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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    [58qC:  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 k|rbh.Q  
    fp$U%uj  
    %Xl(wvd   
         dJ7!je1N*  
    建模任务 XNkZ^3mq  
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    Wl{}>F`W[  
         r4pR[G._  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) K1*V\WRW5  
         'q{d? K  
    系统建模块 ugQySg>  
    \x~},!l  
    03 I*@jj  
         !?GW<Rh  
    特定位置的Talbot图案 g-2(W   
    {xQ(xy  
    . L]!*  
    kIH)>euZ  
    特定位置的Talbot图案 3Ebkq[/*%  
    u [LsH  
    ]]V| ]}<)m  
    不同位置的Talbot图案 cG4$)q;q  
    90 pt'Jg  
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    不同位置的Talbot图案 hWiBLip,z  
    dQPW9~g8Hg  
     
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