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M,6m* 内容简介 " >;},$ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 r lW 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 I,.>tC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 j5tA!o is`le}$^y 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 {ImZ><xe/ 目录 aA=qel Preface 1 eFbr1IV 内容简介 2 \Z<' u; 目录 i Haiuf)a 1 引言 1 v dyu =*Y 2 光学薄膜基础 2 'R?;T[s% 2.1 一般规则 2 ]*Zg(YA 2.2 正交入射规则 3 p ^T0(\1 2.3 斜入射规则 6 f5^[`b3H 2.4 精确计算 7 l3-;z)SgH 2.5 相干性 8 {B uh5U, 2.6 参考文献 10 Fn$EP:> 3 Essential Macleod的快速预览 10 K5'@$Km 4 Essential Macleod的特点 32 |5`z;u7V 4.1 容量和局限性 33 H 2\KI( 4.2 程序在哪里? 33 BY6QJkI9x 4.3 数据文件 35 *r$(lf 4.4 设计规则 35 !3}vl
Y1 4.5 材料数据库和资料库 37 jbGP`b1_ 4.5.1材料损失 38 }JoCk{<31 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &.;t dT7 4.5.2 材料库 41 (?D47^F & 4.5.3导出材料数据 43 \A
Y7%> 4.6 常用单位 43 Sr/"'w; 4.7 插值和外推法 46 WTZP}p1 4.8 材料数据的平滑 50 80LKxA;5N 4.9 更多光学常数模型 54 gVl%:Ra% 4.10 文档的一般编辑规则 55 -#|J 4.11 撤销和重做 56 %Gv8]Yb 4.12 设计文档 57 kuqf( 4.10.1 公式 58 Mq8jPjL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 TnCN2#BO 4.10.3 沉积密度 59 :dLfM)8} 4.10.4 平行和楔形介质 60 F2:?lmhL< 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 s-~Tf| 4.10.4 性能 61 xm6cn\e 4.10.5 保存设计和性能 64 V)oUSHillH 4.10.6 默认设计 64 }L3k pw 4.11 图表 64 |#Z:v1]" 4.11.1 合并曲线图 67 f)~urGazS 4.11.2 自适应绘制 68 t[XxLG* 4.11.3 动态绘图 68 rB~x]5TH 4.11.4 3D绘图 69 D}r,t_]Eb 4.12 导入和导出 73 $RfM}!7? 4.12.1 剪贴板 73 S1.w^Ccy 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 F$N"&<[c 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 _t_X` 4.13 背景 77 m\)z& hv<r 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .'saUcVg: 4.15 生成Rugate 84 5^~%10= 4.16 参考文献 91 Uo#%f+t 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 BC =U6>`/ 5.1 Jobs 92 ri<E[8\ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 4N|^Joi 5.3 输入材料 94 ]'3e#Cqeh 5.4 设计数据文件夹 95 Y.$'<1 5.5 默认设计 95 s`B "qw 6 细化和合成 97 }Zu>?U 6.1 优化介绍 97 =X'i^Q 6.2 细化 (Refinement) 98 zB kS1qMn 6.3 合成 (Synthesis) 100 ?kqo~twJ 6.4 目标和评价函数 101 \cP\I5IW:s 6.4.1 目标输入 102 &.,ZU\`zT 6.4.2 目标 103 C0eP/d 6.4.3 特殊的评价函数 104 k4FxdX 6.5 层锁定和连接 104 V\^3I7F 6.6 细化技术 104 eQbDs_ 6.6.1 单纯形 105 @kw#\%Uz 6.6.1.1 单纯形参数 106 XbsEO>_Z'A 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 vr+O)/P}) 6.6.2.1 Optimac参数 108 "T|%F D&[ 6.6.3 模拟退火算法 109 na,j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 BFmd`#{l 6.6.4 共轭梯度 111 uO%G,b 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z=J%-Hq> 6.6.5 拟牛顿法 112 D<B/oSy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q-P$ \": 6.6.6 针合成 113 ![YLY&}s 6.6.6.1 针合成参数 114 sDL@e33Yb 6.6.7 差分进化 114 }J"}5O2,b 6.6.8非局部细化 115 UT|FV
twO 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^tc2?T 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .>NhC" 6.7.1 细化 116 Rd7Xs
6.7.2 合成 117 .]}kOw:(# 6.8 参考文献 117 # Y/.%ch. 7 导纳图及其他工具 118 P~$FgAV 7.1 简介 118 MQ>.^]B]o 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 l=G=J( G 7.2.1 四分之一波长规则 119 bU9B2'%E 7.2.2 导纳图 120 b0|q@!z> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 uKHkC.g 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 o_>id^$>B 7.5 斜入射导纳图 141 >Ng7q?h
