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* RtgC/ 内容简介 ~g.$|^,.O/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Z(Jt~a3o 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }l=xiAF 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 K$d$m < 08*v~(T 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0]4(:(B 目录 zl`h~}I Preface 1 =9T$Gr 内容简介 2 =JmT:enV 目录 i Po%(~ )S> 1 引言 1 Dih3}X&jn$ 2 光学薄膜基础 2 cv`~y'?D 2.1 一般规则 2 tor!Dl@Mo 2.2 正交入射规则 3 %Rsp;1Z 2.3 斜入射规则 6 4f<$4d^md 2.4 精确计算 7 -
|gmQG 2.5 相干性 8 i7ly[6{^pr 2.6 参考文献 10 n93=8;& 3 Essential Macleod的快速预览 10 k?7 X3/O 4 Essential Macleod的特点 32 Nv"EV;$ 4.1 容量和局限性 33 G%Lt.?m[ 4.2 程序在哪里? 33 B-r0"MX& 4.3 数据文件 35 1x,tu}<u^ 4.4 设计规则 35 //aF5:Y# 4.5 材料数据库和资料库 37 /soKucN"h 4.5.1材料损失 38 2@
Z(P.Gh 4.5.1材料数据库和导入材料 39 e>AE8T 4.5.2 材料库 41 &
GreN 4.5.3导出材料数据 43 Pfs;0}h5 4.6 常用单位 43 'g{9@PkGn 4.7 插值和外推法 46 Km^&<3ch# 4.8 材料数据的平滑 50 12+>5BA 4.9 更多光学常数模型 54 ^urDoB: 4.10 文档的一般编辑规则 55 znHnVYll( 4.11 撤销和重做 56 QMZ)-ty" 4.12 设计文档 57 *<!oHEwkN 4.10.1 公式 58 )K2HK&t: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^7Fh{q4IE 4.10.3 沉积密度 59 CJ++?hB]X 4.10.4 平行和楔形介质 60 $r3i2N-I 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1PatH[T[ 4.10.4 性能 61 y
TDNNK 4.10.5 保存设计和性能 64 ERN>don2 4.10.6 默认设计 64 +k>.Q0n%m 4.11 图表 64 ;{[.Zu 4.11.1 合并曲线图 67 p*P)KP 4.11.2 自适应绘制 68 3=L.uXVb 4.11.3 动态绘图 68 p"U,G
-_ 4.11.4 3D绘图 69 mbueP.q[? 4.12 导入和导出 73 SZXY/~=h 4.12.1 剪贴板 73 )sT> i 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L~KM=[cn 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 |.3DD"* 4.13 背景 77 PV=5UyjW 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 )=etG 4.15 生成Rugate 84 j.@\3' 4.16 参考文献 91 lMbAs.! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 EEW_gFn 5.1 Jobs 92 10U9ZC 5.2 创建一个新Job(工作) 93 A\.GV1 5.3 输入材料 94 L5\WpM= 5.4 设计数据文件夹 95 x>Jr_A( 5.5 默认设计 95 {qa Aq%' 6 细化和合成 97 y?q*WUh
6.1 优化介绍 97 0/oyf]HR 6.2 细化 (Refinement) 98 bv*,#Qm 6.3 合成 (Synthesis) 100 yiA<,!;4P 6.4 目标和评价函数 101 z'EajBB\f 6.4.1 目标输入 102 W}]%X4<#rN 6.4.2 目标 103 eh5gjSqx 6.4.3 特殊的评价函数 104 *v3]}g[< 6.5 层锁定和连接 104 )
v,:N.@Q 6.6 细化技术 104 Jtk|w[4L 6.6.1 单纯形 105 ~7Tc$
"I 6.6.1.1 单纯形参数 106 ,c)uX#1 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .uk>QMs1 6.6.2.1 Optimac参数 108 4tS.G 6.6.3 模拟退火算法 109 =>! Y{:
y( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 I}vmU^Y> 6.6.4 共轭梯度 111 : 7`[$<~E 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 BV[ 5} 6.6.5 拟牛顿法 112 B[4KX 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =Yt
