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_IOeO 内容简介 #rMMOu9r2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }M?GqA= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \lCr~D5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 -liVYI2s ?;>s< 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 SPOg' 目录 Ks@S5:9sp Preface 1 LdI) 内容简介 2 6[wej$u 目录 i /ivt 8Uiw 1 引言 1 ##Z:/SU 2 光学薄膜基础 2 j+]>x]c0 2.1 一般规则 2 $5yS`IqS 2.2 正交入射规则 3 )52:@=h*l 2.3 斜入射规则 6 '@2pOq 2.4 精确计算 7 HKv:)h{? 2.5 相干性 8 M |?qSFv: 2.6 参考文献 10 ;[0<QmeI! 3 Essential Macleod的快速预览 10 VF!?B> 4 Essential Macleod的特点 32 s#;|8_L
M 4.1 容量和局限性 33 J6Hw05%0= 4.2 程序在哪里? 33 0`"]mYH 4.3 数据文件 35 IGEf*! 4.4 设计规则 35 %/~6Qq 4.5 材料数据库和资料库 37 kLR4?tX! 4.5.1材料损失 38 K+dkImkh 4.5.1材料数据库和导入材料 39 4LtFv)i 4.5.2 材料库 41 Zw| IY9D 4.5.3导出材料数据 43 );}k@w
fw) 4.6 常用单位 43 L{bcmo\U 4.7 插值和外推法 46 x?KgEcnw2X 4.8 材料数据的平滑 50 *PMvA1eN=# 4.9 更多光学常数模型 54 WG NuB9R 4.10 文档的一般编辑规则 55 Wd~aSz9 4.11 撤销和重做 56 dn$1OhN8M 4.12 设计文档 57 Fj"gCBaR 4.10.1 公式 58 hdW",Bf' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uT8/xNB! 4.10.3 沉积密度 59 5,I'6$J
4.10.4 平行和楔形介质 60 UMm<HQ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 !e&ZhtTuC 4.10.4 性能 61 'I($IM 4.10.5 保存设计和性能 64 +Qt=N6> 4.10.6 默认设计 64 j;<Yje&Wz 4.11 图表 64 W)1)zOD 4.11.1 合并曲线图 67 6LL/wemq 4.11.2 自适应绘制 68 gHQ[D|zu 4.11.3 动态绘图 68 T.<eriv 4.11.4 3D绘图 69 y1,L0v$=} 4.12 导入和导出 73 %h g=@7,| 4.12.1 剪贴板 73 yTz@q>6s- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 "BK'<j^q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 SWD
v\Vr 4.13 背景 77 VmF?8Vi4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 T_\HU*\ 4.15 生成Rugate 84 @j`_)Y\ 4.16 参考文献 91 |rH;}t|un 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ]N NLr;p 5.1 Jobs 92 mwZesSxB_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 <wFR%Y/j 5.3 输入材料 94 ^ox^gw) 5.4 设计数据文件夹 95 Pqo_+fL+ 5.5 默认设计 95 r7c(/P^$G 6 细化和合成 97 "V&2g? 6.1 优化介绍 97 OwwH 45 6.2 细化 (Refinement) 98 jx!)N> 6.3 合成 (Synthesis) 100 /4YXx|V 6.4 目标和评价函数 101 ^5qX+!3r{ 6.4.1 目标输入 102 '(5 &Sj/C 6.4.2 目标 103 >1`FRw< 6.4.3 特殊的评价函数 104 ;y%l OYm 6.5 层锁定和连接 104 8js5/G+ 6.6 细化技术 104 H?sl_3-# 6.6.1 单纯形 105 pL]C]HGv 6.6.1.1 单纯形参数 106 ;tf1#6{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 4HVZ;,q 6.6.2.1 Optimac参数 108 0AY23/ 6.6.3 模拟退火算法 109 S]KcAz( fX 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %:h)8e-; 6.6.4 共轭梯度 111 T3[\;ib} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 KM g`O3_16 6.6.5 拟牛顿法 112 )pjd*+V 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 b3wE8Co 6.6.6 针合成 113 5z~Ji77! 6.6.6.1 针合成参数 114 6`]R)i] 6.6.7 差分进化 114 "FT5]h 6.6.8非局部细化 115 :4}?%3&; 6.6.8.1非局部细化参数 115 a_^3:}i~D 6.7 我应该使用哪种技术? 116 J#L-Slav% 6.7.1 细化 116 ')5W 6.7.2 合成 117 ge`)sB, 6.8 参考文献 117 GxLoNVr 7 导纳图及其他工具 118 1.o-2:]E 7.1 简介 118 VCiJ]$`M 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4};!nYey! 7.2.1 四分之一波长规则 119 qBpv[m 7.2.2 导纳图 120 c,Zs.
