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g&) XaF[! 内容简介 {+!m]-s Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >d&B: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .9PPWY;H 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 )u`q41! ]:8:|*w 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 w/#k.YE 目录 d@JjqE[ Preface 1 QGs\af 内容简介 2 >S,yqKp37~ 目录 i t32
FNg 1 引言 1 Nyip]VwMJ 2 光学薄膜基础 2 :'|%~&J 2.1 一般规则 2 -J[*fv@ 2.2 正交入射规则 3 FIDV5Y/f 2.3 斜入射规则 6 tI ~.3+F 2.4 精确计算 7 !8(:G6Ne 2.5 相干性 8 1/:WA:]1, 2.6 参考文献 10 JmjqA Dex 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]nY,%XE 4 Essential Macleod的特点 32 Bq3" l%hI 4.1 容量和局限性 33 [W;iR_7T5 4.2 程序在哪里? 33 ZF!cXo7d 4.3 数据文件 35 #(=8
RA:@ 4.4 设计规则 35 DD{-xCCR 4.5 材料数据库和资料库 37 P>j^w#$n 4.5.1材料损失 38 2+m%f" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9`4M o+ 4.5.2 材料库 41 ^{lcj 4.5.3导出材料数据 43 3copJS 4.6 常用单位 43 o'O;69D]tX 4.7 插值和外推法 46 ?S9? ?y/ 4.8 材料数据的平滑 50 :[YHJaK 4.9 更多光学常数模型 54 nLicog)!I 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~-ZquJ- 4.11 撤销和重做 56 0A9llE 4.12 设计文档 57 R~
n[g 4.10.1 公式 58 w+($=n~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 H\H4AAP5F$ 4.10.3 沉积密度 59 @)k/t>r( 4.10.4 平行和楔形介质 60 jkTC/9AE| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1k"<T7K 4.10.4 性能 61 UEHJ?
} 4.10.5 保存设计和性能 64 }@6ws/5 4.10.6 默认设计 64 [ @ >} 4.11 图表 64 0P i+ (X 4.11.1 合并曲线图 67 )B'&XLK 4.11.2 自适应绘制 68 p?rh+0wgX 4.11.3 动态绘图 68 D y+)s-8 4.11.4 3D绘图 69 $r+_Y/ 4.12 导入和导出 73 W cOyOv 4.12.1 剪贴板 73 2[}
O: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 I8};t b# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 I(m*%> 4.13 背景 77 S7a05NO 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 mk.1j x?l 4.15 生成Rugate 84 ,^wjtA3j8 4.16 参考文献 91 [QUaC3l) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 X6 E^5m 5.1 Jobs 92 hNU$a?eVpR 5.2 创建一个新Job(工作) 93 F^4mO| 5.3 输入材料 94 kA/4W^]Ws 5.4 设计数据文件夹 95 k4T`{s}e 5.5 默认设计 95 wH]5VltUT1 6 细化和合成 97 A; _Zw[ 6.1 优化介绍 97 qh9d.Q+n 6.2 细化 (Refinement) 98 F-R5Ib-F*A 6.3 合成 (Synthesis) 100 dbga >j 6.4 目标和评价函数 101 !%X~`&9 6.4.1 目标输入 102 c o 8bnH 6.4.2 目标 103 V_\9t8 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~t+T5`K 6.5 层锁定和连接 104 ;*(i}' 6.6 细化技术 104 s#cb wDT 6.6.1 单纯形 105 Yw(O}U 5e 6.6.1.1 单纯形参数 106 wF=?EK(;P{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Hnft1
6.6.2.1 Optimac参数 108 t]gZ^5 6.6.3 模拟退火算法 109 )x5t']w`K 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8yCt(ms 6.6.4 共轭梯度 111 _w}l, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 MD9 8N{+[| 6.6.5 拟牛顿法 112 mP*Ct6628n 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #nq$^H 6.6.6 针合成 113 x`:c0y9uG 6.6.6.1 针合成参数 114 Lm&BT)* 6.6.7 差分进化 114 3QI. |;X 6.6.8非局部细化 115 'nIKkQ" N 6.6.8.1非局部细化参数 115 E]O/'-
6.7 我应该使用哪种技术? 116 =O%Hf bx 6.7.1 细化 116 icK>| 6.7.2 合成 117 $sxRRem{? 6.8 参考文献 117 y
