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AjcX N 内容简介 {~!q`Dr3?q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 FuI73 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Q_* "SRz 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 xh7c VE[UM +zXEYc 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 *.L81er5~ 目录 1)
ta Preface 1 -F'b8:m 内容简介 2 "k]CW\H6z 目录 i ?]D"k4 1 引言 1 yjfat&$ 2 光学薄膜基础 2 ~ P~ 2.1 一般规则 2 u6>?AW1~ 2.2 正交入射规则 3 S*j6OwZ 2.3 斜入射规则 6 HGm 3+, 2.4 精确计算 7 dJT]/g 2.5 相干性 8 nF6q7 2.6 参考文献 10 ^Wxad?@ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Ee`1F#c 4 Essential Macleod的特点 32 PV|uPuz 4.1 容量和局限性 33 64hk2a8 4.2 程序在哪里? 33 _g1b{$ 4.3 数据文件 35 TXe$<4" 4.4 设计规则 35 Cmc3k,t 4.5 材料数据库和资料库 37 $O9^SB 4.5.1材料损失 38 (`y*V;o4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 bh^LIU 4.5.2 材料库 41 ^i:`ZfA# 4.5.3导出材料数据 43 f B9;_z 4.6 常用单位 43 EwOV;>@T? 4.7 插值和外推法 46 8\{^|y9- 4.8 材料数据的平滑 50 <n]x#0p 4.9 更多光学常数模型 54 h;6lK$!c 4.10 文档的一般编辑规则 55 k0T?-iM 4.11 撤销和重做 56 XC.%za8 4.12 设计文档 57 V<Z[ nq 4.10.1 公式 58 rn<PR* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =Zi2jL?On 4.10.3 沉积密度 59 gx%|Pgd 4.10.4 平行和楔形介质 60 >JiltF7H0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {&"N%;`Q 4.10.4 性能 61 v{}#?=I5 4.10.5 保存设计和性能 64 [B+W%g(c- 4.10.6 默认设计 64 `Od5Gh 4.11 图表 64 -jMJAYj V 4.11.1 合并曲线图 67 7)s^8+ 4.11.2 自适应绘制 68 ULQMG'P^D 4.11.3 动态绘图 68 >nzdnF_&zW 4.11.4 3D绘图 69 _q~=~nub 4.12 导入和导出 73 "HPB!)C8( 4.12.1 剪贴板 73 ;3'.C~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .'Vww 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 XLH0 ;+CL{ 4.13 背景 77 M)U{7c$c7 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 uDEvzk42 4.15 生成Rugate 84 O BN2 ) j 4.16 参考文献 91 .k,kTr$S 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 gG/!,Q.Qh 5.1 Jobs 92 LqA@&H 5.2 创建一个新Job(工作) 93 TYy.jFT- 5.3 输入材料 94 fl\ly`_ 5.4 设计数据文件夹 95 y\a1iy 5.5 默认设计 95 gvLf|+m 6 细化和合成 97 7D<#(CE{ 6.1 优化介绍 97 b[`Yi1^]%g 6.2 细化 (Refinement) 98 92EWIHEWZ 6.3 合成 (Synthesis) 100 Y 'ow 6.4 目标和评价函数 101 xP [n 6.4.1 目标输入 102 p\<u6v ~J 6.4.2 目标 103 ,lyb!k8 6.4.3 特殊的评价函数 104 o_'p3nD 6.5 层锁定和连接 104 C+TI]{t 6.6 细化技术 104 VY3& 6.6.1 单纯形 105 XHK70: i 6.6.1.1 单纯形参数 106 cJrmm2.0kD 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l(02W 6.6.2.1 Optimac参数 108 +(h\fm7*- 6.6.3 模拟退火算法 109 5F~'gLH/F- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dxmE3*b` 6.6.4 共轭梯度 111 6Udov pl 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \Cii1\R= 6.6.5 拟牛顿法 112 >k'c'7/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 l6d$V9A 6.6.6 针合成 113 .,OVzW 6.6.6.1 针合成参数 114 [<6S%s 6.6.7 差分进化 114 BW"5Aj 6.6.8非局部细化 115 v#!%GEg1r 6.6.8.1非局部细化参数 115 % ClHCoyA 6.7 我应该使用哪种技术? 116 #Y4=J
