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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    Yp_ L.TTb  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 "O{_LOJ  
    8dg \_H_  
    =x9SvIm/tH  
         ^[K3]*!@  
    建模任务 =oZHN,  
    /}G+PUk7  
    V$y6=Q <c  
         4uQ\JD(*Eu  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0GUm~zi1  
         r)ni;aP  
    系统建模块 "/ N ?$  
    gbb2!q6p  
    8(yZX4OH>  
         ?C( ' z7  
    特定位置的Talbot图案 cE{hy 7cH  
    Y ^s_v_s  
    H .F-mm  
    ~r/"w'dB  
    特定位置的Talbot图案 UDjmXQ2,  
    }6;K+INT  
    @J`o pR  
    不同位置的Talbot图案 RCXm< /  
    )e#KL$B)v  
    -6 WjYJx  
    Q5[x2 s_d  
    不同位置的Talbot图案 &|/@;EA$8  
    )?5027^  
     
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