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1+}{8D_F 内容简介 aFS,GiB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~])t 6i 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yF"1#{*y 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 QWzB6H] TrLu~4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @>W(1mRi 目录 EUN81F? Preface 1 +\F'iAs@ 内容简介 2 rEv$+pP 目录 i {
S3ZeN,kZ 1 引言 1 Fsif6k=4 2 光学薄膜基础 2 NhaI<J 2.1 一般规则 2 xwJH(_- 2.2 正交入射规则 3 [Pq}p0cD 2.3 斜入射规则 6 FW/W%^ 2.4 精确计算 7 :'~Y 2.5 相干性 8 sB c
(gr 2.6 参考文献 10 6WU(% 3 Essential Macleod的快速预览 10 8]M_z:F7F 4 Essential Macleod的特点 32 vK_?<> 4.1 容量和局限性 33 %l,,_:7{ 4.2 程序在哪里? 33 V3c l~ 4.3 数据文件 35 w8Sp<6* 4.4 设计规则 35 3b+d"`Y^S 4.5 材料数据库和资料库 37 /4`
0?/V 4.5.1材料损失 38 0},PJ$8x 4.5.1材料数据库和导入材料 39 x)rM/Kq 4.5.2 材料库 41 ReM=eS 4.5.3导出材料数据 43 !+L/Khw/C 4.6 常用单位 43 ~~SwCXZ+b^ 4.7 插值和外推法 46 ;K!]4tfJ 4.8 材料数据的平滑 50 rmE" rf 4.9 更多光学常数模型 54 jF=gr$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 6y6<JR-V2k 4.11 撤销和重做 56 }T%}wdj 4.12 设计文档 57 'J6
M*vO 4.10.1 公式 58 l,,>& F 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Z(Bp 0a 4.10.3 沉积密度 59 t5#rps\; 4.10.4 平行和楔形介质 60 a^=-Mp 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 AO=h
23ZI 4.10.4 性能 61 BI $ 4.10.5 保存设计和性能 64 TW[_Ko86 4.10.6 默认设计 64 $ep.-I> 4.11 图表 64 /)4I|"}R0I 4.11.1 合并曲线图 67 c2e
tc8 4.11.2 自适应绘制 68 GQ9\'z#+ 4.11.3 动态绘图 68 k[HAkB \{ 4.11.4 3D绘图 69 .8P.)% 4.12 导入和导出 73
*X,
/7C
4.12.1 剪贴板 73 `.x
Fiyc 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 m<0&~rg 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 #1c_ev H 4.13 背景 77 ,B0_MDA + 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zJ)*Z,7 4.15 生成Rugate 84 {6~l$ 4.16 参考文献 91 69J4=5lX 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 OnK~3j 5.1 Jobs 92 !kE-_dY6) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /yZQ\ {= 5.3 输入材料 94 JXu$ew>q 5.4 设计数据文件夹 95 [&nh5|f 5.5 默认设计 95 }b0; 0j 6 细化和合成 97 \l.-eu'O 6.1 优化介绍 97 `g6h9GC6 6.2 细化 (Refinement) 98 IjR'Qou5 6.3 合成 (Synthesis) 100 k5C@>J 6.4 目标和评价函数 101 bIEhgiH 6.4.1 目标输入 102 ^8@Iyh 6.4.2 目标 103 MHsc+gQiz 6.4.3 特殊的评价函数 104 Hv\-_>}K 6.5 层锁定和连接 104 Xa[?^P 6.6 细化技术 104 k}0^&Quc4 6.6.1 单纯形 105 3l3'bw2 6.6.1.1 单纯形参数 106 .?!N^_ Ez3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ?HV`|
Cw 6.6.2.1 Optimac参数 108 I=.z+#Y 6.6.3 模拟退火算法 109 N1}={yF.fQ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8WXJ. 6.6.4 共轭梯度 111 YI.w-K\ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 `A,g] 1C: 6.6.5 拟牛顿法 112 }-o{ASC# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YcN!T"wJ@ 6.6.6 针合成 113 nYa*b=[. 6.6.6.1 针合成参数 114 Wxbq)Z[V 6.6.7 差分进化 114 ,ML[Wr'2 6.6.8非局部细化 115 ]/B$br'O{? 6.6.8.1非局部细化参数 115 !k/Pv\j/R 6.7 我应该使用哪种技术? 116 IW%|G 6.7.1 细化 116 =pk)3<GwF 6.7.2 合成 117 +5&wOgx 6.8 参考文献 117 ,57`D' 7 导纳图及其他工具 118 {!K-E9_,S 7.1 简介 118 )"m!YuS Y 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 DVkB$2] 7.2.1 四分之一波长规则 119 {M?vBgR\B 7.2.2 导纳图 120 a
/:@"&Y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !grVR157P 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 &09U@uc$ 7.5 斜入射导纳图 141 z8J."27ND 7.6 对称周期 141 viAMr"z 7.7 参考文献 142 WwUv5GZTW 8 典型的镀膜实例 143 Ii^5\v|C 8.1 单层抗反射薄膜 145 j*
*s^Sg 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Kmdlf,[3d 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 vQa'S-@u 8.4 W-膜层 148 G_dsrpI=N 8.5 V-膜层 149 VT.;:Q 8.6 V-膜层高折射基底 150 AT\qiznvP 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 fVM`-8ZTq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~(@ E`s&{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 &V<W>Y>|l* 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 6Kj'ZyVL 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Cua%1]"4w 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 U7DCx=B 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;_(PVo 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 XJ0oS32_wK 8.15十五层宽带抗反射膜 159 \xUe/= 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 <uc1D/~^: 8.17 1/4波长堆栈 162 Dr~=o% 8.18 陷波滤波器 163 PccB] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 nWvuaQ0} 8.20 褶皱 165 Na\WZSu'" 8.21 消偏振分光器1 169 NcAp_q?
