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gLy&esJl1 内容简介 nPye,"A Ol Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;`^WGS(3.% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~g5[$r-u-u 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
8DegN,? K2J\awX 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ~},=OF-b 目录 >U%gctIg Preface 1 |NpP2|4h 内容简介 2 BDR.AZ 目录 i y *fDwd~ 1 引言 1 ie2WL\tR4 2 光学薄膜基础 2 y#q?A,C@n 2.1 一般规则 2 wM2*# 2.2 正交入射规则 3 0a}u;gt,4w 2.3 斜入射规则 6 e A#;AQm 2.4 精确计算 7 hRK/T7v 2.5 相干性 8 Mz~M3$$9n 2.6 参考文献 10 zmSUw}-4N 3 Essential Macleod的快速预览 10 vTJ}8 4 Essential Macleod的特点 32 fSs4ZXC 4.1 容量和局限性 33 bT^I" 4.2 程序在哪里? 33 0cJWJOj& 4.3 数据文件 35 H;YP8MoQ 4.4 设计规则 35 @>W(1mRi 4.5 材料数据库和资料库 37 uf&myV7 4.5.1材料损失 38 +\F'iAs@ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 cd$m25CxC 4.5.2 材料库 41 i 7x7xtq 4.5.3导出材料数据 43 wid;8%m 4.6 常用单位 43 2T V X)q<\ 4.7 插值和外推法 46 1 D<_N 4.8 材料数据的平滑 50 X@K-^8 4.9 更多光学常数模型 54 ha(Z< 4.10 文档的一般编辑规则 55 t.`@{R$hoA 4.11 撤销和重做 56 bO'Sgc[] 4.12 设计文档 57 `Ye\p6v!+ 4.10.1 公式 58 6WU(% 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uF1~FKB 4.10.3 沉积密度 59 PYM(Xz$ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^eR%N8Z 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )6|yb65ZUX 4.10.4 性能 61 Qj.l:9% 4.10.5 保存设计和性能 64 Z|5?7v;h5 4.10.6 默认设计 64 Gu2P\I2zx 4.11 图表 64 }Rz3<eON 4.11.1 合并曲线图 67 u%$Zqee 4.11.2 自适应绘制 68 ?34 e- 4.11.3 动态绘图 68 H\qC[" 4.11.4 3D绘图 69 V>A.iim 4.12 导入和导出 73 Qzlo'e1 4.12.1 剪贴板 73 m0c P ( 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 W!?7D0q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^xij{W`| 4.13 背景 77 ?i06f,- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ;S57w1PbVA 4.15 生成Rugate 84 uWM{JEOl 4.16 参考文献 91 2Fq<*pxAY
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Gcig*5 5.1 Jobs 92 {a4z2"\A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 }RwSp!}C 5.3 输入材料 94 jC7&s$>Q"g 5.4 设计数据文件夹 95 qL6
|6-? 5.5 默认设计 95 ($}`R
xj1@ 6 细化和合成 97 ub;ZtsM,% 6.1 优化介绍 97 !!`!|w 6.2 细化 (Refinement) 98 U` Wauv& 6.3 合成 (Synthesis) 100
^V#@QPK9 6.4 目标和评价函数 101 /4vG3 6.4.1 目标输入 102 *g[^.Sg 6.4.2 目标 103 +eX@U;J,g 6.4.3 特殊的评价函数 104 _c,'>aH= 6.5 层锁定和连接 104 o9F/y=.r= 6.6 细化技术 104 [BT/~6ovrZ 6.6.1 单纯形 105 /ew
Ukc8, 6.6.1.1 单纯形参数 106 -eN\ ! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 z&{5;A}Q@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 8[J}CdS 6.6.3 模拟退火算法 109 Dg}
Ka7H 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \'CDRr"uw 6.6.4 共轭梯度 111 C\di 7 z: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 x}Aw)QCh+r 6.6.5 拟牛顿法 112 T`Mf]s)* 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 k&.Jk
B" 6.6.6 针合成 113 ^9ePfF)5 6.6.6.1 针合成参数 114 &&VqD
