}K%y'D 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
3"pl="[* k.dQ;v}
|##rs 'J=knjAT 设计任务 ji(Y?vhQt i H^Gv * 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
?V>\9?zb wV,l }Xb-
ZGHh!Ds; e[8AdE 光栅级次分析模块设置 #P''+$5, g^qbd$ } :.k)! 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
|,G=k,?_p YV 5kzq
R>YDn|cWI k\J 6WT >[U.P)7; 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
<X{hW^??) 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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*YI>Q@F9
3X,SCG 衍射分束器表面 yye(^
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`PY>p!E L< gp "e 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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+-|D$@8S oiS>:de%tc 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) DsY$
%ys-y?r
#{t?[JUn 7JedS 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
``:AF: 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
?xTh}Sky 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
R&OqmhT! l5m5H,`
--~m{qmy <Rl:=(]i~ 光栅级次和可编程光栅分析仪 8-wW?YTG
x*9CK8o=
Ifc}=:nr 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
Y\qiYra {c3u!}mW ;bZIj`D( 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
DM-8azq $ 7sQw&yUL) % 1+\N 设计与评估结果 相位功能设计
XQ{G) 结构设计TEA评价
]vPa
A FMM评估 高度标度(公差)
mh#dnxeR _`bH$ 通用设置 ]J
t8]w 2g6G\F tv)U 7K0
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
\xH#X=J 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
Ua@rp3fr (X
rrnoz 纯相位传输设计 9\/T #EP WJ{hta
oH/4opV Ch1+YZG 结构设计 [U]ouh)
[3s p
Vs1j9P|G <&?gpRK R?Dbv'lp> 更深的分析
93Yo}6> •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
FA.h?yfr •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
G36}4 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
H(^O{JC]y! _u`NIpXSP
FT1h\K|a 1`tE Hu. 使用TEA进行性能评估 h SZ0 }/
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D&{7Av VOYuog 5o 使用FMM进行性能评估 AQ!FJ(X(
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1?CYx 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化
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jb' hqz !@ml^&hP 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 d9XX^nY.
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!af35WF f:k3j}& 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 $X%GzrN
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