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F3uR:)4<M 内容简介 5@ c/,6l Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 xAlyik
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 < 7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 zt,Tda4Y <=O/_Iu( 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 i*ibx;s- 目录 [k<"@[8) Preface 1 4H
4W 内容简介 2 n{Ce%gy 目录 i s0D,n1x 1 引言 1 Ebk9[= 2 光学薄膜基础 2 M8Tj;ATr 2.1 一般规则 2 MZPXI{G 2.2 正交入射规则 3 Gz09#nFZk 2.3 斜入射规则 6 nrFuhW\r 2.4 精确计算 7 1VXyn\ 2.5 相干性 8 %5 [,U)X" 2.6 参考文献 10 nf%"7 y{dd 3 Essential Macleod的快速预览 10 >{/As][ 4 Essential Macleod的特点 32 3$ 'eDa[ 4.1 容量和局限性 33 {:@MBA34 4.2 程序在哪里? 33 \}:RG^*m 4.3 数据文件 35 *HC[LM 4.4 设计规则 35 [nYm-\M 4.5 材料数据库和资料库 37
n7EG%q6m+ 4.5.1材料损失 38 ^k#.;Q#4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &<Iyb}tA? 4.5.2 材料库 41 ='rSB.$Ctk 4.5.3导出材料数据 43 --D&a;CO} 4.6 常用单位 43 B me_# 4.7 插值和外推法 46 =P}BAJ 4.8 材料数据的平滑 50 hwD;1n 4.9 更多光学常数模型 54
xY_<D+OV 4.10 文档的一般编辑规则 55 UgqfO( 4.11 撤销和重做 56 r0Cc0TMdj 4.12 设计文档 57 %jBI*WzR 4.10.1 公式 58 N'5AU ( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 a ](Jc) 4.10.3 沉积密度 59 I38j[Xk 4.10.4 平行和楔形介质 60 {.HFB:<!} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 F]qX} 4.10.4 性能 61 Q$`u=-h| 4.10.5 保存设计和性能 64 'B"A*!"b 4.10.6 默认设计 64 -O~V4004 4.11 图表 64 s:p6oEQ=J 4.11.1 合并曲线图 67 BH;7CK=7R 4.11.2 自适应绘制 68 |Q|vCWel{ 4.11.3 动态绘图 68 M~!DQ1u 4.11.4 3D绘图 69 |0wHNRN_ 4.12 导入和导出 73 6he (v 4.12.1 剪贴板 73 C@P4}X0,= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 g!![%*'
b 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 <T^:`p/]4 4.13 背景 77 hQFF%xl 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 *LA2@9l 4.15 生成Rugate 84 E0lro+'lS 4.16 参考文献 91 bMCy=5 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <H]1 6 5.1 Jobs 92 _+0QQ{'N 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8am/5o 5.3 输入材料 94 sI,S(VWor 5.4 设计数据文件夹 95 {=Y3[ 5.5 默认设计 95 /4xp?Lo: 6 细化和合成 97 6xC$R q 6.1 优化介绍 97 sM _m 6.2 细化 (Refinement) 98 .ou#BWav/ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^1}Y=!& 6.4 目标和评价函数 101 -~HyzX\cZB 6.4.1 目标输入 102 ;zpSyyp@ 6.4.2 目标 103 $%GW~|S\C 6.4.3 特殊的评价函数 104 z>&|:VGG 6.5 层锁定和连接 104 jb'AOs 6.6 细化技术 104 q\I2lZ 6.6.1 单纯形 105 L2WH-XP= 6.6.1.1 单纯形参数 106 +<TnE+>j 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^6?)EM# 6.6.2.1 Optimac参数 108 I5$]{:L|9 6.6.3 模拟退火算法 109 ]A#K;AW{U 6.6.3.1 模拟退火参数 109 [m+):q^ 6.6.4 共轭梯度 111 FVo_=O) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <q<kqy5s-R 6.6.5 拟牛顿法 112 MmL)CT 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &}+^*X 6.6.6 针合成 113 &}."sGK 6.6.6.1 针合成参数 114 1 Vq)& N 6.6.7 差分进化 114 +m+v1(@ 6.6.8非局部细化 115 5;4bZ3e,0 6.6.8.1非局部细化参数 115 6
h%%? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 !o{>[ 6.7.1 细化 116 AzlZe\V?)~ 6.7.2 合成 117 qTV;L- 6.8 参考文献 117 ] l@Mo7|w 7 导纳图及其他工具 118 gOSFvH8FU 7.1 简介 118 D>>?8a 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 GyP.;$NHa[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 jSKhWxL;' 7.2.2 导纳图 120 LagHzCB 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 NW
AT" 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +C8yzMN\ 7.5 斜入射导纳图 141 EW}7T3g 7.6 对称周期 141 NJqjW 7.7 参考文献 142 4IUdlb 8 典型的镀膜实例 143 \(g/::| 8.1 单层抗反射薄膜 145 *l9Wj$vja 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M&q3xo"w 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #UYrSM@u 8.4 W-膜层 148 s ~Xa=_+D 8.5 V-膜层 149 :@=;WB*0 8.6 V-膜层高折射基底 150 k __MYb 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 }s>.Fh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A&8{0 8.9 四层抗反射薄膜 153 {<J(*K*\Jo 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 'Io2",~