w 6.6.7 差分进化 114 hb^7oq"a 6.6.8非局部细化 115 9\]^|?zQ` 6.6.8.1非局部细化参数 115 4qYUoCR& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 v0YG,)_ 6.7.1 细化 116 e}.^Tiwd] 6.7.2 合成 117 hWT[L.>k 6.8 参考文献 117 mGGsB5#w> 7 导纳图及其他工具 118 ;\\@q"n%< 7.1 简介 118 <F.Tx$s 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,iv|Pq$! 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^pe{b9c 7.2.2 导纳图 120 TW9WMId 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 %LZ({\5K#f 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 N1}={yF.fQ 7.5 斜入射导纳图 141 K%X^n>O7C 7.6 对称周期 141 HH@qz2 w 7.7 参考文献 142 r?*NhLG; 8 典型的镀膜实例 143 EB_NK 8.1 单层抗反射薄膜 145 qq1 - DG 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 3Bx:Ntx< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 <1.A=_
M 8.4 W-膜层 148 -atGlu2 8.5 V-膜层 149 &2=dNREJ}1 8.6 V-膜层高折射基底 150 ,ML[Wr'2 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 A6pjRxg 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 rJ!{/3e 8.9 四层抗反射薄膜 153 Eyh51IB. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 =T7A]U] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 zKsz*xv6b 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4|`Bq}sjZf 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _+^ 2^TW 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 0sh/|`\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }A:<%N 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 v^_mFp-}\ 8.17 1/4波长堆栈 162 zBP>jM(8 8.18 陷波滤波器 163 Y"6w,_'m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 yH<$k^0r* 8.20 褶皱 165 3^Q]j^e4Ny 8.21 消偏振分光器1 169 m/@<c'i 8.22 消偏振分光器2 171 &%_& 8DkG 8.23 消偏振立体分光器 172 N?m0USu* 8.24 消偏振截止滤光片 173 yx<WSgWZ[ 8.25 立体偏振分束器1 174 kee|42E 8.26 立方偏振分束器2 177 gt7VxZ 8.27 相位延迟器 178 d)"?mD:m/M 8.28 红外截止器 179 F|HJH"2*&q 8.29 21层长波带通滤波器 180 4#'("#R 8.30 49层长波带通滤波器 181 ]Y| 9?9d 8.31 55层短波带通滤波器 182 `WOYoec
8.32 47 红外截止器 183 1<<kA:d 8.33 宽带通滤波器 184 1<h>B: 8.34 诱导透射滤波器 186 >R2SQA o 8.35 诱导透射滤波器2 188 F5 ]C{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2]c{P\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N*@aDM07 8.35 增益平坦滤波器 193 MCP "GZK6W 8.38 啁啾反射镜 1 196 /2RajsK 8.39 啁啾反射镜2 198 3J=Y9 } 8.40 啁啾反射镜3 199 ,=
&B28Qe) 8.41 带保护层的铝膜层 200 ?9X&tK)E- 8.42 增加铝反射率膜 201 _zu?.I0^ 8.43 参考文献 202 7'-j%!#w 9 多层膜 204 N<L`c/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Jz! Z2c 9.2 内部透过率 204 cf7v[ZZ} 9.3 内部透射率数据 205 DS-fjH\ 9.4 实例 206 3F#+~^2 9.5 实例2 210 c0Dmq)HK? 9.6 圆锥和带宽计算 212 D r9 ?2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 1H,g=Y4f% 10 光学薄膜的颜色 216 q,2]5' 10.1 导言 216 oiH|uIsqR 10.2 色彩 216 8V-\e?&^ 10.3 主波长和纯度 220 2nFy`|aA% 10.4 色相和纯度 221 BvU"4d;x 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 lI/0:|l 10.6 色差 226 Z.wA@ ~e 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 &|<xqt 10.8 颜色渲染指数 234 ) ){xlFA} 10.9 色差计算 235 &VBd~4|p 10.10 参考文献 236 -[Qvg49jy 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 XIWm>IQ[) 11.1 短脉冲 238 <q,+ON\' 11.2 群速度 239 2 /y}a#s 11.3 群速度色散 241 8:.nEo' 11.4 啁啾(chirped) 245 M-
