切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1502阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    mI7~c;~  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 zN~6HZ_:^  
    uP@\#/4u  
    S&(^<gwl  
         =ll=)"O  
    建模任务 bKDA!R2  
    89~ =eY  
     dy>!KO  
         )G1P^WV4  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !>z:m!MlQ  
         v2+!1r7@  
    系统建模块 +q<B.XxkA  
    ]J7Qgp)i  
    )C hqATKg  
         iK()&TNz  
    特定位置的Talbot图案 :dI\z]Y(  
    %^]?5a!  
    3oy~=  
    FFKGd/:!  
    特定位置的Talbot图案 ^|MjJsn  
    +}xaQc:0|  
    @Xp~2@I=ls  
    不同位置的Talbot图案 SHVWwoieT  
    xdvh-%A4  
    MrRaU x6z  
    R&f^+0%f  
    不同位置的Talbot图案 9W ^xlid6  
    'x"08v$  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表