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j Wpm"C
内容简介 7+'&(^c Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 TUy
25E 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 C-2{<$2k 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 h#:_GNuF lE=&hba 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zWO!z= 目录 z^,P2kqK_ Preface 1 s~i73Qk/ 内容简介 2 Zb&5)&'X 目录 i T<ka4 1 引言 1 E'g?44vyw 2 光学薄膜基础 2 w ]%EJ|' 2.1 一般规则 2 BV"l;&F[ 2.2 正交入射规则 3 f%[0}.wp 2.3 斜入射规则 6 \281X 2.4 精确计算 7 I+GP`=\ 2.5 相干性 8 ;{j@ia 2.6 参考文献 10 X$A[~v 3 Essential Macleod的快速预览 10 NG+%H1!$_ 4 Essential Macleod的特点 32 D~Rv"Hh 4.1 容量和局限性 33 FlyRcj 4.2 程序在哪里? 33 M&SY2\\TB 4.3 数据文件 35 <^n@q f} 4.4 设计规则 35 r?%,#1|$$ 4.5 材料数据库和资料库 37 ZCAg)/ 4.5.1材料损失 38 O-uf^S4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 M+l~^E0Wj 4.5.2 材料库 41 n!?^:5=s 4.5.3导出材料数据 43 Q $^)z_jai 4.6 常用单位 43 E0t%]?1 4.7 插值和外推法 46 `p#u9M> 4.8 材料数据的平滑 50 yc7"tptfF 4.9 更多光学常数模型 54 4(mRLr%l@` 4.10 文档的一般编辑规则 55 -Pp =)_O 4.11 撤销和重做 56 6[T)Q ^0` 4.12 设计文档 57 9i`MUE1Sh 4.10.1 公式 58 [M#I Nm} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Ha/Gn!l 4.10.3 沉积密度 59 #,S0uA 4.10.4 平行和楔形介质 60 "ivSpec.V 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 X,`^z,M%I 4.10.4 性能 61 yD yMI 4.10.5 保存设计和性能 64 tSX,*cz 4.10.6 默认设计 64 R+<M"LriR& 4.11 图表 64 uB;PaZG?{ 4.11.1 合并曲线图 67 fO{'$?K 4.11.2 自适应绘制 68 G\C>fwrP_ 4.11.3 动态绘图 68 z^Y4:^L~I 4.11.4 3D绘图 69 ,e@707d`\ 4.12 导入和导出 73 Q`HG_n@? 4.12.1 剪贴板 73 zwgO|Qg; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [pzo[0G 'v 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 czcsXB l[ 4.13 背景 77 {(5M)|> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 7hAc6M$h; 4.15 生成Rugate 84 Gj- *D7X5 4.16 参考文献 91 XQStlUw8+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 yv(\5)XF 5.1 Jobs 92 *?R<gWCF 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Clmz}F 5.3 输入材料 94 tD+K4
^ 5.4 设计数据文件夹 95 JQ<9~J 5.5 默认设计 95 xG8z4Yu 6 细化和合成 97 W@WKdaJ 6.1 优化介绍 97 >U62vX" 6.2 细化 (Refinement) 98 V_P,~! 6.3 合成 (Synthesis) 100 `7jdV 6.4 目标和评价函数 101 qM9> x:V 6.4.1 目标输入 102 4*?JU
v 6.4.2 目标 103 VI;)VJbq 6.4.3 特殊的评价函数 104 ;T|hNsSt 6.5 层锁定和连接 104 WV,j
<x9w 6.6 细化技术 104 ,K8(D<{ 6.6.1 单纯形 105 te
b/ 6.6.1.1 单纯形参数 106 F2C v,&' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .ZVo0 6.6.2.1 Optimac参数 108 ;hkzL_' E) 6.6.3 模拟退火算法 109 j9O"!9$vQ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4^{~MgQWK+ 6.6.4 共轭梯度 111 Vbp`Rm1? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _Bq [c 6.6.5 拟牛顿法 112 m:C |R-IL 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 2|}KBny 6.6.6 针合成 113 1J[|Ow 6.6.6.1 针合成参数 114 ct@i]}"` 6.6.7 差分进化 114 ,H:{twc 6.6.8非局部细化 115 h%!N!\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 }x+s5a;!3/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ds<q"S{p 6.7.1 细化 116 a{!