0i7% 11.5 光学薄膜—相变 245 a?R[J== 11.6 群延迟和延迟色散 246 ZE`lr+_Y 11.7 色度色散 246 e0; 11.8 色散补偿 249 hGf-q?7 11.9 空间光线偏移 256 <g9"Cr` 11.10 参考文献 258 b%t+,0s| 12 公差与误差 260 [ "xn5lE 12.1 蒙特卡罗模型 260 .]|Zf!>}s 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7rHS^8'H& 12.2.1 误差工具 267 V5D`eX9 12.2.2 灵敏度工具 271 5=KF!? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Y1dVM]l 12.2.2.2 灵敏度分布 275 *wV[TKaN 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 L"<B;u5pM 12.3 参考文献 276 $A$@|]}p 13 Runsheet 与Simulator 277 y)F!c29 13.1 原理介绍 277 oH2!5;A| 13.2 截止滤光片设计 277 M)cGz$Q| 14 光学常数提取 289 zx1:`K0bi 14.1 介绍 289 @gSkROCdC) 14.2 电介质薄膜 289 Iwpbf Z 14.3 n 和k 的提取工具 295 hFvi5I-b 14.4 基底的参数提取 302 ,kgF2K! 14.5 金属的参数提取 306 yW.COWL=) 14.6 不正确的模型 306 5A&y]5-Q` 14.7 参考文献 311 5%
nt0dc 15 反演工程 313 x:t<ZG&Xwg 15.1 随机性和系统性 313 *T4<& 15.2 常见的系统性问题 314 (RXS~8 15.3 单层膜 314 yoqa@ V 15.4 多层膜 314 2@vj!U 8 15.5 含义 319 ;TZGC).6 15.6 反演工程实例 319 !ax;5 @J 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 v&3O&y/1v 15.6.2 反演工程提取折射率 327
&C-;S a4 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 z#<P}} 16.1 光学性质的热致偏移 329 )'q%2%Ak 16.2 应力工具 335 T`$KeuL 16.3 均匀性误差 339 3z{S}~ 16.3.1 圆锥工具 339 gY`Nr!O 16.3.2 波前问题 341 |ZU#IQVQfn 16.4 参考文献 343 'nK~'PZ, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
wAbp3h X 17.1 引言 345 |ia@,*KD 17.2 操作数 345 ;^l_i4A 18 如何在Function中编写脚本 351 fo\\o4Qyh 18.1 简介 351 yZSvn[f 18.2 什么是脚本? 351 2w?G.pO# 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 GH'O!} 18.4 基础 352 vW' 5` % 18.4.1 Classes(类别) 352 "E*8h/4u 18.4.2 对象 352 |0{ i9.= 18.4.3 信息(Messages) 352 '=} Y2?( 18.4.4 属性 352 !Y;<:zx5 18.4.5 方法 353
U
5`y 18.4.6 变量声明 353 ?gV'(3
! 18.5 创建对象 354 b?kPN:U#N/ 18.5.1 创建对象函数 355 ~Sy-gaJ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 qmmv7== 18.5.3 丢弃对象 356 |*Ot/TvG 18.5.4 总结 356 6b:DJ 18.6 脚本中的表格 357 p
q-!WQ 18.6.1 方法1 357 Kj*m r%IaU 18.6.2 方法2 357 N4 [E~- 18.7 2D Plots in Scripts 358 I$N7pobh 18.8 3D Plots in Scripts 359 v`{:~q* 18.9 注释 360 GhnE>d;i 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 R @r{ 18.11 一个更高级的脚本 362 ?^3B3qqh9 18.12 <esc>键 364 "2h5m4 18.13 包含文件 365 *d
l"wH& 18.14 脚本被优化调用 366 5fHYc0 18.15 脚本中的对话框 368 Zd>ZY,-5 18.15.1 介绍 368 `=!p$hg($ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 rrQ0qg 18.15.3 输入框函数 370 `I>], J/ 18.15.4 自定义对话框 371 6=>7M
b$ 18.15.5 对话框编辑器 371 w67xl 18.15.6 控制对话框 377 *4#on> 18.15.7 更高级的对话框 380 3%NE/lw1 18.16 Types语句 384 onzA7Gre 18.17 打开文件 385 >5i ?JUZ 18.18 Bags 387 DyI2Ye 18.13 进一步研究 388 yQS04Bl] 19 vStack 389 , ;'SVe% 19.1 vStack基本原理 389 0=m&^Jpp 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 -IvL+}K 19.3 五棱镜 393 ry,}F@P& 19.4 光束距离 396 z1vni'%J 19.5 误差 399 S 1ibw \' 19.6 二向分色棱镜 399 'aPCb`^;w 19.7 偏振泄漏 404 --/-D5 19.8 波前误差—相位 405 m9g^ -X 19.9 其它计算参数 405 /$OIlu 20 报表生成器 406 ^%zNa6BL 20.1 入门 406 Fhi5LhWe+. 20.2 指令(Instructions) 406 aa=b<Cd 20.3 页面布局指令 406 <W|1<=z( 20.4 常见的参数图和三维图 407 !'PlDGD 20.5 表格中的常见参数 408 ~mcZUiP9 20.6 迭代指令 408 14u^[M"U 20.7 报表模版 408 y(a}IM3~ 20.8 开始设计一个报表模版 409 -t b;igv 21 一个新的project 413 'X ~Ab 21.1 创建一个新Job 414 3AP YO 21.2 默认设计 415 J]]\&MtaO 21.3 薄膜设计 416 ypT9 8 21.4 误差的灵敏度计算 420 67
O<*M 21.5 显色指数计算 422 QZYM9a> 21.6 电场分布 424 #[(0tc/ 后记 426 (o{)>D 有兴趣可以和我联系 z{V8@q/ ,|QU] E
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