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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    (Lp$EC&%6  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 {9/ayG[98  
    5O7 x4bY  
    s#nd:$p3  
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    建模任务 r+#!]wNPe  
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         |Z"5zL10  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~_;x o?@ba  
         yjq~O~  
    系统建模块 h 8ND=(  
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         9rd7l6$R"  
    特定位置的Talbot图案 D09/(%4j  
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    a4B#?p  
    KX|7mr90K  
    特定位置的Talbot图案 qjtrU#n  
    2V-zmyJs5  
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    不同位置的Talbot图案 6)@Y41H]C  
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    不同位置的Talbot图案 1=9M@r~ ^  
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