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Gvw4ot/ 内容简介 ]fIv{[A_
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 p#)u2^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Xy:'f".M~\ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 MQY^#N G2U=*| 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ',?v7& 目录 RxY
;'NY Preface 1 Q\ TawRK8 内容简介 2 iXK.QktHw 目录 i -bu.Ar-#;h 1 引言 1 nellN}jYsM 2 光学薄膜基础 2 Lnbbv
* 2.1 一般规则 2 |Xk'd@< 2.2 正交入射规则 3 fGHYs 2.3 斜入射规则 6 \RyOexNZ 2.4 精确计算 7 j1%o+#df 2.5 相干性 8 A&rk5y; 2.6 参考文献 10 /UTeaM!?" 3 Essential Macleod的快速预览 10 pw"
!iG} 4 Essential Macleod的特点 32 \:-#,( .V 4.1 容量和局限性 33 `@q[&^ 4.2 程序在哪里? 33 I?LJXo \O 4.3 数据文件 35 %eB 0)' 4.4 设计规则 35
i-w^pv' 4.5 材料数据库和资料库 37 a,tzt
]> 4.5.1材料损失 38 '8K5=|!J 4.5.1材料数据库和导入材料 39 m.e+S,i 4.5.2 材料库 41 a7s+l= 4.5.3导出材料数据 43 0B#9CxU% 4.6 常用单位 43 A94ZG: 4.7 插值和外推法 46 b}< T< 4.8 材料数据的平滑 50 5A
oKlJrY 4.9 更多光学常数模型 54 u9My.u@-*% 4.10 文档的一般编辑规则 55 ggtGecKm 4.11 撤销和重做 56 v=e`e68U~ 4.12 设计文档 57 M3ihtY 4.10.1 公式 58 GOuBNaU{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *F0O*n*7W 4.10.3 沉积密度 59 8\HL8^6c5 4.10.4 平行和楔形介质 60 VI7f} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 =(:{>tO_" 4.10.4 性能 61 4^cDp!8 4.10.5 保存设计和性能 64 8+Sa$R 4.10.6 默认设计 64 nf=*KS\v 4.11 图表 64 jA_wOR7$ 4.11.1 合并曲线图 67 ?,uTH
4 4.11.2 自适应绘制 68 {\z&`yD@ 4.11.3 动态绘图 68 DKw%z8ft| 4.11.4 3D绘图 69 3fPd|F.kF 4.12 导入和导出 73 ya7PF~:E- 4.12.1 剪贴板 73 CZ*#FY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,(&jG^IpVJ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4j^-n_T 4.13 背景 77 $BHbnsaQ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Otq`4 5 4.15 生成Rugate 84 ?}|l ) 4.16 参考文献 91 VQ wr8jXye 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 u"eO&Vc 5.1 Jobs 92 vM )2F 5.2 创建一个新Job(工作) 93 (1pI#H"f9 5.3 输入材料 94 W <.h@Rz+ 5.4 设计数据文件夹 95 C><]o 5.5 默认设计 95 rP$vZ^/c 6 细化和合成 97 gwVfiXR4 6.1 优化介绍 97 /]7FX" 6.2 细化 (Refinement) 98 5@l[!Jl0k 6.3 合成 (Synthesis) 100 :'1UX <&B 6.4 目标和评价函数 101 #=@H-ZuD7 6.4.1 目标输入 102 ]gHxvT\E 6.4.2 目标 103 EC9D.afy& 6.4.3 特殊的评价函数 104 4Uz1~AuNxb 6.5 层锁定和连接 104 lS1-e0,h1 6.6 细化技术 104 6G2s^P1Dl@ 6.6.1 单纯形 105 8/q6vk>< 6.6.1.1 单纯形参数 106 70pt5O3] 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0zH^yx:ma 6.6.2.1 Optimac参数 108 kkWqP20q 6.6.3 模拟退火算法 109 xW|^2k 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ~{69&T}9 6.6.4 共轭梯度 111 "s-e)svB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 >6 p
<n 6.6.5 拟牛顿法 112 Qa*?iD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 MV8Lk/zd?A 6.6.6 针合成 113 ;/tZsE{ 6.6.6.1 针合成参数 114 "V/|RC 6.6.7 差分进化 114 b-Fv