8T 6.7.2 合成 117 S1E=EVG 6.8 参考文献 117 V38v2LI 7 导纳图及其他工具 118 DtOL=m]s 7.1 简介 118 vF.Ml 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 XFrgnnt 7.2.1 四分之一波长规则 119 )/4U]c{- 7.2.2 导纳图 120 $v~I n 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 %z5P%F'5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rEY5,'?YHv 7.5 斜入射导纳图 141 Q+=D#x 7.6 对称周期 141 l ArDOFl]x 7.7 参考文献 142 zH1:kko 8 典型的镀膜实例 143 {aYCrk1 8.1 单层抗反射薄膜 145 YN($rAkL 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 50Y^##]& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 >
@n?W" 8.4 W-膜层 148 )+v'@]r 8.5 V-膜层 149 TptXH? 8.6 V-膜层高折射基底 150 FX:'38-fk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 WoX,F1 o 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 (g#,AX 8.9 四层抗反射薄膜 153 P'p5-l UK 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 bT#re 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 X0Zr?$q
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 "M4gl 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _do(
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 F<|x_6a\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =d`/BDD 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 X7{ h/^ 8.17 1/4波长堆栈 162 z! /
MBM 8.18 陷波滤波器 163 e=w.7DSE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (Gpk;DD 8.20 褶皱 165 ,`;Dre 8.21 消偏振分光器1 169 =~F.7wq*^ 8.22 消偏振分光器2 171 d}_%xkC 8.23 消偏振立体分光器 172 ?j-;;NNf 8.24 消偏振截止滤光片 173 (H-Y-Lk+ 8.25 立体偏振分束器1 174 =VM4Q+'K 8.26 立方偏振分束器2 177 3FpS o+ 8.27 相位延迟器 178 $][$ e 8.28 红外截止器 179 (#%R'9Rv 8.29 21层长波带通滤波器 180 U8s&5~IPn 8.30 49层长波带通滤波器 181 ju%t'u\' 8.31 55层短波带通滤波器 182 PXJ`<XM 8.32 47 红外截止器 183 T!pjv8y@R 8.33 宽带通滤波器 184 Ceco^Mw 8.34 诱导透射滤波器 186 4.}J'3 . 8.35 诱导透射滤波器2 188 Lyj0$wbH` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &0QtHcXpR 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 >Pw
ZHY 8.35 增益平坦滤波器 193 Gp5=cV'k 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]eD5It\ 8.39 啁啾反射镜2 198 of>"qrdZ 8.40 啁啾反射镜3 199 >djTJ>dl_u 8.41 带保护层的铝膜层 200 1E|~;wo\ 8.42 增加铝反射率膜 201 #(Ah>y 8.43 参考文献 202 F^)SQ%xx 9 多层膜 204 d:1TSJff%/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _;yi/)-2 9.2 内部透过率 204 dLIZ)16& 9.3 内部透射率数据 205 6pi^ rpo 9.4 实例 206 E]26a,^L 9.5 实例2 210 QwL'5ws{q 9.6 圆锥和带宽计算 212 K%/:V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 @Nk]f 10 光学薄膜的颜色 216 WG?;Z 10.1 导言 216 r7=r~3) 10.2 色彩 216 mFu0$N6]H 10.3 主波长和纯度 220 u"*Wo'3I| 10.4 色相和纯度 221 % HK \ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,}hJ) 10.6 色差 226 U)g27*7 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7)y9%-} 10.8 颜色渲染指数 234 _6,Tb] 10.9 色差计算 235 8wQ|Ep\ 10.10 参考文献 236 P-c<[DSM'I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 S0uEz;cE 11.1 短脉冲 238 !YCus;B~ 11.2 群速度 239 qe\JO'g#e 11.3 群速度色散 241 ywS2`( 11.4 啁啾(chirped) 245 }3&~YBx;: 11.5 光学薄膜—相变 245 n'-?CMH` 11.6 群延迟和延迟色散 246 +bv-! rf 11.7 色度色散 246 /o)o7$6Q 11.8 色散补偿 249 Y']D_\y 11.9 空间光线偏移 256 Z(=UZI? 11.10 参考文献 258 6s$jt-bH 12 公差与误差 260 4`Z8EV 12.1 蒙特卡罗模型 260 y Ddi+ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 E")g1xGaK 12.2.1 误差工具 267 'YaD="" 12.2.2 灵敏度工具 271 k_}aiHdG 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]sf1+3 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !33)6*s 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 PF4"J^V 12.3 参考文献 276 +~~&FO2 13 Runsheet 与Simulator 277 K