6 6.7.1 细化 116 IyPwP*A 6.7.2 合成 117 k3uit+ge} 6.8 参考文献 117 `|/<\ 7 导纳图及其他工具 118 'nwx9]q 7.1 简介 118 (_"*NY0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 lR(+tj)9uO 7.2.1 四分之一波长规则 119 D ^x-^6^ 7.2.2 导纳图 120 2* 2wY = 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 FAj)OTI2S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 pim!.=vN/U 7.5 斜入射导纳图 141 2n|K5FR() 7.6 对称周期 141 \Rp-;.I@6 7.7 参考文献 142 K2<9mDn& 8 典型的镀膜实例 143 NB8/g0:=n& 8.1 单层抗反射薄膜 145 lGOgN!?i 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7D;cw\ | 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Gy6l<:; 8.4 W-膜层 148 WUh$^5W 8.5 V-膜层 149 lb3]$Da
8.6 V-膜层高折射基底 150 o:_Xv.HRZo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @9lUSk^9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 lQe%Yh
>rl 8.9 四层抗反射薄膜 153 t$De/Uq 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 z&fwE$Nm 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?]}8o}G 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Ym =FgM\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;u>DNG|. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 *exS6@N] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 [@5Ytv H 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 u)~C;f) 8.17 1/4波长堆栈 162 !y@6Mm 8.18 陷波滤波器 163 H kQ)n3 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 rv|)n>m 8.20 褶皱 165 s;6CExH 8.21 消偏振分光器1 169 <OIIoB?t 8.22 消偏振分光器2 171 x;8A!8w 8.23 消偏振立体分光器 172 H{=21\a\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 !lj| cT9 8.25 立体偏振分束器1 174 <c2'0I > 8.26 立方偏振分束器2 177 Z7= `VNHc 8.27 相位延迟器 178
.p e( lP 8.28 红外截止器 179 9R7A8 8.29 21层长波带通滤波器 180 ybY]e; v*O 8.30 49层长波带通滤波器 181 &M.66O@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 pLLGus+W 8.32 47 红外截止器 183 ~NpA".PB 8.33 宽带通滤波器 184 +Zaj,oEE
8.34 诱导透射滤波器 186 Y\$ySvZ0 8.35 诱导透射滤波器2 188
$7rq3y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 61)-cVC 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 &3n~%$#N 8.35 增益平坦滤波器 193 _N{RVeO 8.38 啁啾反射镜 1 196 v%iof1 T'
8.39 啁啾反射镜2 198 p_${Nj 8.40 啁啾反射镜3 199 [<
&oF 8.41 带保护层的铝膜层 200 Ljp%CI[i 8.42 增加铝反射率膜 201 C<m{*C-`a 8.43 参考文献 202 gk0( ANx 9 多层膜 204 pUV/Ul] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4*Hgv:0?kI 9.2 内部透过率 204 ^h"`}[+ 9.3 内部透射率数据 205 -UOj>{- 9.4 实例 206 pQtJc*[! 9.5 实例2 210 #0y)U;dA+w 9.6 圆锥和带宽计算 212 }MH0L#Tu 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 f7X6fr< 10 光学薄膜的颜色 216 qa0 yg8,< 10.1 导言 216 8[E!E)4M 10.2 色彩 216 FXi{87F2 10.3 主波长和纯度 220 2kIa*#VOJ 10.4 色相和纯度 221 Stu4t==U 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 8j=}u/T@F 10.6 色差 226 br":y>=, 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Ljx(\Cm 10.8 颜色渲染指数 234 )~HUo9K9 10.9 色差计算 235 ucG@?@JENm 10.10 参考文献 236 b"vv>Q~U 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !U'QqnT 11.1 短脉冲 238 ,^eYlmT>6 11.2 群速度 239 aD=A^ktx 11.3 群速度色散 241 RF%KA[Dj 11.4 啁啾(chirped) 245 y&?6FY 11.5 光学薄膜—相变 245 5sx1Zq7 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?C&z]f3(: 11.7 色度色散 246 3 G`aHTWk 11.8 色散补偿 249 >U]C/P[+ 11.9 空间光线偏移 256 2&^]k`Aj6D 11.10 参考文献 258 =A!@6Nw 12 公差与误差 260 {O7X`'[ 12.1 蒙特卡罗模型 260 /7t>TYip! 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w(/aiV 12.2.1 误差工具 267 o .qf _A 12.2.2 灵敏度工具 271 Ipq"E 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Pyb Z)5u 12.2.2.2 灵敏度分布 275 %sX$nmi3 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zY"1drE> G 12.3 参考文献 276 xK6n0] A 13 Runsheet 与Simulator 277 %Ntcvp) 13.1 原理介绍 277 O"c;|zCc> 13.2 截止滤光片设计 277 \8?Tdx= 14 光学常数提取 289 C0}IE,] 14.1 介绍 289 :qIXY/ 14.2 电介质薄膜 289 RWgNo#< 14.3 n 和k 的提取工具 295 EioB%f3 14.4 基底的参数提取 302 }5}.lJ: 14.5 金属的参数提取 306 T
