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.dBW{|gN 内容简介 h" YA>_1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $<wU>X 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =>C3IR/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Rm.9`<Y b |Ed@C 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 kZ_5R#xK 目录 ">I50#bT Preface 1 D2Kh+~l 内容简介 2 (P:.@P~ 目录 i VN4H+9E 1 引言 1 fl9J 2 光学薄膜基础 2 1K$8F ~%Z 2.1 一般规则 2 9/GC8*+ 2.2 正交入射规则 3 EJrQ9"x&n 2.3 斜入射规则 6 S1$& 2.4 精确计算 7 :'dH)yO 2.5 相干性 8 .!Q[kn0a 2.6 参考文献 10 ;@u+b0
j 3 Essential Macleod的快速预览 10 wmS:*U2sc 4 Essential Macleod的特点 32 !U+XIr
4.1 容量和局限性 33 8J7<7Sx 4.2 程序在哪里? 33 m>?{flO 4.3 数据文件 35 0/%VejZ' 4.4 设计规则 35 _q\w9gN 4.5 材料数据库和资料库 37 cbA90 8@s 4.5.1材料损失 38 0jwex 4.5.1材料数据库和导入材料 39 t5za$kW'& 4.5.2 材料库 41 Hb *&& 4.5.3导出材料数据 43 C@
z^{Z+ 4.6 常用单位 43 B1gBvss 4.7 插值和外推法 46 3>sA_ 4.8 材料数据的平滑 50 q:v&wb% 4.9 更多光学常数模型 54 uod&'g{N 4.10 文档的一般编辑规则 55 0~XZ 4.11 撤销和重做 56 *XlnEHv 4.12 设计文档 57 n.xW"omN 4.10.1 公式 58 g)k::k)<e 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 V`"A|Y 4.10.3 沉积密度 59 S-6%mYf 4.10.4 平行和楔形介质 60 oW/ #/;|` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 rfMzHY}% 4.10.4 性能 61 &P{[22dQ 4.10.5 保存设计和性能 64 MkG*6A 4.10.6 默认设计 64 P\CT|K'P 4.11 图表 64 O9W|&LAL 4.11.1 合并曲线图 67 ) >SU J^u 4.11.2 自适应绘制 68 &<sDbNS 4.11.3 动态绘图 68 t1YVE%`w 4.11.4 3D绘图 69 *7o( 4.12 导入和导出 73 &De&ZypU 4.12.1 剪贴板 73 oUBn:Ir@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 beYaQz/@W 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *G#W],~0 4.13 背景 77 ZK@ENfG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 h~
=UFE%' 4.15 生成Rugate 84 +
>oA@z 4.16 参考文献 91 !8U\GR ` 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q~=]_PMP 5.1 Jobs 92 50.cMms 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .5zqpm 5.3 输入材料 94 E(oI0*S.5 5.4 设计数据文件夹 95 X)|b_ 3Z 5.5 默认设计 95 }Z_w8+BZ 6 细化和合成 97 *.J)7~(P 6.1 优化介绍 97 ]I#yS=; 6.2 细化 (Refinement) 98 \]W*0t>s 6.3 合成 (Synthesis) 100 [huS"1 6.4 目标和评价函数 101 (W|Eg 6.4.1 目标输入 102 l(@UpV- 6.4.2 目标 103 ^MGgFS]G 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^U.8grA 6.5 层锁定和连接 104 !e>EDYbY 6.6 细化技术 104 iy{*w&p 6.6.1 单纯形 105 0BM3:]=wr 6.6.1.1 单纯形参数 106 VMUK|pC4K 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 hp]T ^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 g,!6,v@ 6.6.3 模拟退火算法 109 ?j{LE-( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dhW)< 6.6.4 共轭梯度 111 .R` {.~_{! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "Fu*F/KW 6.6.5 拟牛顿法 112 gD0 FRKn 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 DDT)l+: XP 6.6.6 针合成 113 Q0I22? 