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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    \3K6NA!L  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 E%ea o$  
    EQPZV K/  
    m^ zx &  
         4W8rb'B!Ay  
    建模任务 O%v(~&OSl  
    I Vy,A7f  
    q3Umqvl)oe  
         6h>8^l  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) X:-X3mV9{  
         <[C 9F1]Ya  
    系统建模块 "FQh^+  
    "M6a_rZ2W  
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          .Pq8C  
    特定位置的Talbot图案 hM E|=\  
    ub6\m=Y7  
    =f@O~nGm  
    .G+}Kn9!  
    特定位置的Talbot图案 ~ C5iyXR  
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    不同位置的Talbot图案 ]Oc :x  
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