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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    [5^"U+`{x  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ]Ow A>fb  
    n8#iL  
    ^B~z .F i  
         ]cLO-A  
    建模任务 u-0-~TwD  
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    @D&VOJV  
         '+^HeM^;  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %{g<{\@4(;  
         xpt*S~  
    系统建模块 Oe=7z'o  
    (gZKR2hO  
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         BXy g ?  
    特定位置的Talbot图案 J@w Q3#5a  
    s,O:l0  
    ^2}0lP|  
    .~qu,q7k~  
    特定位置的Talbot图案 X*6bsYbK-  
    s0 hD;`cm  
    8R}CvzI  
    不同位置的Talbot图案 ,cD(s(6+  
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    不同位置的Talbot图案  +T02AS  
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