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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    bP18w0>,  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 n`,  <g  
    H4g8 1V=  
    I~4z%UG  
         .a4,Lr#q.  
    建模任务 MK1\  
     "J(M.Y  
    $d<NN2  
         lV\iYX2#  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) J(]|)?x2  
         Sn nfU  
    系统建模块 L}h_\1  
    K_YrdA)6  
    f,G*e367:  
         }0'LKwIR  
    特定位置的Talbot图案 {irc0gI  
    ]?6wU-a  
    SBxpJsW >  
    Ema[M5$R  
    特定位置的Talbot图案 ajSB3}PN  
    M%E<]H2;S  
    sOhn@*X  
    不同位置的Talbot图案 DNGyEC  
    Y 9$jJ1V  
    .W{CJh  
    8pnD6Lp>  
    不同位置的Talbot图案 od=hCQ1 >  
    yCQvo(V[F  
     
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