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[RGC!}"mr 内容简介 Mo:!jS~a(Z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <=5,(a5g 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 v%69]a-T 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 bv:0EdVr 7$Z)fkx. 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 )sqp7["- 目录 S20 nk.x Preface 1 42b=z//; 内容简介 2 X-*KQ+? 目录 i 14@q $}sf 1 引言 1 A$H+4L 2 光学薄膜基础 2 #2ZrdD"5kQ 2.1 一般规则 2 MIk #60Ab 2.2 正交入射规则 3 6I5[^fv45G 2.3 斜入射规则 6 gnKU\>2k 2.4 精确计算 7 WNF=NNO-R 2.5 相干性 8 W[jW;uk 2.6 参考文献 10 ?-(w][MT\ 3 Essential Macleod的快速预览 10 .5Z,SGBf 4 Essential Macleod的特点 32 5W:Gl?$S} 4.1 容量和局限性 33 3Aqe;Wf9%+ 4.2 程序在哪里? 33 fmZzBZ_ 4.3 数据文件 35 M rH%hRV6R 4.4 设计规则 35 H;b'"./ 4.5 材料数据库和资料库 37 $Nt]${0 4.5.1材料损失 38 ~PH1|h6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 L&3Ar' 4.5.2 材料库 41 n'x`oI)- 4.5.3导出材料数据 43 g O\f:Pg 4.6 常用单位 43 ;k63RNT,M& 4.7 插值和外推法 46 ^~YmLI4 4.8 材料数据的平滑 50 ~NxoF 4.9 更多光学常数模型 54 q)z1</B- 4.10 文档的一般编辑规则 55 v0H>iKh7 4.11 撤销和重做 56 6"rFfdns 4.12 设计文档 57 !kHyLEV 4.10.1 公式 58 c-3Y SrY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 b/D9P~cE 4.10.3 沉积密度 59 :+Z>nHe 4.10.4 平行和楔形介质 60 ?G%, k
LJJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 644hQW&W 4.10.4 性能 61 [u9S+:7" 4.10.5 保存设计和性能 64 ,uqbS 4.10.6 默认设计 64 rTH[?mkf4 4.11 图表 64 m;tY(kO 4.11.1 合并曲线图 67 9{]r+z: 4.11.2 自适应绘制 68 Ig?.*j ] 4.11.3 动态绘图 68 vI:bl~ 4.11.4 3D绘图 69 H?/cG_^y0 4.12 导入和导出 73 H $qdU!c 4.12.1 剪贴板 73 6Kv}2M')+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &oK/]lub 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 2dV\=vd 4.13 背景 77 \SH D 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 n9-q5X^e> 4.15 生成Rugate 84 w]+BBGYQKb 4.16 参考文献 91 ;6&=]I 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 OD@@O9 5.1 Jobs 92 iR}i42Cu 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,ex(pmZ; 5.3 输入材料 94 E*!zJ,@8 5.4 设计数据文件夹 95 h+'eFAZ 5.5 默认设计 95 p6eDd"Y 6 细化和合成 97 }RP 9%n^ 6.1 优化介绍 97 5\*wX.wp 6.2 细化 (Refinement) 98 1-Wnc'(OK 6.3 合成 (Synthesis) 100 :Ro"
0/d 6.4 目标和评价函数 101 %>z8:oJ 6.4.1 目标输入 102 m*Lv,yw %a 6.4.2 目标 103 IkXKt8`YVA 6.4.3 特殊的评价函数 104 .1? i'8TF 6.5 层锁定和连接 104 aBtfZDCfzp 6.6 细化技术 104 /Geks/ 6.6.1 单纯形 105 TAXkfj 6.6.1.1 单纯形参数 106 R;-FZ@u/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 z&yb_A:> 6.6.2.1 Optimac参数 108 p$!+2=)gY 6.6.3 模拟退火算法 109 DSG +TA" 6.6.3.1 模拟退火参数 109 v.^
'x 6.6.4 共轭梯度 111 q!h*3mNm 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 17[t_T&Ak9 6.6.5 拟牛顿法 112 &+r
;> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Px?At5 6.6.6 针合成 113 AYQh=$)( 6.6.6.1 针合成参数 114 \S@=zII_ 6.6.7 差分进化 114 `::(jW.KO 6.6.8非局部细化 115 yLa5tv/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,["|wqM 6.7 我应该使用哪种技术? 116 SIBIh- L 6.7.1 细化 116 -0J<R;cVs 6.7.2 合成 117 {c
EKz\RX 6.8 参考文献 117 nF