6.6.6.1 针合成参数 114 8-c1q*q) 6.6.7 差分进化 114 X9#;quco@ 6.6.8非局部细化 115 I_IDrS)O 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ms. 1RCup 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Q&;dXE h 6.7.1 细化 116 G _{x)@ 6.7.2 合成 117 t3.;W/0_ 6.8 参考文献 117 X/fk&Cp 7 导纳图及其他工具 118 w^?uBeqR 7.1 简介 118 :e5)Q=lX 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 gf^"sfNk 7.2.1 四分之一波长规则 119 vl8Ums} + 7.2.2 导纳图 120 ON|Bpt2Qp 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vlAYKtl3] 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 VQO6!ToKY 7.5 斜入射导纳图 141 #`rvL6W q} 7.6 对称周期 141 oO-kO!59y 7.7 参考文献 142 ^<#08L; 8 典型的镀膜实例 143 7yLO<o?9w 8.1 单层抗反射薄膜 145 K)c`G_%G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <)L'h 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +(*S@V$c 8.4 W-膜层 148 Q=[AP+ 8.5 V-膜层 149 w:P$S 8.6 V-膜层高折射基底 150 }UK<tUO 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,lLkAd?q 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 U)%gzXTZ% 8.9 四层抗反射薄膜 153 j'#M'W3@ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 6H,n?[zTt 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 L$^ya%2 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 {#aW")x^# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 i>w'$ { 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 K
r9 P#Y 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {k=H5<FV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 sBGYgBu!a 8.17 1/4波长堆栈 162 JyY-@GF 8.18 陷波滤波器 163 y<bA Y_-[ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 LwQq0<v 8.20 褶皱 165 SR@yG:~ 8.21 消偏振分光器1 169 ZtPq*/' 8.22 消偏振分光器2 171 u6{=Z : 8.23 消偏振立体分光器 172 SnsOuC5Ah 8.24 消偏振截止滤光片 173 )#
le|Rf 8.25 立体偏振分束器1 174 Z?yMy zT 8.26 立方偏振分束器2 177 $gU6=vN1# 8.27 相位延迟器 178 #;59THdtPk 8.28 红外截止器 179 pBV_'A}ioh 8.29 21层长波带通滤波器 180 c|8[$_2 8.30 49层长波带通滤波器 181 AvF:$kG 8.31 55层短波带通滤波器 182 M8oCh 8.32 47 红外截止器 183 Fp52|w_ 8.33 宽带通滤波器 184 :feU 8.34 诱导透射滤波器 186 Sq"O<FmI 8.35 诱导透射滤波器2 188 iq_y80g`8h 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 RO(~c-fV 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B2\R#&X. 8.35 增益平坦滤波器 193 x9Veg4Z7 8.38 啁啾反射镜 1 196 RN(>37B3_ 8.39 啁啾反射镜2 198 I^>m-M. 8.40 啁啾反射镜3 199 ?-mDvW 8.41 带保护层的铝膜层 200 R0dIxG% 8.42 增加铝反射率膜 201 w8$rt 8.43 参考文献 202 dHp(U
:) 9 多层膜 204 &VG|*&M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {kGcZf3h 9.2 内部透过率 204 $e66j V 9.3 内部透射率数据 205 Y0`@$d&n 9.4 实例 206 g.![>?2$8 9.5 实例2 210 o RT<h 9.6 圆锥和带宽计算 212 =\;yxl 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 w E^6DNh 10 光学薄膜的颜色 216 $^|I?5xD 10.1 导言 216 Id`?yt 10.2 色彩 216 DU9A 3Z 10.3 主波长和纯度 220 $2u^z=`b!% 10.4 色相和纯度 221 /5 rWcX 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 u~MD?!LV 10.6 色差 226 t?JY@hT* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |DAe2RK 10.8 颜色渲染指数 234 KUs\7Sb 10.9 色差计算 235 !vNZ-} 10.10 参考文献 236 2
MFGKz O 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 M>H4bU( 11.1 短脉冲 238 xlQl1lOX 11.2 群速度 239 /">A3bq 11.3 群速度色散 241 )Ih'0>= 11.4 啁啾(chirped) 245 FwU*]wx|{ 11.5 光学薄膜—相变 245 72oiO[>N' 11.6 群延迟和延迟色散 246 L`E^BuP/ 11.7 色度色散 246 ,0ZkE}<=w 11.8 色散补偿 249 HF@K$RPK 11.9 空间光线偏移 256 {oIv%U9 11.10 参考文献 258 ?U~}uG^ 12 公差与误差 260 .{6?