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y.w/7iw: 内容简介 D-A#{e _ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0xIr:aFF 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 W"VN2 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 NZ9`8&93 7Cp>i WV 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 S1E2E3 目录 #=Q/<r.~G Preface 1 26.iFt/: 内容简介 2 6i%LM`8GEk 目录 i
(= uwx# 1 引言 1 6DR@$fpt 2 光学薄膜基础 2 H*EQ%BLW^, 2.1 一般规则 2 t<}'/
) 2.2 正交入射规则 3 9BNAj-Xa 2.3 斜入射规则 6 Nr3td`; 2.4 精确计算 7 0!_D M^3 2.5 相干性 8 ^*%p]r 2.6 参考文献 10 w&`gx6?-na 3 Essential Macleod的快速预览 10 -(Taj[;[ 4 Essential Macleod的特点 32 ldanM>5 4.1 容量和局限性 33 (.
1<.PZp) 4.2 程序在哪里? 33 J
A4'e@ 4.3 数据文件 35 hH )jX`Ta 4.4 设计规则 35 f![x7D$ 4.5 材料数据库和资料库 37 52wq<[#tK 4.5.1材料损失 38 ?VS {,"X 4.5.1材料数据库和导入材料 39 JR'Q Th:z 4.5.2 材料库 41 )|uPCZdLZ 4.5.3导出材料数据 43 dUOjPq97 4.6 常用单位 43 zu^?9k 4.7 插值和外推法 46 } 9<aX
Y, 4.8 材料数据的平滑 50 T*-*U/ 4.9 更多光学常数模型 54 @Eqc&v!O 4.10 文档的一般编辑规则 55 PIB|&I|p 4.11 撤销和重做 56 i
"62+ 4.12 设计文档 57 V{ra,a* 4.10.1 公式 58 =lr*zeHLC 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 NT= ?@uxD 4.10.3 沉积密度 59 G*\wu&7! 4.10.4 平行和楔形介质 60 ( F0.lDZ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 m\"M`o
B 4.10.4 性能 61 3f
eI 4.10.5 保存设计和性能 64 WI[6l6 4.10.6 默认设计 64 ZV_mP'1* 4.11 图表 64 *z` {$hc 4.11.1 合并曲线图 67 :}UWy?F 4.11.2 自适应绘制 68 5(u7b 4.11.3 动态绘图 68 QbxjfW"/+ 4.11.4 3D绘图 69 ;9=9D{-4+ 4.12 导入和导出 73 $C,f>^1 4.12.1 剪贴板 73 qECc[)B 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 cS4e}\q, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1g2%f9G 4.13 背景 77 ;T-i+_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .<rL2`C[c 4.15 生成Rugate 84 im*QaO%a4 4.16 参考文献 91 TLPy/, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Rk2ZdNc\ 5.1 Jobs 92 /uW6P3M 5.2 创建一个新Job(工作) 93 hk}M' 5.3 输入材料 94 f.V0uBDN 5.4 设计数据文件夹 95 W{1=O)w 5.5 默认设计 95 l
\xIGs 6 细化和合成 97 E)#3*Wlu$ 6.1 优化介绍 97 -58r*[=8 6.2 细化 (Refinement) 98 ,XI,B\eNk 6.3 合成 (Synthesis) 100 ,#gA(B# 6.4 目标和评价函数 101 [~f%z(vI 6.4.1 目标输入 102 ZKAIG=l&! 6.4.2 目标 103 \>23_d0 6.4.3 特殊的评价函数 104 x>&1;g2r 6.5 层锁定和连接 104 tG^Oj: 6.6 细化技术 104 EOVHTDkKf 6.6.1 单纯形 105 Vy-H3BR 6.6.1.1 单纯形参数 106 0O!%NL[, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eZI&d;i 6.6.2.1 Optimac参数 108 <4rF3 aB- 6.6.3 模拟退火算法 109 xg. d)n 6.6.3.1 模拟退火参数 109 F 3,hx 6.6.4 共轭梯度 111 2X]2;W)S; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 |+x;18 6.6.5 拟牛顿法 112 ]*sXISg1 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Ij@YOt 6.6.6 针合成 113 |+cyb<(V J 6.6.6.1 针合成参数 114 -t:yy:4 6.6.7 差分进化 114 TcO@q ]+S 6.6.8非局部细化 115 "MZVwl "E# 6.6.8.1非局部细化参数 115 W*`2lf 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7KuTC%7 6.7.1 细化 116 g9GE0DbT` 6.7.2 合成 117 wEKm3mY; 6.8 参考文献 117 UKMrR9[x* 7 导纳图及其他工具 118 wH{lp/ 7.1 简介 118 O'$0K0k3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !<((@*zU 7.2.1 四分之一波长规则 119 d[-w&[iy 7.2.2 导纳图 120 e|"`W`"- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )h2wwq0] 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 'S@h._q 7.5 斜入射导纳图 141 +)L