M 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }r _d{nhi 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 *41
2)zEy 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 EH2a 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [)S7`K; 8.15十五层宽带抗反射膜 159 gfU@`A_N" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 5+yT{,(5 8.17 1/4波长堆栈 162 -]$=.0 l 8.18 陷波滤波器 163 6U!zc]> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 qy$1+>f1 8.20 褶皱 165 <^v-y)%N:A 8.21 消偏振分光器1 169 }]K^b1Fs5 8.22 消偏振分光器2 171 g6V>_| 8.23 消偏振立体分光器 172 {S*:pG:+q 8.24 消偏振截止滤光片 173 '}pe$= 8.25 立体偏振分束器1 174 7~H.\4HB 8.26 立方偏振分束器2 177 <JkmJ/X 8.27 相位延迟器 178 Q(0eq_X|6 8.28 红外截止器 179 zh60b{ 8.29 21层长波带通滤波器 180 [e.@Yx_} 8.30 49层长波带通滤波器 181 Hi5}s
8.31 55层短波带通滤波器 182 W%,h{ 8.32 47 红外截止器 183 E!SxO~ 8.33 宽带通滤波器 184 3H_%2V6#V1 8.34 诱导透射滤波器 186 miv)R 8.35 诱导透射滤波器2 188 g$a
5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 l+n0=^ Z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~d\>f 8.35 增益平坦滤波器 193 Sb,lY<= 8.38 啁啾反射镜 1 196 @+EO3-X5 8.39 啁啾反射镜2 198 {DVu* %| 8.40 啁啾反射镜3 199 #qPWJ 8.41 带保护层的铝膜层 200 UX!)\5- 8.42 增加铝反射率膜 201 PEIf)**0N 8.43 参考文献 202 s^6"qhTa 9 多层膜 204 oe,37xa4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 gT8% ?U: 9.2 内部透过率 204 -!JnyD 9.3 内部透射率数据 205 3g''j7 9.4 实例 206 ?V>{3 9.5 实例2 210 8*[Q{:'. 9.6 圆锥和带宽计算 212 =xX)2h 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =(%+S<} 10 光学薄膜的颜色 216 }+3v5Nz; 10.1 导言 216 s?-J`k~q 10.2 色彩 216 4qe!+!#$ 10.3 主波长和纯度 220 Zwm2T3@e 10.4 色相和纯度 221 SRfnT?u6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 B33H,e) 10.6 色差 226 sPoH12?AL 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 KB6'sj 10.8 颜色渲染指数 234 cq-UVk"Gl 10.9 色差计算 235 6Q}WX[| tQ 10.10 参考文献 236 /QT"5fxKJ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 S{. G=O 11.1 短脉冲 238 ^9wQl!e
ob 11.2 群速度 239 z:a%kZQ!0 11.3 群速度色散 241 ;E0aTV)Zp 11.4 啁啾(chirped) 245 [flx/E 11.5 光学薄膜—相变 245 C_q@ixF{ 11.6 群延迟和延迟色散 246 n(.U>_
P 11.7 色度色散 246
,]* MI" 11.8 色散补偿 249 p#DJow 11.9 空间光线偏移 256 s4uYp 11.10 参考文献 258 p;k7\7 12 公差与误差 260 XA4miQn& 12.1 蒙特卡罗模型 260 :i8B'|DN5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 LRa^x44 12.2.1 误差工具 267 cQOc^W 12.2.2 灵敏度工具 271 F\U^-/0, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 y)%CNH)*x 12.2.2.2 灵敏度分布 275 hJsYKd8g 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;kv/(veQ1< 12.3 参考文献 276 ;{% R[M' 13 Runsheet 与Simulator 277 x.ZW%P1 13.1 原理介绍 277 QW[
gDc 13.2 截止滤光片设计 277 \n}@}E L 14 光学常数提取 289 &Bfgvws; 14.1 介绍 289 Aq~}<qkIF+ 14.2 电介质薄膜 289 `N.^+Mvx- 14.3 n 和k 的提取工具 295 $ &III 14.4 基底的参数提取 302 ZT'VF~ 14.5 金属的参数提取 306 )CAEqP
14.6 不正确的模型 306 ~EJ+<[/ 14.7 参考文献 311 YB&b_On,f 15 反演工程 313 |MEu"pY) 15.1 随机性和系统性 313 :l/?cV; 15.2 常见的系统性问题 314 Z'F=Xw6;b 15.3 单层膜 314 P
g{/tMY 15.4 多层膜 314 qY^@^)b[ 15.5 含义 319 C 7e 15.6 反演工程实例 319 <!m'xOD 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :1/K$A)^{ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !Ic{lB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 k.MAX8 16.1 光学性质的热致偏移 329 W7 iml|WV0 16.2 应力工具 335 rr;p; 16.3 均匀性误差 339 +&j |