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<P}{0Y~@*W 内容简介 a.wRJ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]#R;%L 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [^~Fu9+" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 r-&4<=C/N >8>`- 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 yv4hH4Io 目录 >JrQS"[u Preface 1 OYy %aA}h 内容简介 2 BE}lzn=sF 目录 i ']A+wGR&r 1 引言 1 *vUKh^=" 2 光学薄膜基础 2 tY%c-m 2.1 一般规则 2 V0ulIKck 2.2 正交入射规则 3 f }eZX 2.3 斜入射规则 6 [S-NGip 2.4 精确计算 7 C!RxMccTh 2.5 相干性 8 YG"P:d;s 2.6 参考文献 10 eP[azC"G[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 9[6xo! 4 Essential Macleod的特点 32 ##1[/D( 4.1 容量和局限性 33 dl(cYP8L 4.2 程序在哪里? 33 mcp}F|ws 4.3 数据文件 35 ,MuLu,$/ 4.4 设计规则 35 4TC
!P} 4.5 材料数据库和资料库 37 b!<?,S 4.5.1材料损失 38 B.0(}@ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3DMfR
ofg 4.5.2 材料库 41 'S E%9 4.5.3导出材料数据 43 Q5{i#F7nJm 4.6 常用单位 43 IWuR=I$t 4.7 插值和外推法 46 HrEZ]iQ@O0 4.8 材料数据的平滑 50 h^?[:XBeav 4.9 更多光学常数模型 54 "2N3L8?k 4.10 文档的一般编辑规则 55 G5bi,^G7 4.11 撤销和重做 56 %HwPOEJ 4.12 设计文档 57 ^\{%(i9 4.10.1 公式 58 K(Zd-U 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ZMy7z| 4.10.3 沉积密度 59 jO<K0cc 4.10.4 平行和楔形介质 60 +%$!sp? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 n=L;(jp<j 4.10.4 性能 61 a}0\kDe 4.10.5 保存设计和性能 64 rsOon2| 4.10.6 默认设计 64 WTSY:kvcCY 4.11 图表 64 tiI>iP`! 4.11.1 合并曲线图 67 E;| q 4.11.2 自适应绘制 68 KX[_eOL 4.11.3 动态绘图 68 j}#48{ 4.11.4 3D绘图 69 <P(d%XEl 4.12 导入和导出 73 T_y 'cvh 4.12.1 剪贴板 73 ATk>:^n 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =36vsps= 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 2AzF@Pi^z 4.13 背景 77 LL#7oBJdM 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 !+JSg uy 4.15 生成Rugate 84 r-H~MisL 4.16 参考文献 91 ce1KUwo] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 :*)~nPVV 5.1 Jobs 92 8/ZJkI 5.2 创建一个新Job(工作) 93 TW:vL~L 5.3 输入材料 94 ? R;5ErZ 5.4 设计数据文件夹 95 -gv@
.# N 5.5 默认设计 95 AL&}WbUC 6 细化和合成 97 ,#`gwtFG 6.1 优化介绍 97 #xm<|s 6.2 细化 (Refinement) 98 ()}O|JL:K 6.3 合成 (Synthesis) 100 ZgZ}^x 6.4 目标和评价函数 101 n|yl3v 6.4.1 目标输入 102 t`Mm 6.4.2 目标 103 NnGQ=$e 6.4.3 特殊的评价函数 104 %pt ul_(s' 6.5 层锁定和连接 104 QE=Cum
6.6 细化技术 104 zf5s\w.4 6.6.1 单纯形 105 C W7E2
^P$ 6.6.1.1 单纯形参数 106 JrOp-ug 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 `jvIcu5c 6.6.2.1 Optimac参数 108 DTlM} 6.6.3 模拟退火算法 109 7==Uz?}C 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4(bV# 6.6.4 共轭梯度 111 aVO5zR./) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :BC0f9 6.6.5 拟牛顿法 112 3k5Mty 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 vObP(@0AM 6.6.6 针合成 113 Y^2`)': 6.6.6.1 针合成参数 114 +}I[l,,xy 6.6.7 差分进化 114 o3]B/ 6.6.8非局部细化 115 d3&gHt2 6.6.8.1非局部细化参数 115 4ME8NEE 6.7 我应该使用哪种技术? 116 wU2y<?