'qbCSM 7.6 对称周期 141 y5|`B( 7.7 参考文献 142 *1Nz
VV 8 典型的镀膜实例 143 }"Hf/{E$_" 8.1 单层抗反射薄膜 145 1UyI.U] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Kn=P~,FaG3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \qNj?;B 8.4 W-膜层 148 Y;xVB"
( 8.5 V-膜层 149 {xr4CDP 8.6 V-膜层高折射基底 150 #RlI([f|& 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 v)okVyv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 3MNo&0M9 8.9 四层抗反射薄膜 153 .OX.z~":y 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 42ttmN1F 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i/-Xpj]Zf 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 7=Ew[MOmM 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `<b 3e(A 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 M:Xswwq 8.15十五层宽带抗反射膜 159 #f\U3p 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 yZUB8erb. 8.17 1/4波长堆栈 162 cl^wLC'o 8.18 陷波滤波器 163 o_bj@X 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L*D-RYW 8.20 褶皱 165 FTtYzKX(bv 8.21 消偏振分光器1 169 bkLm]n3 8.22 消偏振分光器2 171 F>96]71
2 8.23 消偏振立体分光器 172 pWO,yxr: 8.24 消偏振截止滤光片 173 T%
Kj >- 8.25 立体偏振分束器1 174 ! Hdg
$, 8.26 立方偏振分束器2 177 HGh`O\f8 8.27 相位延迟器 178 2/E3~X7 8.28 红外截止器 179 6EGh8H f 8.29 21层长波带通滤波器 180 W*}q;ub; 8.30 49层长波带通滤波器 181 _\"7 8.31 55层短波带通滤波器 182 `GqS.O}C 8.32 47 红外截止器 183 ;oH%d;H 8.33 宽带通滤波器 184 TPvS+_<oL{ 8.34 诱导透射滤波器 186 azS"*#r6} 8.35 诱导透射滤波器2 188 {%N*AxkvId 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 e~i
?E 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 "
F~uTo 8.35 增益平坦滤波器 193 vd9l1"S 8.38 啁啾反射镜 1 196 FC.y%P, 8.39 啁啾反射镜2 198 w2@ `0 8.40 啁啾反射镜3 199 ~Q0jz/#c
8.41 带保护层的铝膜层 200 ^ :6v-
Yx 8.42 增加铝反射率膜 201 VkRvmKYl 8.43 参考文献 202 UF|v=|*{# 9 多层膜 204 b_W0tiyv% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )?K3nr 9.2 内部透过率 204
Ae<v 9.3 内部透射率数据 205 ++5W_Ooep 9.4 实例 206 Pi40w+/ 9.5 实例2 210 %h4pIA 9.6 圆锥和带宽计算 212 O<)"kj 7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 x5c
pv 10 光学薄膜的颜色 216 M$FQoRwH 10.1 导言 216 Hhx<k{B@7 10.2 色彩 216 Y9'Bdm/ 10.3 主波长和纯度 220 dSS_^E[{ 10.4 色相和纯度 221 Q|"{<2"]U0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 '2WYbcU 10.6 色差 226 >C*q
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,}=x8Xxr 10.8 颜色渲染指数 234 _E{SGbCCi 10.9 色差计算 235 |GA4fFE= 10.10 参考文献 236 7M<7^)9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 )z=`,\&p: 11.1 短脉冲 238 @j K7bab: 11.2 群速度 239 TMhUo#`I|
11.3 群速度色散 241 yCf*ts1 11.4 啁啾(chirped) 245 VWI|`O.w 11.5 光学薄膜—相变 245 ZcYxH|Gn 11.6 群延迟和延迟色散 246 (=j]fnH? 11.7 色度色散 246 $f7#p4;}( 11.8 色散补偿 249 C8m8ys 11.9 空间光线偏移 256 Vv
B%,_\ 11.10 参考文献 258 #W @6@Mv 12 公差与误差 260 &s_[~g< 12.1 蒙特卡罗模型 260 PxM]3Aoa 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 THi*'D/ 12.2.1 误差工具 267 !}9k
