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?I[h~vr6. 内容简介 9:-T@u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 MKC$;>i 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &:No}6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 'irGvex Q 2"WV y@A6$[%(E|
y@3kU*-1 目录 4\ FP Preface 1 zmb@*/fK 内容简介 2 &DLhb90 目录 i c|lU(Tf 1 引言 1 `VZZ^K9zR 2 光学薄膜基础 2 VhvTBo<cw 2.1 一般规则 2 P>wZ~Hjk 2.2 正交入射规则 3 {2:d`fqD 2.3 斜入射规则 6 W`x)=y]Z 2.4 精确计算 7 uoCGSXsi 2.5 相干性 8 e!Br>^8l 2.6 参考文献 10 rz.IoQo 3 Essential Macleod的快速预览 10 43L|QFo 4 Essential Macleod的特点 32 BI.V0@qZ 4.1 容量和局限性 33 ;&kn"b}G; 4.2 程序在哪里? 33 Pbe7SRdr^ 4.3 数据文件 35 ?E7=:h(@t 4.4 设计规则 35 9|=nV|R'6 4.5 材料数据库和资料库 37 {y6C0A* 4.5.1材料损失 38 U:n*<l-k} 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h<Wg 3o 4.5.2 材料库 41 v459},!P 4.5.3导出材料数据 43 k 4B_W 4.6 常用单位 43 dIJGB== 4.7 插值和外推法 46 y(v_-6b 4.8 材料数据的平滑 50 L\L"mc|O 4.9 更多光学常数模型 54 tOH0IE c 4.10 文档的一般编辑规则 55 Pm^lr! 3p 4.11 撤销和重做 56 0`n
5x0R 4.12 设计文档 57 nY0sb8lZJ 4.10.1 公式 58 E>}q2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 QNArZ6UQ 4.10.3 沉积密度 59 1lcnRHO 4.10.4 平行和楔形介质 60 kA^A mfba 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 J=*K"8Qr 4.10.4 性能 61 ?Y3@" rdR 4.10.5 保存设计和性能 64 aZKXD! 4 4.10.6 默认设计 64 z0Xa_w= 4.11 图表 64 e$wt&^W 4.11.1 合并曲线图 67 gS$A 4.11.2 自适应绘制 68 DYRE1! 4.11.3 动态绘图 68 tU:FX[&?R 4.11.4 3D绘图 69 i03gX<=* 4.12 导入和导出 73 %v4ZGtKC@ 4.12.1 剪贴板 73 k1fRj_@WPT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3cC }'j 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 S}7>RHe 4.13 背景 77 C9jbv/c 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >a=d; 4.15 生成Rugate 84 \r;F2C0*i 4.16 参考文献 91 ?9e] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 T//S, 5.1 Jobs 92 LgHJo-+> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 TyOH`5D 5.3 输入材料 94 ^>m^\MuZ 5.4 设计数据文件夹 95 c7qwNs*f 5.5 默认设计 95 tcA;#^jc 6 细化和合成 97 K@r*;T 6.1 优化介绍 97 Y6ben7j%- 6.2 细化 (Refinement) 98 *#2Rvt*Ox 6.3 合成 (Synthesis) 100 @^?XaU 6.4 目标和评价函数 101 <AUWby," 6.4.1 目标输入 102 &Rp"rMeW
6.4.2 目标 103 N E=
w6 6.4.3 特殊的评价函数 104 'msmXX@q 6.5 层锁定和连接 104 uvB1VV4 6.6 细化技术 104 254~:eB0 6.6.1 单纯形 105 Jqru AW< 6.6.1.1 单纯形参数 106 GBbh ar},g 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 g$3>~D 6.6.2.1 Optimac参数 108 @ Nb%L&=P8 6.6.3 模拟退火算法 109 IKcKRw/O$ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 a+?~;.i~ 6.6.4 共轭梯度 111 %MJ;Q?KB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 HarFE4V 6.6.5 拟牛顿法 112 1q]c7" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !Iq{ 5: 6.6.6 针合成 113 \L[i9m| e 6.6.6.1 针合成参数 114 H06Bj(Y! 6.6.7 差分进化 114 CLN+I'uX0 6.6.8非局部细化 115 \+Y!ILOI 6.6.8.1非局部细化参数 115 ow.6!tl0=h 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l2&hBacT 6.7.1 细化 116 \FifzKA 6.7.2 合成 117 Jps .;yjk 6.8 参考文献 117 }.