7.6 对称周期 141 -h+=^, 7.7 参考文献 142 OoL#8R 8 典型的镀膜实例 143 \' (_r 8.1 单层抗反射薄膜 145 (jv!q@@2C. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 9t:P1 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ZWH?=Bk: 8.4 W-膜层 148 +`4`OVE_# 8.5 V-膜层 149 o7Ms]AblT 8.6 V-膜层高折射基底 150 |y=; #A 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9Ps[i)- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \lwYDPY: 8.9 四层抗反射薄膜 153 M il
![A1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <Hw)},_* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 q y"VrR 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 a'=C/ s+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 wmbjL=f
Ia 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O]rAo 8.15十五层宽带抗反射膜 159 SJ$N]<d 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 D5x }V 8.17 1/4波长堆栈 162 NfqJ>[}I+ 8.18 陷波滤波器 163 Qwl=/<p1 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 pJkaP 8.20 褶皱 165 2(~Y ^_ 8.21 消偏振分光器1 169 _):V7Zv 8.22 消偏振分光器2 171 <8#Q5 8.23 消偏振立体分光器 172 JQ|qg\[ 8.24 消偏振截止滤光片 173 +mP&B<=H) 8.25 立体偏振分束器1 174 AY{#!RtV 8.26 立方偏振分束器2 177 dER#)bGj 8.27 相位延迟器 178 ^~~&[wY 8.28 红外截止器 179 \7M+0Ul1 8.29 21层长波带通滤波器 180 -=_bXco} 8.30 49层长波带通滤波器 181 #Ezq}F8Y 8.31 55层短波带通滤波器 182 0\3mS{s 8.32 47 红外截止器 183 2D|2/ >[ 8.33 宽带通滤波器 184 |^&n\vXv 8.34 诱导透射滤波器 186 GQ<]Sd}[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 r~ gjn`W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 W'2T7ha Es 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9+<%74|, 8.35 增益平坦滤波器 193 BZAeg">3 8.38 啁啾反射镜 1 196 nd)Z0%xo 8.39 啁啾反射镜2 198 A$*#n8, 8.40 啁啾反射镜3 199 Pp-\#WJ 8.41 带保护层的铝膜层 200 ~<b/%l>h1 8.42 增加铝反射率膜 201 ]iu}5]?) 8.43 参考文献 202 (bEX"U- 9 多层膜 204 v^;-w~?3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -<rQOPH% 9.2 内部透过率 204 >s#[dr\ww 9.3 内部透射率数据 205 h%'4V<V 9.4 实例 206 eZDqW)x 9.5 实例2 210 |<nS<x 9.6 圆锥和带宽计算 212 E({+2}=1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O^fg~g X 10 光学薄膜的颜色 216 9 [qEJ$-- 10.1 导言 216 6{h+(|.( 10.2 色彩 216 %ux%=@% 10.3 主波长和纯度 220 Wn;B ~ 10.4 色相和纯度 221 c2M-/ x-: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {v&c5B~,\ 10.6 色差 226 @\-i3EhR 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 zh5'oE&[yC 10.8 颜色渲染指数 234 [$; \1P/ 10.9 色差计算 235 Nxk3uF^ 10.10 参考文献 236 hw[ jVx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \QF\Bh 11.1 短脉冲 238 =+um:*a. 11.2 群速度 239 LxqK@Q<B 11.3 群速度色散 241 9o-fI@9 11.4 啁啾(chirped) 245 YTBZklM 11.5 光学薄膜—相变 245 Wxjv=#3 11.6 群延迟和延迟色散 246 u{%gB&nC 11.7 色度色散 246 |ocIp/$ 11.8 色散补偿 249 +<p?i]3CHe 11.9 空间光线偏移 256 \BB(0Ah+t 11.10 参考文献 258 ,:yv T6)p 12 公差与误差 260 O6rrv,+_L 12.1 蒙特卡罗模型 260 |Ad1/>8i 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /4 zO 12.2.1 误差工具 267 B35zmFX|}N 12.2.2 灵敏度工具 271 `c
