切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 820阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    $b )k  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 AI$\wp#aw  
    G1SOvdq  
    5hDm[*83  
         `nd$6i^#W  
    建模任务 #,SPV&  
    Rz<'& Z>;  
    Wm!cjGK  
         e=ry_@7  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) G,b*Qn5#  
         /vLW{%  
    系统建模块  fTGVG  
    >4?735f=x  
    AD7&-=p&w  
         +@+*sVb  
    特定位置的Talbot图案 Go7 oj'"  
    cZ ,}1?!  
    VP }To  
    %\1W0%w  
    特定位置的Talbot图案 :>3?|Z"Aj  
    CeUC[cUQU  
    T?*f}J  
    不同位置的Talbot图案 u"U7aYGkY  
    76cT}l&.h8  
    3oApazH*  
    v+DXs!O{  
    不同位置的Talbot图案 >UXNR`?  
    =AX"'q  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表