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bHRn}K+<}c 内容简介 hDB(y4/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 M KW~rrR 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )GVTa4}p 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8\P,2RSnt E-C]<{`O 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 P8X9bW~GQ 目录 _`;KmD&5 Preface 1 'a+^= c 内容简介 2 &2XH.$Q 目录 i "y"oV[` 1 引言 1 "i#g [x 2 光学薄膜基础 2 ^uUA41o`eJ 2.1 一般规则 2 ZYWGP:Y 2.2 正交入射规则 3 VNT? 2.3 斜入射规则 6 t{iRCj 2.4 精确计算 7 2@Yu:|d4U 2.5 相干性 8 $}tF66d 2.6 参考文献 10 o"X..m< 3 Essential Macleod的快速预览 10 Yl&[_
l 4 Essential Macleod的特点 32 5\h 6"/6Df 4.1 容量和局限性 33 KZ[TW,Gw 4.2 程序在哪里? 33 myX&Z F_9 4.3 数据文件 35 E~WbV+,3 4.4 设计规则 35 H ;=^
W 4.5 材料数据库和资料库 37 bi+M28m 4.5.1材料损失 38 Za!KM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %!A:Ka!m. 4.5.2 材料库 41 td%J.&K_*' 4.5.3导出材料数据 43 MnFrQC 4.6 常用单位 43 cKkH*0B5 4.7 插值和外推法 46 Q]TZyk 4.8 材料数据的平滑 50 5`fUR/|[ 4.9 更多光学常数模型 54 .^9khKJ; 4.10 文档的一般编辑规则 55 :]F66dh+ 4.11 撤销和重做 56 9HFEp-" 4.12 设计文档 57 T.I'c6| 4.10.1 公式 58 &PV%=/-J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $Xt""mlQ 4.10.3 沉积密度 59 4_VgJ9@ 4.10.4 平行和楔形介质 60 v]on0Pi! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8*/;W&7y 4.10.4 性能 61 <B|b'XVH2 4.10.5 保存设计和性能 64 !Ltx2CB2] 4.10.6 默认设计 64 =dNE1rdzNa 4.11 图表 64 T:kliM"z 4.11.1 合并曲线图 67 qB_s<cpn> 4.11.2 自适应绘制 68 dF51_Kk 4.11.3 动态绘图 68 S'|PA7a}h 4.11.4 3D绘图 69 X);'[/]E* 4.12 导入和导出 73 $s}w23nB 4.12.1 剪贴板 73 jq]5Y^e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 o?/H<k\5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 am? k 4.13 背景 77 Sd^I>; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 EgPL+qL 4.15 生成Rugate 84 Mn&_R{{= 4.16 参考文献 91 $t& o(]m 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6 M:?W" 5.1 Jobs 92 +|g*<0T5< 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,rN$ah$CL 5.3 输入材料 94 iNkN'(" 5.4 设计数据文件夹 95 >CrrxiG 5.5 默认设计 95 :I&y@@UG 6 细化和合成 97 nU{Qi;0 6.1 优化介绍 97 >ryA:TO{ 6.2 细化 (Refinement) 98 q M_c-^F 6.3 合成 (Synthesis) 100 1qAE)8ie 6.4 目标和评价函数 101 IfB .2e` 6.4.1 目标输入 102 u=L Dfn 6.4.2 目标 103 {_(R?V]w, 6.4.3 特殊的评价函数 104 TDk[,4 6.5 层锁定和连接 104 `,~'T [ 6.6 细化技术 104 RTd,bi* 6.6.1 单纯形 105 g"'BsoJ 6.6.1.1 单纯形参数 106 o<lmU8xB= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 nl(GoX$vRQ 6.6.2.1 Optimac参数 108 QhRz57' 6.6.3 模拟退火算法 109 {ly <%Q7j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 M __S) 6.6.4 共轭梯度 111 ehB'@_y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;lE=7[UJ3X 6.6.5 拟牛顿法 112 7wW x 8 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 TT(R<hL 6.6.6 针合成 113 Pw]+6 6.6.6.1 针合成参数 114 3r[F1z2B 6.6.7 差分进化 114 a3M I+ 6.6.8非局部细化 115 .?APDr"QQH 6.6.8.1非局部细化参数 115 aJ=)5%$6kc 6.7 我应该使用哪种技术? 116 H1?C:R 6.7.1 细化 116 56kqG}mg& 6.7.2 合成 117
ZaaBg 6.8 参考文献 117 Kp7)my 7 导纳图及其他工具 118 6:}n}q,V 7.1 简介 118 X6B,Mply 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 oVP,ar0G 7.2.1 四分之一波长规则 119 <f}:YDY' 7.2.2 导纳图 120 }@