$\8 6.7.1 细化 116 ~ifq_Ag. 6.7.2 合成 117 7h&$^ 6.8 参考文献 117 V%<<Udu< 7 导纳图及其他工具 118 `(_cR@\ 7.1 简介 118 slOki|p; 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 yodJGGAzk 7.2.1 四分之一波长规则 119 w4:n(.;HK 7.2.2 导纳图 120 {5#P1jlT 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \-#~)LB]M 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^h1VCyoR* 7.5 斜入射导纳图 141 'R*xg2!i 7.6 对称周期 141 wI1[I 7.7 参考文献 142 ^ B=x-G. 8 典型的镀膜实例 143 )>\J~{ 8.1 单层抗反射薄膜 145 a_`E'BkgU 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 /21d%T:} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 2t<
dCw 8.4 W-膜层 148 &A*oQ3 8.5 V-膜层 149 t TA6 p 8.6 V-膜层高折射基底 150 awHfd5nRS 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ?"{+m 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 wTf0O@``6H 8.9 四层抗反射薄膜 153 l^uP?l" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #E{aN?_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 h|!B;D 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #h6(DuViKw 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 k{s#wJA 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 CbQ@l@d] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 +y6|Nq 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^W_}Gd<-#Y 8.17 1/4波长堆栈 162 ^n@iCr9 8.18 陷波滤波器 163 /quf'CV} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 "f!*%SR:
1 8.20 褶皱 165 T9t9]) 8.21 消偏振分光器1 169 Dr6Br<yi 8.22 消偏振分光器2 171 ![7v_l\Q 8.23 消偏振立体分光器 172 F}H!vh[ 8.24 消偏振截止滤光片 173 Pl}}!<!<z 8.25 立体偏振分束器1 174 Uf4QQ`c# 8.26 立方偏振分束器2 177 HoH3.AY X 8.27 相位延迟器 178 I%e7:cs > 8.28 红外截止器 179 hO;bnt%( 8.29 21层长波带通滤波器 180 )@]-bPnv 8.30 49层长波带通滤波器 181 D4
{gt\V 8.31 55层短波带通滤波器 182 tPO.^ 8.32 47 红外截止器 183 "sAR<5b 8.33 宽带通滤波器 184 i#kRVua/ 8.34 诱导透射滤波器 186 O.&6J/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 R:E6E@T 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Qc[[@=S% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 6|T{BOW!d 8.35 增益平坦滤波器 193 **! lV]/ 8.38 啁啾反射镜 1 196 )P|%=laE8 8.39 啁啾反射镜2 198 :{_Or'L 8.40 啁啾反射镜3 199 AA>5h<NM 8.41 带保护层的铝膜层 200 .Z%7+[ 8.42 增加铝反射率膜 201 ^b-H 8.43 参考文献 202 _q6+] 9 多层膜 204 2*K0~ b` 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _\@i&3hkx 9.2 内部透过率 204 e!tgWYN 9.3 内部透射率数据 205 AU87cqq 9.4 实例 206 ?aOR ^ K 9.5 实例2 210 i$"FUC~' 9.6 圆锥和带宽计算 212 A'[A!NL% 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 7w>"M 10 光学薄膜的颜色 216 D1o 8Wo 10.1 导言 216 7c
%@2
10.2 色彩 216 ^z[s;:- 10.3 主波长和纯度 220 ]3d&S5zU 10.4 色相和纯度 221 LTzf&TZbx5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 JGj_{|=: 10.6 色差 226 }s}9@kl;& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 F<V
zVEx 10.8 颜色渲染指数 234 C>T6{$xkC 10.9 色差计算 235 hZ2PP ^ 10.10 参考文献 236 Vg:P@6s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 }Q\yem 11.1 短脉冲 238
`d
OjCA_& 11.2 群速度 239 /3KEX{'@U 11.3 群速度色散 241 c}QQ8'_ 11.4 啁啾(chirped) 245 7DOAG[gH 11.5 光学薄膜—相变 245 g-+p(Ll| 11.6 群延迟和延迟色散 246 Z