kC 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vz)A~"E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 u'd+:uH 7.5 斜入射导纳图 141 RsIEY5Q 7.6 对称周期 141 Tg&{P{$ 7.7 参考文献 142 Y:^~KS=Uz 8 典型的镀膜实例 143 ;wbQTp2 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~=Z&l 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 0Tp?ED_ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 O4@Ki4f3A% 8.4 W-膜层 148 G-G!c2o 8.5 V-膜层 149 Yi{[llru 8.6 V-膜层高折射基底 150 Ig'Y]%Z0 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1(gb-u0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 R)I 8 ) 8.9 四层抗反射薄膜 153 ndOPD]A' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 />Wh 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 R I:x`do 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <.HHV91 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 X9/V;! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T73oW/.0X? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 C0jmjZ%w@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 jm =E_86_ 8.17 1/4波长堆栈 162 V3$!`T}g4 8.18 陷波滤波器 163 4(R O1VWsb 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )*G3q/l1u6 8.20 褶皱 165 s^^X.z , 8.21 消偏振分光器1 169 6^wg'u]c 8.22 消偏振分光器2 171 ?f1%)]>
8.23 消偏振立体分光器 172 YZ7rs]A 8.24 消偏振截止滤光片 173 +AZ=nMgW 8.25 立体偏振分束器1 174 Gnl6>/L, 8.26 立方偏振分束器2 177 blid* @- 8.27 相位延迟器 178 DHbLS3- 8.28 红外截止器 179 EQyRP.
dq 8.29 21层长波带通滤波器 180 x]euNa 8.30 49层长波带通滤波器 181 Ar'}#6 8.31 55层短波带通滤波器 182 ,4NvD2Y 8.32 47 红外截止器 183 HLN rI0 8.33 宽带通滤波器 184 "ltvD\ 8.34 诱导透射滤波器 186 L(PJ9wjkD 8.35 诱导透射滤波器2 188 .'lc[iI9)d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ynw^nmM 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #"O9\X/B 8.35 增益平坦滤波器 193 G 8uX[-L1 8.38 啁啾反射镜 1 196 L-Xd3RCD 8.39 啁啾反射镜2 198 &&ecq 8.40 啁啾反射镜3 199 %pc0a^iB 8.41 带保护层的铝膜层 200 <.l5>mgkCw 8.42 增加铝反射率膜 201 3a:(\:?z 8.43 参考文献 202 wC{=o`v 9 多层膜 204 7Hf6$2Wh 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 U@|{RP 9.2 内部透过率 204 m/0G=%d%k 9.3 内部透射率数据 205 8!3+Obj 9.4 实例 206 PP. k>zsx 9.5 实例2 210 _(
w4 \] 9.6 圆锥和带宽计算 212 {AO3o<-h 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 -njxc{b 10 光学薄膜的颜色 216 9=rYzA?)+ 10.1 导言 216 F`
J(+ 10.2 色彩 216 (^qcX;- 10.3 主波长和纯度 220 4-E9a _ 10.4 色相和纯度 221 b= F" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 x)BG%{h 10.6 色差 226
9`{Mq9J 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 uji])e MN~ 10.8 颜色渲染指数 234 i/C#fIB2 10.9 色差计算 235 tOnaD]J 10.10 参考文献 236 j+_g37$: 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 2YuaPq/ 11.1 短脉冲 238 ;r49H<z 11.2 群速度 239 np=m~k 11.3 群速度色散 241 cn<9!2a 11.4 啁啾(chirped) 245 Y91TF' 11.5 光学薄膜—相变 245 aZ5qq+1x 11.6 群延迟和延迟色散 246 ~ZG>n{Q 11.7 色度色散 246 @*is]d+Ya 11.8 色散补偿 249 Z6K9E=%)c 11.9 空间光线偏移 256 SK;f#quUQ 11.10 参考文献 258 t^8#~o!% 12 公差与误差 260 dXe763~< 12.1 蒙特卡罗模型 260 ,m3AVHa*G 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 GS8,mQ8l*l 12.2.1 误差工具 267 -<ZzYQk^h 12.2.2 灵敏度工具 271 wLkHU"'
