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?Z %: 内容简介 es.CLkuD7Y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 aSaAC7sFk 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 4\ $3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 b^V'BC3 k{Lv37H 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 hol<dB 目录 ZykrQ\q9 Preface 1 9zKBO* p` 内容简介 2 |w)5;uQ&\ 目录 i g@nk.aRw 1 引言 1 4L:>4X[T 2 光学薄膜基础 2 <O857j 2.1 一般规则 2 |'hLa 2.2 正交入射规则 3 FRyPeZR 2.3 斜入射规则 6 k
'zat3#f 2.4 精确计算 7 f{Q p 2.5 相干性 8 z: G}>fk5 2.6 参考文献 10 T |"`8mG 3 Essential Macleod的快速预览 10 juno.$
6 4 Essential Macleod的特点 32 `bP?o 4.1 容量和局限性 33 C|e+0aW 4.2 程序在哪里? 33 |XcH]7Ai" 4.3 数据文件 35 &IQ%\W#aY 4.4 设计规则 35 g6' !v 4.5 材料数据库和资料库 37 #\FT EY! 4.5.1材料损失 38 *6*-WV6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 TgaYt\"i[ 4.5.2 材料库 41 Pz~q%J 4.5.3导出材料数据 43 wGXwzU 4.6 常用单位 43 R^{xwI 4.7 插值和外推法 46 9m!7|(QV 4.8 材料数据的平滑 50 QrS$P09=\ 4.9 更多光学常数模型 54 ~iTxv_\=6u 4.10 文档的一般编辑规则 55 3V-6)V{KaE 4.11 撤销和重做 56 :EB,{|m 4.12 设计文档 57 )/%S=c 4.10.1 公式 58 ~mA7pOHj 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 do'ORcZ 4.10.3 沉积密度 59 s-6:N9- 4.10.4 平行和楔形介质 60 k^*$^;z 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 YBylyVZ 4.10.4 性能 61 {%7<" 4.10.5 保存设计和性能 64 _t.FL@3e 4.10.6 默认设计 64 A'g,:8Ou 4.11 图表 64 SfDQ;1? 4.11.1 合并曲线图 67 OOLe[P3J3 4.11.2 自适应绘制 68 "L_-}BK 4.11.3 动态绘图 68 nEVbfNo0 4.11.4 3D绘图 69 84Zgo=P} 4.12 导入和导出 73 M:|/ijpN 4.12.1 剪贴板 73 /co%:}ln 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #WEq-0L 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *gSO&O= 4.13 背景 77 K -E`y 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 d
Uz<1^L 4.15 生成Rugate 84 1ZNNsB 4.16 参考文献 91 ysth{[<5F3 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Xu%d,T$G 5.1 Jobs 92 k`@w(HhS 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jZ#UUnR% 5.3 输入材料 94 {G.jB/ 5.4 设计数据文件夹 95 u:5IjOb2^ 5.5 默认设计 95 sY^lQN 6 细化和合成 97 *H*\gaSh 6.1 优化介绍 97 UT;4U;a,m 6.2 细化 (Refinement) 98 qb$_xIQpDL 6.3 合成 (Synthesis) 100 lPp6
pVr 6.4 目标和评价函数 101 @ RX`> r{_ 6.4.1 目标输入 102 J!<#Nc 6.4.2 目标 103 :B^mV{~
6.4.3 特殊的评价函数 104 Q
3X
6.5 层锁定和连接 104 4tnjXP8 6.6 细化技术 104 :p$EiR 6.6.1 单纯形 105 TK %<a/ 6.6.1.1 单纯形参数 106 &%:*\_2s 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 -fQX4'3R 6.6.2.1 Optimac参数 108 xXPUrv5zO 6.6.3 模拟退火算法 109 g
z`*|h 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `{L{wJ:&a 6.6.4 共轭梯度 111 #{~7G%GPY5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9b%|^.B 6.6.5 拟牛顿法 112 q xSs
~Qc 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 wO!%
