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zks# Ez Q 内容简介 M6_-f ;. Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G?<pBMy 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 T%kKVr 薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 yX'IZk#_L &\k?xN 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,Aj }]h\L
目录 \!<"7=(J{4
Preface 1 N<liS3>
内容简介 2 '00J~j~
目录 i Ff<) 4`J
1 引言 1 "y$ qrN-
2 光学薄膜基础 2 xl8#=qmCD
2.1 一般规则 2 vU}: U)S
2.2 正交入射规则 3 1"O&40l
2.3 斜入射规则 6 b@ 6:1x
2.4 精确计算 7 |{f~Ks%
2.5 相干性 8 (B:uc_+
2.6 参考文献 10 2h )8Fq_"
3 Essential Macleod的快速预览 10 4fty~0i=z
4 Essential Macleod的特点 32 59i]
4.1 容量和局限性 33 +_~,86
4.2 程序在哪里？ 33 sKd)BA0`
4.3 数据文件 35 &Mj1CvCv
4.4 设计规则 35 >A($8=+#x
4.5 材料数据库和资料库 37 E eB3 }
4.5.1材料损失 38 A$@o'Q;he
4.5.1材料数据库和导入材料 39 iNJAZ6 @+
4.5.2 材料库 41 <tuS,.
4.5.3导出材料数据 43 _CE9B e\
4.6 常用单位 43 lR@& Z6lw
4.7 插值和外推法 46 h$Tr s O
4.8 材料数据的平滑 50 2 .f|2: I
4.9 更多光学常数模型 54 tpo> 1|
4.10 文档的一般编辑规则 55 @.ZL7$|d
4.11 撤销和重做 56 QKccrAo
4.12 设计文档 57 y(v_-6b
4.10.1 公式 58 L\L"mc|O
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 tOH0IE c
4.10.3 沉积密度 59 d}-'<Z#G
4.10.4 平行和楔形介质 60 f`|G]da-3o
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jDTUXwx7V
4.10.4 性能 61 WNF9#oN|oT
4.10.5 保存设计和性能 64 9p`r7:
4.10.6 默认设计 64 B< hEx@
4.11 图表 64 {|6z+vR
4.11.1 合并曲线图 67 ]"sRS`0+
4.11.2 自适应绘制 68 m}5q]N";x
4.11.3 动态绘图 68 c'0 5{C
4.11.4 3D绘图 69 ?3jdg ]&
4.12 导入和导出 73 s$GF 95^
4.12.1 剪贴板 73 {mSJUK?TKl
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Hk u=pr3Gn
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 sRq U]i8l
4.13 背景 77 p {.8_#O%S
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zvr\36
4.15 生成Rugate 84 Y Pszk5hn
4.16 参考文献 91 Qra> }e%*
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 4j3oT)+8
5.1 Jobs 92 v!trsjb
5.2 创建一个新Job（工作） 93 x?L hq2
5.3 输入材料 94 ^i`*Wm@!
5.4 设计数据文件夹 95 "E H ,J
5.5 默认设计 95 b Us|t
6 细化和合成 97 :;4SQN{2
O
6.1 优化介绍 97 +(mL~td01
6.2 细化 (Refinement) 98 _tj&Psp
6.3 合成 (Synthesis) 100 r )b<{u=]
6.4 目标和评价函数 101 !8$RB D %
6.4.1 目标输入 102 (WE,dY+.
6.4.2 目标 103 ce' TYkPM
6.4.3 特殊的评价函数 104 kCA5|u
6.5 层锁定和连接 104 $Ha%Gr
6.6 细化技术 104 9=$ !gC)
6.6.1 单纯形 105 ;+`uER
6.6.1.1 单纯形参数 106 0x5xL g;Q
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >IY,be6>P
6.6.2.1 Optimac参数 108 Y= Hz;Ni
6.6.3 模拟退火算法 109 8i: [:Z
6.6.3.1 模拟退火参数 109 @!\K>G >9[
6.6.4 共轭梯度 111 I7mG/
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 C4NRDwU |.
6.6.5 拟牛顿法 112 I/B1qw;MN
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 y $V[_TN
6.6.6 针合成 113 j} RzXJ~t
6.6.6.1 针合成参数 114 Zq*eX\# C
6.6.7 差分进化 114 s, XM9h>P4
6.6.8非局部细化 115 wFL3& *
6.6.8.1非局部细化参数 115 8R x c&`_X
6.7 我应该使用哪种技术？ 116 )#`H."Z
6.7.1 细化 116 `|<+ ?