3IS5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Q_}i8p' 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =GO/r;4 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )h(Dt(2Wm 12.3 参考文献 276 xEK+NKTeV 13 Runsheet 与Simulator 277 0,)Ao8 13.1 原理介绍 277 m5KB #\ 13.2 截止滤光片设计 277 S<n3wR"^ 14 光学常数提取 289 ?VM# Nf\ 14.1 介绍 289 (nP 6Xq 14.2 电介质薄膜 289 HV:mS* e 14.3 n 和k 的提取工具 295 Lo,z7"8 14.4 基底的参数提取 302 8J|pj4ce 14.5 金属的参数提取 306 e@k`C{{C]o 14.6 不正确的模型 306 jYwv+EXg 14.7 参考文献 311 1VW;[ ocQ 15 反演工程 313 W#cr9"'Ta 15.1 随机性和系统性 313 @g|Eb}t 15.2 常见的系统性问题 314 XOl]s?6H$ 15.3 单层膜 314 DJl06-s V 15.4 多层膜 314 a/@<KnT 15.5 含义 319 COS(pfC 15.6 反演工程实例 319 yQwj[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 XQEGMaZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 wK8/`{B9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 MFHPh8P 16.1 光学性质的热致偏移 329 YxMOr\B 16.2 应力工具 335 Peha{]U 16.3 均匀性误差 339 jE)&`yZ5 16.3.1 圆锥工具 339 0x'-\)v>3 16.3.2 波前问题 341 _E5%Px5>L 16.4 参考文献 343 4-q7o]%5< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 s:Us*i=H, 17.1 引言 345 G9\Bi-'ul 17.2 操作数 345 Zl]Zy}p* + 18 如何在Function中编写脚本 351 {8M=[4_`l 18.1 简介 351 xG<H${
k; 18.2 什么是脚本? 351 ')#E,Y%Hq 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 RL>Nl ow 18.4 基础 352 od>DSn3T 18.4.1 Classes(类别) 352 LV:oNK( 18.4.2 对象 352 t1HUp dHY 18.4.3 信息(Messages) 352 02X ~' To" 18.4.4 属性 352 HtOo*\Ne 18.4.5 方法 353 qE6:`f 18.4.6 变量声明 353 lo:]r.lX{ 18.5 创建对象 354 bo&!oY# 18.5.1 创建对象函数 355 =
PldXw0 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 g#ZR,q 18.5.3 丢弃对象 356 Z,o*M#} 18.5.4 总结 356 e,Xvt5 18.6 脚本中的表格 357 {+f@7^/i. 18.6.1 方法1 357 LGT\1u 18.6.2 方法2 357 Tgp}k%R~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 XgKtg-, 18.8 3D Plots in Scripts 359 '#<?QE!d2 18.9 注释 360 TyMRm 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 daBu<0\ 18.11 一个更高级的脚本 362 rWbuoG+8 18.12 <esc>键 364
'{kNXCnZ 18.13 包含文件 365 \s;]Tg 18.14 脚本被优化调用 366 gcr,?rE< 18.15 脚本中的对话框 368 #{(?a.: 18.15.1 介绍 368 aPB %6c= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9>psQ0IRvr 18.15.3 输入框函数 370 ?n/:1LN, 18.15.4 自定义对话框 371 r&"}zyL 18.15.5 对话框编辑器 371 `Oys&]vb 18.15.6 控制对话框 377 D_O%[u} 18.15.7 更高级的对话框 380 oUZwZ_yKW 18.16 Types语句 384 xZFha=# 18.17 打开文件 385 lfu1PCe5 18.18 Bags 387 }Evy fc#D 18.13 进一步研究 388 %Zx/XMs}e 19 vStack 389 _6qf>=qQ`" 19.1 vStack基本原理 389
N`y!Km
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ?7G?uk]3,@ 19.3 五棱镜 393 c[< lr 19.4 光束距离 396 ~=%eOoZP;c 19.5 误差 399
$c0SWz 19.6 二向分色棱镜 399 iAf, :g 19.7 偏振泄漏 404 133lIX+(k 19.8 波前误差—相位 405 (|ga#%iI 19.9 其它计算参数 405 .eXIbd<C 20 报表生成器 406 HeGGAjc 20.1 入门 406 L3nHvKA] 20.2 指令(Instructions) 406 8,Yc1 20.3 页面布局指令 406 !`,6E`Y# 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,{itnKJC 20.5 表格中的常见参数 408 ZERUvk 20.6 迭代指令 408 9`.b 20.7 报表模版 408 -O~WHi5} 20.8 开始设计一个报表模版 409 `(=)8>|e 21 一个新的project 413 0$&Z_oJ 21.1 创建一个新Job 414 H` Q_gy5Z( 21.2 默认设计 415 xm~ff+(&@S 21.3 薄膜设计 416 60~{sk~E 21.4 误差的灵敏度计算 420 (W3R3>; 21.5 显色指数计算 422 9|jIrS%/~ 21.6 电场分布 424 (0D0G-r: 后记 426 Q(AOKp,F
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