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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    OUP?p@%]<  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ,p;_\\<  
    RmI1`  
    C[WCg9Av  
         W9oAjO NE  
    建模任务 +u'I0>)S  
    A>VX*xd  
    *4|Hqa  
         MlW 8t[  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) KS*oxZ  
         oR p:B &  
    系统建模块 E0oU$IB  
    //Ai.Q.J[  
    \C 5%\4  
         XR0O;JN  
    特定位置的Talbot图案 NcCvm#  
    8e0."o.6  
    B}d.#G+_$x  
    7< 9L?F2  
    特定位置的Talbot图案 *V(Fn-6(  
    7~M<cD  
    D=RU`?L  
    不同位置的Talbot图案 zdSh:  
    F^!mI7Z|(2  
    sCl$f7"  
    M2@^bB\J  
    不同位置的Talbot图案 69#8Z+dw7  
    buk=p-oi  
     
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