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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    ;P%1j|7  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 f5VLw`m}.8  
    ")XHak.JX  
    0*D$R`$  
         DjQFi  
    建模任务 65$+{s  
    z !rL s76  
    "8jf81V*  
         8(&[Rs?K  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) \B,@`dw  
         h-<81"}j1  
    系统建模块 Jgd'1'FOs  
    8_B4?` k  
    Hp!-248S  
         lbl?k5  
    特定位置的Talbot图案 =BAW[%1b  
    94.DHZqh  
    ""F5z,'  
    'UX!*5k<:  
    特定位置的Talbot图案 J({Xg?  
    iYm-tsER;  
    PB`Y g  
    不同位置的Talbot图案 {~"/Y@&]R  
    /,&<6c-Q@W  
    qCpp6~]Um  
    9YQb &  
    不同位置的Talbot图案 1.{z3_S21:  
    O6a<`]F  
     
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