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+zf[Im%E 内容简介 ev"f@y9Do Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 p.|NZXk%%a 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rZSD)I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Zt LZW/` j}fu|- 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 e"O c 目录 M!)~h<YL Preface 1 "vL,c]D 内容简介 2 eN{ewn#0. 目录 i [ qx[ 0 1 引言 1 )~[rb<:)b 2 光学薄膜基础 2 QRKr2:o{ 2.1 一般规则 2 vnS;T+NZSC 2.2 正交入射规则 3 J=sj+:GS 2.3 斜入射规则 6 NwbX]pDT 2.4 精确计算 7 > t~2 2.5 相干性 8 f~?4 2.6 参考文献 10 f5o##ia7: 3 Essential Macleod的快速预览 10 &A!?:?3%O 4 Essential Macleod的特点 32 =jIP29+ 4.1 容量和局限性 33 G~nQR
qv 4.2 程序在哪里? 33 *P0sl( & 4.3 数据文件 35 fIwG9cR 4.4 设计规则 35 jH~VjE> 4.5 材料数据库和资料库 37 MlH0 4.5.1材料损失 38 wMvAm%}+ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V3v/hV: 4.5.2 材料库 41 >%1mx\y^ 4.5.3导出材料数据 43 wx[Y2lUh6 4.6 常用单位 43 q)rxv7Iu\ 4.7 插值和外推法 46 6 TkV+\ 4.8 材料数据的平滑 50 *1`q
x+1 4.9 更多光学常数模型 54 gO%oA} !i 4.10 文档的一般编辑规则 55 Or<OmxJg 4.11 撤销和重做 56 |B~^7RHXo 4.12 设计文档 57 $3)Z>p 4.10.1 公式 58 :xy4JRcF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 G{]tB w 4.10.3 沉积密度 59 O~DdMW 4.10.4 平行和楔形介质 60 R8N*. [ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 N SkIzaNY 4.10.4 性能 61 !}I+)@~\w 4.10.5 保存设计和性能 64 !si}m~K!_ 4.10.6 默认设计 64 nv'YtmR 4.11 图表 64 V<ExR@|}.% 4.11.1 合并曲线图 67 EAZLo; 4.11.2 自适应绘制 68 q>f|1Pf 4.11.3 动态绘图 68 D7|qFx;]g 4.11.4 3D绘图 69 hywy(b3 4.12 导入和导出 73 m4x8W2q 4.12.1 剪贴板 73 `PS^o# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %2,'x 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !(nFq9~~Q 4.13 背景 77 Gph:'3
*X 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `/RcE.5n\@ 4.15 生成Rugate 84 Wi<g 4.16 参考文献 91 PQvpJFpb~h 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 v\3$$T) 5.1 Jobs 92
x=YV* 5.2 创建一个新Job(工作) 93 IrMxdF~c 5.3 输入材料 94 G3${\'< 5.4 设计数据文件夹 95 [oDu3Qn 5.5 默认设计 95 }UX0 eI4 6 细化和合成 97 /vNHb_- 6.1 优化介绍 97 8Os: SC@Q 6.2 细化 (Refinement) 98 Gy6PS{yY6t 6.3 合成 (Synthesis) 100 JyDg=%-$2 6.4 目标和评价函数 101 5fY7[{2 6.4.1 目标输入 102 :R1F\FT* 6.4.2 目标 103 d*R('0z{ 6.4.3 特殊的评价函数 104 <*[D30< 6.5 层锁定和连接 104 >SHP,><H/ 6.6 细化技术 104 0x,NMS 6.6.1 单纯形 105 iCIU'yI 6.6.1.1 单纯形参数 106 [ XBVES8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 uy rS6e0 6.6.2.1 Optimac参数 108 ZVni'ym 6.6.3 模拟退火算法 109 `G "&IQ8. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 k] iyx 6.6.4 共轭梯度 111 l|sC\;S 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 T7LO}(I.& 6.6.5 拟牛顿法 112 cm17hPe`}n 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 p(fL'
J 6.6.6 针合成 113 ^8V8,C) 6.6.6.1 针合成参数 114 2g
HRfTF 6.6.7 差分进化 114 w)Z-, J 6.6.8非局部细化 115 "'*Qq@!3? 6.6.8.1非局部细化参数 115 bsv!z\} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 9a$ 7$4m 6.7.1 细化 116 w=kW~gg 6.7.2 合成 117 @M!nAQ8hY 6.8 参考文献 117 iq<nuO 7 导纳图及其他工具 118 bY}:!aR<mK 7.1 简介 118 |Ng}ZLBM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 f,'^"Me$c 7.2.1 四分之一波长规则 119 se*!OiOt 7.2.2 导纳图 120 EI8KK o * 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 khVfc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s(pNg?R 7.5 斜入射导纳图 141 CPci
