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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    D-\WS^#  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 1T:M?N8J  
    RzCC>-  
    fq(r,h=|  
         CBw/a0Uck  
    建模任务 Ylbh_ d~BU  
    V\Oe] w  
    gM_z`H 5[!  
         Ah:!  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7|4hs:4mD  
         KNT(lA0s  
    系统建模块 GyI(1O AW  
    ^DVj_&~  
    "{>I5<:t  
         <tkxE!xF`J  
    特定位置的Talbot图案 F[PIo7?K  
    c4QegN  
    G{$(t\>8  
    b<,Z^Z_  
    特定位置的Talbot图案 ]-h$CJSY  
    Vj?{T(K1[  
    i'&KoR ?  
    不同位置的Talbot图案 U:6 J~  
    sute%6yM  
    _~!*|<A_  
    3C'`c=  
    不同位置的Talbot图案 G8xM]'y  
    f1GV6/| m  
     
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