4 8.22 消偏振分光器2 171 LsM7hLy 8.23 消偏振立体分光器 172 {q3H5csFq 8.24 消偏振截止滤光片 173 @Fpb-Qd" 8.25 立体偏振分束器1 174 cf7v[ZZ} 8.26 立方偏振分束器2 177 DS-fjH\ 8.27 相位延迟器 178 \i[BP 8.28 红外截止器 179 c0Dmq)HK? 8.29 21层长波带通滤波器 180 D r9 ?2 8.30 49层长波带通滤波器 181
> QFHm5Jw 8.31 55层短波带通滤波器 182 6ITLGA 8.32 47 红外截止器 183 /n4pXT 8.33 宽带通滤波器 184 >z`,ch6~ 8.34 诱导透射滤波器 186 :EtMH( 8.35 诱导透射滤波器2 188 dk==? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 yt+}K)Hz 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 X{g%kf,D= 8.35 增益平坦滤波器 193 $y?k[Y-~ 8.38 啁啾反射镜 1 196 '?Jxt:< 8.39 啁啾反射镜2 198 P=5NKg 8.40 啁啾反射镜3 199 <q,+ON\' 8.41 带保护层的铝膜层 200 IAOcKQ3 8.42 增加铝反射率膜 201
1KYN>s: 8.43 参考文献 202 +}
mk>e/ 9 多层膜 204 m4[g6pNx~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 %o}(sShS 9.2 内部透过率 204 t+nRw?Z 9.3 内部透射率数据 205 UHGcnz< 9.4 实例 206 <fdPLw;@e4 9.5 实例2 210 QI_59f> 9.6 圆锥和带宽计算 212 wVq\FY% 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 111D3 10 光学薄膜的颜色 216 fB+b}aoV 10.1 导言 216 @S 6u9v 10.2 色彩 216 PVao 10.3 主波长和纯度 220 fRm}S>Nibb 10.4 色相和纯度 221 o/,NG U 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 * \HRw +cL 10.6 色差 226 2>\\@1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =raA?Bp3;( 10.8 颜色渲染指数 234 Yn9j-` 10.9 色差计算 235 \nqo%5XL 10.10 参考文献 236 X;!D};;M 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 &D#+6M&LK{ 11.1 短脉冲 238 Z v0C@r 11.2 群速度 239 x"(9II* 11.3 群速度色散 241 K<v:-TjQZ: 11.4 啁啾(chirped) 245 /9Ilo\MdD 11.5 光学薄膜—相变 245 ?G?gy2 11.6 群延迟和延迟色散 246 mh;X~.98 11.7 色度色散 246 >m_v5K 11.8 色散补偿 249 iS@\ =CK 11.9 空间光线偏移 256 e@F|NCQ.9 11.10 参考文献 258 5eX59:vtl 12 公差与误差 260 tL0`Rvl 12.1 蒙特卡罗模型 260 gUB{Bh($Y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 83.E0@$ 12.2.1 误差工具 267
P
,K\ 12.2.2 灵敏度工具 271 ~DLIz g7p! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /f1'm@8; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !k~z5z'=py 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 v@G4G*x\ 12.3 参考文献 276 zL s^,x 13 Runsheet 与Simulator 277 jiIST^Zq#t 13.1 原理介绍 277 Xz;b,C&*t 13.2 截止滤光片设计 277 #1$}S=8*f 14 光学常数提取 289 d^39t4 14.1 介绍 289 Su8'$CFz$. 14.2 电介质薄膜 289 {@M14)-x>_ 14.3 n 和k 的提取工具 295 DM3B]Yl 14.4 基底的参数提取 302 U
|F>W~% 14.5 金属的参数提取 306 .#^0pv! 14.6 不正确的模型 306 >uHS[ _`nM 14.7 参考文献 311 {U
<tc4^ 15 反演工程 313 um8AdiK 15.1 随机性和系统性 313 /~}_h O$S 15.2 常见的系统性问题 314 {Iy7.c8S 15.3 单层膜 314 ~uPk 15.4 多层膜 314 7tH]*T9e> 15.5 含义 319 p27p~b& 15.6 反演工程实例 319
