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]P wS3:x 内容简介 !i-t6f Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 asYk#;z\" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yR|2><A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 uc+{<E3,% i!}k5k*Z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 G!$~'o%/ 目录 dVB#Np Preface 1 ].xSX0YQ% 内容简介 2 ;GG,Z#\m 目录 i 1Zc=QJw@ 1 引言 1 'u v=D 2 光学薄膜基础 2 #T8o+tv 2.1 一般规则 2 Qb?a[[3 2.2 正交入射规则 3 )/'WboL 2.3 斜入射规则 6 \54B 2.4 精确计算 7 lFt! 2.5 相干性 8 9#U]?^DJ@ 2.6 参考文献 10 5n2!Y\ 3 Essential Macleod的快速预览 10 8WQ#) 4 Essential Macleod的特点 32 _1E c54D 4.1 容量和局限性 33 VnW6$W?g 4.2 程序在哪里? 33 k"cMAu. 4.3 数据文件 35 +'gO%^{l 4.4 设计规则 35 ,zx{ RDI 4.5 材料数据库和资料库 37 ?[ )}N
_o# 4.5.1材料损失 38 h# 4n 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ]'Eg2(wy 4.5.2 材料库 41 <J+Oh\8tad 4.5.3导出材料数据 43 ~_JfI7={Jn 4.6 常用单位 43 ")MHP~ ? 4.7 插值和外推法 46 t'eu>a1D 4.8 材料数据的平滑 50 w>f.@luO4 4.9 更多光学常数模型 54 ;&J>a8B$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 I1>f2/$z* 4.11 撤销和重做 56 QxW+|Gt._ 4.12 设计文档 57 *Lrrl 4.10.1 公式 58 A@<
! ' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =JE<oVP8 4.10.3 沉积密度 59 nD/B:0' 4.10.4 平行和楔形介质 60 eGQ4aQhi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3LfF{ED@ 4.10.4 性能 61 r~T!$Tb 4.10.5 保存设计和性能 64 1(Vv-bq$ 4.10.6 默认设计 64 MV$E_@pg 4.11 图表 64 ]>)shH=Yx 4.11.1 合并曲线图 67 ^V; r 4.11.2 自适应绘制 68 o`Z3} 4.11.3 动态绘图 68 `uPO+2 4.11.4 3D绘图 69 I-!7 EC2{! 4.12 导入和导出 73 s3A(`heoq 4.12.1 剪贴板 73 I>.pkf<V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }Y!V3s1bm 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !b!An; ', 4.13 背景 77 $=\=80u/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 KB~[nZs7 4.15 生成Rugate 84 -'miM ~kG[ 4.16 参考文献 91 kXhd]7ru 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Y_n/rD> 5.1 Jobs 92 cu}(\a 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?qs LR 5.3 输入材料 94 y g(Na 5.4 设计数据文件夹 95 }Jh.+k|_ 5.5 默认设计 95 XixjdBFP 6 细化和合成 97 4ZUtK/i+r 6.1 优化介绍 97 [.|& /O 6.2 细化 (Refinement) 98 *sp")h#Z 6.3 合成 (Synthesis) 100 g5 *E\T%8 6.4 目标和评价函数 101 ^3sv2wh^|8 6.4.1 目标输入 102 Ma?uB8o+~ 6.4.2 目标 103 FDuA5At 6.4.3 特殊的评价函数 104 2|ee` "` 6.5 层锁定和连接 104 xp:I( 6.6 细化技术 104 uHquJQ4 6.6.1 单纯形 105 !8|r$mN8 6.6.1.1 单纯形参数 106 {@Lun6\ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 DHn\ =M 6.6.2.1 Optimac参数 108 bh8GP]*E| 6.6.3 模拟退火算法 109 )2E vZn 6.6.3.1 模拟退火参数 109 kygj" @EX 6.6.4 共轭梯度 111 am5;B`}q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 i885T' 6.6.5 拟牛顿法 112 )<J #RgE 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )ty>{t 6.6.6 针合成 113 k:/Z6TLk3 6.6.6.1 针合成参数 114 #('R`~ 6.6.7 差分进化 114 ^K[xVB(& 6.6.8非局部细化 115 #%GBopv 6.6.8.1非局部细化参数 115 cJm}, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =?Co<972Z 6.7.1 细化 116 ;gHcDnH) 6.7.2 合成 117 [Ti' X# 6.8 参考文献 117 dXn$XGF%R 7 导纳图及其他工具 118 v^/<2/E"?4 7.1 简介 118 K7x;/O 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 NV{= tAR 7.2.1 四分之一波长规则 119 \A!Iln 7.2.2 导纳图 120 6U|"d[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "<^