6.7.2 合成 117 Z@J.1SaB
6.8 参考文献 117 9$ O@`P\
7 导纳图及其他工具 118 .wc
= ]
7.1 简介 118 "l,UOv c
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 @ls.&BHUP
7.2.1 四分之一波长规则 119 )^
<3\e
7.2.2 导纳图 120 &U &%ka<*
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )}-$A-p#
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Q2 \
7.5 斜入射导纳图 141 sR*Nq5F#9
7.6 对称周期 141 l4ouZR
7.7 参考文献 142 Vz w PBQ -
8 典型的镀膜实例 143 |F!F{d^p
8.1 单层抗反射薄膜 145 nb+m.X
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Z$;"8XUM
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7GZq|M_:y
8.4 W-膜层 148 _!AJiP3!)4
8.5 V-膜层 149 e|'N(D}h*
8.6 V-膜层高折射基底 150 0"4@;e_)>
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 z[&s5 "
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 qY(:8yC36
8.9 四层抗反射薄膜 153 r4eUZ .8R
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 }<[Db}?9
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +Me2U9
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rsF:4G"%
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 c> G@+
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 = n0* {~r
8.15十五层宽带抗反射膜 159 e.;M.8N#SQ
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 t(?<#KUB-
8.17 1/4波长堆栈 162 `ROEV~
8.18 陷波滤波器 163 UK3a{O[ 5
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ) 5yj/0oT
8.20 褶皱 165 t ;-L{`mW
8.21 消偏振分光器1 169 kx{!b3 "
8.22 消偏振分光器2 171 P5URvEnz:
8.23 消偏振立体分光器 172 kRot7-7I|
8.24 消偏振截止滤光片 173 R^8B3-aA`
8.25 立体偏振分束器1 174 7B FN|S_l
8.26 立方偏振分束器2 177 kuS/S\Z5K
8.27 相位延迟器 178 p4mY0Y]mP
8.28 红外截止器 179 f a5]a
8.29 21层长波带通滤波器 180 oR %agvc^^
8.30 49层长波带通滤波器 181 y\[r(4h
8.31 55层短波带通滤波器 182 b5 Q NEi
8.32 47 红外截止器 183 nj2gs,k
8.33 宽带通滤波器 184 K $-;;pUl
8.34 诱导透射滤波器 186 |.w; r
8.35 诱导透射滤波器2 188 I; j3*lV_
8.36 简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 Z?1OdoT-
8.37 高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 ?q Xs-
8.35 增益平坦滤波器 193 }kPVtSQ
8.38 啁啾反射镜 1 196 oI@ 9}*
8.39 啁啾反射镜2 198 H/jm
f5
8.40 啁啾反射镜3 199 \ 4gXY$` @
8.41 带保护层的铝膜层 200 xzikD,FV
8.42 增加铝反射率膜 201 iJP{|-h
8.43 参考文献 202 6P+Dn S[]
9 多层膜 204 V0NVGRQ
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~:2K#q5C
9.2 内部透过率 204 YIO R$
9.3 内部透射率数据 205 6t dI6
9.4 实例 206 abWl ut
9.5 实例2 210 rYGRz#:~+
9.6 圆锥和带宽计算 212 CW0UMP E5
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 MsjnRX:c3u
10 光学薄膜的颜色 216 se, Z#H
10.1 导言 216 ZvH{wt
10.2 色彩 216 og-]tEWA1
10.3 主波长和纯度 220 Y6VQ:glDT-
10.4 色相和纯度 221 n\ Uh
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 j'Wp
10.6 色差 226 ct0v$ct>f
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 2
sSwDF
10.8 颜色渲染指数 234 [hU=m S8=^
10.9 色差计算 235 O 5-;I,)H
10.10 参考文献 236 9^zx8MRXd
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *Nlu5(z
11.1 短脉冲 238 F<r4CHfh;
11.2 群速度 239 0<&M?^
11.3 群速度色散 241 tpU
D0Z)
11.4 啁啾(chirped) 245 xIgql}.
11.5 光学薄膜—相变 245 a8JN19}D
11.6 群延迟和延迟色散 246 @^CG [:|
11.7 色度色散 246 : `J>bHE
11.8 色散补偿 249 Hs l{rN
11.9 空间光线偏移 256 :qnokrGzB
11.10 参考文献 258 \!w h[qEQ\
12 公差与误差 260 vlQ0gsXK
12.1 蒙特卡罗模型 260 &@; RI~
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 q\H7& w
12.2.1 误差工具 267 k7Oy5$##
12.2.2 灵敏度工具 271 3bts7<K=
12.2.2.1 独立灵敏度 271 % 6 ]\^
12.2.2.2 灵敏度分布 275 M(5D'4.
