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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    S{]7C?4`  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 85:NFa@J  
    1F'1>Bu~  
    `^JJ&)4iv  
         #t8{R~y"gv  
    建模任务 #eZ6)i<  
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         n]_[NR) i  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 1LJuCI=~  
         +6$g! S5{  
    系统建模块 ^mWybPqx  
    `nXVE+E@  
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         ]r! >{  
    特定位置的Talbot图案 #o/ H~Iv  
    SnlyUP~P  
    6Tw#^;q-  
    'TC/vnM  
    特定位置的Talbot图案 %D$,;{ew  
    4D%9Rc0 G  
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    不同位置的Talbot图案 {CG_P,FO  
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    不同位置的Talbot图案 B_U{ s\VY  
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