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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    %6<2~  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 a<V* )  
    TsZX'Yn  
    +&TcTu#.`  
         [$GQ]Y  
    建模任务 27jZ~Bp$  
    e?b<-rL   
    K,GX5c5  
         1HNX 6  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kPZ1OSX  
         s=|&NlO$  
    系统建模块 SxCzI$SGu  
    s((_^yf  
    Sst`*PX:  
         i0~L[v9l<  
    特定位置的Talbot图案 +^.Q%b0Xx  
    ('px X+  
    bYH! P/  
    j k}m  
    特定位置的Talbot图案 q&wXs/$a  
    RJI*ZNb A  
    N[,/VCW  
    不同位置的Talbot图案 DK;/eZe  
    &U/~*{  
    A,s .<TG  
    IN9o$CZ:  
    不同位置的Talbot图案 D+  **o  
    {VE$i2nC8  
     
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