q[ 6.6.6 针合成 113 \gP. \ 6.6.6.1 针合成参数 114 /Mx.:.A&$ 6.6.7 差分进化 114 )O -cw7 > 6.6.8非局部细化 115 } bCK 6.6.8.1非局部细化参数 115 uZ<%kV1B 6.7 我应该使用哪种技术? 116 W/a,.M 6.7.1 细化 116 ~}9Bn)@ 6.7.2 合成 117 F'ENq6 6.8 参考文献 117 G V=OKf# 7 导纳图及其他工具 118 b_ZNI0Hp@ 7.1 简介 118 XK3!V|y` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ]'6'<S 7.2.1 四分之一波长规则 119 R@OSqEnr 7.2.2 导纳图 120 A$N+9n\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ]qMH=>pOsj 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 OMi02tSm 7.5 斜入射导纳图 141 qz87iJp& 7.6 对称周期 141 /Go>5B> 7.7 参考文献 142 niQ+EAD 8 典型的镀膜实例 143 L1rAT 8.1 单层抗反射薄膜 145 /!-J53K 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |;~nI'0O]) 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _Ws#UL+Nq 8.4 W-膜层 148 *b:u*`@ 8.5 V-膜层 149 b24di 8.6 V-膜层高折射基底 150 L2<+#O# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @OY1`EuO 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ['?^>jfr 8.9 四层抗反射薄膜 153 t z"5+uuu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 A%P 8c 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Z~:/#?/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 T<XfZZ)l<` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :wSJ-\'$ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,RR;VKj 8.15十五层宽带抗反射膜 159 f!mE1,eBEe 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 F:M/z#:~ 8.17 1/4波长堆栈 162 Z4\tY^NI 8.18 陷波滤波器 163 4bPqmEE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 prqyoCfq 8.20 褶皱 165 QN3qF|)) 8.21 消偏振分光器1 169 bG"6pU 8.22 消偏振分光器2 171 Tw}@+- 8.23 消偏振立体分光器 172 :a=ro2NH 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?<Z)*CF) 8.25 立体偏振分束器1 174 vwm|I7/w 8.26 立方偏振分束器2 177 5Ws5X_?d 8.27 相位延迟器 178 fYb KmB 8.28 红外截止器 179 )\RzE[Cb 8.29 21层长波带通滤波器 180 Av@&hD\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 tN[St 8.31 55层短波带通滤波器 182 yB
1I53E 8.32 47 红外截止器 183 ^8b~ZX 8.33 宽带通滤波器 184 sWp{Y. 8.34 诱导透射滤波器 186 G% o7BX 8.35 诱导透射滤波器2 188 %uh R'8" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0W;q!H[G 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 mgk64}K [n 8.35 增益平坦滤波器 193 qw6EP C 8.38 啁啾反射镜 1 196 )lQN)!.) 8.39 啁啾反射镜2 198 "9)1K!tH 8.40 啁啾反射镜3 199
n'! -Pv 8.41 带保护层的铝膜层 200 <m~T>Ql1 8.42 增加铝反射率膜 201 jQY>9+t 8.43 参考文献 202 "1_{c *ck 9 多层膜 204 /;zZnF\e 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 :yd=No@ 9.2 内部透过率 204 <+ -V5O^ 9.3 内部透射率数据 205 eL>K2Jxq 9.4 实例 206 j7QBU 9.5 实例2 210 qPp1:a" 9.6 圆锥和带宽计算 212 w g$D@E7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 dVasm<lZ 10 光学薄膜的颜色 216 Kh>?!`lL 10.1 导言 216 J&
1X 10.2 色彩 216 _K
4eD. 10.3 主波长和纯度 220 }".\
4B$n 10.4 色相和纯度 221 l*~"5f03 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Na~g*)uT$ 10.6 色差 226 d,Hf-zJ%~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 OI)&vQ5k 10.8 颜色渲染指数 234 >:3xi{ 10.9 色差计算 235 \W3+VG2cA 10.10 参考文献 236 oA(. vr 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 i n[n Aa 11.1 短脉冲 238 fs]#/* RR 11.2 群速度 239 '?&B5C 11.3 群速度色散 241 *O"%tp6 11.4 啁啾(chirped) 245 rU/-Wq`B 11.5 光学薄膜—相变 245 E#yCcC!wMY 11.6 群延迟和延迟色散 246 MsN2A6|33 11.7 色度色散 246 MAsWds`bpB 11.8 色散补偿 249 HV]~=Bw2I 11.9 空间光线偏移 256 7AZ5%o 11.10 参考文献 258 k@'?"CP\Xq 12 公差与误差 260 aRFi0h
