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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    $7\Al$W\  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 o}QtKf)W  
    (rFXzCI  
    o& -c5X4  
    ~t0\Q; @($  
    设计任务 8/4i7oOC  
    3hUU$|^4gm  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 9qe<bds1  
    Y9^;TQ+#  
    ? }t[  
    aG&ay3[&  
    光栅级次分析模块设置 nG B jxhl  
                           8<#S:O4kA  
    0=g~ozEW&  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 V'n4iM  
    L`"B;a&  
    %N.qu_,IZ  
    -%I 0Q  
    tZ4Zj`x|^  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 #@qd.,]2  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 JY6&CL`C  
    *.g@6IkAQ  
    P`ZYm  
    衍射分束器表面 #}y(D{zc  
    8y$c\Eu(mF  
    <OR f{  
    )wFr%wNe  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 9pY`_lxa>  
    ;_]Z3  
    U`25bb1W j  
    A~Uqw8n$\  
    85fv])\y  
    OsSGVk #Qh  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) m`3Mev  
    (=de#wh2]  
    /C: rr_4=  
    0/Q"~H?%  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 E]opA$JQ  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 cbHb!Lbg  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 $d[ -feU  
    =5 zx]N1r  
    PNn- @=%  
    <;T$?J9  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 rEWPVT  
    F~qiNV  
    h_w_OCC&2  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 |N^z=g P[  
    Gb?O-z%8*  
    UN,y /V  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 zSU06Y  
    n-%8RV  
    \q |n0>  
                设计与评估结果            相位功能设计 9S _N*wC.  
                结构设计TEA评价 y%9Q]7&=  
    FMM评估            高度标度(公差) `U~Y{f_!H  
    c[a1 Md&  
    通用设置 C/sDyv$  
    vW\|% @hW,  
    NbDfD3 1GK  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 4h[S`;D0Vf  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ~582'-=+  
    Qey6E9eCA  
    纯相位传输设计 wd=xs7Dz<p  
    #9Fe,  
    [;]@PKW?w  
    ;~Em,M"o  
    结构设计 GA8cA)]zOD  
    <;?&<qMo,P  
    Xc^7  
    Q I.*6-(  
    A{7N#-h_  
            更深的分析  ;7F|g  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 E?& x5?  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 TF@HwF"#  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 B-OuBS,fwC  
    }PR^Dj.  
    rCmxv7" a}  
    kP6P/F|RcZ  
    使用TEA进行性能评估 F[ Itq  
    i>M*ubWE4@  
    Z~Mq5#3F  
    Q)l]TgvSe  
    使用FMM进行性能评估 h)M9Oup`  
    ~'4:{xH  
    's]+.3">L1  
    us.+nnd  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 b=#3p  
    z"eh.&T  
    `B`/8Cvg  
    `R}D@  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 @'EP$!c  
    J-W, ^%  
    (VPT% l6  
    O ).1>  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 \w 6%J77  
    o3;u*f0rWn  
     
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