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`4*I1WZW 内容简介 `bQ_eRw} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5Od%Jhtt 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [-\ Y?3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4o#]hB';ni k3bQ32() 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 B''yW{ 目录 r(r(&NU Preface 1 TKnWhB/J 内容简介 2 O?OAXPK2 目录 i ins(RWO 1 引言 1 3l=q@72 2 光学薄膜基础 2 cb_C2+%8NA 2.1 一般规则 2 )|*Qs${tF 2.2 正交入射规则 3 VgbNZ{qk@ 2.3 斜入射规则 6 llZU: bs 2.4 精确计算 7 hwGK),?"+ 2.5 相干性 8 eKr>>4,-P 2.6 参考文献 10 qe.QF."y 3 Essential Macleod的快速预览 10 \d"\7SA 4 Essential Macleod的特点 32 }sxs- 4.1 容量和局限性 33 (}b~}X9 4.2 程序在哪里? 33 o"JHB 4.3 数据文件 35 eV"%(<{ 4.4 设计规则 35 ?J2{6,}O*. 4.5 材料数据库和资料库 37 c=u+X`
Q 4.5.1材料损失 38 44e]sT.B 4.5.1材料数据库和导入材料 39 2E40& 4.5.2 材料库 41 =G}a%)?As\ 4.5.3导出材料数据 43 1NP 4.6 常用单位 43 Owf!dMA;nF 4.7 插值和外推法 46 cB,^?djJ3 4.8 材料数据的平滑 50 N[
=I 4.9 更多光学常数模型 54 8fqabR 4.10 文档的一般编辑规则 55 9i\}^ s2 4.11 撤销和重做 56 a[hF2/* 4.12 设计文档 57 F/2cQ.u2 4.10.1 公式 58 <4TI;yy6? 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 XEiVs\) G 4.10.3 沉积密度 59 uL)MbM] 4.10.4 平行和楔形介质 60 [6TI_U~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 tEL;,1 4.10.4 性能 61 PSc=k0D 4.10.5 保存设计和性能 64 6 :4GI 4.10.6 默认设计 64 oVw4M2!"K 4.11 图表 64 8
o}5QOW 4.11.1 合并曲线图 67 O
?T~>| 4.11.2 自适应绘制 68 }!^h2)'7 4.11.3 动态绘图 68 ])?dqgwa 4.11.4 3D绘图 69 Kvg=7o 4.12 导入和导出 73 k$v7@|Aw 4.12.1 剪贴板 73 F,_cci`p 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 DAq
H 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 q-t%spkl 4.13 背景 77 @zS/J,:v} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 G5qsnTxUJ 4.15 生成Rugate 84 '\{ OQH 4.16 参考文献 91 =-!jm? st* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 N,w6 5.1 Jobs 92 >*!T`P}p 5.2 创建一个新Job(工作) 93 :(enaHn#~ 5.3 输入材料 94 ScJ:F-@> 5.4 设计数据文件夹 95 *4~7p4[ 5.5 默认设计 95 {W?!tD43" 6 细化和合成 97 05ZYOs } 6.1 优化介绍 97 _dd_Z40R 6.2 细化 (Refinement) 98 V.3#O^S 6.3 合成 (Synthesis) 100 TJNE2 6.4 目标和评价函数 101 ]}SV%*{% 6.4.1 目标输入 102 7eq.UyUxs 6.4.2 目标 103 yHM29fEZk 6.4.3 特殊的评价函数 104 (NUXK 6.5 层锁定和连接 104 7h9oY<W 6.6 细化技术 104 NH/jkt&F[ 6.6.1 单纯形 105 T\wOGaCW 6.6.1.1 单纯形参数 106 _x5-!gK
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 R@WW@ Of 6.6.2.1 Optimac参数 108 a?Om;-i2`S 6.6.3 模拟退火算法 109 lJa-O 6.6.3.1 模拟退火参数 109 blz#M # 6.6.4 共轭梯度 111 E2
'Al6^C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =SJ[)| 6.6.5 拟牛顿法 112 @uC-dXA" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 w8o?wx* 6.6.6 针合成 113 a:|]F| 6.6.6.1 针合成参数 114 [9?]|4 6.6.7 差分进化 114 qjfv9sU 6.6.8非局部细化 115 9^SrOW6~ 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ypm*or 6.7 我应该使用哪种技术? 116 J'cE@(US 6.7.1 细化 116 .f!'>_ 6.7.2 合成 117 FIn)O-< 6.8 参考文献 117 k'$7RjCu 7 导纳图及其他工具 118 ~l+~MB 7.1 简介 118 ]Gl_L7u` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6:r1^q6A9L 7.2.1 四分之一波长规则 119 z"5e3w 7.2.2 导纳图 120 ,[m4+6G5 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 |q o3
