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qUuvM 内容简介 K]0K/~>8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~|!f6= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .%3qzOrN 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ywl7bU-f !J%m 7A oKlO cws}
;A3aUN;"I 目录 }aJK^>^>A Preface 1 RO9oO7S 内容简介 2 ud@7%% 目录 i v."0igMO 1 引言 1 Z7@~#)3 2 光学薄膜基础 2 h=`1sfz 2.1 一般规则 2 {W5D) 2.2 正交入射规则 3 <Ky6|&! 2.3 斜入射规则 6 .:(N1n'>1 2.4 精确计算 7 CNRiK;nQ 2.5 相干性 8 xSal=a;k 2.6 参考文献 10 V1= (^{p8 3 Essential Macleod的快速预览 10 <e%~K4KH 4 Essential Macleod的特点 32 F87aIJ.pGN 4.1 容量和局限性 33 YJ[Jo3M@j0 4.2 程序在哪里? 33 =nTNL .SX 4.3 数据文件 35 $>M A 4.4 设计规则 35 ~H+W[r} 4.5 材料数据库和资料库 37 SyWLPh 4.5.1材料损失 38 x.:k0;%Q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 *\5o0~~8J 4.5.2 材料库 41 -?K?P=B;X 4.5.3导出材料数据 43 ?4&C)[^ 4.6 常用单位 43 B<A=U r 4.7 插值和外推法 46 .^}
vDA 4.8 材料数据的平滑 50 :+nECk 4.9 更多光学常数模型 54 RgQ;fYS 4.10 文档的一般编辑规则 55 a|s64+ 4.11 撤销和重做 56 J
BN_Upat 4.12 设计文档 57 lbg^ 2|o~~ 4.10.1 公式 58 ]*Tnu98G} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 aRh1Q=^@(4 4.10.3 沉积密度 59 Ub%sw&QG(9 4.10.4 平行和楔形介质 60 >aaHN1Ca 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 B&Igm<72x 4.10.4 性能 61 XM"{" 4.10.5 保存设计和性能 64 K#LG7faj 4.10.6 默认设计 64 bR*/d-v^ 4.11 图表 64 6x_tX 4.11.1 合并曲线图 67 FKN!*}3 4.11.2 自适应绘制 68 FlPPz 4.11.3 动态绘图 68 oF(<}0Z 4.11.4 3D绘图 69
E+.%9EKU 4.12 导入和导出 73 t ;~H6 4.12.1 剪贴板 73 \B<A.,i4 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 9j6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ny,a5zEnF 4.13 背景 77 }?vc1%w 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 S/XkxGZ2 4.15 生成Rugate 84 |4XR [eX 4.16 参考文献 91 <g^!xX<r? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 f4k\hUA 5.1 Jobs 92 M-B - 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \~YyY'J 5.3 输入材料 94 o.Jq1$)~y 5.4 设计数据文件夹 95 q|[P[7z 5.5 默认设计 95 tl:+wp7P` 6 细化和合成 97 `iiZ 6.1 优化介绍 97 LT5rLdn 6.2 细化 (Refinement) 98 #O
|Z\|n 6.3 合成 (Synthesis) 100 V(Dn!Nz 6.4 目标和评价函数 101 6}RRrYL7I 6.4.1 目标输入 102 w<uK-]t 6.4.2 目标 103 ppBIl6 6.4.3 特殊的评价函数 104 $)5-}NJf' 6.5 层锁定和连接 104 N!`8-ap\^ 6.6 细化技术 104 q hPvU(
, 6.6.1 单纯形 105 =>0+BD 6.6.1.1 单纯形参数 106 .skR4f,h 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 NB z3j 6.6.2.1 Optimac参数 108 3]X9 z 6.6.3 模拟退火算法 109 PKx ewd 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &d`z|Gx9 6.6.4 共轭梯度 111 kUdl2["MZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 v GF< 6.6.5 拟牛顿法 112 W:8*Z8?7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 CulU?-[i 6.6.6 针合成 113 Vo\RtM/6{ 6.6.6.1 针合成参数 114 5nGDt~a 6.6.7 差分进化 114 8"#Ix1# 6.6.8非局部细化 115 4RH'GnLa 6.6.8.1非局部细化参数 115 WG{mg/\2(C 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q]\bJV^/U 6.7.1 细化 116 G*;}6 bj|? 