NCq/ 11.7 色度色散 246 ,P auP~L 11.8 色散补偿 249 Xo%A nqk 11.9 空间光线偏移 256 6bHj<6>MX 11.10 参考文献 258 Rx`0VQ 12 公差与误差 260 tCc}}2bC& 12.1 蒙特卡罗模型 260 @Cz1rKU^l 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 n0vPW^EQ 12.2.1 误差工具 267 *,'"\n 12.2.2 灵敏度工具 271 jDXmre? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 K9w24Oka 12.2.2.2 灵敏度分布 275 R`1$z8$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 gvcT_' 12.3 参考文献 276 wV5<sH__ 13 Runsheet 与Simulator 277
K[?wP>s 13.1 原理介绍 277 zcxG%? Q 13.2 截止滤光片设计 277 l@j!j]nE 14 光学常数提取 289 xFpJ#S& 14.1 介绍 289 F&cA!~ 14.2 电介质薄膜 289 }\gpO0Ox 14.3 n 和k 的提取工具 295 C{2UPG4 x 14.4 基底的参数提取 302 jBE=Ij 14.5 金属的参数提取 306 <78>6u/W% 14.6 不正确的模型 306 \ g0 14.7 参考文献 311 6?,r d 15 反演工程 313 IL>g- 15.1 随机性和系统性 313 UI8M< 15.2 常见的系统性问题 314 Q'A->I<;_s 15.3 单层膜 314 S:1! )7 15.4 多层膜 314 ait/|a 15.5 含义 319 _')KDy7 15.6 反演工程实例 319 8=2)I. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0;XnNz3& 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ~+T~}S 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 P}VD}lEyO 16.1 光学性质的热致偏移 329 Eydk645:3 16.2 应力工具 335 ;$%+TN 16.3 均匀性误差 339 f3596a 16.3.1 圆锥工具 339 z ,ledTl 16.3.2 波前问题 341 l7x%G@1#~W 16.4 参考文献 343 A$5!]+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ]I}'
[D 17.1 引言 345 Sk1yend4 17.2 操作数 345 q-!m|<Z 18 如何在Function中编写脚本 351 \}<nXn! 18.1 简介 351 W0nRUAo[ 18.2 什么是脚本? 351 9JUlu 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 _C*}14
"3 18.4 基础 352 XDI@mQmzB 18.4.1 Classes(类别) 352 Fe/*U4xU 18.4.2 对象 352 ;XTP^W!6f 18.4.3 信息(Messages) 352 Pd@?(WQ 18.4.4 属性 352 zCco/]h
18.4.5 方法 353 H7\EvIM= 18.4.6 变量声明 353 R_Hdi~ k 18.5 创建对象 354 r-!8in2 18.5.1 创建对象函数 355 @0)bY*njj 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 S&QZ"4jq 18.5.3 丢弃对象 356 xUeLX`73 18.5.4 总结 356 +q=/}| 18.6 脚本中的表格 357 3-Ti'xM 18.6.1 方法1 357 U~T/f-CT 18.6.2 方法2 357 w-\GrxlbX 18.7 2D Plots in Scripts 358 icnp^2P 18.8 3D Plots in Scripts 359 a"ht\v}1 18.9 注释 360 2} T"|56 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 43(+3$V M7 18.11 一个更高级的脚本 362 D vK}UAj= 18.12 <esc>键 364 NDI|; 18.13 包含文件 365 .IG(Y!cB 18.14 脚本被优化调用 366 g@S"!9[;U 18.15 脚本中的对话框 368 py,z7_Nuh 18.15.1 介绍 368 JM!o(zbt 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9 s>JdAw? 18.15.3 输入框函数 370 p~M^' k=d 18.15.4 自定义对话框 371 p'_*>%4~ 18.15.5 对话框编辑器 371 #^eviF8 18.15.6 控制对话框 377 pET5BMxGG 18.15.7 更高级的对话框 380 .ipYZg'V 18.16 Types语句 384 ffSecoX 18.17 打开文件 385 hDfsqSK0 / 18.18 Bags 387 % +eZ U)N 18.13 进一步研究 388 ya|7hz { 19 vStack 389 ymzlRs1^Ct 19.1 vStack基本原理 389 ,!Q2^R 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *xt3mv/<z 19.3 五棱镜 393 y=q\1~] Z 19.4 光束距离 396 [S*bN!t 19.5 误差 399 QPdhesrd- 19.6 二向分色棱镜 399 ~I!7]i]"*? 19.7 偏振泄漏 404
4INO . 19.8 波前误差—相位 405 @4H*kA 19.9 其它计算参数 405 P~=|R9t 20 报表生成器 406 NPKRX Li% 20.1 入门 406 +e4o~p 20.2 指令(Instructions) 406 ZG< |