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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    bKaV]Uy  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 bo"I:)n;  
    <(t<gS#  
    6qA{l_V  
         p]g/iLDZ  
    建模任务 nW%c95E  
    Wl2>U(lj  
    MR6vr.~  
         -T(V6&'Qi  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) gR>#LM&dG  
         Ek. j@79  
    系统建模块 V7v,)a" L  
    FxT [4  
    z'I0UB#  
         !%(B2J  
    特定位置的Talbot图案 K=>/(s Wiq  
    VEZ/-s/  
    /kq~*s  
    Y+7v~/K=  
    特定位置的Talbot图案 87/{\h  
    MLb\:Ihy  
    ?0<3"2Db~  
    不同位置的Talbot图案 pVY.&XBZ$  
    pL-$Np] V  
    ^YZ#P0 y  
    M;bQid@BG  
    不同位置的Talbot图案 `jkn*:m  
    i\'N1S<D  
     
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