6.7.2 合成 117 f|*vWHSM 6.8 参考文献 117 u7e g:0Y 7 导纳图及其他工具 118 A-GRuC 7.1 简介 118 4)BPrWea1 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 R7L:U+*V" 7.2.1 四分之一波长规则 119 6!,Am^uXM 7.2.2 导纳图 120 Q/%(&4>'y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ,=9e]pQ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n: ~y] 7.5 斜入射导纳图 141 {ZS-]|Kx 7.6 对称周期 141 7H-,:8 7.7 参考文献 142 Uf`lGGM 8 典型的镀膜实例 143 y1JxAj 8.1 单层抗反射薄膜 145 RsYn6ozb 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 5ml^3,x 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 P}%0YJ$6 8.4 W-膜层 148 _)7dy2%{q 8.5 V-膜层 149 U#O6l-xe] 8.6 V-膜层高折射基底 150 w>IYrSaa> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 brkR,(#L3 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 LiyEF&_u 8.9 四层抗反射薄膜 153 >+[uV^2[ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Ty"OJ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !9!kb 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Y2
&N#~l* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 959i2z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 1@nGD<,. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~HwY?[}!m 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 w$9aTL7 8.17 1/4波长堆栈 162 ,KlTitJl\+ 8.18 陷波滤波器 163 h^P>,dy0 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 web=AQ5I4 8.20 褶皱 165 M-!eL< 8.21 消偏振分光器1 169 ];waK2'2 8.22 消偏振分光器2 171 JM#jg-z,~ 8.23 消偏振立体分光器 172 `L(AvSR 8.24 消偏振截止滤光片 173 Vrf+~KO7 8.25 立体偏振分束器1 174 +e0]Y8J{ 8.26 立方偏振分束器2 177 e&C(IEZ/N; 8.27 相位延迟器 178 -R,[/7zj 8.28 红外截止器 179 O[3AI^2 8.29 21层长波带通滤波器 180 [?<"SJ,` 8.30 49层长波带通滤波器 181 # E'g{.N 8.31 55层短波带通滤波器 182 *f~X wy" 8.32 47 红外截止器 183 H!Y`?Rc 8.33 宽带通滤波器 184 rO%
|PRP 8.34 诱导透射滤波器 186 //G5lW/* 8.35 诱导透射滤波器2 188 ?-,v0# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 P-L<D!25 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 5|ih>? C/( 8.35 增益平坦滤波器 193 ex8mA6g 8.38 啁啾反射镜 1 196 ;T}#-`O_Im 8.39 啁啾反射镜2 198 9$,?Grw~ 8.40 啁啾反射镜3 199 )-824?Nl: 8.41 带保护层的铝膜层 200 J!,5HJh1 8.42 增加铝反射率膜 201 m:<cLc :. 8.43 参考文献 202 =6t)-53 9 多层膜 204 NDhHU#Q9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 yV:DR 9.2 内部透过率 204 22L#\qVkl 9.3 内部透射率数据 205 }XCHoB 9.4 实例 206 byM/LE7) 9.5 实例2 210 ,cs`6Bd4 9.6 圆锥和带宽计算 212 _pQ9q&i4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 wO!k|7:Z 10 光学薄膜的颜色 216 yzhr"5_ 10.1 导言 216 :N#gNtC)b 10.2 色彩 216 ZoB?F 10.3 主波长和纯度 220 KIdlndGs 10.4 色相和纯度 221 5gg_c?Vh/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 H~+D2A 10.6 色差 226 hq/k}Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ]*pALT6 10.8 颜色渲染指数 234
PA"xb3@I 10.9 色差计算 235 $Q1:>i@I|g 10.10 参考文献 236 oUEpzv,J 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 GmN} +( 11.1 短脉冲 238 KcVCA 11.2 群速度 239 $%VFk 53I 11.3 群速度色散 241 ]yN]^%PYH 11.4 啁啾(chirped) 245 q>w@W:t Z 11.5 光学薄膜—相变 245 )'M<q,@<( 11.6 群延迟和延迟色散 246 F ]\4< 11.7 色度色散 246 >Vc_.dR)E 11.8 色散补偿 249 AFL* a* 11.9 空间光线偏移 256 .O'S@ %] 11.10 参考文献 258 o[^% 0uVF 12 公差与误差 260 #KZ- "$ 12.1 蒙特卡罗模型 260 Zb`}/%\7 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vk+TWf 12.2.1 误差工具 267 GiB3.%R` 12.2.2 灵敏度工具 271 N(Us 9 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ?<,9X06dP 12.2.2.2 灵敏度分布 275