12.2.2.1 独立灵敏度 271 x ~Se-#$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 #xYkG5`lm 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 dMRwQejY{7 12.3 参考文献 276 QHP^1W` 13 Runsheet 与Simulator 277 0<nKB}9 13.1 原理介绍 277 d`({z]W; 13.2 截止滤光片设计 277 _[0Ugfz( 14 光学常数提取 289 d@C ;rzR 14.1 介绍 289 /I[cj3}{+f 14.2 电介质薄膜 289 @m6pAo4P 14.3 n 和k 的提取工具 295 :".!6~:2 14.4 基底的参数提取 302 O-|RPW} 14.5 金属的参数提取 306 YV!!bI 14.6 不正确的模型 306 %{zM> le9 14.7 参考文献 311 HeSnj-mtr} 15 反演工程 313 JC>}(yQA 15.1 随机性和系统性 313 /%)MlG 15.2 常见的系统性问题 314 9
*]Z 15.3 单层膜 314 >f`}CLsY 15.4 多层膜 314 (e F5?I 15.5 含义 319 hzKfYJcQ| 15.6 反演工程实例 319 %*eZoLDg] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 gMHH3^\VH) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 7-^df0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 pKr3(5~ 16.1 光学性质的热致偏移 329 y)s/\l& 16.2 应力工具 335 Ls|;gewp 16.3 均匀性误差 339 ;GH(A=}/Y 16.3.1 圆锥工具 339 zoUW}O 16.3.2 波前问题 341 xl# j_d, 16.4 参考文献 343 K''b)v X4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^QYI`u` 4 17.1 引言 345 ?#FAa, 17.2 操作数 345 {K[+nX=# 18 如何在Function中编写脚本 351 YRC`2)_'
18.1 简介 351 XZKOBq B] 18.2 什么是脚本? 351 G1|
Tu"
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 $1Xg[>1g5 18.4 基础 352 f oL`{fA 18.4.1 Classes(类别) 352 I"DV}jg6| 18.4.2 对象 352 y{v*iH< 18.4.3 信息(Messages) 352 -09<; U 18.4.4 属性 352 Q FX|ZsmK 18.4.5 方法 353 n`^</0 18.4.6 变量声明 353 ke&c<3m 18.5 创建对象 354 (AwbZ n* 18.5.1 创建对象函数 355 9oGsrClH 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 0_&oMPY 18.5.3 丢弃对象 356 ](Sp0t 18.5.4 总结 356 dFFB\|e;0 18.6 脚本中的表格 357 JVXBm] 18.6.1 方法1 357 }>tUkXlhJ< 18.6.2 方法2 357 { ET+V 18.7 2D Plots in Scripts 358 ZnmBb_eX 18.8 3D Plots in Scripts 359 08.dV<P 18.9 注释 360 %mxG;w$ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Jwa2Y0 18.11 一个更高级的脚本 362 >6rPDzW`Dx 18.12 <esc>键 364 l@Ml8+ 18.13 包含文件 365 ;dPLi4=o 18.14 脚本被优化调用 366 Kt`0vwkjvI 18.15 脚本中的对话框 368 JH?[hb 18.15.1 介绍 368 L[O+9Yh 18.15.2 消息框-MsgBox 368 aEL6-['( 18.15.3 输入框函数 370 ueqR@i 18.15.4 自定义对话框 371 P@*whjPmo 18.15.5 对话框编辑器 371 vWj|[| <rX 18.15.6 控制对话框 377 IHB{US1G 18.15.7 更高级的对话框 380 5gEUE {S 18.16 Types语句 384 OSq"q-Q 18.17 打开文件 385 2Q Bq 18.18 Bags 387 )IhI~,0Nmj 18.13 进一步研究 388 q@^=im 19 vStack 389 xpSMbX{e 19.1 vStack基本原理 389 + 1v@L 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 /yH:u r 19.3 五棱镜 393 l(<o,Uv[` 19.4 光束距离 396 pX2 Ki^)] 19.5 误差 399 Y> 7/>x6 19.6 二向分色棱镜 399 rV1JJ.I 19.7 偏振泄漏 404 wddF5EcK0 19.8 波前误差—相位 405 ';$2j~ 19.9 其它计算参数 405 m >'o&Hj 20 报表生成器 406 fx=aT 20.1 入门 406 &&>OhH` 20.2 指令(Instructions) 406 GMiWS:`;v` 20.3 页面布局指令 406 JEBx|U$'Y 20.4 常见的参数图和三维图 407 2TIZltFS0e 20.5 表格中的常见参数 408 XmXHs4 20.6 迭代指令 408 MMcHzRF 20.7 报表模版 408 -i 6<kF-W 20.8 开始设计一个报表模版 409 B:SzCC.B 21 一个新的project 413 o&X!75^G> 21.1 创建一个新Job 414 Y&+<'FA 21.2 默认设计 415 O":x$>'t 21.3 薄膜设计 416 3+(Fq5I 21.4 误差的灵敏度计算 420 #t{?WkO[ 21.5 显色指数计算 422 ``zg |h 21.6 电场分布 424 7';PI!$ 后记 426 YK_a37E{F 有兴趣可以和我联系 X hTp'2,] 0y6nMI
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