E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 KJ?/]oLr0 7.5 斜入射导纳图 141 ^<yM0'0t 7.6 对称周期 141 'iYaA-9j 7.7 参考文献 142 [\HAJA, 8 典型的镀膜实例 143 *|+ ~V/# 8.1 单层抗反射薄膜 145 bv[*jr;45 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 t[%=[pJHW 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 g2
V $ 8.4 W-膜层 148 Rx<[bohio 8.5 V-膜层 149 >fR#U"KPAB 8.6 V-膜层高折射基底 150 0@f7`D 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *7Sg8\wDn 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 '9wD+'c=A 8.9 四层抗反射薄膜 153 `.6Jgfu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 BJ/#V) 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /=OSGIJzm 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 of<>M4/g4y 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Pb D|7IM 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 r52,f%nlm 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $PbN=@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 QQjMC' 8.17 1/4波长堆栈 162 OaxE3bDT 8.18 陷波滤波器 163 ( Gxv?\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ,v1-y
?kB 8.20 褶皱 165 dR/UXzrc 8.21 消偏振分光器1 169 0H.B>:pv 8.22 消偏振分光器2 171 o9HDxS$~^ 8.23 消偏振立体分光器 172 NU/~E"^I. 8.24 消偏振截止滤光片 173 o:Z*F0qm 8.25 立体偏振分束器1 174 7 -V_)FK2c 8.26 立方偏振分束器2 177 ]i]sgg[ 8.27 相位延迟器 178 Mz{ Rh+gS 8.28 红外截止器 179 ")M.p_b[Z= 8.29 21层长波带通滤波器 180 zck |jhJ6 8.30 49层长波带通滤波器 181 W%Zyt:H` 8.31 55层短波带通滤波器 182 PuABS>.; 8.32 47 红外截止器 183 &(^>}&XS.< 8.33 宽带通滤波器 184
vrW9<{ 8.34 诱导透射滤波器 186 m~NWY$oI9[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 7erao- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 R QO{fC 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 f&cG;Y
8.35 增益平坦滤波器 193 t@19a6:Co 8.38 啁啾反射镜 1 196 k~?}z.g( 8.39 啁啾反射镜2 198
3x9C] 8.40 啁啾反射镜3 199 M[*:=C)H 8.41 带保护层的铝膜层 200 a
m zw 8.42 增加铝反射率膜 201 +ow
^xiD 8.43 参考文献 202 ptq{$Y{_ 9 多层膜 204 O-2H!58$) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {:FITF3o 9.2 内部透过率 204 u!`C:C' 9.3 内部透射率数据 205 GRV9s9^ 9.4 实例 206 S@"=,Xj M 9.5 实例2 210 |95/'a* 9.6 圆锥和带宽计算 212 'IW+"o 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 FW.dHvNX 10 光学薄膜的颜色 216 Oc'z?6axWv 10.1 导言 216 &{=~)>h 10.2 色彩 216 %Z5k8 10.3 主波长和纯度 220 S+>]8ZY 10.4 色相和纯度 221 &s;%(c04A 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 E;d 5$ 10.6 色差 226 M2EN(Y_k0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7Y*m_AhxJ 10.8 颜色渲染指数 234 f8^58]wx0 10.9 色差计算 235 d=KOV;~); 10.10 参考文献 236 C[&&.w8Pm 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h{xERIV1u 11.1 短脉冲 238 dS&8R1\>1 11.2 群速度 239 G-^ccdT 11.3 群速度色散 241 yl ;'Ru: 11.4 啁啾(chirped) 245 C;)
xjZiR 11.5 光学薄膜—相变 245 .M{[J]H`t 11.6 群延迟和延迟色散 246 1DcarF 11.7 色度色散 246 .-Lqo=o\ 11.8 色散补偿 249 7h0'R k 11.9 空间光线偏移 256 -9*WQU9R 11.10 参考文献 258 2!otVz!Mh 12 公差与误差 260 Xbtv}g<0c 12.1 蒙特卡罗模型 260 >C}RZdO~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 >oNk(.
