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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    K!+IRA@  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Fs3rsig  
    4%GwCEnS  
    -Gyj]v5y`c  
         V#P`FX  
    建模任务 :f/T $fa*  
    \Qgc7ev  
    ,O'#7Dj  
         C]bre^q  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) y!kU0  
         =>LQW;Sjz  
    系统建模块 b)(rlX  
    &*nq.l76X`  
    XZ&cTjNB&  
         "8#EA<lsS  
    特定位置的Talbot图案 H5)8TR3La  
    ~x-v%x6  
    |lG7/\A  
    I)AbH<G{  
    特定位置的Talbot图案 t9\}!{<s  
    c]+uj q  
    $[xS>iuD  
    不同位置的Talbot图案 ^D5+ S`V  
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    +td]g9Ie  
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    不同位置的Talbot图案 buu /Nz$  
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