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 h5!d
12.3 参考文献 276 -+P7:4/
13 Runsheet 与Simulator 277 .Cr1,Po
13.1 原理介绍 277 $ !5f"<FCB
13.2 截止滤光片设计 277 a#QBy P
14 光学常数提取 289 GCH[lb>IJv
14.1 介绍 289 h,]+ >`b
14.2 电介质薄膜 289 T} 8CfG_ j
14.3 n 和k 的提取工具 295 o? dR\cxj
14.4 基底的参数提取 302 P)IjL&[
14.5 金属的参数提取 306 oD,C<[(p
14.6 不正确的模型 306 >zR14VO`_|
14.7 参考文献 311 i+AUQ0Zbf6
15 反演工程 313 .. UoyBV
15.1 随机性和系统性 313 %EoH4LzT
15.2 常见的系统性问题 314 }
J(1V!EA
15.3 单层膜 314 ~ B]jV$=
15.4 多层膜 314 ?9S+Cj`
15.5 含义 319 /e<5Np\ X
15.6 反演工程实例 319 fq(5Lfe}
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 o^PuhVu
15.6.2 反演工程提取折射率 327 CWvlr nv
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _BwKY#09Zp
16.1 光学性质的热致偏移 329 UoRDeYQ`E
16.2 应力工具 335 _ n_sfT6)B
16.3 均匀性误差 339 e
Y DUon
16.3.1 圆锥工具 339 8KKz5\kn7
16.3.2 波前问题 341 f9F2U
)
16.4 参考文献 343 X <FOn7qf
17 如何在Function（模块）中编写操作数 345 Y Z\@)D;
17.1 引言 345 H ;wR
17.2 操作数 345 w"6aha* %7
18 如何在Function中编写脚本 351 2L[l'}
18.1 简介 351 p z @km
18.2 什么是脚本？ 351 xp=Zd\5W$
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 >KHp-|0pv
18.4 基础 352 6Pijvx^0
18.4.1 Classes（类别） 352 #%WCL'6B
18.4.2 对象 352 g? I!OG
18.4.3 信息（Messages） 352 +,wWhhvlzv
18.4.4 属性 352 k- vA#
18.4.5 方法 353 N"~ qoJO
18.4.6 变量声明 353 jYk5~<\k
18.5 创建对象 354 %-r?= L
18.5.1 创建对象函数 355 NQ{-&#@/v
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 QE* %HR'
18.5.3 丢弃对象 356 m2ox8(sd
18.5.4 总结 356 \*J.\f
18.6 脚本中的表格 357 oX*b<d{\N
18.6.1 方法1 357 ,P~QS
18.6.2 方法2 357 l# BZzJ?~
18.7 2D Plots in Scripts 358 ;L$,gn5H
18.8 3D Plots in Scripts 359 + "zYn!0
18.9 注释 360 nUqL\(UuY
18.10 脚本管理器调用Scripts 360 L5&K}F]r^
18.11 一个更高级的脚本 362 d QDLI
18.12 <esc>键 364 {RJ52Gx (
18.13 包含文件 365 <k5`&X!+
18.14 脚本被优化调用 366 lfRH`u
18.15 脚本中的对话框 368 i=V-@|Z
18.15.1 介绍 368 yeNvQG
18.15.2 消息框-MsgBox 368 j^{b^!4~}
18.15.3 输入框函数 370 k|5k8CRX
18.15.4 自定义对话框 371 S!<"Swf:
18.15.5 对话框编辑器 371 PMY~^S4O
18.15.6 控制对话框 377 IE}Sdeqi)
18.15.7 更高级的对话框 380
.=CH! {j
18.16 Types语句 384 s_S$7N`ocS
18.17 打开文件 385 -zR. 'x%
18.18 Bags 387 S,VyUe4P4
18.13 进一步研究 388
<irpmRQr
19 vStack 389 RB *P0
19.1 vStack基本原理 389 e]Puv)S>{8
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 -FaaFw:Z;A
19.3 五棱镜 393 *cPN\Iu.W
19.4 光束距离 396 L@+Z)# V
19.5 误差 399 Wy!uRzbBv
19.6 二向分色棱镜 399 7<vy;"wB
19.7 偏振泄漏 404 =CE HRny
19.8 波前误差—相位 405 !;jgzi?z
19.9 其它计算参数 405 EF eAr@nj
20 报表生成器 406 >gF-6 n PQ
20.1 入门 406 _=6vW^ s
20.2 指令(Instructions) 406 z41D^ }b
20.3 页面布局指令 406 4':MI|/my_
20.4 常见的参数图和三维图 407 9V.+ U7\w
20.5 表格中的常见参数 408 qA04Vc[2
20.6 迭代指令 408 >6w@{p2B
20.7 报表模版 408 K('
9l& A
20.8 开始设计一个报表模版 409 X& /(x
21 一个新的project 413 pA*i!.E/b
21.1 创建一个新Job 414 &D)Hz
21.2 默认设计 415 x~% \y
21.3 薄膜设计 416 8cB=}XgYS
21.4 误差的灵敏度计算 420 @f\
X4!e*y
21.5 显色指数计算 422 L-j/R1fTvl
21.6 电场分布 424 *Q0lC1GQ
后记 426 9Il'E6
J
此书是精装版硬壳封面和封底，另外也是Macleod先生，生前的最后一本书，同时也非常具有收藏价值，感兴趣的加我微信购买 7 5<el.'H
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