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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    Xb)XV$0  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Itj|0PGd  
    P.&,nFIg3  
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    建模任务 ^p|@{4f]  
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    s-*8=  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0O!%NL[,  
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    系统建模块  5t:4%  
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    特定位置的Talbot图案 .F'Fk=N  
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    特定位置的Talbot图案 \hv*`ukF  
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    不同位置的Talbot图案 P[#V{%f*5  
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    不同位置的Talbot图案 r}D`15IHJ  
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