Vp-7r 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -1d$w` 7.5 斜入射导纳图 141 k<fR)o 7.6 对称周期 141 B2BG*xa 7.7 参考文献 142 &j'k9C2p 8 典型的镀膜实例 143 *
kL>9 8.1 单层抗反射薄膜 145 p8s%bPjK 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 YuoErP=P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 01aw+o 8.4 W-膜层 148 D@{m 8.5 V-膜层 149 1G(wESe 8.6 V-膜层高折射基底 150 .Xxxz
Wyk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 uuUjIZCtz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `x L@% 8.9 四层抗反射薄膜 153 NXOvC!< 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 LBpAR| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 F')E)tV 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8z&/{:Z@pH 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Vhm^<I-d 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 u91 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4^6Oh#p0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 s.Mrd~(Drz 8.17 1/4波长堆栈 162 3WfZ zb+ 8.18 陷波滤波器 163 $Ixd;`l* 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 N0
t26| A 8.20 褶皱 165 v!mP9c
j 8.21 消偏振分光器1 169 N7s9"i 8.22 消偏振分光器2 171 "VsS-b^ P 8.23 消偏振立体分光器 172 Oh}@c~7; 8.24 消偏振截止滤光片 173 #TP Y% 8.25 立体偏振分束器1 174 .lcgM 8.26 立方偏振分束器2 177 h*
/ 8.27 相位延迟器 178 @:9mTP7 8.28 红外截止器 179 {#{nU NW 8.29 21层长波带通滤波器 180 V/"41 8.30 49层长波带通滤波器 181 b\t@vMJ 8.31 55层短波带通滤波器 182 @[rlwwG, 8.32 47 红外截止器 183 (ubK
i[) 8.33 宽带通滤波器 184 J2`OJsMwWe 8.34 诱导透射滤波器 186 \>eFs} Y/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 %#]/]B/4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /hyCR___ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =4x-x nA 8.35 增益平坦滤波器 193 OL&VisJ{75 8.38 啁啾反射镜 1 196 *41WZ E 8.39 啁啾反射镜2 198 ! }awlv; 8.40 啁啾反射镜3 199 wi:d!,P`e 8.41 带保护层的铝膜层 200 g{7?#.7 8.42 增加铝反射率膜 201 C2%Yr y 8.43 参考文献 202 A<g5:\3 9 多层膜 204 JnH5v(/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 IZ_ B $mo 9.2 内部透过率 204 h"N#/zQ 9.3 内部透射率数据 205 dnX^ ? 9.4 实例 206 gm&O-N"=U 9.5 实例2 210 jmnrpXaAx 9.6 圆锥和带宽计算 212 X`daaG_l 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |1 LKdP 10 光学薄膜的颜色 216 >LB x\/ 10.1 导言 216 @]{:juD~ 10.2 色彩 216 dU"C=c(w\ 10.3 主波长和纯度 220 ,PyPRPk 10.4 色相和纯度 221 O$peCv 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 %gx>| 10.6 色差 226 ~leLQsZ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $%J$ 10.8 颜色渲染指数 234 $Jj0%?; 10.9 色差计算 235 c6pGy%T- 10.10 参考文献 236 !]WC~#|{B 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 CQ%yki 11.1 短脉冲 238 ^TY8,qDA 11.2 群速度 239 A}n5dg0u 11.3 群速度色散 241 kI$p~ 11.4 啁啾(chirped) 245 qS2]|7q?Tc 11.5 光学薄膜—相变 245 @Cd}1OT) 11.6 群延迟和延迟色散 246 %O&C\{J 11.7 色度色散 246 |a[ :L 11.8 色散补偿 249 o)6udRzBv 11.9 空间光线偏移 256 -
e"XEot~ 11.10 参考文献 258 <b;Oap3 12 公差与误差 260 7llEB*dSA 12.1 蒙特卡罗模型 260 15~+Ga4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vR\[I V? 12.2.1 误差工具 267 ?{6[6T 12.2.2 灵敏度工具 271 qS+I lg 12.2.2.1 独立灵敏度 271 3H47 vm(` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =R\-mov$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /T2f~1R 12.3 参考文献 276 pDx}~IB 13 Runsheet 与Simulator 277