g:&cIr, 7 导纳图及其他工具 118 8AVtUU 7.1 简介 118 gp+aUK~o 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 EvYe1Y- 7.2.1 四分之一波长规则 119 4^Ke?;v 7.2.2 导纳图 120 1,7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ^>/~MCyM. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8|L;y[v 7.5 斜入射导纳图 141 9ls*L!Jw 7.6 对称周期 141 ??#SQSU 7.7 参考文献 142 RNo~}# 8 典型的镀膜实例 143 H-,p.$3} 8.1 单层抗反射薄膜 145 xs6kr 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 e_YTh^wU 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _]v@Dq VP 8.4 W-膜层 148 Hp>_:2O8s 8.5 V-膜层 149 <KX fh 8.6 V-膜层高折射基底 150 h_HPmh5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 kBU`Q{. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 p%R+ c 8.9 四层抗反射薄膜 153
7NvnCs 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 !^'6&NR#K 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Ot+Z}Z- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 '':MhRb 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ZaYUf 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .~C%:bDnX7 8.15十五层宽带抗反射膜 159 a9u2Wlz 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 =O/v]B8" 8.17 1/4波长堆栈 162 B.C:06E5 8.18 陷波滤波器 163 ;i?rd f 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 T65"?=<EB 8.20 褶皱 165 2w}l!'ue 8.21 消偏振分光器1 169 ^z`d2it 8.22 消偏振分光器2 171 v|MT^. 8.23 消偏振立体分光器 172 j&u/T 8.24 消偏振截止滤光片 173 LGK&&srJs 8.25 立体偏振分束器1 174 ||L^yI~_d 8.26 立方偏振分束器2 177 fK _uuw4 8.27 相位延迟器 178 '|<r[K 8.28 红外截止器 179 ]N2!
'c 8.29 21层长波带通滤波器 180 AJ3%Z$JJ;s 8.30 49层长波带通滤波器 181 z=TOGP( 8.31 55层短波带通滤波器 182 #KNl<V+c}1 8.32 47 红外截止器 183 )5NWUuH 5 8.33 宽带通滤波器 184 G8zbb 8.34 诱导透射滤波器 186 D\Y,2!I 8.35 诱导透射滤波器2 188 IhN^*P:Fo 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 :uJHFF xg 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8aJJ??o{ 8.35 增益平坦滤波器 193 t3AmXx 8.38 啁啾反射镜 1 196 {+]tx46$ 8.39 啁啾反射镜2 198 j#U,zsv: 8.40 啁啾反射镜3 199 p~NHf\ 8.41 带保护层的铝膜层 200 )PkW,214# 8.42 增加铝反射率膜 201 ~{$c| 8.43 参考文献 202 CpB,L 9 多层膜 204 +|x{?%.O 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 XG!6[o; 9.2 内部透过率 204 rog1 9.3 内部透射率数据 205 [mQdc?n\ 9.4 实例 206 PCHKH 9.5 实例2 210 ftKL#9,s( 9.6 圆锥和带宽计算 212 Dlpmm2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 +f%"O? 10 光学薄膜的颜色 216 ^ir)z@P?V 10.1 导言 216 :+
mULUi 10.2 色彩 216 } '?qUy3x 10.3 主波长和纯度 220 eY-h<K)y 10.4 色相和纯度 221 V;W{pd-I 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 @q`T#vd 10.6 色差 226 <5^m`F5 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 6#AEVRJKU@ 10.8 颜色渲染指数 234 U{j4FlB 10.9 色差计算 235 |Y8}*C\M.h 10.10 参考文献 236 ?pcbso 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *?*~<R 11.1 短脉冲 238 in5e * 11.2 群速度 239 sgDSl@lB 11.3 群速度色散 241 PxQQf I> 11.4 啁啾(chirped) 245 Y