y7gA| 7 导纳图及其他工具 118 uM!r|X)8 7.1 简介 118 Ue\oIi 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :x5o3xE 7.2.1 四分之一波长规则 119 cM'[;u 7.2.2 导纳图 120 % |Gzht\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mbG^fy' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 AeQ&V d| 7.5 斜入射导纳图 141 N*)8L[7_; 7.6 对称周期 141 IhKas4 7.7 参考文献 142 o6yZ@R 8 典型的镀膜实例 143 ]X;*\- 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~322dG 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 T[9jTO?W2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %Bu n@ 8.4 W-膜层 148 yW,#&>]# | 8.5 V-膜层 149 KdQ|$t 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^WYG?/{4 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 v@1Jhns 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^|12~d_.T 8.9 四层抗反射薄膜 153 {.8)gVBmA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 uC ;PP=z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8i$`oMv[y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 b0CaoSWo 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [B;Ek\ 5W 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 I8wVvs;k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1UWgOCc 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 [#fqyg 8.17 1/4波长堆栈 162 Y `p&*O 8.18 陷波滤波器 163 QL!+.y% 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :h dh$}y 8.20 褶皱 165 T{xo_u{Q 8.21 消偏振分光器1 169 BQmafpp` 8.22 消偏振分光器2 171 DMpd(ws 8.23 消偏振立体分光器 172 BJ2W}R 8.24 消偏振截止滤光片 173 l]=$< 8.25 立体偏振分束器1 174 s|`)' 8.26 立方偏振分束器2 177 otVdx&%] 8.27 相位延迟器 178 `5jB|r/ 8.28 红外截止器 179 6y!?xot 8.29 21层长波带通滤波器 180 0s[3:bZ\Ia 8.30 49层长波带通滤波器 181 >V=@[B(0 8.31 55层短波带通滤波器 182 }n8;A;axi 8.32 47 红外截止器 183 dV*rnpN 8.33 宽带通滤波器 184 eC:Q)%$%l 8.34 诱导透射滤波器 186 &8L\FAY0%9 8.35 诱导透射滤波器2 188 m|gd9m$,? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 nezbmpL4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _jKVA6_E 8.35 增益平坦滤波器 193 n,LKkOG 8.38 啁啾反射镜 1 196 JNCtsfd 8.39 啁啾反射镜2 198 epyYo&x} 8.40 啁啾反射镜3 199 eV}Tx;1|} 8.41 带保护层的铝膜层 200 -%$
dFq 8.42 增加铝反射率膜 201 \>azY
g 8.43 参考文献 202 t O;W?g 9 多层膜 204 `;GGuJb \ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,QAp5I%3= 9.2 内部透过率 204 r}Av" 9.3 内部透射率数据 205 T<GD !j( 9.4 实例 206 mQuaO#
I, 9.5 实例2 210 4'|:SyOm 9.6 圆锥和带宽计算 212 "$YLU}S9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 1D DOUV
10 光学薄膜的颜色 216 HKw4}FC* 10.1 导言 216 BVeNK=7m% 10.2 色彩 216 SXF_)1QO\W 10.3 主波长和纯度 220 sUMn
(@r 10.4 色相和纯度 221 '~a$f;: Dv 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 M&-/&>n! 10.6 色差 226 j"8N)la 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >:|q J$J. 10.8 颜色渲染指数 234 be@uHikp;v 10.9 色差计算 235 E.9k%%X] 10.10 参考文献 236 =LA@E&,j 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zt}p-U2I 11.1 短脉冲 238 j)*nE./3 11.2 群速度 239 )uWNN" 11.3 群速度色散 241 T+!kRigN~P 11.4 啁啾(chirped) 245 ?QVI'R:Z? 11.5 光学薄膜—相变 245 pSUp"wch 11.6 群延迟和延迟色散 246 OUMr}~/ 11.7 色度色散 246 JFdzA 11.8 色散补偿 249 M lwQ_5O 11.9 空间光线偏移 256 ! .}{
