Uqb]&2 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
"l9aBBiu UfPHV%Wd
gnjhy1o +'-.c" 设计任务 wMj#.Jh s'oNW 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
pu+Q3NfR SJ<v< B
TYb$+uY \hZ%NLj 光栅级次分析模块设置 3F@P$4!#l vsZ?cd &b`W<PAc?4 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
PCHspe9!y Y)DX
e).;;0 Y#XRn_2D QxdC[t$Lp 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Qj;{Z*l%+ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
(/N&_r4x aY#?QjL
ON){d!]uJ 衍射分束器表面 &=BzsBh
TKv!wKI
eu9*3'@A iGu%_-S 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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w\YS5!P,V %ACW"2#(
Mh4MaLw
]5c(:T F 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) >#x[qX
ro\oL
U:C:ugm 6<<"9mxK 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
5EcVW|( 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
j*G: 8Lg 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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Rbf6/C 光栅级次和可编程光栅分析仪 #%\0][Xf
5tQz!M
mGj)Zrx> 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
#mw!_]
oNyYx6q:Q hOUH1m. 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
$TXxhd 6 0bDc
4m *uhQP47B 设计与评估结果 相位功能设计
0X5cn 0L^ 结构设计TEA评价
M% \T5 FMM评估 高度标度(公差)
&,k!,<IF 3-
Kgz 通用设置 );7
d_# j#n ]q{s4 5]N0p,f 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
9kH~=`: ? 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
X3l>GeUi Q+T#J9Y 纯相位传输设计 E]OexRJ^i y9 {7+]
pT]hPuC UhDQl%&He 结构设计 #T_!-;(Z
Uz^N6q
(@+pz/ $72eHdy/yl (XO=W+<' 更深的分析
SKL 4U5D{ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
)=[\Yf K •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
K6IT$$g •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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W$zA, Q"XDxa'7"
9&eY<'MgP ;{sZDjev> 使用TEA进行性能评估 L1SKOM$
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sN[}B{+ j~-N2b6z 使用FMM进行性能评估 O2{["c
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o72r `2 %R c#/y 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 `MOw\Z)..
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Z!"-LQJ 7 m{lOR 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 f8:nKb>nq$
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=0g!Q g-sNYd%?a 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 t`Z'TqP R
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