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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    M!aJKpf  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 '<s54 Cb  
    A*g-pJ h  
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         ( k,?)  
    建模任务 aS``fE ;O  
    Cu!]-c{  
    O7p=N8V  
         /+1(,S  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 3W%j^nM  
         \ef:H&r  
    系统建模块 d<6m_! L  
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    特定位置的Talbot图案 7]9,J(:Ed  
    s94 *uZ(C/  
    6bPl(.(3  
    )KEW`BC5T  
    特定位置的Talbot图案 ]6F\a= J  
    {PR "}x  
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    不同位置的Talbot图案 '/)qI.  
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    不同位置的Talbot图案 \Hdsy="Dnh  
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