mL{uV$ 11.5 光学薄膜—相变 245 c1r+?q$f 11.6 群延迟和延迟色散 246 _n/73Oh 11.7 色度色散 246 ^^zj4 }On? 11.8 色散补偿 249 <f`n[QD2z 11.9 空间光线偏移 256 6)p8BUft 11.10 参考文献 258 Hq+QsplG 12 公差与误差 260 e&2,cQRFV 12.1 蒙特卡罗模型 260 Mk0x#-F 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 mE5{)<N:C 12.2.1 误差工具 267 PO8Z2"WI 12.2.2 灵敏度工具 271 -8Hc M\b 12.2.2.1 独立灵敏度 271 `U b*rOMu 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ep;i],} 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 d:w/{m%# 12.3 参考文献 276 D(;+my2 13 Runsheet 与Simulator 277 )bR0>3/ 13.1 原理介绍 277 [*Ai@:F 13.2 截止滤光片设计 277 'l=>H#}<B 14 光学常数提取 289 y/ Bo4fM 14.1 介绍 289 4I$Y"|_e 14.2 电介质薄膜 289 G<=I\T'g; 14.3 n 和k 的提取工具 295 c|JQ0] K 14.4 基底的参数提取 302 !tt 8-Y)i 14.5 金属的参数提取 306 J5HN*Wd 14.6 不正确的模型 306 %#rtNDi 14.7 参考文献 311 Nf<f}` 15 反演工程 313 5'eBeNxM 15.1 随机性和系统性 313 {lH'T1^m 15.2 常见的系统性问题 314 mI!iSVqr 15.3 单层膜 314 \O4s0*gw 15.4 多层膜 314 uS,?oS 15.5 含义 319 K!Fem6R 15.6 反演工程实例 319 X'<RqvDc5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1/m$#sz 15.6.2 反演工程提取折射率 327 d,N6~?B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 br
Iz8] 16.1 光学性质的热致偏移 329 k2$pcR,WM 16.2 应力工具 335 "acI:cl?, 16.3 均匀性误差 339 wn?oHz* 16.3.1 圆锥工具 339 &Z[+V)6,, 16.3.2 波前问题 341 Z{BK@Q4z 16.4 参考文献 343 @--"u_[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zn 0y`9!n? 17.1 引言 345 @2L^?*n= 17.2 操作数 345 ]W$G!(3A 18 如何在Function中编写脚本 351 t6\H 18.1 简介 351 T0")Ryu 18.2 什么是脚本? 351 0?8>{!I 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 6WQN!H8+^ 18.4 基础 352 W{.:Cf9 18.4.1 Classes(类别) 352 )I3E 18.4.2 对象 352 k kAg17 ^ 18.4.3 信息(Messages) 352 HZ%V>88 18.4.4 属性 352 n}F$kyI 18.4.5 方法 353 V\x'w*FP 18.4.6 变量声明 353 ?k4Hk$V 18.5 创建对象 354 ^7/v[J<< 18.5.1 创建对象函数 355 'DVn /3?X 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 t`E5bWG 18.5.3 丢弃对象 356 3))CD,| 18.5.4 总结 356 &_-=(rK 18.6 脚本中的表格 357 p?>J86%[ 18.6.1 方法1 357 fcEm:jEZ* 18.6.2 方法2 357 v~Dobk/n 18.7 2D Plots in Scripts 358 |v%$Q/zp& 18.8 3D Plots in Scripts 359 -rI7ihr* 18.9 注释 360 fsPNxy"_ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8v2Wi.4T 18.11 一个更高级的脚本 362 Cip|eM &l 18.12 <esc>键 364 DJgM>&Y6, 18.13 包含文件 365 B=K<k+{6" 18.14 脚本被优化调用 366 ;"Qq/knVL 18.15 脚本中的对话框 368 ~y"R{-%uS 18.15.1 介绍 368 z+;$cfN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }v2p]D5n. 18.15.3 输入框函数 370 Zf}2c8Vc4 18.15.4 自定义对话框 371 Ncbe{}<md 18.15.5 对话框编辑器 371 ^_Lnqk6 18.15.6 控制对话框 377 TM{m:I:Z*n 18.15.7 更高级的对话框 380 jZqa+nG51 18.16 Types语句 384 q`{@@[/(y 18.17 打开文件 385 XchD3p+uB 18.18 Bags 387 xj U0& 18.13 进一步研究 388 sj&(O@~R 19 vStack 389 ]kmAN65c 19.1 vStack基本原理 389 *!y04'p`< 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 &$CyT6mb^ 19.3 五棱镜 393 y'8T=PqY[t 19.4 光束距离 396 .Qn#wub 19.5 误差 399 X%-hTl 19.6 二向分色棱镜 399 ag:<%\2c 19.7 偏振泄漏 404 :RB7#v={ 19.8 波前误差—相位 405 4`#%<G 19.9 其它计算参数 405 ,/Gp>Yqx 20 报表生成器 406 c/bT5TIEWs 20.1 入门 406 rjcH[U( 20.2 指令(Instructions) 406 N)E'k%?, 20.3 页面布局指令 406 }])j>E 20.4 常见的参数图和三维图 407 "7+^`? 20.5 表格中的常见参数 408 YK8l#8K 20.6 迭代指令 408 M^WoV
}' 20.7 报表模版 408 e[T3,2C 20.8 开始设计一个报表模版 409 g=4P-i3 21 一个新的project 413 TTj] _R{n 21.1 创建一个新Job 414 nY1PRX\ 21.2 默认设计 415 Bq~S=bAB>R 21.3 薄膜设计 416 !lEV^SQJs 21.4 误差的灵敏度计算 420 K6B6@ 21.5 显色指数计算 422 !?i9fYu 21.6 电场分布 424 ~8k`~t! 后记 426 5ip ZdQ^ 更多详情,可以扫码加微! 78xiT
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