qtSs)n 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Xyv8LB 15.6.2 反演工程提取折射率 327 eX<K5K.B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 |l90g|isJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 Rlw9$/D!Z 16.2 应力工具 335 a'[)9: 16.3 均匀性误差 339 $P?{O3:V 16.3.1 圆锥工具 339 KCXw n 16.3.2 波前问题 341 0&`}EXe<f 16.4 参考文献 343 *d
l"wH& 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5fHYc0 17.1 引言 345 Zd>ZY,-5 17.2 操作数 345 `F,zenk= 18 如何在Function中编写脚本 351 ",Wf uz 18.1 简介 351 U5rxt^ 18.2 什么是脚本? 351 v+tO$QZ` 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8Nvr93T, 18.4 基础 352 a!.!2a&t 18.4.1 Classes(类别) 352 vug-n 8 18.4.2 对象 352 Q=.g1$LP 18.4.3 信息(Messages) 352 0^>E`/ 18.4.4 属性 352 Za\RM[Z!I 18.4.5 方法 353 hZ#\t 18.4.6 变量声明 353 GUCM4jVT^ 18.5 创建对象 354 nx :)k-p_[ 18.5.1 创建对象函数 355 R+^z y"~ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Xr2J:1pgg 18.5.3 丢弃对象 356 `9EVB; 18.5.4 总结 356 JfKg_&hM 18.6 脚本中的表格 357 5}SXYA} 18.6.1 方法1 357 |B1Af 18.6.2 方法2 357 "4[<]pq 18.7 2D Plots in Scripts 358 =n
}Yqny 18.8 3D Plots in Scripts 359 -eYL*Pa 18.9 注释 360 ?W<cB`J 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 w?;b7i 18.11 一个更高级的脚本 362 jmPp-}tS7 18.12 <esc>键 364 Q}z{AZ 18.13 包含文件 365 QAXYrRu 18.14 脚本被优化调用 366 9<qx!-s2rr 18.15 脚本中的对话框 368 -CElk[u 18.15.1 介绍 368 ./!KE"! 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Ko-QR( 18.15.3 输入框函数 370 Rc%PZ}es 18.15.4 自定义对话框 371 g!5#,kJM 18.15.5 对话框编辑器 371 ULbP_y>(Y 18.15.6 控制对话框 377 O &\<F T5 18.15.7 更高级的对话框 380 7`+UB>8 18.16 Types语句 384 .ftUhg 18.17 打开文件 385 /^QFqM; 18.18 Bags 387 )Jz !Ut 18.13 进一步研究 388 cB36p&% 19 vStack 389 '7=<#Blc 19.1 vStack基本原理 389 &0h=4i=6r 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 T@>63 19.3 五棱镜 393 kpY%& 19.4 光束距离 396 =KW|#]RB^ 19.5 误差 399 |>[X<>m 19.6 二向分色棱镜 399 ~{Ua92zV9 19.7 偏振泄漏 404 [sptU3,2U 19.8 波前误差—相位 405 v5gQ9 19.9 其它计算参数 405 ;lk f+,; 20 报表生成器 406 :!hk~#yvJ9 20.1 入门 406 x6~Fb~aP 20.2 指令(Instructions) 406 )rS^F<C 20.3 页面布局指令 406 3?]S,~!F 20.4 常见的参数图和三维图 407 n_ OUWvs 20.5 表格中的常见参数 408 2O^32TdS 20.6 迭代指令 408 G)K9la<p 20.7 报表模版 408 C!I\Gh 20.8 开始设计一个报表模版 409 L7[X|zmy*x 21 一个新的project 413 6.vNe 21.1 创建一个新Job 414 ),z,LU Yf 21.2 默认设计 415 00R% 21.3 薄膜设计 416 2voNgY 21.4 误差的灵敏度计算 420 gZ~y}@Ly 21.5 显色指数计算 422 W|FNDP0 21.6 电场分布 424 5@""_n&FV 后记 426 a#>t+.dd 更多详情,可以扫码加微! AZ}%MA;q
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