'SO 7.6 对称周期 141 MuF{STE>-> 7.7 参考文献 142 Xk`' m[ 8 典型的镀膜实例 143 p-kug]qX 8.1 单层抗反射薄膜 145 Mz: "p. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 l#& \,T 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 dmPAPCm%y 8.4 W-膜层 148 #n.XOet<\ 8.5 V-膜层 149 GQ6~Si2 8.6 V-膜层高折射基底 150 $ Gs|Z$( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 iC 4rzgq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 KJi8LM 8.9 四层抗反射薄膜 153 }ws(:I^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 -\~HAnh 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,qwVDYJ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 K$c?:?wmo 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :aR_f`KMm 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "Bl6)qw 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =)f5JwZPG 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h3j`X' 8.17 1/4波长堆栈 162 e]@
B61lc 8.18 陷波滤波器 163 t/J|<Ooj? 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 C&f{LpB` 8.20 褶皱 165 ;8g[y"I 8.21 消偏振分光器1 169 FJ2~SKWT 8.22 消偏振分光器2 171 1pM>-"a8j 8.23 消偏振立体分光器 172 ZVDi;
8.24 消偏振截止滤光片 173 Ww
=ksggpB 8.25 立体偏振分束器1 174 V-ONC 8.26 立方偏振分束器2 177 wRu\9H} 8.27 相位延迟器 178 'o|=_0-7W 8.28 红外截止器 179 i QvqifDmh 8.29 21层长波带通滤波器 180 E=]$nE]b 8.30 49层长波带通滤波器 181 C ett*jm_ 8.31 55层短波带通滤波器 182 KqvM5$3 8.32 47 红外截止器 183 Q*8efzgs| 8.33 宽带通滤波器 184 jdd3[ 8.34 诱导透射滤波器 186 XGAR8=tic 8.35 诱导透射滤波器2 188 <;hy-Q()D 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^C~t)U 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Q1RUmIe_& 8.35 增益平坦滤波器 193 vz^=o' 8.38 啁啾反射镜 1 196 K~A@>~vFb 8.39 啁啾反射镜2 198 ~j[mM E} 8.40 啁啾反射镜3 199 t;W'<.m_ 8.41 带保护层的铝膜层 200 l} W">
yQ0 8.42 增加铝反射率膜 201 p~z\&&0U0 8.43 参考文献 202
vu3zZMl 9 多层膜 204 BHR(B]EI 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 =xr2-K)e 9.2 内部透过率 204 P(B&*1X 9.3 内部透射率数据 205 pt%Y1<9Eh? 9.4 实例 206 gW^0A)5 9.5 实例2 210 v*^'|QyM7 9.6 圆锥和带宽计算 212 hy"=)n( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 {CQI*\O 10 光学薄膜的颜色 216 },,K6*P 10.1 导言 216 n!L}4Nmp 10.2 色彩 216 bq z*90 10.3 主波长和纯度 220 UQq Qim 10.4 色相和纯度 221 e/zz.cd){ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (S8hr,%n 10.6 色差 226 &?^"m\K4J* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Yq%r\[%* 10.8 颜色渲染指数 234 =~'y' K] 10.9 色差计算 235 6A-nhvDP 10.10 参考文献 236 "LM[WcDX 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 iz2;xa* 11.1 短脉冲 238 'h>CgR^NM1 11.2 群速度 239 J )UCy;Y 11.3 群速度色散 241 7o9[cq w 11.4 啁啾(chirped) 245 wj\kx\+ 11.5 光学薄膜—相变 245 !wIrI/P7# 11.6 群延迟和延迟色散 246 MZ_dI"J, 11.7 色度色散 246 35Fs/Gf-n 11.8 色散补偿 249 H'jo3d~+ 11.9 空间光线偏移 256 CPJ%<+4%b 11.10 参考文献 258 vgN%vw pL 12 公差与误差 260 4#ZZwa]y 12.1 蒙特卡罗模型 260 8i^d*:R 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 s$xm 12.2.1 误差工具 267 ?