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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    xb`,9.a7  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 k e$g[g  
    <\i}zoPO  
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    建模任务 r3.A!*!  
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    <_X`D4g]XO  
         3Yu1ZuIR  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) d4'*K1m   
         34k}7k~n  
    系统建模块 =3KK/[2M  
    u~kfz*hz  
    .Pz( 0Y  
         Ur^~fW1 o  
    特定位置的Talbot图案 46U?aHKW@|  
    j,@N0~D5  
    *=+m;%]_  
    R.KqTEs<k  
    特定位置的Talbot图案 P<&-8QA  
    6g\SJ O-;N  
    +C`h*%BW  
    不同位置的Talbot图案 6]`XW 0{C  
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    不同位置的Talbot图案 lHg&|S&J  
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