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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    + {dIs  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 =C}<0<"iF  
    VZ!$'??  
    tOVm~C,R  
         BFRSYwPr  
    建模任务 -v2q:x'G#  
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    `cRB!w=KHV  
         )}lV41u  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7l EwQ  
         JQ4>S<ttJ  
    系统建模块 $S("- 3  
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         (!=aRC.-  
    特定位置的Talbot图案 2$UR " P  
    +5\\wGo<  
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    特定位置的Talbot图案 S?tLIi/  
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    不同位置的Talbot图案 9jO+ew  
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    不同位置的Talbot图案 U]$3NIe  
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