vA 6.6.8非局部细化 115 5vxKkk&i4l 6.6.8.1非局部细化参数 115 n =SY66 6.7 我应该使用哪种技术? 116 r(UEPGu|~l 6.7.1 细化 116 n0nf;E 6.7.2 合成 117 F\pw0^K;N 6.8 参考文献 117 dFdll3bC 7 导纳图及其他工具 118 ?Q$LIoR 7.1 简介 118 JiFy.Pf 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 r]! <iw 7.2.1 四分之一波长规则 119 +a'QHtg 7.2.2 导纳图 120 $lJu2omi1 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [>`[1;a X 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 RX]x3- 7.5 斜入射导纳图 141 L|sWSrqd 7.6 对称周期 141 %y@iA91K 7.7 参考文献 142 'vgO` 8 典型的镀膜实例 143 OBF3)L] 8.1 单层抗反射薄膜 145 TWv${m zE 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 m>po+7"b 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 79.J`}# 8.4 W-膜层 148 @(:ah 8.5 V-膜层 149 re.%$D@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 TmN}TMhZ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 NW-l_]k 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 7 V/yU5 8.9 四层抗反射薄膜 153 kBPFk t2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 U3ygFW% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 pB
@l+
n^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %9_wDfw~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 >.R6\>N% 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 4SG22$7 W 8.15十五层宽带抗反射膜 159 !U02>X 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |pIA9/~Z 8.17 1/4波长堆栈 162
":,HY)z 8.18 陷波滤波器 163 YK#
QH"} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 `[+9n2j 8.20 褶皱 165 0m5Q;|mH 8.21 消偏振分光器1 169 q.(p.uD 8.22 消偏振分光器2 171 Pn{yk`6E 8.23 消偏振立体分光器 172 lYd#pNN 8.24 消偏振截止滤光片 173 #unE>#DW 8.25 立体偏振分束器1 174 b0a'Y"oef4 8.26 立方偏振分束器2 177 Z$R2Z$f 8.27 相位延迟器 178 k&nhF9Y4 8.28 红外截止器 179 Q9K+k*?{N 8.29 21层长波带通滤波器 180 Z2chv,SqCJ 8.30 49层长波带通滤波器 181 )k&pp^q\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 1B3,lYBM 8.32 47 红外截止器 183 Rl 4r 9 8.33 宽带通滤波器 184 `R@24 ) 8.34 诱导透射滤波器 186 Ow\9vf6H 8.35 诱导透射滤波器2 188 F"a^`E& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0w >DU^+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (l22p
8.35 增益平坦滤波器 193 oeXNb4; 4 8.38 啁啾反射镜 1 196 &%pB; dk 8.39 啁啾反射镜2 198 @S~'m; 8.40 啁啾反射镜3 199 X.0/F6U 8.41 带保护层的铝膜层 200 1{ #Xa= 8.42 增加铝反射率膜 201 V mQ7M4j* 8.43 参考文献 202 -
Pz
)O@ ; 9 多层膜 204 ADX} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Q}jbk9gM5 9.2 内部透过率 204 hMJ \a 9.3 内部透射率数据 205 vg5zsR0u 9.4 实例 206 T[))ful 9.5 实例2 210 Ja-D}|; 9.6 圆锥和带宽计算 212 .<Z7K @ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?xf59mY7 10 光学薄膜的颜色 216 | -Di/. 10.1 导言 216 }wR)p 10.2 色彩 216 v\Y;)/! 10.3 主波长和纯度 220 Pi?*rr5WZ 10.4 色相和纯度 221 =nnS X-x 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $2BRi@ 10.6 色差 226 dh/:H/k kR 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )<.S3 10.8 颜色渲染指数 234 ?HIc= 10.9 色差计算 235 pmCBe6n\l 10.10 参考文献 236 kt1f2cj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ~E^EF{h
11.1 短脉冲 238 NQfIY`lt' 11.2 群速度 239 5*buRYck0 11.3 群速度色散 241 cXJgdBwo 11.4 啁啾(chirped) 245 |