% 12.2.1 误差工具 267 Bw=[g&+o1@ 12.2.2 灵敏度工具 271 G!;[If:<e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 +=k|(8Js# 12.2.2.2 灵敏度分布 275 C|zH {.H 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U[D<%7f 12.3 参考文献 276 5#o,]tP 13 Runsheet 与Simulator 277 LI<5;oE; 13.1 原理介绍 277 .am*d|&+G 13.2 截止滤光片设计 277 WO9/rF_ 14 光学常数提取 289 5l}h8So4 14.1 介绍 289 bN&da
[K 14.2 电介质薄膜 289 K)@}Ok"#\4 14.3 n 和k 的提取工具 295 7:<Ed"rdE 14.4 基底的参数提取 302 U}0/V
c26 14.5 金属的参数提取 306 Wd5t,8*8 14.6 不正确的模型 306 8 vw]u_e 14.7 参考文献 311 T_Y }1n|7[ 15 反演工程 313 ^e,RM_. 15.1 随机性和系统性 313 (Qm;]?/ 15.2 常见的系统性问题 314 m6cW 15.3 单层膜 314 ECzNByP 15.4 多层膜 314 *$$V,6O. 15.5 含义 319 fdG.=7` 15.6 反演工程实例 319 @ 1A_eF 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 @GtZK 15.6.2 反演工程提取折射率 327 uP]o39b;V 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 1W[(+TZ&s 16.1 光学性质的热致偏移 329 w0Y%}7 16.2 应力工具 335 ;/T-rVND 16.3 均匀性误差 339 :a@z53X@M 16.3.1 圆锥工具 339 vB*oI~< 16.3.2 波前问题 341 )x &@j4, 16.4 参考文献 343 Rk[ * p 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3raA^d3!? 17.1 引言 345 >NA7,Z2. 17.2 操作数 345 [1^wy# 18 如何在Function中编写脚本 351
]:fCyIE 18.1 简介 351 -(}1o9e\7 18.2 什么是脚本? 351 G9inNz*Cx 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 34Khg 18.4 基础 352 ]!aa#?Fc 18.4.1 Classes(类别) 352 ONiI:Z>% 18.4.2 对象 352 S\;.nAR 18.4.3 信息(Messages) 352 k#*yhG,]' 18.4.4 属性 352 /*^|5>-`i1 18.4.5 方法 353 !cwVJe 18.4.6 变量声明 353 iBC>w+t14 18.5 创建对象 354 X$iJ|=vW 18.5.1 创建对象函数 355 _ng= 5 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 zxUj1 18.5.3 丢弃对象 356 a
BH1J]_ 18.5.4 总结 356 'a^tL[rLP1 18.6 脚本中的表格 357 8G] m7Z 18.6.1 方法1 357 ,D2_Z] 18.6.2 方法2 357 L_K\i? 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~C7<a48x 18.8 3D Plots in Scripts 359 \N , ' + 18.9 注释 360 oImgj4C2L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 t`ceVS 18.11 一个更高级的脚本 362 6n\z53Mk 18.12 <esc>键 364 '#PqI)P 18.13 包含文件 365 :;;WK~*# 18.14 脚本被优化调用 366 2U`W[ 18.15 脚本中的对话框 368 2RUR=%C 18.15.1 介绍 368 yUmsE-W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 M6iO8vY 18.15.3 输入框函数 370 S/<"RfVU#o 18.15.4 自定义对话框 371
*3`oU\r 18.15.5 对话框编辑器 371 .`>l.gmi& 18.15.6 控制对话框 377 0/@ X!|X 18.15.7 更高级的对话框 380 /:{_| P\ 18.16 Types语句 384 F*JvpI[7n 18.17 打开文件 385 =/JF-#n/MA 18.18 Bags 387 |EV\a[ 18.13 进一步研究 388 ~gWd63%8x 19 vStack 389 !M&un* 19.1 vStack基本原理 389 pNE\@U|4E 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 k7|z$=zY 19.3 五棱镜 393 fb.\V]K 19.4 光束距离 396 W#jZRviyq! 19.5 误差 399 W({TC 19.6 二向分色棱镜 399 -F+P;S 19.7 偏振泄漏 404 {_XrZ(y/ 19.8 波前误差—相位 405 tK|9qs<% 19.9 其它计算参数 405 ' q<EZ{ 20 报表生成器 406 hdr}!wV 20.1 入门 406 3E!<p 20.2 指令(Instructions) 406 Jhsv2,8
{ 20.3 页面布局指令 406 G</I%qM 20.4 常见的参数图和三维图 407 V l~Y 20.5 表格中的常见参数 408 s'aV q B 20.6 迭代指令 408 ]8m_* I! 20.7 报表模版 408 mDF"&.(j 20.8 开始设计一个报表模版 409 (ND5CKCR^ 21 一个新的project 413 Zp(=[n5 21.1 创建一个新Job 414 ke9QT#~p!- 21.2 默认设计 415 Go\} A:|s 21.3 薄膜设计 416 H/Ec^Lc+_ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ?)mhJ/IT 21.5 显色指数计算 422 jxnQG A 21.6 电场分布 424 -M:hlwha 后记 426 C?60`^ 有兴趣可以和我联系 nRXSW&V"m ~S^X"8(U
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