4&NB xe 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Hs)] p>)1Z<D"a
-}m #N`'hPD} 设计任务 @ fMlbJq W\[E 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
Lx-%y'P 6Y [&1c8
q5g_5^csM{ VQ!4(
<XD 光栅级次分析模块设置 @Xoh@:j\ _A]jiPq xd3mAf 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
5tv*uz|fv f #h0O3
HV!P]82Pa 6No.2Oo Vc'p+e|( 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
"|i1 AR:I 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Rb<|
<D+ 3wN4kltt
x/1FQ>n:9 衍射分束器表面 f]1 $`
T2-x 1Sw_
?bd!JW bg` QqL?? p-S> 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
"Io-%Su+ NZ`6iK-V_
e~QLzZ3 TJ>YJD
&h[)nD Ew}GPJ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) |QzJHP @
3znhpHO)
I-.?qcy~ :8n?G 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
!5+9~/; 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
Nt+UL/1] 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
~i^,Z&X: mp3 Dc
N0fE*xo j5Yli6r?3- 光栅级次和可编程光栅分析仪 JF&$'
RW>F %P
z=k*D^X 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
3I?yRE /x-tl)(s= (`n*d3 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
-GgV&%'a 6w<p1qhW KJ?/]oLr0 设计与评估结果 相位功能设计
#tPy0QH 结构设计TEA评价
'iYaA-9j FMM评估 高度标度(公差)
K6<1& IsL=DV/ 通用设置 kGq<Zmy| Fo"'[` fZd~},X 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
:Z
]E:f0P 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
$AFiPH9 RmN\;G?} 纯相位传输设计 Q6Zh%\+h( hYCyc-W
`0ju=FP'u5 XeBSHvO_ 结构设计 \No22Je6d
J! eVw\6
C vTgtZ
' 9aqFdlbY FH H2 更深的分析
$0iN43WSQ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
sEfGf. •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
^_Z Qf •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
Vo2frWF$ Z@i MG
**YNR:#Y {&(bKQ 使用TEA进行性能评估 [dL?N
aEZn6k1
OEGAwP?F d0Kg,HB 使用FMM进行性能评估 zT+yZA.L
Zr2QeLQC(
zck |jhJ6 W%Zyt:H` 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 { K0T%.G
&(^>}&XS.<
vrW9<{ 7#|NQ=yd 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 7erao-
R QO{fC
Y.*lO t@19a6:Co 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 k~?}z.g(
3x9C]