\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 A5 &>!y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =Bcux8wA#6 12.2.1 误差工具 267 eukX#0/^ 12.2.2 灵敏度工具 271 r< d? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 (H|%?F;{l 12.2.2.2 灵敏度分布 275 fS;m+ D!j@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &4ug3 12.3 参考文献 276 17MN8SfQ 13 Runsheet 与Simulator 277 f ~n' Ki+' 13.1 原理介绍 277 Y/?DSo4G 13.2 截止滤光片设计 277 Y{x[N}h 14 光学常数提取 289 .#:@cP~v 14.1 介绍 289 :Su 5 14.2 电介质薄膜 289 `Gy>tD.#V- 14.3 n 和k 的提取工具 295 ~m,mvRS 14.4 基底的参数提取 302 UgOGBj,&5W 14.5 金属的参数提取 306 'ugR!o1 14.6 不正确的模型 306 K-g=td/@ 14.7 参考文献 311 \kua9bK 15 反演工程 313 rm7*l<v6 15.1 随机性和系统性 313 VfJX<e=k 15.2 常见的系统性问题 314 ;DT"S{"7 15.3 单层膜 314 ThT.iD[ 15.4 多层膜 314 RPScP 15.5 含义 319 |r<.R> 15.6 反演工程实例 319 UC?2mdLt^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #U6/@l) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 r`mzsO-' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 o$qFa9|Ec? 16.1 光学性质的热致偏移 329 (>)+;$Dr,\ 16.2 应力工具 335 .PA?N{z 16.3 均匀性误差 339 n]6w)wE( 16.3.1 圆锥工具 339 b{yH4)O 16.3.2 波前问题 341 @eG#%6"> 16.4 参考文献 343 ;1(qGy4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 `"bRjC"f] 17.1 引言 345 !Cv<>_N). 17.2 操作数 345 Nt,]00S\w 18 如何在Function中编写脚本 351 /M{)k_V 18.1 简介 351 CM@"lV_ 18.2 什么是脚本? 351 s>"WQ|;6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 n=#[Mi $Y 18.4 基础 352 st1M.} 18.4.1 Classes(类别) 352 XQJV.SVS 18.4.2 对象 352 sov62wuqU 18.4.3 信息(Messages) 352 ua. 6?W) 18.4.4 属性 352 .,iw2: 18.4.5 方法 353 #!F8n` C- 18.4.6 变量声明 353 JqH.QnKcv 18.5 创建对象 354 )Sh;UW 18.5.1 创建对象函数 355 @?($j)9} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 S+E3;' H 18.5.3 丢弃对象 356 k%bTs+]* 18.5.4 总结 356 iR4,$Nn> 18.6 脚本中的表格 357 a}+_Yo(Q 18.6.1 方法1 357 9BgQoK@ 18.6.2 方法2 357 Xb07 l3UG 18.7 2D Plots in Scripts 358
,"HpV 18.8 3D Plots in Scripts 359 >=RHE@ 18.9 注释 360 xX67bswG 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 h^3Vd K, 18.11 一个更高级的脚本 362 X#\P.$ 18.12 <esc>键 364 EWvid4QEi 18.13 包含文件 365 W1M/Z[h6)5 18.14 脚本被优化调用 366 BRQ5 18.15 脚本中的对话框 368 9"l%tq_ 18.15.1 介绍 368 s t 3]Yy 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !un"XI0`t< 18.15.3 输入框函数 370 {UjIxV(J 18.15.4 自定义对话框 371 NIcNL(] 18.15.5 对话框编辑器 371 5Qe}v 18.15.6 控制对话框 377 ,\">o vV33 18.15.7 更高级的对话框 380 hrtN.4p[ 18.16 Types语句 384 !&<Wc^PG 18.17 打开文件 385 HoQ(1e$G- 18.18 Bags 387 DyV[+P 18.13 进一步研究 388 #on fac- 3 19 vStack 389 {~
vPq 19.1 vStack基本原理 389 (>/Dw|,m 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 +r34\mAO 19.3 五棱镜 393 #
v/aI*Rl 19.4 光束距离 396 ]&%X(jWyn 19.5 误差 399 W71#NjM2Z 19.6 二向分色棱镜 399 :r[-7
[/ 19.7 偏振泄漏 404 FV<^q|K/(] 19.8 波前误差—相位 405 |@uhq>& 19.9 其它计算参数 405 fTnyCaB 20 报表生成器 406 sZ(Q4)r
20.1 入门 406 N/SB}Fj 20.2 指令(Instructions) 406 $[9V'K 20.3 页面布局指令 406 MZ#2WP)F 20.4 常见的参数图和三维图 407 a>e
1jM[ 20.5 表格中的常见参数 408 r:b.>5CS) 20.6 迭代指令 408 UmHb-uk ; 20.7 报表模版 408 ^*T{-U' 20.8 开始设计一个报表模版 409 XcW3IO 21 一个新的project 413 O#ajoE
21.1 创建一个新Job 414 [}B{e=`! 21.2 默认设计 415 !N2 n@bo 21.3 薄膜设计 416 Pxuz { 21.4 误差的灵敏度计算 420 qv >( 21.5 显色指数计算 422 Bk(XJAjY 21.6 电场分布 424 \y+F!;IxL 后记 426 vt7C 有兴趣可以和我联系 ErUk>V }z%/6`7)|
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