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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    xjhAAM  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 EAd:`X,Y  
    P7k$^n  
    gy,TT<1)  
    =@jMx^A"  
    设计任务 ^B!?;\4IM  
    AIxBZt7{b  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 <sCq x/L  
    6[2?m*BsN  
    xE-c9AH  
    ! 7*_Z=  
    光栅级次分析模块设置 (jE:Q2"  
                            ~!d)J  
    c.{&~  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 zI:5I@ X  
    #HuA(``[d  
    B?ob{K@  
    'GzhZ`E6  
    G* ~*2>~  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ~B*\k^t`  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 :6k DUFj}  
    -b>O4_N  
    2SPFjpG8n  
    衍射分束器表面 5<?c_l9X^  
    A{Htpm~  
    '/Cz{<,  
    P"_}F  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 8!%"/*P$  
    AW&s-b%P  
    >.wd)  
    Vv)E41  
    c)!s[oL  
    yqb <<4I  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) k mr 4cU5  
    B{UoNm@  
    lvJ{=~u  
    ftU5 A@(T  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 %PdYv _5  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 r\ Yur  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 f uN XY-;  
    27 TZ+?  
    Bpo68%dx89  
    TIh zMW\/K  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 9w<Bm"G  
    wBHDof xX  
    EM w(%}8w  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 A^@<+?  
    u\geD  
    @d^h/w  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 !gew;Jz  
    U@5Z9/n{  
    :@Dos'0Px  
                设计与评估结果            相位功能设计 RZh)0S>J  
                结构设计TEA评价 N_Ld,J%g  
    FMM评估            高度标度(公差) [=F |^KL  
    "s<l Lgi  
    通用设置 ,wo"(E!4e  
    +* {5ORq=  
    fO(S+}  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 swq!S p  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 GiwA$^Hg\  
    >D4Ez  
    纯相位传输设计 SfL`JNi)  
    . \0=1P:  
    I8]NY !'cW  
    .%Q Ea_\  
    结构设计 %ys}Q!gR  
    c+/C7C o  
     ly%B!P|  
    gK\7^95  
    azc:C  
            更深的分析 7O^ S.(  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 2vQ^519  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 z35Rjhj9  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 1ZFSz{  
    jUSr t)o03  
    |bnjC$b*  
    AK?j1Pk  
    使用TEA进行性能评估 7zZ|=W?&{  
    J3^ZPW  
    ZUW>{'[K  
    M)^9e?  
    使用FMM进行性能评估 Vp{2Z9]}  
    Yb{t!KL  
    XO~^*[K  
    ~GYtU9s5  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ITlkw~'G  
    ;}'<`(f&nX  
    hAyPaS#  
    |R/50axI  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 %([H*sLX  
    @{lnfOESl  
    9(j!#`O7&  
    ,m]q+7E  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Ntiz-qW  
    c$fM6M }  
     
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