R` 6.6.6 针合成 113 ;{%\9nS 6.6.6.1 针合成参数 114 :B:"NyPA 6.6.7 差分进化 114 8UVmv=T 6.6.8非局部细化 115 E 0?iXSJ 6.6.8.1非局部细化参数 115 %V ;? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 o$Z6zm xO 6.7.1 细化 116 gE?|_x# 6.7.2 合成 117 =HlQ36;* 6.8 参考文献 117 *NCl fkZ 7 导纳图及其他工具 118 }-sdov<< 7.1 简介 118 K]0JC/R6(@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 W0]gLw9* 7.2.1 四分之一波长规则 119 ?CA, 7.2.2 导纳图 120 F;<xnC{[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 XUlS\CH@{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 fk x \= 7.5 斜入射导纳图 141 9c6gkt9eB 7.6 对称周期 141 >b{q. 7.7 参考文献 142 6Z%U`,S 8 典型的镀膜实例 143 (X3Tav 8.1 单层抗反射薄膜 145 hs$GN] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 +lMX{es\O 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ssN6M./6 8.4 W-膜层 148 6'Worj 8.5 V-膜层 149 _c_[C*T] 8.6 V-膜层高折射基底 150 L>RP-x> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 EpX&R,Rxk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [S>2ASj 8.9 四层抗反射薄膜 153 _zwG\I|Q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %s(k_|G+4 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
N#a$t& 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 YS *9t
Q{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 vz7J-CH 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 TmV,&['mg 8.15十五层宽带抗反射膜 159 [CXrSST")E 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8Hn|cf0 8.17 1/4波长堆栈 162 ^8AXxE 8.18 陷波滤波器 163 ^>hW y D 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #/<&*Pu5t 8.20 褶皱 165 ;k>&FWEG 8.21 消偏振分光器1 169 `6]%P(#a 8.22 消偏振分光器2 171 @3C>BLI8+ 8.23 消偏振立体分光器 172 wlqpn(XR 8.24 消偏振截止滤光片 173 GfmI<{da 8.25 立体偏振分束器1 174
7B\Vs-d 8.26 立方偏振分束器2 177 .Lsavpo 8.27 相位延迟器 178 X6@WwM~qz 8.28 红外截止器 179 j+uLV{~g6 8.29 21层长波带通滤波器 180 [J4gH^Z_
8.30 49层长波带通滤波器 181 :i .{ 8.31 55层短波带通滤波器 182 [VsKa\9u 8.32 47 红外截止器 183 G'ei/Me6{ 8.33 宽带通滤波器 184 iCHOv {p. 8.34 诱导透射滤波器 186 m;GbLncA 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^5h]Y;tx 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 w"cZHm 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 *&^:T~|=! 8.35 增益平坦滤波器 193 to DG7XN} 8.38 啁啾反射镜 1 196 < v@9#c 8.39 啁啾反射镜2 198 ~5CBEIF(NS 8.40 啁啾反射镜3 199 U<_3^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 <YhB8W9 P 8.42 增加铝反射率膜 201 noml8o 8.43 参考文献 202 4;0lvDD 9 多层膜 204 lrIS{MJ+- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rPLm5ni 9.2 内部透过率 204 Vt".%d/`7 9.3 内部透射率数据 205 #AL=f'2=f 9.4 实例 206 I J( 9.5 实例2 210 ,P70Jb 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,0~n3G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Wp!%-vzy& 10 光学薄膜的颜色 216 8T!+ZQAz 10.1 导言 216 B1>/5hV} 10.2 色彩 216 !`,Sfqij 10.3 主波长和纯度 220 g" .are'7 10.4 色相和纯度 221 IDB+%xl#S 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 8o'_`{ba 10.6 色差 226 odjT:Vr 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ]%wVHC 10.8 颜色渲染指数 234 V9{]OV% 10.9 色差计算 235 T>2[=J8U 10.10 参考文献 236 > dI LF 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Z7hgA-t 11.1 短脉冲 238 iw8yb;|z;A 11.2 群速度 239 LSGBq 11.3 群速度色散 241 ,y
2$cO_> 11.4 啁啾(chirped) 245 i]6`LqlO 11.5 光学薄膜—相变 245 P3)Nl^/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 iS
