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1*TbgxS~W 内容简介 Yg^ &4ZF Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 E=p+z"Ui 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 EJ9hgE 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `.W2t5Y V}#X'~Ob 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 2M-[x"\1/ 目录 ){5Nod{}a Preface 1 5*pzL0,Y 内容简介 2 3N2dV6u 目录 i V*uE83x1 1 引言 1
J, 9NVw$ 2 光学薄膜基础 2 ~P1~:AT 2.1 一般规则 2 _{K mj,q 2.2 正交入射规则 3 E+]9!fDy< 2.3 斜入射规则 6 lD/9:@q\V 2.4 精确计算 7 Q!e560@ 2.5 相干性 8 'rcqy1-& 2.6 参考文献 10 (90/,@66l 3 Essential Macleod的快速预览 10 ZD]1C~) 4 Essential Macleod的特点 32 "<!U 4.1 容量和局限性 33 iAwEnQ3h 4.2 程序在哪里? 33 +(3_V$|Dv 4.3 数据文件 35 j<B9$8x& 4.4 设计规则 35 `<C<[JP:o 4.5 材料数据库和资料库 37 1`&`y%c?B 4.5.1材料损失 38 lM6pYYEq= 4.5.1材料数据库和导入材料 39 hy5[
L`B 4.5.2 材料库 41 <1D|TrP 4.5.3导出材料数据 43 P=QxfX0B 4.6 常用单位 43 o$rjGa l 4.7 插值和外推法 46 ?l0eU@rwQ 4.8 材料数据的平滑 50 x#>V50E 4.9 更多光学常数模型 54 c{1;x)L 4.10 文档的一般编辑规则 55 HC%Hbc~S_Q 4.11 撤销和重做 56 r7m~.M+W" 4.12 设计文档 57 HEF
e? 4.10.1 公式 58 /<J(\;Jr6 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 fjh|V9H 4.10.3 沉积密度 59 1@F-t94I 4.10.4 平行和楔形介质 60 -K64J5|b7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 +1ICX 4.10.4 性能 61 4Z"}W!A 4.10.5 保存设计和性能 64 mlnF,+s 4.10.6 默认设计 64 $TI^8 3 4.11 图表 64 >HP
`B2Q
H 4.11.1 合并曲线图 67 s,HbW%s 4.11.2 自适应绘制 68 p)y5[HX 4.11.3 动态绘图 68 i(}PrA
4.11.4 3D绘图 69
=@HS 4.12 导入和导出 73 zJe KB8 4.12.1 剪贴板 73 B/twak\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?d7,0Ex
P 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 s2;~FK#/ 4.13 背景 77 $%y q[$^ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 RY , <* 4.15 生成Rugate 84 i\i%WiRl 4.16 参考文献 91 hsC T:1i 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 3gA %Q`" 5.1 Jobs 92 3U[O : 5.2 创建一个新Job(工作) 93 nf.Ox.kM) 5.3 输入材料 94 Y{YbKKM 5.4 设计数据文件夹 95 De?VZ2o9" 5.5 默认设计 95 -'! J?~ 6 细化和合成 97 T+kV~ w{ 6.1 优化介绍 97 ^q:-ZgM> 6.2 细化 (Refinement) 98 hbw(o
6.3 合成 (Synthesis) 100 =+zDE0Qs 6.4 目标和评价函数 101 4&iQo' 6.4.1 目标输入 102 #-/W?kD 6.4.2 目标 103 iQ'*QbP'Z 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ez3fL&* 6.5 层锁定和连接 104 #[+# bw_6 6.6 细化技术 104 3_(_yEKx 6.6.1 单纯形 105
gjS|3ED 6.6.1.1 单纯形参数 106 :gVUk\) 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 |cvU2JI@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 W__ArV2Z_ 6.6.3 模拟退火算法 109 kwI``7g8*e 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8Q'Emw | 6.6.4 共轭梯度 111 >Bt82ibN 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 U0x
A~5B 6.6.5 拟牛顿法 112 J<$@X JLS 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 J=g)rd[` 6.6.6 针合成 113 C/kf?:j 6.6.6.1 针合成参数 114 O'<V[Y}6 6.6.7 差分进化 114 3:J>-MO 6.6.8非局部细化 115 dSM\:/t 6.6.8.1非局部细化参数 115 OF-k7g7 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .wfydu)3 6.7.1 细化 116 $J[( 3 6.7.2 合成 117 VY?9|};f 6.8 参考文献 117 u47<J?!Q 7 导纳图及其他工具 118 8=8hbdy; 7.1 简介 118 kf,
&t 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >jm(2P(R