U}c6/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 k
t!@}QP 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 bYQ@! 7.5 斜入射导纳图 141 &m36h`tM 7.6 对称周期 141 ktfxb<% 7.7 参考文献 142 1jKj'7/K 8 典型的镀膜实例 143 OB=bRLd.IR 8.1 单层抗反射薄膜 145 CTg79
ITYk 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *uK!w(;2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 =ePwGm1:c 8.4 W-膜层 148 !Y|xu07 8.5 V-膜层 149 .%J<zqk- 8.6 V-膜层高折射基底 150 X xwcvE 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 .1^Kk3 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 h*<`ct xL 8.9 四层抗反射薄膜 153 ]==7P;_- 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9k62_]w@6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 < <0[PJ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Z?[R;V1j 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 KMfIp:~ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 @JdeOL; 8.15十五层宽带抗反射膜 159 l_04b]; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 m7A3i<6p 8.17 1/4波长堆栈 162 U. <c#S 8.18 陷波滤波器 163 %sZ3Gpi 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 elKp?YN 8.20 褶皱 165 d7g$9&/q 8.21 消偏振分光器1 169 t vW0 W 8.22 消偏振分光器2 171 JY:Fu 8.23 消偏振立体分光器 172 ".AW 8.24 消偏振截止滤光片 173
rKOa9M 8.25 立体偏振分束器1 174 JB5%\ 8.26 立方偏振分束器2 177 )2d1@]6# 8.27 相位延迟器 178 X}={:T+6s 8.28 红外截止器 179 753gcY#i 8.29 21层长波带通滤波器 180 lxD~l#)^ln 8.30 49层长波带通滤波器 181 M`=\ijUwN 8.31 55层短波带通滤波器 182 $b^ niL 8.32 47 红外截止器 183 YGyw^$.w 8.33 宽带通滤波器 184 LoJEchRK 8.34 诱导透射滤波器 186 {<Y!'WL{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 6 AY~>p 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 pXQ$n:e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (?T{^Hg 8.35 增益平坦滤波器 193 -c0*
8.38 啁啾反射镜 1 196 qgWsf-di= 8.39 啁啾反射镜2 198 bFA
lC 8.40 啁啾反射镜3 199 eA(FWO 8.41 带保护层的铝膜层 200 nC$c.K' 8.42 增加铝反射率膜 201 h{~GzrL* 8.43 参考文献 202 w9x5 IRW k 9 多层膜 204 0iMfyW: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +-V4:@ 9.2 内部透过率 204 mH<|.7~0 9.3 内部透射率数据 205 {~\:4 9.4 实例 206 t >64^nS 9.5 实例2 210 W8]?dL}| 9.6 圆锥和带宽计算 212 o {q8An) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :<
]sJfN 10 光学薄膜的颜色 216 4w 7vgB 10.1 导言 216 :IsJE6r 10.2 色彩 216 \`/ P* 10.3 主波长和纯度 220 $`C$|9S 10.4 色相和纯度 221 ]P^3uXi 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 "6%qi qt 10.6 色差 226 t08[3Q& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ^6CPC@B1 10.8 颜色渲染指数 234 :Xx7':5 10.9 色差计算 235 c~\^C_ 10.10 参考文献 236 kMa|V0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 JV2[jo}0N 11.1 短脉冲 238 F
Zt;D 11.2 群速度 239 sG|,#XQ 11.3 群速度色散 241 & )-fC 11.4 啁啾(chirped) 245 !;k
^ 11.5 光学薄膜—相变 245 1iM(13jW 11.6 群延迟和延迟色散 246