WU'K 11.7 色度色散 246 #><.oreXq 11.8 色散补偿 249 ]+XYEv 11.9 空间光线偏移 256 &U5{Hm9Ynr 11.10 参考文献 258 QgU8s'e 12 公差与误差 260 tG9BfGF 12.1 蒙特卡罗模型 260 @` 1Ds 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 QxVq^H 12.2.1 误差工具 267 Q@<S[Qh[. 12.2.2 灵敏度工具 271 @|63K)Xy 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $JJrSwR<h 12.2.2.2 灵敏度分布 275 f78An 8 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 jr /pj? 12.3 参考文献 276 q_g+Jf
P-D 13 Runsheet 与Simulator 277 Y2ZT.l 13.1 原理介绍 277 pb
~uE 13.2 截止滤光片设计 277 bF"G[pD 14 光学常数提取 289 aWWU4xe 14.1 介绍 289 T92UeG 14.2 电介质薄膜 289 Jq&uF*! 14.3 n 和k 的提取工具 295 s:#V(<J 14.4 基底的参数提取 302
gX]-\ 14.5 金属的参数提取 306 wsIW
|@ 14.6 不正确的模型 306 aT)BR?OYSJ 14.7 参考文献 311 4'`{H@]tb 15 反演工程 313 2jg- 15.1 随机性和系统性 313 <acUKfpY 15.2 常见的系统性问题 314 \?0&0;5 15.3 单层膜 314 / ';0H_ 15.4 多层膜 314 yp KUkH/ 15.5 含义 319 w+#C-&z 15.6 反演工程实例 319 ;V*R*R 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7\$qFF-y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 )}D'<^=#T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ysxb?6 16.1 光学性质的热致偏移 329 e vrXo"3 16.2 应力工具 335 hxVKV?Fl 16.3 均匀性误差 339 -Zf@VW,NI 16.3.1 圆锥工具 339 ryW'Z{+r' 16.3.2 波前问题 341 Hfwq/Is 16.4 参考文献 343 2N~Fg^xB 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 TUV&vz{ 17.1 引言 345 66/3|83Z 17.2 操作数 345 =(NB%} 18 如何在Function中编写脚本 351 \K@'Z 18.1 简介 351 0B@SN)<kH 18.2 什么是脚本? 351 Z:,U]Z( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vr6@>@SC 18.4 基础 352 !UG
7Uer 18.4.1 Classes(类别) 352 T (OW 18.4.2 对象 352 f&eK|7J_Yf 18.4.3 信息(Messages) 352 [ oL.+ 18.4.4 属性 352 !46RGU:I 18.4.5 方法 353 \m7-rV6r 18.4.6 变量声明 353 3nT^?;- 18.5 创建对象 354 Pz>s6 [ob 18.5.1 创建对象函数 355 @&%'4j&+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 p7veQ`yNc 18.5.3 丢弃对象 356 PD&\LbuG 18.5.4 总结 356 VL%UR{ 18.6 脚本中的表格 357 WG N=Y~E 18.6.1 方法1 357 %_+2@\ 18.6.2 方法2 357 ,uo'c_f(e 18.7 2D Plots in Scripts 358 A'q#I>j` 18.8 3D Plots in Scripts 359 2^mJ+v< 18.9 注释 360 ]ndvt[4L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "x=f=; 18.11 一个更高级的脚本 362 KM}f:_J*lg 18.12 <esc>键 364 |X0Y- 18.13 包含文件 365 |]J>R 18.14 脚本被优化调用 366 <(-= 'QA 18.15 脚本中的对话框 368 Rv#]I#O 18.15.1 介绍 368 PZE0}>z 18.15.2 消息框-MsgBox 368 l)Pu2!Ic 18.15.3 输入框函数 370 u.mJQDTH 18.15.4 自定义对话框 371 O4r0R1VQM 18.15.5 对话框编辑器 371 {;N,t]>8M 18.15.6 控制对话框 377 9:ze{ c $ 18.15.7 更高级的对话框 380 BGOuDKz9C 18.16 Types语句 384 !lf|7 18.17 打开文件 385 %MrWeYd1 18.18 Bags 387 OUeyklw 18.13 进一步研究 388 MaRi+3F 19 vStack 389 73V|6tmgY 19.1 vStack基本原理 389 *of3:w 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 rqdE6y+^ 19.3 五棱镜 393 dRj| g 19.4 光束距离 396 RA KFU 19.5 误差 399 0J?~N`#O| 19.6 二向分色棱镜 399 o*DN4oa) 19.7 偏振泄漏 404 Y%PwktQm 19.8 波前误差—相位 405 zA$k0p 19.9 其它计算参数 405 BybW)+~ 20 报表生成器 406 ^aH\7J@Y 20.1 入门 406 @\|_ 20.2 指令(Instructions) 406 NdL,F;^ 20.3 页面布局指令 406 PV9pa/`@ 20.4 常见的参数图和三维图 407
5&v~i\Q 20.5 表格中的常见参数 408 .2%zC & ; 20.6 迭代指令 408 r30 < |