N\DEY] 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 UaCEh?D+Y 12.3 参考文献 276 'OSZ'F3PV 13 Runsheet 与Simulator 277 $k*E^~qT 13.1 原理介绍 277 InMeD[*^ 13.2 截止滤光片设计 277 2(LS<HqP[ 14 光学常数提取 289 A[v]^pv' 14.1 介绍 289 AV AF!Z 14.2 电介质薄膜 289 B[ooT3V 14.3 n 和k 的提取工具 295 V{;Mh
u`+ 14.4 基底的参数提取 302 -]\%a=] 14.5 金属的参数提取 306 1=OXi!G 14.6 不正确的模型 306 (7`&5md 14.7 参考文献 311 0U ?1Yh7
m 15 反演工程 313 (L8H.|. 15.1 随机性和系统性 313 u&".kk 15.2 常见的系统性问题 314
=w0Rq~ 15.3 单层膜 314 aDR<5_Yb 15.4 多层膜 314 ^]^Y~$u 15.5 含义 319 !)ey~Suh 15.6 反演工程实例 319 nK1XJp 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 <WtX>
\]l( 15.6.2 反演工程提取折射率 327 iN5~@8jAzz 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 H:4r6-{ 16.1 光学性质的热致偏移 329
md_aD 16.2 应力工具 335 cysYjuI i 16.3 均匀性误差 339 ^%|{>Mz;c 16.3.1 圆锥工具 339 8(q4D K\5u 16.3.2 波前问题 341 0@{K'm/ 16.4 参考文献 343 >Be PE(k 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 =:v\}/ 17.1 引言 345 S*?'y 17.2 操作数 345 8Z:NT_Ss 18 如何在Function中编写脚本 351 bV|:MW<Wv 18.1 简介 351 oHB51< } 18.2 什么是脚本? 351 ~HI|t2C 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {-J/
<a@ 18.4 基础 352 J:)Q)MT24: 18.4.1 Classes(类别) 352 =G;whd}] 18.4.2 对象 352 / _-?NZ 18.4.3 信息(Messages) 352 c^}gJ 18.4.4 属性 352 G+ Y`65 18.4.5 方法 353 9s6, &' 18.4.6 变量声明 353 ypwVzCUG 18.5 创建对象 354 i*..]!7e 18.5.1 创建对象函数 355 i ;y<gm" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 .<^dv?@ 18.5.3 丢弃对象 356 rOE[c 18.5.4 总结 356 -lRXH7|X 18.6 脚本中的表格 357 9yajtR 18.6.1 方法1 357 ~EW
(2B{u 18.6.2 方法2 357 %A`f>v.7 c 18.7 2D Plots in Scripts 358 x&+/da-E/5 18.8 3D Plots in Scripts 359 0^*4LM|z 18.9 注释 360 3X89mIDr 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Uc!}D 18.11 一个更高级的脚本 362 fBS;~;l 18.12 <esc>键 364 $dFEC}1t
18.13 包含文件 365 %L}9nc%~eP 18.14 脚本被优化调用 366 ^;$a_eR 18.15 脚本中的对话框 368 .T
L0cf To 18.15.1 介绍 368 uXxyw7\W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 @sav8] 18.15.3 输入框函数 370 {jcrTjmxe 18.15.4 自定义对话框 371 UMpC2)5 18.15.5 对话框编辑器 371 YDyOhv 18.15.6 控制对话框 377 ]MfT5#(6h 18.15.7 更高级的对话框 380 eEb(TG~,Y 18.16 Types语句 384 #n]js7 18.17 打开文件 385 AVGb;)x# 18.18 Bags 387 !F/;WjHz 18.13 进一步研究 388 }?$d~]t) 19 vStack 389 )/HSt%> 19.1 vStack基本原理 389 qS*qHT(u19 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8GN0487H 19.3 五棱镜 393 VzA~w`$d 19.4 光束距离 396 pjvChl5 19.5 误差 399 Uxn_nh 19.6 二向分色棱镜 399 5Z]`n 19.7 偏振泄漏 404 pi q%b] 19.8 波前误差—相位 405 Z+' 7c|a 19.9 其它计算参数 405
R,x\VX!| 20 报表生成器 406 -1Yt3M& 20.1 入门 406 >#Y8#-$zc 20.2 指令(Instructions) 406 I5wf|wB- 20.3 页面布局指令 406 A 7'dD$9 20.4 常见的参数图和三维图 407 0V{-5-. 20.5 表格中的常见参数 408 id\0yRBt 20.6 迭代指令 408 )3=oS1p 20.7 报表模版 408 IfF<8~~E 20.8 开始设计一个报表模版 409 RvZi %) 21 一个新的project 413 2shr&Mfp[ 21.1 创建一个新Job 414 4pJOJ!? 21.2 默认设计 415 Y
6K<e:Y 21.3 薄膜设计 416 gs_"H 21.4 误差的灵敏度计算 420 D06'" 21.5 显色指数计算 422 Jt43+] 21.6 电场分布 424 ELk$lm& |