V-}:u( 13.1 原理介绍 277
")cJA f 13.2 截止滤光片设计 277 6YCFSvA#/ 14 光学常数提取 289 %tRQK$]c 14.1 介绍 289 ZLRAiL 14.2 电介质薄膜 289 Xob,jo}a 14.3 n 和k 的提取工具 295 Z1t?+v+Ro* 14.4 基底的参数提取 302 e<;^P(g`E 14.5 金属的参数提取 306 SpB\kC"K 14.6 不正确的模型 306 W$X@DXT=o 14.7 参考文献 311 :Vyr8+] 15 反演工程 313 ">pt,QV 15.1 随机性和系统性 313 #kt3l59Ty 15.2 常见的系统性问题 314 ' `K-rvF,C 15.3 单层膜 314 aN/0'V|&ym 15.4 多层膜 314 ^*fZ 15.5 含义 319 1 ynjDin< 15.6 反演工程实例 319 zAxscDf' 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 GvCB3z 15.6.2 反演工程提取折射率 327 j.FW*iX1C 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 a9=pZ1QAG 16.1 光学性质的热致偏移 329 V#Px 16.2 应力工具 335 #cRw0bn: 16.3 均匀性误差 339 Vif0z*\e{ 16.3.1 圆锥工具 339 WE hDep: 16.3.2 波前问题 341 Zss `## 16.4 参考文献 343 2unaK<1s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Qmk}smvH 17.1 引言 345 }zkMo? 17.2 操作数 345 ZM~kc|& 18 如何在Function中编写脚本 351 8<VO>WA>E 18.1 简介 351 Hik :Sqpox 18.2 什么是脚本? 351 E_[)z%&n2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 LXm5f; 18.4 基础 352 X}/{90UD 18.4.1 Classes(类别) 352 [9:'v@Ph 18.4.2 对象 352 *+-L`b{SX 18.4.3 信息(Messages) 352 ?y@ RE 18.4.4 属性 352 Gw0_M& 18.4.5 方法 353 .[E"Kb}= 18.4.6 变量声明 353 yz CQ 18.5 创建对象 354 BJdH2qREN 18.5.1 创建对象函数 355 c)HHc0KD 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;0R>D g 18.5.3 丢弃对象 356 9<9 c^2 18.5.4 总结 356 |Mm9QF;iA 18.6 脚本中的表格 357 n8!qz:z/ 18.6.1 方法1 357 ):Vzv 18.6.2 方法2 357 VGVZ`| 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;m;a"j5 18.8 3D Plots in Scripts 359 qJQ!e 18.9 注释 360 .!kO2/:6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Jf/X3\0N7 18.11 一个更高级的脚本 362 ~is$Onf99# 18.12 <esc>键 364 D?v)Xqw= 18.13 包含文件 365 %4%$NdU" 18.14 脚本被优化调用 366 }[[ 18.15 脚本中的对话框 368 eu]t.Co[X 18.15.1 介绍 368 ^+ hJ& 9W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Ls<.&3X2 18.15.3 输入框函数 370 7^fpbrj 18.15.4 自定义对话框 371 *6-f vqCv 18.15.5 对话框编辑器 371 ),<E-Ub 18.15.6 控制对话框 377 DRBRs-D 18.15.7 更高级的对话框 380 Vu%XoI)<KY 18.16 Types语句 384 +EmT+$>J 18.17 打开文件 385 >#q2KXh 18.18 Bags 387 j=%^CRum 18.13 进一步研究 388 C^o9::ER 19 vStack 389 @wy&Z 19.1 vStack基本原理 389 b;N[_2 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]<pnHh+2A 19.3 五棱镜 393 q*Hf%I" 19.4 光束距离 396 rc*iL 19.5 误差 399 Y\.ds%G 19.6 二向分色棱镜 399 gbf-3KSp^ 19.7 偏振泄漏 404 6O`s&T,t 19.8 波前误差—相位 405 `Jvy~T 19.9 其它计算参数 405 DA/l`Pn 20 报表生成器 406 /-#1ys#F= 20.1 入门 406 C)7T'[ 20.2 指令(Instructions) 406 t3#My2 = 20.3 页面布局指令 406 !T((d7; 20.4 常见的参数图和三维图 407 "k8Yc<`u 20.5 表格中的常见参数 408 V-y"@0%1 20.6 迭代指令 408 +@'{ 20.7 报表模版 408 wH=L+bA>a 20.8 开始设计一个报表模版 409 aKLA_-E 21 一个新的project 413 G2bZl%
,D 21.1 创建一个新Job 414 hnQDm$k 21.2 默认设计 415 NhI&wl 21.3 薄膜设计 416 ,&DK*LT8U 21.4 误差的灵敏度计算 420 +h64idM{U 21.5 显色指数计算 422 V)$y 21.6 电场分布 424 _f~(g1sE 后记 426 $`2rtF 有兴趣可以和我联系 +<G |Ru- ;g3z?Uz)
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