7.2.1 四分之一波长规则 119 -l^<[% 7.2.2 导纳图 120 Q6h+. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 gq=t7b 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 p~D}Iyww1_ 7.5 斜入射导纳图 141 $0])%
7.6 对称周期 141 9vI~vl l 7.7 参考文献 142 fvu{(Tb 8 典型的镀膜实例 143 s8h*nZ)v 8.1 单层抗反射薄膜 145 odv2 (\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 U3(+8}Q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :eN&wQ5q 8.4 W-膜层 148 >F/^y O 8.5 V-膜层 149 ).~
" 8.6 V-膜层高折射基底 150 @8d 3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 je] DR~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Myq8`/_ 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?Ga8.0Z~KT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 X/5m}-6d] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 C6!F6Stn]g 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 oC0ndp~+& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 X\^V{v^- 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O]N /(pe:d 8.15十五层宽带抗反射膜 159 fBS a8D3}` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 AwM`[`ReE 8.17 1/4波长堆栈 162 "Q?+T:D8| 8.18 陷波滤波器 163 .. `I<2 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 DiJLWXs 8.20 褶皱 165 -|>~I#vY 8.21 消偏振分光器1 169 DAn2Pqf 8.22 消偏振分光器2 171 \!u<)kkyT 8.23 消偏振立体分光器 172 Sd7jd ?#9' 8.24 消偏振截止滤光片 173 P9v(5Z00|d 8.25 立体偏振分束器1 174 2 bc&sU)X 8.26 立方偏振分束器2 177 x,B] J4 8.27 相位延迟器 178 [WwoGg*)mn 8.28 红外截止器 179 o[Iu9.zJpy 8.29 21层长波带通滤波器 180 RQVu~7d[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 pMfb(D" 8.31 55层短波带通滤波器 182 u`MMK4 % 8.32 47 红外截止器 183 EPm~@8@"j? 8.33 宽带通滤波器 184 UU=]lWib 8.34 诱导透射滤波器 186 >pq~ &)^u 8.35 诱导透射滤波器2 188 J1w;m/oV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 wgl <JO 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8>KUx]AN 8.35 增益平坦滤波器 193 qTsy'y;Z 8.38 啁啾反射镜 1 196 IJ^~,+
8.39 啁啾反射镜2 198 %>+uEjbT 8.40 啁啾反射镜3 199 0 QTI;3 8.41 带保护层的铝膜层 200 J%"BCbxW~B 8.42 增加铝反射率膜 201 -FZC|[is 8.43 参考文献 202 "\4W])30 9 多层膜 204 F#Lo^ 8 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 yD+4YD 9.2 内部透过率 204 Exb64n-_= 9.3 内部透射率数据 205 ]!/ 9.4 实例 206 L(y70T 9.5 实例2 210 O}M-6!%<, 9.6 圆锥和带宽计算 212 ON2o^-%= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Hw \of 10 光学薄膜的颜色 216 t3<MoDe7`r 10.1 导言 216 omE- c 10.2 色彩 216 $*q|}Tvl# 10.3 主波长和纯度 220 #&Hi0..y 10.4 色相和纯度 221 ]?^V xB7L 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <)7aNW. 10.6 色差 226 s9Hxiw@D 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"*d6E}wG 10.8 颜色渲染指数 234 YR?Y:?( 10.9 色差计算 235 B;k'J:-" 10.10 参考文献 236 bP18w0>, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 * %D_\0; 11.1 短脉冲 238 ]az(w&vqg2 11.2 群速度 239 H4g8
1V= 11.3 群速度色散 241 I~4z%UG 11.4 啁啾(chirped) 245 .a4,Lr#q. 11.5 光学薄膜—相变 245 (`(D
$% 11.6 群延迟和延迟色散 246 8t!jo.g 11.7 色度色散 246 ^/C\:hw 11.8 色散补偿 249 OZ&/&?!XE 11.9 空间光线偏移 256 4=Th<,< 11.10 参考文献 258 Sn nfU 12 公差与误差 260 gUklP(T=u 12.1 蒙特卡罗模型 260 K_YrdA)6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 m23"xnRB 12.2.1 误差工具 267 4*X Nk;Dx 12.2.2 灵敏度工具 271 jQ{ @ol}n 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8iIp[9~= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 /4x\}qvU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 M@[W"f