@=[ 12.2.2 灵敏度工具 271 {-PD3 [f" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g|9'Lk 12.2.2.2 灵敏度分布 275 pa~.[cBI 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 1Yo9Wf;vP 12.3 参考文献 276 ?>*i8* 13 Runsheet 与Simulator 277 DDw H9* 13.1 原理介绍 277 1ZJP.T` 13.2 截止滤光片设计 277 Dr^#e 14 光学常数提取 289 f[6;)ZA 14.1 介绍 289 /VgA}[%y 14.2 电介质薄膜 289 GO.mT/rB 14.3 n 和k 的提取工具 295 %4Y/-xF}9, 14.4 基底的参数提取 302 q=M!YWz 14.5 金属的参数提取 306 9*h?g+\ 14.6 不正确的模型 306 z:u e]7(. 14.7 参考文献 311 DBWe>Ef( 15 反演工程 313 frWw-<HoI 15.1 随机性和系统性 313 npkE[JE: 15.2 常见的系统性问题 314 f\nF2rlu 15.3 单层膜 314 L%# #U'e3 15.4 多层膜 314 oP$NTy[ 15.5 含义 319 C_rlbl;T 15.6 反演工程实例 319 |2,u!{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :EJ+# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _ n,Ye&m 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 6Z] * ce<r 16.1 光学性质的热致偏移 329 ;?"]S/16, 16.2 应力工具 335 _Y4%Fv>@ 16.3 均匀性误差 339 Vahfz8~w/ 16.3.1 圆锥工具 339 \{ r%.G 16.3.2 波前问题 341 /XEUJC4 16.4 参考文献 343 <5?.s<
y$" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ftw\oGrS 17.1 引言 345 Cu3^de@h 17.2 操作数 345 9+)5 #!0 18 如何在Function中编写脚本 351 H4ml0SS^ 18.1 简介 351 =B@owx 18.2 什么是脚本? 351 v@_b"w_TY 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 paF$o6\ 18.4 基础 352 CvW*/d
q 18.4.1 Classes(类别) 352 ZW{pO:- 18.4.2 对象 352 p^_2]%,QeM 18.4.3 信息(Messages) 352 7dhip 18.4.4 属性 352 BUqe~E|I 18.4.5 方法 353 "q5Tw+KCfu 18.4.6 变量声明 353 k\8]fh)J\7 18.5 创建对象 354 {x{e?c! 18.5.1 创建对象函数 355 AP&mr1_ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 E96FwA5 18.5.3 丢弃对象 356 uO8z . 18.5.4 总结 356 X-%XZDB6 18.6 脚本中的表格 357 qN%i$mJTo 18.6.1 方法1 357 dY'/\dJ 18.6.2 方法2 357 [LDsn]{ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~UA:_7#\M 18.8 3D Plots in Scripts 359 sDA&U9; 18.9 注释 360 OBp<A+a 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 V+myGsr` 18.11 一个更高级的脚本 362 Q^}6GS$ 18.12 <esc>键 364 LxaR1E(Cc' 18.13 包含文件 365 7~n<%q/6 18.14 脚本被优化调用 366 FMMQO,BU 18.15 脚本中的对话框 368 w7aC=B/{?i 18.15.1 介绍 368 SC/|o
18.15.2 消息框-MsgBox 368 y,e#e` 18.15.3 输入框函数 370 5xKo(XNp 18.15.4 自定义对话框 371 !? !~8J~ 18.15.5 对话框编辑器 371 jI:5[. Y 18.15.6 控制对话框 377 VL4ErOoZ 18.15.7 更高级的对话框 380 ]w ^9qS 18.16 Types语句 384 0h ^&`H: 18.17 打开文件 385 j_i/h " 18.18 Bags 387 -wJ/j~+m+ 18.13 进一步研究 388 7@iyO7U 19 vStack 389 d(!W 19.1 vStack基本原理 389 kH:! 7L_= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 J;"66ue(d 19.3 五棱镜 393 ^UTQcm 19.4 光束距离 396 zQvp<IUq 19.5 误差 399 fy&vo~4i; 19.6 二向分色棱镜 399 X.TsOoy 19.7 偏振泄漏 404 ~Iw7Xq E2 19.8 波前误差—相位 405 DMO8~5 19.9 其它计算参数 405 $}kT)+K 20 报表生成器 406 >HMuh) 20.1 入门 406 *Xm$w 20.2 指令(Instructions) 406 ?VVtEmIN 20.3 页面布局指令 406 G1K72M}CW 20.4 常见的参数图和三维图 407 \H
<k 20.5 表格中的常见参数 408 a?&{eMEe} 20.6 迭代指令 408 .[YM0dt 20.7 报表模版 408 (`%$Aa9J 20.8 开始设计一个报表模版 409 5k /Y7+*?E 21 一个新的project 413 UOh%"h 21.1 创建一个新Job 414 mFoE2?Y 21.2 默认设计 415 *htv:Sr 21.3 薄膜设计 416 9[#9cv 21.4 误差的灵敏度计算 420 x%<oeM3U 21.5 显色指数计算 422 *2wFLh 21.6 电场分布 424 kC~\D?8E= 后记 426 :f1Q0klwP 更多详情,可以扫码加微! k4WUfL d
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