7>1) 11.5 光学薄膜—相变 245 }sy3Mrb 11.6 群延迟和延迟色散 246 zi>f436- 11.7 色度色散 246 [ur/` 11.8 色散补偿 249 mQ%kGqs 11.9 空间光线偏移 256 (XqeX(s 11.10 参考文献 258 C>68$wd> 12 公差与误差 260 J=K3S9:n]g 12.1 蒙特卡罗模型 260 l%Sz6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @7lZ{jV$ 12.2.1 误差工具 267 B_cn[?M 12.2.2 灵敏度工具 271 ^e>v{AE% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =< CH( 4! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?5mVC]W?] 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =|3L'cDC 12.3 参考文献 276 QHs=Zh;" 13 Runsheet 与Simulator 277 N83RsL "}_ 13.1 原理介绍 277 ]VJcV.7` 13.2 截止滤光片设计 277 '%RMpyK~ 14 光学常数提取 289 s*9tWSd 14.1 介绍 289 mA^>Y_: 14.2 电介质薄膜 289 !W$Br\< 14.3 n 和k 的提取工具 295 tu!u9jVv 14.4 基底的参数提取 302 {bETHPCf 14.5 金属的参数提取 306 HTqik w5X 14.6 不正确的模型 306 cJ8*[H<NV 14.7 参考文献 311 l"*>>/U k 15 反演工程 313 &I(|aZx?J 15.1 随机性和系统性 313 Kg](kP 15.2 常见的系统性问题 314 R:.7c(s 15.3 单层膜 314 Zt!l3(*tt 15.4 多层膜 314 D"x~bs?V\ 15.5 含义 319 Z<,gSut'Y 15.6 反演工程实例 319 M2xUs 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %7|qnh6 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *znCe(dd 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?tA-`\E 16.1 光学性质的热致偏移 329 LnJ7i"Q 16.2 应力工具 335 3F.O0Vz 16.3 均匀性误差 339 xBw"RCBz^ 16.3.1 圆锥工具 339 +^69>L2V 16.3.2 波前问题 341 9q8
rf\& 16.4 参考文献 343 ]hf4= gm 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 a|s= d 17.1 引言 345 PPq*_Cf 17.2 操作数 345 2PeI+!7s 18 如何在Function中编写脚本 351 t3s}U@(C 18.1 简介 351 gSe{S 18.2 什么是脚本? 351 l%w7N9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 F 1zc4l6 18.4 基础 352 c//W#V2Q 18.4.1 Classes(类别) 352 8c/Ii"1 18.4.2 对象 352 8v6rS-iHP 18.4.3 信息(Messages) 352 57MoO 18.4.4 属性 352 !< X_XA 18.4.5 方法 353 |y=gp 18.4.6 变量声明 353 G/ ^|oJ/G 18.5 创建对象 354 x4( fW\ 18.5.1 创建对象函数 355 h`GV[Oo : 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 aEM#V 18.5.3 丢弃对象 356 g1{wxBFE 18.5.4 总结 356 Bpp9I;)c 18.6 脚本中的表格 357 rFK
* 18.6.1 方法1 357 k m|wB4 18.6.2 方法2 357 `fV$'u 18.7 2D Plots in Scripts 358 0,3 ':Df 18.8 3D Plots in Scripts 359 O71rLk; 18.9 注释 360 iLI]aZ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (Z5#;rgem 18.11 一个更高级的脚本 362 6FmgK"t8 18.12 <esc>键 364 K*}j1A 18.13 包含文件 365 vVf!XZF 18.14 脚本被优化调用 366 e^an` </{ 18.15 脚本中的对话框 368 KWH 18.15.1 介绍 368 Oxvw`a# 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $.cGRz 18.15.3 输入框函数 370 3gh^a;uC 18.15.4 自定义对话框 371 ^KF'/9S 18.15.5 对话框编辑器 371 {p\KB!Y- 18.15.6 控制对话框 377 t8+93,*B 18.15.7 更高级的对话框 380 UmuFzw^ 18.16 Types语句 384 6qDD_:F 18.17 打开文件 385 %jf gncW 18.18 Bags 387
'ng/A4 18.13 进一步研究 388 od fu7P_ 19 vStack 389 _L72Ae(_ 19.1 vStack基本原理 389 igL^k`&5^" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 CUG<v3\ 19.3 五棱镜 393 U,S286 19.4 光束距离 396 u^uG_^^,/ 19.5 误差 399 K!~](_W! 19.6 二向分色棱镜 399 # 0(\s@r. 19.7 偏振泄漏 404 Uwk|M?94 19.8 波前误差—相位 405 [<;2 C 19.9 其它计算参数 405 !R@4tSu 20 报表生成器 406 $F%?l\7j 20.1 入门 406 B;Z^.3 20.2 指令(Instructions) 406 u5ygbCm 20.3 页面布局指令 406 `!8Z"xD
20.4 常见的参数图和三维图 407 /{va< |