{}A(^YR 7 导纳图及其他工具 118 :'*DMW~ 7.1 简介 118 Np)aS[9W 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 - DL"-%X. 7.2.1 四分之一波长规则 119 @2e2^8X7f 7.2.2 导纳图 120 DU{bonR` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ',mW`ZN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Fu)Th|5GZ 7.5 斜入射导纳图 141 ax@H"d& 7.6 对称周期 141 {4rQ7J4Ux 7.7 参考文献 142 CV^c",b_ 8 典型的镀膜实例 143 -x'e+zT 8.1 单层抗反射薄膜 145 2p:r`THvS5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 +R[4\ hC0Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 bPd-D-R 8.4 W-膜层 148 8A{6j 8.5 V-膜层 149 ]d'^Xs 8.6 V-膜层高折射基底 150 rt b* n~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 2u:4$x8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "=|t ~` 8.9 四层抗反射薄膜 153 +LzovC@^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (@&I_>2Q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 JBcY!dy-d 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 dZ2`{@AYY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 G6O/(8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \G;CQV#{9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 :oa9#c`L 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $TG?4 8.17 1/4波长堆栈 162 $a.u05 8.18 陷波滤波器 163 /f3m)pT 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 G)7)]yBL 8.20 褶皱 165 =!<G!^ 8.21 消偏振分光器1 169 nGa1a 8.22 消偏振分光器2 171 Z> 74.r 8.23 消偏振立体分光器 172 PXEKV0y 8.24 消偏振截止滤光片 173 ')o0O9/; 8.25 立体偏振分束器1 174 P s#>y& 8.26 立方偏振分束器2 177 FH\CK 8.27 相位延迟器 178
BGqa-d 8.28 红外截止器 179 =nhzMU9c\y 8.29 21层长波带通滤波器 180 )HVcG0H1 8.30 49层长波带通滤波器 181 h%1Y6$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 &!1}`4$[T 8.32 47 红外截止器 183 KQ)T(mIqp 8.33 宽带通滤波器 184 ;<-7*}Dj 8.34 诱导透射滤波器 186 5(J^N 8.35 诱导透射滤波器2 188 yQ[u3tI 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0HbJKix! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ;CmOsA,1 8.35 增益平坦滤波器 193 5"=:#zN 8.38 啁啾反射镜 1 196 l{%a&/ 8.39 啁啾反射镜2 198 t[2i$%NVM 8.40 啁啾反射镜3 199 wk ikD 8.41 带保护层的铝膜层 200 6k9Lx C:M 8.42 增加铝反射率膜 201 ] !Zty[ 8.43 参考文献 202 V0NVGRQ 9 多层膜 204 _01Px a2. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 bUvK 9.2 内部透过率 204 gX*K&*q 9.3 内部透射率数据 205 $Jf9;. 9.4 实例 206 ,-
HIFbXx@ 9.5 实例2 210 _T]>/}}p 9.6 圆锥和带宽计算 212 Efr&12YSS 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;Qa;@ 10 光学薄膜的颜色 216 y Nva1I 10.1 导言 216 \dV Too 10.2 色彩 216 Y6VQ:glDT- 10.3 主波长和纯度 220 qG9qN.|dC 10.4 色相和纯度 221 grbTcLSF 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (~#G'Hd 10.6 色差 226 cU+>|'f& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 s*JE) 10.8 颜色渲染指数 234 c{>|o 10.9 色差计算 235 {A3m+_8 10.10 参考文献 236 sXB+s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 I:t^S., 11.1 短脉冲 238 ;r!\-]5$ 11.2 群速度 239 pUL sGb 11.3 群速度色散 241 u(hC^T1 11.4 啁啾(chirped) 245 a:u}d7T3e 11.5 光学薄膜—相变 245 l0`'5> 11.6 群延迟和延迟色散 246 }ywi"k4> 11.7 色度色散 246 ;3UvkN 11.8 色散补偿 249 0j$OE 11.9 空间光线偏移 256 jo0Pd_W8& 11.10 参考文献 258 7bT
/KLU 12 公差与误差 260 vlQ0gsXK 12.1 蒙特卡罗模型 260 }n95< { 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 kfCKhx 12.2.1 误差工具 267 z!CD6W1n 12.2.2 灵敏度工具 271 v3^t/[e~: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 W5/};K\. 12.2.2.2 灵敏度分布 275 4oJ$dN 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /{we;Ut=g 12.3 参考文献 276 \)R-A