f;Ls 11.10 参考文献 258 4tWI)}+ak 12 公差与误差 260 Fowh3go 12.1 蒙特卡罗模型 260 Xpwom' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 5)6%D 12.2.1 误差工具 267 Z8UM0B=i 12.2.2 灵敏度工具 271 4VgDN(n0@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 NE"fyX` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 G$<0_0GF 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 gvYs<,: 12.3 参考文献 276 `;@4f|N9 13 Runsheet 与Simulator 277 INpub5 13.1 原理介绍 277 LcF3P
4 13.2 截止滤光片设计 277 OK(d& 14 光学常数提取 289 ,iUx'U 14.1 介绍 289 TaG-^bX8B 14.2 电介质薄膜 289 CVp<SS( 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?Pc3*. 14.4 基底的参数提取 302 #CmBgxg+M 14.5 金属的参数提取 306 "dTXT 14.6 不正确的模型 306 YZ@-0_Z 14.7 参考文献 311 U)8]pUI+/P 15 反演工程 313 l-EQh*!j 15.1 随机性和系统性 313 lsCh K 15.2 常见的系统性问题 314 5;Xrf= 15.3 单层膜 314 =oJiNM5_u 15.4 多层膜 314 4uA^/]ygo 15.5 含义 319
jfamuu 7 15.6 反演工程实例 319 <&iBR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 RkzBn 15.6.2 反演工程提取折射率 327 UepBXt3) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ZbUf|#GTB 16.1 光学性质的热致偏移 329 KHtY
+93 16.2 应力工具 335 K-3 _4As 16.3 均匀性误差 339 RSC-+c6 1 16.3.1 圆锥工具 339 =d}3>YHS 16.3.2 波前问题 341 TZg7BLfy 16.4 参考文献 343 $(U|JR@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 $!Tw`O 17.1 引言 345 {,=,0NQKn 17.2 操作数 345 L8ke*O$ 18 如何在Function中编写脚本 351 .2xkf@OP 18.1 简介 351 l.$#IE 18.2 什么是脚本? 351 L_,U*Jyo 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 c^y 1s* 18.4 基础 352 E3!twR*Aw 18.4.1 Classes(类别) 352 ,e2va7}3 18.4.2 对象 352 CCV~nf 18.4.3 信息(Messages) 352 }|,y`ui\ 18.4.4 属性 352 ^> fs 18.4.5 方法 353 c3##:"wr 18.4.6 变量声明 353 g%trGW3{- 18.5 创建对象 354 /eQn$ZRP, 18.5.1 创建对象函数 355 jxvVp*-=<j 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5oS\uX| 18.5.3 丢弃对象 356 eAMT7 2_ 18.5.4 总结 356 ,"o\_{<z 18.6 脚本中的表格 357 il~,y8WTU{ 18.6.1 方法1 357 lS^0*(Y 18.6.2 方法2 357 o9i\[Ul 18.7 2D Plots in Scripts 358 OjZ@_V: 18.8 3D Plots in Scripts 359 N2>JG]G 18.9 注释 360 )c/]
8KU 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 RulIzv 18.11 一个更高级的脚本 362 rAKdf?? 18.12 <esc>键 364 hlRE\YO&8R 18.13 包含文件 365 ;QYK {3R? 18.14 脚本被优化调用 366
cO:x{~ 18.15 脚本中的对话框 368 jJ|;Nwm<[ 18.15.1 介绍 368 ]NCOi?Odx 18.15.2 消息框-MsgBox 368 art{PV4- 18.15.3 输入框函数 370 }MNm>3 18.15.4 自定义对话框 371 K_i2%t3 18.15.5 对话框编辑器 371 \cG'3\GI 18.15.6 控制对话框 377 ]l%j>Vb!L 18.15.7 更高级的对话框 380 k{~5pxd-t 18.16 Types语句 384 8/:\iPk0 18.17 打开文件 385 "q$M\jK#V 18.18 Bags 387 U^xFqJY6 18.13 进一步研究 388 *XJSa 19 vStack 389 ]Uu/1TTf 19.1 vStack基本原理 389 y{&,YV&_h 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 D)Zv 19.3 五棱镜 393 L|<Mtw 19.4 光束距离 396 WCH>9Z>cj 19.5 误差 399 }^H_|;e1p 19.6 二向分色棱镜 399 Xy._&&pt 19.7 偏振泄漏 404 yZ`\.GgC^& 19.8 波前误差—相位 405 WI%,m~ 19.9 其它计算参数 405 .MKxHM7 20 报表生成器 406 1WU-gQki! 20.1 入门 406 ?^dyQhb 20.2 指令(Instructions) 406 4
QWHGh" 20.3 页面布局指令 406 [lf[J&}X 20.4 常见的参数图和三维图 407 5q\]] LV> 20.5 表格中的常见参数 408 DD1S]m 20.6 迭代指令 408 HkrNt/] 20.7 报表模版 408 !59q@Mya[ 20.8 开始设计一个报表模版 409 /O9z-!Jz 21 一个新的project 413 8=d9*lm 21.1 创建一个新Job 414 U-@\V1;C 21.2 默认设计 415 J? C"be= 21.3 薄膜设计 416 d/MMPge3 21.4 误差的灵敏度计算 420 k20tn
ew 21.5 显色指数计算 422 avQwbAh[ 21.6 电场分布 424 LVSJK.B 后记 426 '`S,d[~ 有兴趣可以和我联系 j:0z/gHp$ |q?A8@\u
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