{r -z3@ N 12.2.2 灵敏度工具 271 !DXK\,;> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 *C,1x5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 JxlZ,FF$@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Ha~}NO 12.3 参考文献 276 )b-KF}]d 13 Runsheet 与Simulator 277 tw&biLM5T 13.1 原理介绍 277 ?;DzWCL~9 13.2 截止滤光片设计 277 ZQ[ s/ 14 光学常数提取 289 J"Nn.iVq 14.1 介绍 289 {$'oKJy* 14.2 电介质薄膜 289 Xd'B0kQaT 14.3 n 和k 的提取工具 295 !$#8Z".{v{ 14.4 基底的参数提取 302 0(+dXzcwM 14.5 金属的参数提取 306 b\C1qM4 14.6 不正确的模型 306 ~;I'.TW 14.7 参考文献 311 ~Z5Wwp]a 15 反演工程 313 }M &hcw< 15.1 随机性和系统性 313 s:^Xtox/ 15.2 常见的系统性问题 314 |qtZb}"| 15.3 单层膜 314 _nec6=S6( 15.4 多层膜 314 [~k!wipK 15.5 含义 319 2 5Ia 15.6 反演工程实例 319 >(a[b@[K 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 qKNHhXi 15.6.2 反演工程提取折射率 327 gk4DoO j#P 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 <Gz* 2i 16.1 光学性质的热致偏移 329 6QNO#!; 16.2 应力工具 335 kV$VKag*A 16.3 均匀性误差 339 G9h B p 16.3.1 圆锥工具 339 *[tLwl. 16.3.2 波前问题 341 TlJ'pG 4^ 16.4 参考文献 343 j4E`O%@^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 %RXFgm!{f 17.1 引言 345 PB!*&T'! 17.2 操作数 345 #w;%{C[D 18 如何在Function中编写脚本 351 ?]0bR]}y 18.1 简介 351 ^']*UD; 18.2 什么是脚本? 351 i 8:^1rHp) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 \0z<@)r+AJ 18.4 基础 352 ~4M?[E& 18.4.1 Classes(类别) 352 )<_:%oB 18.4.2 对象 352 >C/O >g 18.4.3 信息(Messages) 352 !Z%pdqo`. 18.4.4 属性 352 4?l:.\fB: 18.4.5 方法 353 KHoDD=O 18.4.6 变量声明 353 ykNPKzW: 18.5 创建对象 354 77;|PKE / 18.5.1 创建对象函数 355 ;b^"b{ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 o<7'(Pz 18.5.3 丢弃对象 356 2,G9~<t 18.5.4 总结 356 og|~:>FmJo 18.6 脚本中的表格 357 {r1}ACw{ 18.6.1 方法1 357 E~1"Nh 18.6.2 方法2 357 Hw~?%g:<S 18.7 2D Plots in Scripts 358 V)cL=4G 18.8 3D Plots in Scripts 359 #)( D_* 18.9 注释 360 =xM:8
hm 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 MO_;8v~0 18.11 一个更高级的脚本 362 _hi8mo 18.12 <esc>键 364 nfS.0\z 18.13 包含文件 365 SHN'$f0Mb 18.14 脚本被优化调用 366 ;%PI 18.15 脚本中的对话框 368 Z1oUAzpj4 18.15.1 介绍 368 <@+{EK'`q 18.15.2 消息框-MsgBox 368 </|m^$v 18.15.3 输入框函数 370 jU=n\o=? 18.15.4 自定义对话框 371 r*t\F&D 18.15.5 对话框编辑器 371 nmUMg 18.15.6 控制对话框 377 QP!0I01 18.15.7 更高级的对话框 380 WS1#i\0 18.16 Types语句 384 pFwhvw 18.17 打开文件 385 SsQg8d 18.18 Bags 387 "%K[kA6 18.13 进一步研究 388 4_h?E:sBb 19 vStack 389 `r*bG= 19.1 vStack基本原理 389 "[\),7&03 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^"EK:|Y4%K 19.3 五棱镜 393 #~6au6LMC 19.4 光束距离 396 SJ8|~,vL 19.5 误差 399 0-Vx!( 19.6 二向分色棱镜 399 ]BY<D`$$P 19.7 偏振泄漏 404 br4 %(w(d 19.8 波前误差—相位 405 &\AW}xp 19.9 其它计算参数 405 S3> <zGYk 20 报表生成器 406 %lS jC%Z'd 20.1 入门 406 qruv^#_l 20.2 指令(Instructions) 406 I.u[9CI7HU 20.3 页面布局指令 406 )H-y 20.4 常见的参数图和三维图 407 &``nYI g/ 20.5 表格中的常见参数 408 ?m dGMf) 20.6 迭代指令 408 gR@,"6b3 20.7 报表模版 408 `8G {-_ 20.8 开始设计一个报表模版 409 yo_;j@BGR 21 一个新的project 413 t(=Z@9)]4F 21.1 创建一个新Job 414 4>t=r\"4 21.2 默认设计 415 vs(x;zpJ 21.3 薄膜设计 416 Rge\8H/z 21.4 误差的灵敏度计算 420 287)\FU;3 21.5 显色指数计算 422 "UTAh6[3oD 21.6 电场分布 424 FlepM* 后记 426 vlh$NK+F 此书是精装版硬壳封面和封底,另外也是Macleod先生,生前的最后一本书,同时也非常具有收藏价值,感兴趣的加我微信购买 U$ 22 r b
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