hJ8B&u( 11.7 色度色散 246 8l?@ o 11.8 色散补偿 249 NfCo)C-t 11.9 空间光线偏移 256 [H`5mY@ 11.10 参考文献 258 Kt"4<' 12 公差与误差 260 --`W1!jI@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 =k!F`H`/%' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [#:yOZt 12.2.1 误差工具 267 KWw?W1H 12.2.2 灵敏度工具 271 FT gt$I 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^h<ElK 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ]7|qhAh<L 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 EY :EpVin 12.3 参考文献 276 IPY[x| 13 Runsheet 与Simulator 277 Z= pvoTY 13.1 原理介绍 277 ar`}+2Qh0 13.2 截止滤光片设计 277 eTtiAF=bW 14 光学常数提取 289 (Y?}'? 14.1 介绍 289 7'{Y7]+z+ 14.2 电介质薄膜 289 C*Y0GfW= 14.3 n 和k 的提取工具 295 eoiC.$~\ 14.4 基底的参数提取 302 o|VM{5 14.5 金属的参数提取 306 g3(?!f 14.6 不正确的模型 306 m?1AgsBR 14.7 参考文献 311 TfNm0=| 15 反演工程 313 d\ Xijy 15.1 随机性和系统性 313 (rf8"T!" 15.2 常见的系统性问题 314 vrsOA@ee3H 15.3 单层膜 314 lYrW"(2 15.4 多层膜 314 1lv.@- 15.5 含义 319 ,fs>+]UY3 15.6 反演工程实例 319 Hg[AulNna 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ).r04)/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 myZ8LQ& 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 d]l(B+\vf 16.1 光学性质的热致偏移 329 RJOyPZ] 16.2 应力工具 335 $0;Dk, 16.3 均匀性误差 339 e]l.m!,r 16.3.1 圆锥工具 339 k/%n7 ;1 16.3.2 波前问题 341 I9jzR~T 16.4 参考文献 343 1uc;:N G= 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 g6q67m<h 17.1 引言 345 `H|#l\ 17.2 操作数 345 'A#l$pJp7 18 如何在Function中编写脚本 351 MSS0Sx<f 18.1 简介 351 }?%5Ae7l, 18.2 什么是脚本? 351 y/Q,[Uzk\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 OQsF$%* 18.4 基础 352 AkV8}>G?#A 18.4.1 Classes(类别) 352 KrD?Z2x 18.4.2 对象 352 4ko(bW#jL 18.4.3 信息(Messages) 352 <o_(,,P% 18.4.4 属性 352 f.u+({"ql 18.4.5 方法 353 ;jT@eBJ 18.4.6 变量声明 353 dmE.yVI"O 18.5 创建对象 354 f!##R-A 18.5.1 创建对象函数 355 " [K>faV 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 l0{R`G, 18.5.3 丢弃对象 356 #j${R={ 18.5.4 总结 356 8|\?imOp\[ 18.6 脚本中的表格 357 25jgM!QBXF 18.6.1 方法1 357 Ceak8#|4 18.6.2 方法2 357 =xsTVT;sj 18.7 2D Plots in Scripts 358 1mz72K 18.8 3D Plots in Scripts 359 mA']*)L1 18.9 注释 360 .
,n>#lL 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 X/`M'8v.% 18.11 一个更高级的脚本 362 xy1R_*.F^T 18.12 <esc>键 364 [NIaWI,> 18.13 包含文件 365 7
a_99?J 18.14 脚本被优化调用 366 Ln5g"g8gb% 18.15 脚本中的对话框 368 A<s9c=d6 18.15.1 介绍 368 =LMM]'no, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 K)r|oW=6Y 18.15.3 输入框函数 370 vTUhIFa{ 18.15.4 自定义对话框 371 ;R{ffS6 18.15.5 对话框编辑器 371 "E )0)A3= 18.15.6 控制对话框 377 $|bdeQPr\ 18.15.7 更高级的对话框 380 ~5b^Gvb? 18.16 Types语句 384 H)O I&? 18.17 打开文件 385 ; )J\k2 18.18 Bags 387 /%w3(e 18.13 进一步研究 388 n|f Huv 19 vStack 389 *.F4?i2D 19.1 vStack基本原理 389 :f5"w+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 a EmLf 19.3 五棱镜 393 Y|96K2BR 19.4 光束距离 396 jz72~+)T 19.5 误差 399 P+t`Rw 19.6 二向分色棱镜 399 As-xO~ + 19.7 偏振泄漏 404 JP*VR=0k? 19.8 波前误差—相位 405 ?hS&OtW
19.9 其它计算参数 405 'PVxc%[ 20 报表生成器 406 Sn!5/9Y 20.1 入门 406 }IGoPCV| 20.2 指令(Instructions) 406 b;%>?U`>p 20.3 页面布局指令 406 I&G"{Dl94 20.4 常见的参数图和三维图 407 tDIQ= 20.5 表格中的常见参数 408 ,@4~:OY 20.6 迭代指令 408 24Uvi:B?~ 20.7 报表模版 408 G2BB]] m3 20.8 开始设计一个报表模版 409 #[.aj2 21 一个新的project 413 5'zD}[2 21.1 创建一个新Job 414 ];8S<KiS~ 21.2 默认设计 415 _[t:Vme}v 21.3 薄膜设计 416 M=Cl| 21.4 误差的灵敏度计算 420 *'jI>^o 21.5 显色指数计算 422 cHjnuL0fsy 21.6 电场分布 424 G=l-S\0@ 后记 426 pDV8B/{ 有兴趣加微咨询 GjH$!P=.
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