Wq 12.3 参考文献 276 M<-Q8a~ 13 Runsheet 与Simulator 277 x,gk]C f 13.1 原理介绍 277 O#)1zD} 13.2 截止滤光片设计 277 UarLxPQ 14 光学常数提取 289 |Y3w6 !$ 14.1 介绍 289 *w0!C:mL& 14.2 电介质薄膜 289 orjtwF>^ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ]0UYxv%] 14.4 基底的参数提取 302 JSL&`
` 14.5 金属的参数提取 306 '{
<RX 14.6 不正确的模型 306 WARiw[
14.7 参考文献 311 /a\i 15 反演工程 313 !)bZ.1o 15.1 随机性和系统性 313 ?UsCSJ1V 15.2 常见的系统性问题 314 6kAAdy}ck 15.3 单层膜 314 \Oq2{Sx\ 15.4 多层膜 314 Mt.Cj;h@^[ 15.5 含义 319 Y(UK:LZ' 15.6 反演工程实例 319 ad}8~6}_& 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 u+8"W[ZULq 15.6.2 反演工程提取折射率 327 |]G%b[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 SH)-(+72d 16.1 光学性质的热致偏移 329 NK0'\~7& 16.2 应力工具 335 u8c@q'_ 16.3 均匀性误差 339 v]EMJm6d| 16.3.1 圆锥工具 339 qA>#;UTp 16.3.2 波前问题 341 k
A3K 16.4 参考文献 343 d*8*9CpO: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5aaM;45C 17.1 引言 345 (.UU40:t 17.2 操作数 345 Va )W[I 18 如何在Function中编写脚本 351 30vxOkS 18.1 简介 351 l`"?KD 18.2 什么是脚本? 351 /?;'y,(Q 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 v~ >Bbe 18.4 基础 352 -riX=K>$ 18.4.1 Classes(类别) 352 v>keZZOs 18.4.2 对象 352 Lg<h54X 18.4.3 信息(Messages) 352 ~cc }yDe 18.4.4 属性 352 /4T6Z[=s 18.4.5 方法 353 '~Y@HRVL@| 18.4.6 变量声明 353 BL&AZv/T 18.5 创建对象 354 Ao\P|K9MyL 18.5.1 创建对象函数 355 DgT]Nty@b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 J8)l ,J" 18.5.3 丢弃对象 356 &dtst?? 18.5.4 总结 356
]@ruizb8 18.6 脚本中的表格 357 =\lw.59 18.6.1 方法1 357 xf&[QG+Ef 18.6.2 方法2 357 DKf(igw 18.7 2D Plots in Scripts 358 >@7$=Y>D 18.8 3D Plots in Scripts 359 [W3X$r~- 18.9 注释 360 Qyw@ r 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 lpXGsKH2 18.11 一个更高级的脚本 362 $wAR cS 18.12 <esc>键 364 pVc+}Wzh 18.13 包含文件 365 j&X&&=
18.14 脚本被优化调用 366 =803rNe 18.15 脚本中的对话框 368 N# }A9t 18.15.1 介绍 368 G4'Ia$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |Y
K,& 18.15.3 输入框函数 370 ~vz%I^xW 18.15.4 自定义对话框 371 %tP*_d: 18.15.5 对话框编辑器 371 pl).U#7` 18.15.6 控制对话框 377 ,NQ!d4~D 18.15.7 更高级的对话框 380 + ,Krq 3P 18.16 Types语句 384 SVo ?o|< 18.17 打开文件 385 KRL.TLgq) 18.18 Bags 387 =p_*lC%N 18.13 进一步研究 388 -gvfz&Lz 19 vStack 389 5QiQDQT}5 19.1 vStack基本原理 389 9)7$U QY 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 LWCFCkx% 19.3 五棱镜 393 R%KF/1;/ 19.4 光束距离 396 S L
5k^| 19.5 误差 399 Zp)=l Td 19.6 二向分色棱镜 399 s|WwBT 19.7 偏振泄漏 404 Dnd; N/9 19.8 波前误差—相位 405 ]L~NYe9 19.9 其它计算参数 405 @ZU$W9g 20 报表生成器 406 7_\F$bp` 20.1 入门 406 O2 >c|=# 20.2 指令(Instructions) 406 KAnV%j 20.3 页面布局指令 406 d1/WUKmbZ 20.4 常见的参数图和三维图 407 N" L&Z4Z 20.5 表格中的常见参数 408 ~yJ 2@2I 20.6 迭代指令 408 {A/^;X{N^ 20.7 报表模版 408 ~)f^y!PMQ 20.8 开始设计一个报表模版 409 bg Ux&3 21 一个新的project 413 zx%WV@O9 21.1 创建一个新Job 414 Rq}lW.<r 21.2 默认设计 415 Mw0>p5+ cy 21.3 薄膜设计 416 *,JE[M 21.4 误差的灵敏度计算 420 :e7\z 21.5 显色指数计算 422 ketp9}u 21.6 电场分布 424 G$f%]A1 后记 426 ],SQD3~9
有兴趣可以和我联系 ai-s9r'MI? 3'.@aMA@
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