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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    mo{MR:>)  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 aVL=K  
    =qy=-j]  
    P|tNL}2`;  
         R"MRnr_4K  
    建模任务 l7{oi!   
    /walu+]h  
    JO<wK  
         ;Vik5)D2D  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) @+F4YJmB?l  
         klgy;jSEr  
    系统建模块 f h#C' sn  
    sVk$x:k1M  
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         !o=U19)  
    特定位置的Talbot图案 r0d35  
    |tR OL 9b  
    rNjn~c  
    C98]9  
    特定位置的Talbot图案 gBh;=vOD  
    /&F,V+x  
    3p2P= T  
    不同位置的Talbot图案 yme^b ;a  
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    A1P K  
    i wxVl)QL  
    不同位置的Talbot图案 6hZ@;Q=b  
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