'*U 13 Runsheet 与Simulator 277 .)`-Hkxa 13.1 原理介绍 277 @?/\c:cp 13.2 截止滤光片设计 277 o+^Eu}[. 14 光学常数提取 289 /"MJkM.~E 14.1 介绍 289 P6we(I`"2 14.2 电介质薄膜 289 XU-*[\K 14.3 n 和k 的提取工具 295 A&
=pw# 14.4 基底的参数提取 302 o)!m$Q~v 14.5 金属的参数提取 306 .e$%[)D 14.6 不正确的模型 306 iGa}3pF 14.7 参考文献 311 D3.VXuKn6 15 反演工程 313 ysVi3eq 15.1 随机性和系统性 313 7jT}{
x 15.2 常见的系统性问题 314 " $=qGHA~ 15.3 单层膜 314 !a[$)c 15.4 多层膜 314 6Ahr_{ 15.5 含义 319 ,s? dAy5 15.6 反演工程实例 319 +2y&B,L_Wh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 GZ"/k<~0 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @g\;` #l 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 8^T2^gs 16.1 光学性质的热致偏移 329 qUg9$oh{LI 16.2 应力工具 335 4:`[q E3 16.3 均匀性误差 339 wA",SBGX 16.3.1 圆锥工具 339 I61%H9; 16.3.2 波前问题 341 LP?P=c 16.4 参考文献 343 uk6g s)qxC 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Y Z\@)D; 17.1 引言 345 e>!E=J)j 17.2 操作数 345 ~oFh>9u 18 如何在Function中编写脚本 351 H9E(\)@ 18.1 简介 351 `sxN!Jj? 18.2 什么是脚本? 351 @<5Tba>SC 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ^$}/|d( 18.4 基础 352 ;q&0,B 18.4.1 Classes(类别) 352 x~Cz?ljbn 18.4.2 对象 352 (HJ$lxk<2h 18.4.3 信息(Messages) 352 - p^'XL*Z 18.4.4 属性 352 4Pf+]R 18.4.5 方法 353 k-vA# 18.4.6 变量声明 353 N"~ qoJO 18.5 创建对象 354 GoL|iNW` 18.5.1 创建对象函数 355 '$*[SauAG 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 19&)Yd1 18.5.3 丢弃对象 356 7@@<5&mN 18.5.4 总结 356 Z+,CL/ 18.6 脚本中的表格 357 wo]ks}9 18.6.1 方法1 357 $^IjFdD 18.6.2 方法2 357 Qpw@MF2P 18.7 2D Plots in Scripts 358 9R>~~~{-Go 18.8 3D Plots in Scripts 359 L}b'+Wi@ 18.9 注释 360 |G=FqAXH 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Oc~VHT 18.11 一个更高级的脚本 362 1~L\s}|2d 18.12 <esc>键 364 B6uRJcD4 18.13 包含文件 365 Kk>DYHZ6y 18.14 脚本被优化调用 366 /]g>#J%b 18.15 脚本中的对话框 368 lfRH`u 18.15.1 介绍 368 fOLnK
y# 18.15.2 消息框-MsgBox 368 jf 8w7T 18.15.3 输入框函数 370 vuW-}fY; 18.15.4 自定义对话框 371 6qf-Y!D5 18.15.5 对话框编辑器 371 G1TANy 18.15.6 控制对话框 377 o
Fi) d[` 18.15.7 更高级的对话框 380 nAvs~J 18.16 Types语句 384 ;xI0\a7 18.17 打开文件 385 ?F25D2[( 18.18 Bags 387 w#rVSSXQ3 18.13 进一步研究 388 3jS7 uU 19 vStack 389 ^} tuP 19.1 vStack基本原理 389 D>S8$]^Dm 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 G-ZhGbAI7 19.3 五棱镜 393 A`g.[7 19.4 光束距离 396 K,]woNxaw 19.5 误差 399 r;$r=Uf r 19.6 二向分色棱镜 399 qNy-o\;XN 19.7 偏振泄漏 404 =~
'^;D 19.8 波前误差—相位 405 ;)P5#S!n- 19.9 其它计算参数 405 !;jgzi?z 20 报表生成器 406 nqrDT1b** 20.1 入门 406 w~p4S+k& 20.2 指令(Instructions) 406 >ks3WMm 20.3 页面布局指令 406 i:{:xKiC a 20.4 常见的参数图和三维图 407 AT-0}9z{ 20.5 表格中的常见参数 408 `{Hb2
}L5 20.6 迭代指令 408 n~.% p 20.7 报表模版 408 !@A|L#* 20.8 开始设计一个报表模版 409 3#B@83C0Z 21 一个新的project 413 yZ ?$8r 21.1 创建一个新Job 414 !%X>rGkc 21.2 默认设计 415 :)j7U3u 21.3 薄膜设计 416 :ET x*c 21.4 误差的灵敏度计算 420 ["<5?!bU 21.5 显色指数计算 422 yX`J7O{= 21.6 电场分布 424 \6Xn]S 后记 426 " xlJs93c 如有需要可以加我微信
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