%lt 12.1 蒙特卡罗模型 260 nNe`?TS?f 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^<L;"jl% 12.2.1 误差工具 267 -~z]ut<Z 12.2.2 灵敏度工具 271 .O9A[s< 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;DWtCtD 12.2.2.2 灵敏度分布 275 BPAz.K Q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5X^bvW26 12.3 参考文献 276 H`!%" 13 Runsheet 与Simulator 277 sD V*k4 13.1 原理介绍 277 A)I4 `3E 13.2 截止滤光片设计 277 n7UZ&ab 14 光学常数提取 289 FQNw89g 14.1 介绍 289 x!rHkuH~ 14.2 电介质薄膜 289 eM)E3~K:2 14.3 n 和k 的提取工具 295 ^fj):n5/ 14.4 基底的参数提取 302 [H#*#v 14.5 金属的参数提取 306 <a>\.d9#)7 14.6 不正确的模型 306 4fe$0mye 14.7 参考文献 311 Wj N0KA 15 反演工程 313 ![O@{/ 15.1 随机性和系统性 313 Y,1sNg 15.2 常见的系统性问题 314 8 jom)a 15.3 单层膜 314 .BLF7>
M1 15.4 多层膜 314 f@roRn8p? 15.5 含义 319 z!09vDB^ 15.6 反演工程实例 319 {bF95Hs- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 D8+68_BEM 15.6.2 反演工程提取折射率 327 rVLUT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Ydv\a6 16.1 光学性质的热致偏移 329 =6#tJgg8 16.2 应力工具 335 ;9cBlthh 16.3 均匀性误差 339 !*8x>,/> 16.3.1 圆锥工具 339 Rg*zUfu5%o 16.3.2 波前问题 341 t
>89(
k 16.4 参考文献 343 )3i}(h0 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5H_%inWM 17.1 引言 345 o^59kQT 17.2 操作数 345 "Fv6u]Rv 18 如何在Function中编写脚本 351 kqYvd]ss 18.1 简介 351
<,~
=o
18.2 什么是脚本? 351 [ e4)"A" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 G>hmVd 18.4 基础 352 5BKmp-m 18.4.1 Classes(类别) 352 [,_M@g3 18.4.2 对象 352 gIA{6,A 18.4.3 信息(Messages) 352 K`PmWxNPh 18.4.4 属性 352 K7&A^$` 18.4.5 方法 353 *!De(lhEc 18.4.6 变量声明 353 g%w@v$ 18.5 创建对象 354 (]BZ8GOx 18.5.1 创建对象函数 355 \6B,\l]$t@ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 qlUYu"`i 18.5.3 丢弃对象 356 Qi^MfHW 18.5.4 总结 356 w;$@ </ 18.6 脚本中的表格 357 +4emkDTdR 18.6.1 方法1 357 DI=Nqa)r 18.6.2 方法2 357
z"BV+ 18.7 2D Plots in Scripts 358 4%WV)lt 18.8 3D Plots in Scripts 359 dG{`Jk 18.9 注释 360 1r}fnT< 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :)nn/[>fC 18.11 一个更高级的脚本 362 z`uqK!v(K 18.12 <esc>键 364 $;*YdZ`q 18.13 包含文件 365 G)l[\6Dn 18.14 脚本被优化调用 366 o"^}2^)_SR 18.15 脚本中的对话框 368 zx\N^R;Jq 18.15.1 介绍 368 )@Yp;=l 18.15.2 消息框-MsgBox 368 qR < 18.15.3 输入框函数 370 i L1.R+ 18.15.4 自定义对话框 371 N$ZThZqqv 18.15.5 对话框编辑器 371 8eP2B281 18.15.6 控制对话框 377 r
@~T}<I 18.15.7 更高级的对话框 380 6wzF6]@O 18.16 Types语句 384 O?@1</r^ 18.17 打开文件 385 $4kc i@. 18.18 Bags 387 !D%*s,t\' 18.13 进一步研究 388 ~c!zTe 19 vStack 389 ( DwIAO/S 19.1 vStack基本原理 389 Sm#;fx+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Pi6C1uY6 19.3 五棱镜 393 G*BM'^0+ 19.4 光束距离 396 B@*BcE? 19.5 误差 399 S6H=(l58 19.6 二向分色棱镜 399 PK C``+Ki 19.7 偏振泄漏 404 ?{q w
/& 19.8 波前误差—相位 405 k=Ef)' 19.9 其它计算参数 405 49
3ik 20 报表生成器 406 tZ[BfO 20.1 入门 406 ~0?p @8 20.2 指令(Instructions) 406 &RXd1>|c2 20.3 页面布局指令 406 ZP?k |sEH 20.4 常见的参数图和三维图 407 6f=/vRAh$ 20.5 表格中的常见参数 408 8BNsh[+ 20.6 迭代指令 408 ?9X#{p>q 20.7 报表模版 408 lGPC)Hu{` 20.8 开始设计一个报表模版 409 U=XaI%ZM) 21 一个新的project 413 #`a-b<uz 21.1 创建一个新Job 414 Hi|2z5=V 21.2 默认设计 415 u7j-uVG 21.3 薄膜设计 416 z$G?J+?J 21.4 误差的灵敏度计算 420 5HG 7M&_ 21.5 显色指数计算 422 qx{.`AaZW 21.6 电场分布 424 YH<F~F _ 后记 426 r _xo>y~S 更多详情,可以扫码加微! kVU|k-?2
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