/-)|dP 13.1 原理介绍 277 kOuQR$9s 13.2 截止滤光片设计 277
cYEe`?* 14 光学常数提取 289 6<A3H$3b 14.1 介绍 289 ed)!Snz 14.2 电介质薄膜 289 DK;/eZe 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;R?9|:7 14.4 基底的参数提取 302 %4E7 Tu,1 14.5 金属的参数提取 306 (gv
~Vq 14.6 不正确的模型 306 EMejvPnZO
14.7 参考文献 311 #[#dc]D 15 反演工程 313 !bCLi>8 15.1 随机性和系统性 313 yo0?QRT 15.2 常见的系统性问题 314 :O}<Q 15.3 单层膜 314 I2=Kq{ 15.4 多层膜 314 {*CLWs4 15.5 含义 319 a?!Joi[ 15.6 反演工程实例 319 6Gs,-Kb: 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 MXhRnVz"W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 dfq5P!' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,P d2ZfZ 16.1 光学性质的热致偏移 329 >KXT2+w 16.2 应力工具 335 5OUe|mS 16.3 均匀性误差 339 2={ g'k( 16.3.1 圆锥工具 339 ;nJCd1H 16.3.2 波前问题 341 br'/>Un" 16.4 参考文献 343 3?uP$(l 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 wB(
igPi 17.1 引言 345 6l $o^R^D 17.2 操作数 345 Q$9`QY*6"p 18 如何在Function中编写脚本 351 [@/[#p 18.1 简介 351 &WHEP dD 18.2 什么是脚本? 351 Cst>'g-yB 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :1>R~2 18.4 基础 352 /qL&)24 18.4.1 Classes(类别) 352 !J'xk 18.4.2 对象 352 vP'R7r2Yx 18.4.3 信息(Messages) 352 i9)y| 18.4.4 属性 352 }H,A
T 18.4.5 方法 353
t5N4d 18.4.6 变量声明 353 %]Nz54! 18.5 创建对象 354 Ahq^dx#o 18.5.1 创建对象函数 355 X6<HNLgra 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 I/)dXk~ 18.5.3 丢弃对象 356 TniZ!ud 18.5.4 总结 356 ^j=_=Km] 18.6 脚本中的表格 357 {hRAR8 18.6.1 方法1 357 hoeTJ/;dm 18.6.2 方法2 357 D\V}Eo';6 18.7 2D Plots in Scripts 358 1
)j%]zd2 18.8 3D Plots in Scripts 359 j`'=K_+nU 18.9 注释 360 W# y)ukRv 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 t7A.b~# 18.11 一个更高级的脚本 362 J= |[G' 18.12 <esc>键 364 a<gzI 18.13 包含文件 365 y_QxJ~6t 18.14 脚本被优化调用 366 f3l >26 18.15 脚本中的对话框 368 WuGm~<NS 18.15.1 介绍 368 h=4{.EegG& 18.15.2 消息框-MsgBox 368 V`WfJ>{;Z 18.15.3 输入框函数 370 +ic~Sar 18.15.4 自定义对话框 371 ohM'Fx"q 18.15.5 对话框编辑器 371 {fN_itn 18.15.6 控制对话框 377 .(1$Q6yG 18.15.7 更高级的对话框 380 9 [I ro 18.16 Types语句 384 -GKelz?h> 18.17 打开文件 385 T8hQ< \g 18.18 Bags 387 WD?V1:>+ 18.13 进一步研究 388 BS|-E6E< 19 vStack 389 {h%.i Et% 19.1 vStack基本原理 389 mc$c!Ax* 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 WAdl@){ 19.3 五棱镜 393 O:BP35z_F 19.4 光束距离 396 @i)tQd!s 19.5 误差 399 sy@k3wQ 19.6 二向分色棱镜 399 x)*/3[ 19.7 偏振泄漏 404 6|dUz*Pr|\ 19.8 波前误差—相位 405 i~F Ct4 19.9 其它计算参数 405 q2<J`G(tZ 20 报表生成器 406 yauP j&^R 20.1 入门 406 eO9nn9lql 20.2 指令(Instructions) 406 [a
|fm*B! 20.3 页面布局指令 406 F#<PFT4i 20.4 常见的参数图和三维图 407 ~!nd'{{9 20.5 表格中的常见参数 408 .N+xpxdG, 20.6 迭代指令 408 `Ys })Pl 20.7 报表模版 408 7kwG_0QO 20.8 开始设计一个报表模版 409 =4%C?(\ 21 一个新的project 413 a"1$z`ln 21.1 创建一个新Job 414 oF6MV&q/ 21.2 默认设计 415 0,A?*CO 21.3 薄膜设计 416 bn(Scl#@K 21.4 误差的灵敏度计算 420 Sd\@Q%
}o\ 21.5 显色指数计算 422 0$_imjZ 21.6 电场分布 424 Q:MsD. 后记 426 }-Ma~/ 更多详情,可以扫码加微! aw4+1.xy
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