6.7.1 细化 116 3c<aI=$^ 6.7.2 合成 117 F y+NJSG 6.8 参考文献 117 0Hnj<| HL 7 导纳图及其他工具 118 hkMeUxS 7.1 简介 118 c./\sN@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 =*\s`ox` 7.2.1 四分之一波长规则 119 eM7@!CdA9q 7.2.2 导纳图 120 r.C6`
a 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \6b~$\~B 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 aKI"<%PNn 7.5 斜入射导纳图 141 NRRJlY
S 7.6 对称周期 141 }k^uup*{ 7.7 参考文献 142 wi2`5G6|z 8 典型的镀膜实例 143 DX_mrG 8.1 单层抗反射薄膜 145 e"
v%m'G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 bZu'5+(@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 YI0
wr1N 8.4 W-膜层 148 v">?`8V 8.5 V-膜层 149 bC{4a_B 8.6 V-膜层高折射基底 150 cO?*(e1m= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @Z5q2Q 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 wuqe{? 8.9 四层抗反射薄膜 153 W}(A8g#6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )2f#@0SVL 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8v$q+Wic 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 V DFgu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 i VSNara 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {R1]tGOf 8.15十五层宽带抗反射膜 159 yV^Yp=f_ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 -^p{J
TB+ 8.17 1/4波长堆栈 162 (:oF\ 8.18 陷波滤波器 163 j7I=2xnTWu 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @6
he!wW 8.20 褶皱 165 V?mP7 8.21 消偏振分光器1 169 v?8WQNy 8.22 消偏振分光器2 171 =EJ&=t 8.23 消偏振立体分光器 172 w-|Rb~XT
h 8.24 消偏振截止滤光片 173 v\xl?F 8.25 立体偏振分束器1 174 l}nV WuD 8.26 立方偏振分束器2 177 )nN!% |J 8.27 相位延迟器 178 9{Hs1MD[ 8.28 红外截止器 179 =z1Lim- 8.29 21层长波带通滤波器 180 [$y(>]~. 8.30 49层长波带通滤波器 181 h&"9v~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 Q'<AV1< 8.32 47 红外截止器 183 bZowc {!\ 8.33 宽带通滤波器 184 !I7$e&Uz@ 8.34 诱导透射滤波器 186 Ycr3$n]e 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~Ntk-p 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 $|$@?H>K 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 >S5J^c 8.35 增益平坦滤波器 193 +k`L8@a3& 8.38 啁啾反射镜 1 196 d4y#n=HnnV 8.39 啁啾反射镜2 198 :H}iL* 8.40 啁啾反射镜3 199 j0l,1=^>l 8.41 带保护层的铝膜层 200 E$"NOR 8.42 增加铝反射率膜 201 Fa("Gok[ 8.43 参考文献 202 2Kxb(q" 9 多层膜 204 91R#/i 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 a%#UF@I 9.2 内部透过率 204 is;g`m 9.3 内部透射率数据 205 *byUqY3( 9.4 实例 206 <\229 9.5 实例2 210 J(1Tl 9.6 圆锥和带宽计算 212 ieyK$q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N&8$tJ(hhx 10 光学薄膜的颜色 216 196aYLE 10.1 导言 216 9<mMU: 10.2 色彩 216 PT>b%7Of 10.3 主波长和纯度 220 >.<VD7p 10.4 色相和纯度 221 _c>iux; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 n_kwtWX( 10.6 色差 226 CHnclT 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 E'6>3n 10.8 颜色渲染指数 234 Nl\`xl6y] 10.9 色差计算 235 {B$CqsvJ 10.10 参考文献 236 OVLVsNg 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 4"&-a1N 11.1 短脉冲 238 'm<Lx _i 11.2 群速度 239 7?dWAUF 11.3 群速度色散 241 k*1Lr\1 11.4 啁啾(chirped) 245 #|9W9\f, 11.5 光学薄膜—相变 245 BJ
UG<k 11.6 群延迟和延迟色散 246 lZk
z\ 11.7 色度色散 246 3kxo1eb
11.8 色散补偿 249 yZlT#^$\ 11.9 空间光线偏移 256 LOU P 11.10 参考文献 258 l7QxngWw 12 公差与误差 260 juEPUsE 12.1 蒙特卡罗模型 260 4\z@Evm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ':.Hz]]/A 12.2.1 误差工具 267 S,5ok0R 12.2.2 灵敏度工具 271 x?AG*'
h& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 YZ~MByu 12.2.2.2 灵敏度分布 275 M`Y^hDl 6 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )^:H{1' 12.3 参考文献 276 0U=wGIO 13 Runsheet 与Simulator 277 g*$2qKm 13.1 原理介绍 277 jE0oLEg& 13.2 截止滤光片设计 277 7xnj\9$m 14 光学常数提取 289 5=o ^/Vkc 14.1 介绍 289 / 14.2 电介质薄膜 289 %a/3*vz/I% 14.3 n 和k 的提取工具 295 ~kW?]/$h 14.4 基底的参数提取 302 v ,")XPY 14.5 金属的参数提取 306 k9k39`t 14.6 不正确的模型 306 )n&hO_c/ 14.7 参考文献 311 ,z&S;f.f 15 反演工程 313 '5h`=" 15.1 随机性和系统性 313 |4\1V=( 15.2 常见的系统性问题 314 +&.zwniSS 15.3 单层膜 314 ^s)`UZ<C= 15.4 多层膜 314 KZKE&bTx 15.5 含义 319 DI\=udN 15.6 反演工程实例 319 xsa`R^5/c 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 53t_#Yte 15.6.2 反演工程提取折射率 327
7)2K6<q 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )Do 0 16.1 光学性质的热致偏移 329 a_Y<daRO 16.2 应力工具 335 yGR{-YwU! 16.3 均匀性误差 339 ~0MpB~ {xd 16.3.1 圆锥工具 339 R"W}\0k 16.3.2 波前问题 341 FGDVBUY@
16.4 参考文献 343 ggDT5hb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 i{^T;uAE 17.1 引言 345 d:)#-x*h7 17.2 操作数 345 aHN"I
18 如何在Function中编写脚本 351 868X/lL 18.1 简介 351 Y4k2=w:D 18.2 什么是脚本? 351 9KVJk</:n 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 |62` {+ 18.4 基础 352 4!dc/K 18.4.1 Classes(类别) 352 c}(H*VY2n 18.4.2 对象 352 I=dG(?#7% 18.4.3 信息(Messages) 352 xF8r+{_J) 18.4.4 属性 352 Znb={hh 18.4.5 方法 353 zud_BOq{f 18.4.6 变量声明 353 S;4:`?s=i 18.5 创建对象 354 i$NlS}W 18.5.1 创建对象函数 355 }$_@yt<{W@ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ofB:7 18.5.3 丢弃对象 356 ,@ '^3u 18.5.4 总结 356 9nR\7!_ 18.6 脚本中的表格 357 [xqV`(vM 18.6.1 方法1 357 ZJ3g,dc 18.6.2 方法2 357 A-!e$yz> 18.7 2D Plots in Scripts 358 7ws<' d7/ 18.8 3D Plots in Scripts 359 &N^j
}^ Z 18.9 注释 360 V,-we|" 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ZDW9H6ux 18.11 一个更高级的脚本 362 httywa^ 18.12 <esc>键 364 }Ulxt:} 18.13 包含文件 365 :8`A 18.14 脚本被优化调用 366 1'&.6{)P 18.15 脚本中的对话框 368 IR-n:z 18.15.1 介绍 368 W %*#rcdq 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }a;xs};X; 18.15.3 输入框函数 370 @f-:C+(Nsg 18.15.4 自定义对话框 371 5m1J&TZ0 18.15.5 对话框编辑器 371 nQc,^A)I 18.15.6 控制对话框 377 zxn|]PbS 18.15.7 更高级的对话框 380 b6-N2F1Fs 18.16 Types语句 384 d"XZlEV 18.17 打开文件 385 FCt<h/ 18.18 Bags 387 YPGM|| 18.13 进一步研究 388 +[G9PP6 19 vStack 389 )Q1>j 2& 19.1 vStack基本原理 389 i.E2a) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 W\l&wR 19.3 五棱镜 393 <D a-rv8 19.4 光束距离 396 H~FI@Cf$L 19.5 误差 399 /"X_{3dq? 19.6 二向分色棱镜 399 NsB]f{7>8+ 19.7 偏振泄漏 404 xSudDhRP 19.8 波前误差—相位 405 Wj.t4XG! 19.9 其它计算参数 405 %5e| 20 报表生成器 406 fOi
Rstci 20.1 入门 406 l|.}>SfL^u 20.2 指令(Instructions) 406 ^+yz}YFM 20.3 页面布局指令 406 xX&B&"]5 20.4 常见的参数图和三维图 407 M+%Xq0`T 20.5 表格中的常见参数 408 UBwl2Di 20.6 迭代指令 408 h7#\]2U$[5 20.7 报表模版 408 H_?rbz} o 20.8 开始设计一个报表模版 409 nI3p`N8j* 21 一个新的project 413 GlJ[rD 21.1 创建一个新Job 414 'J?{/O ^ 21.2 默认设计 415 BHr ,jC 21.3 薄膜设计 416 33~MP; 21.4 误差的灵敏度计算 420 'x%gJi# 21.5 显色指数计算 422 ) ^En 21.6 电场分布 424 Tf3CyH!k 后记 426 'iW 有兴趣加微咨询 &. =8Q?
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