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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 XU-*[\K  
    4Hd Si  
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    建模任务 \`gEu{  
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    u]*5Ex(?  
         M=+M8M`Iy  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) [; @):28"  
         >0V0i%inmF  
    系统建模块 ohplj`X[21  
    O PiaG!3<  
    [B,p,Q"  
         b,Lw7MY}[  
    特定位置的Talbot图案 w, 7Cr  
    ue9h   
    ^j iE9k)  
    4:`[qE3  
    特定位置的Talbot图案 wA",SBGX  
    I61%H9 ;  
    $_bZA;EMQ  
    不同位置的Talbot图案 :<UtHf<=k  
    $WClpvVj  
    >[P%Ty);  
    Yj3*)k  
    不同位置的Talbot图案 G"C;A`6  
    O+vcs4  
     
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