切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 934阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6531
    光币
    26804
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    ;-UmY}MU  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 &@ JvnO:  
    Vf(6!iRP@  
    !x'/9^i~v  
         G\NPV'  
    建模任务 tpuYiL  
    ioPUUUb)  
    <3,<\ub  
         =)|-?\[w  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) _=|vgc  
         2Pc%fuC  
    系统建模块 !'LW_@  
    TIvRhbu  
    kA7mLrON  
         JI vo_7{  
    特定位置的Talbot图案 %,ngRYxT#  
    [ Bl c^C{f  
    Xy%p"b<  
    ,]b~t0|B  
    特定位置的Talbot图案 }jill+]  
    WOh|U4vt  
    Fv<`AU  
    不同位置的Talbot图案 :T9< d er,  
    vOg#Dqn-  
    D-N8<:cA  
    a'\o 7_  
    不同位置的Talbot图案 ^eoLAL  
    %\i9p]=  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表