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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    om2N*W.gk  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 <fM}Kk  
    qR_>41JU"  
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    建模任务 =/`]lY&  
    G!;PV^6x  
    @XXPJq;J  
         OF+4Mq  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~> Q9  
         _+'!l'`  
    系统建模块 q\~ #g.}  
    W\NC3]  
    `$ S&:Q,  
         >6HGh#0(p  
    特定位置的Talbot图案 6(rN(C  
    "ayV8{m^3  
    N+@ Ff3M  
    t>/x-{bH\  
    特定位置的Talbot图案 brs`R#e \  
    3 h d30o  
    0o"aSCq8t  
    不同位置的Talbot图案 FK593z  
    N)G HQlgH  
    q]I aRho  
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    不同位置的Talbot图案 Rd5_{F  
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