QSzx%i2 14.6 不正确的模型 306 :]^P1sH[ 14.7 参考文献 311
WqXbI4;pJ 15 反演工程 313 .QN>z-YA6: 15.1 随机性和系统性 313 4bw4cqY; 15.2 常见的系统性问题 314 Db1pW=66: 15.3 单层膜 314 /5:bvg+ 15.4 多层膜 314 l33Pm/V2? 15.5 含义 319 Y!gCMLL 15.6 反演工程实例 319
.5y+fL 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _;UE9S% 15.6.2 反演工程提取折射率 327 h?8]C#6^ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 h9Y%{v 16.1 光学性质的热致偏移 329 zN:K%AiGxe 16.2 应力工具 335 P)MDPI+~ 16.3 均匀性误差 339 0QOBL'{7) 16.3.1 圆锥工具 339 '-"/ =j&d[ 16.3.2 波前问题 341 #EsNeBu 16.4 参考文献 343 0iwZT&O 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /x[jQM\ 17.1 引言 345 H
s"HID 17.2 操作数 345 h_T7% #0 18 如何在Function中编写脚本 351 8'4S8DM 18.1 简介 351 :kf`?u 18.2 什么是脚本? 351 G6FEp` 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?`#/ 8PN 18.4 基础 352 30.@g[~ 18.4.1 Classes(类别) 352 eK!V
); 18.4.2 对象 352 Y~(Md@!0S 18.4.3 信息(Messages) 352 FWHNj.r 18.4.4 属性 352 ?Vdia:
18.4.5 方法 353 o)2W`i & 18.4.6 变量声明 353 2g>SHS@1> 18.5 创建对象 354 ,]cD 18.5.1 创建对象函数 355 o17ekML 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 CS=qj-( 18.5.3 丢弃对象 356 _Gjk;|Sx<I 18.5.4 总结 356 fI~Xmw+}} 18.6 脚本中的表格 357 CCWg{*og 18.6.1 方法1 357 D? 8rO" 18.6.2 方法2 357 :E@3Vl#U 18.7 2D Plots in Scripts 358 OI0;BBZ 18.8 3D Plots in Scripts 359 ],JEBt 18.9 注释 360 |Clut~G 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 yA.4G_|I 18.11 一个更高级的脚本 362 =<X?sj5 18.12 <esc>键 364 eQD)$d_5 18.13 包含文件 365 6^"=dn6K 18.14 脚本被优化调用 366 846$x$G4 18.15 脚本中的对话框 368 q"<ac qK 18.15.1 介绍 368 n>^Y$yy}! 18.15.2 消息框-MsgBox 368 r.>].~}4 18.15.3 输入框函数 370 r;Gi+Ca5 18.15.4 自定义对话框 371 (s7;^)}zx 18.15.5 对话框编辑器 371 75T7+:p 18.15.6 控制对话框 377 },>pDeX^P 18.15.7 更高级的对话框 380 :SGF45>B@ 18.16 Types语句 384 mqAWL:VvQ7 18.17 打开文件 385 `^FGwx@ 18.18 Bags 387 KOp162X>r 18.13 进一步研究 388 elG<k%/2 19 vStack 389 (h5'9r 19.1 vStack基本原理 389 <Gt2(; 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 #&m0WI1 19.3 五棱镜 393
]&i.b+^ 19.4 光束距离 396 ]zQo>W$ 19.5 误差 399 -xDGH 19.6 二向分色棱镜 399 *IY*yR6 19.7 偏振泄漏 404 4)"n
RjGg 19.8 波前误差—相位 405 )6Ny1x+ 19.9 其它计算参数 405 ?F6pEt4 20 报表生成器 406 nM-h&na{s 20.1 入门 406 -Gw$#! 20.2 指令(Instructions) 406 PG_0\'X)/w 20.3 页面布局指令 406 I{lT> go 20.4 常见的参数图和三维图 407
2;^y4ssg 20.5 表格中的常见参数 408 M\Z6$<H?U 20.6 迭代指令 408 T:IW%?M 20.7 报表模版 408 1Lg-.-V
20.8 开始设计一个报表模版 409 -t2+|J*
21 一个新的project 413 :w<V 21.1 创建一个新Job 414 839IRM@'5 21.2 默认设计 415 +AHUp) 21.3 薄膜设计 416 K a6,<C
o 21.4 误差的灵敏度计算 420 h|h>u
^@ 21.5 显色指数计算 422 4&_NJ\ 21.6 电场分布 424 Qum9A 后记 426 DWID$w
有兴趣可以和我联系 phn9:{TI HE'2"t[a
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