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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    Ihe/P {t]J  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 r#Pkhut  
    d+9T}? T:*  
    =:fFu,+{  
         MX3ss,F  
    建模任务 B3p[A k  
    4JF8S#8B  
    i(eLE"G+  
         9*?H/iN@p?  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) *`}4]OGv.  
         :+1S+w  
    系统建模块 Dxc`K?M   
    NW}kvZ  
    ELF,T (  
         8"C;I=]8  
    特定位置的Talbot图案 X%S9 H^9  
    $N7:;X"l  
    fk(l.A$  
    S#M<d~rK  
    特定位置的Talbot图案 $ Cr? }'a  
    {J:ZM"GS  
    dHU#Y,v  
    不同位置的Talbot图案 {.W$<y (j7  
    F8q&v"  
    1dhp/Qh  
    SE0"25\_G  
    不同位置的Talbot图案 R/H ?/  
    :!vDX2o)\  
     
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