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U JO 内容简介 i,jPULzyjk Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 cTf/B=yMi 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [ix45xu7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 yZJR7+ DuJbWtA 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 '(M8D5?N- 目录 };%l <Ui; Preface 1 ~Y^
UP 内容简介 2 w.kb/ 目录 i jFYv4!\ju 1 引言 1 /(-X[[V 2 光学薄膜基础 2 vr#_pu)f4 2.1 一般规则 2 N-
E)b 2.2 正交入射规则 3 KCG-&p$v@s 2.3 斜入射规则 6 sG{hUsPa 2.4 精确计算 7 @m14x}H 2.5 相干性 8 ~$7fU 2.6 参考文献 10 ptXCM[Z+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 F6 ?4E"d 4 Essential Macleod的特点 32 >% a^;gk( 4.1 容量和局限性 33 lqPzDdC^> 4.2 程序在哪里? 33 mup<%@7m 4.3 数据文件 35 NbyVBl0= 4.4 设计规则 35 *3_@#Uu7 4.5 材料数据库和资料库 37 G|5M~zP 4.5.1材料损失 38 ~x`BV+R 4.5.1材料数据库和导入材料 39 kae&,'@JF 4.5.2 材料库 41 x5/O.5>f 4.5.3导出材料数据 43 ^VCgc>x; 4.6 常用单位 43 78't"2> 4.7 插值和外推法 46 G2Zr(b') 4.8 材料数据的平滑 50 ]<\FtH 4.9 更多光学常数模型 54 QAiont ,! 4.10 文档的一般编辑规则 55 [43:E*\$ 4.11 撤销和重做 56 >q{E9.~b 4.12 设计文档 57 Q)}_S@v|% 4.10.1 公式 58 9Yg=4>#$ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <4!SQgL 4.10.3 沉积密度 59 e)I-|Q4^% 4.10.4 平行和楔形介质 60 ]mEY/)~7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Vo*38c2 4.10.4 性能 61 Na8%TT> 4.10.5 保存设计和性能 64 =m{]Xep 4.10.6 默认设计 64 8P8@i+[]W 4.11 图表 64 +z/_'DE 4.11.1 合并曲线图 67 RLkP)+t 4.11.2 自适应绘制 68 uZ}=x3B 4.11.3 动态绘图 68 |y+<|fb,a 4.11.4 3D绘图 69 nZ>8r 4.12 导入和导出 73 biZwxP3 4.12.1 剪贴板 73 A1{ 7g<k6 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 'xO5Le(=M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X.)caF^j 4.13 背景 77 Qo7]fnnaV 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /(#;(] 4.15 生成Rugate 84 1an?/j, 4.16 参考文献 91 %J`cYn# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $f`\TKlN 5.1 Jobs 92 =b+W*vUAw 5.2 创建一个新Job(工作) 93 3R!?r^h 5.3 输入材料 94 |L
XYF$ 5.4 设计数据文件夹 95 N;4tvWI 5.5 默认设计 95 pa1.+ ~) 6 细化和合成 97 D@5Ud)_ 6.1 优化介绍 97 7aAT 6.2 细化 (Refinement) 98 wBr$3: 6.3 合成 (Synthesis) 100 SM3Q29XIw 6.4 目标和评价函数 101 V-Ebi^gz5W 6.4.1 目标输入 102 pF~[ 6.4.2 目标 103 3K
Y-+ k 6.4.3 特殊的评价函数 104 r q2]u 6.5 层锁定和连接 104 q'u^v PO 6.6 细化技术 104 p
BU,"Yy& 6.6.1 单纯形 105 YKF5|;} 6.6.1.1 单纯形参数 106 5&}~W)"9 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 bDh,r!I 6.6.2.1 Optimac参数 108 e
C\;n 6.6.3 模拟退火算法 109 f=0U&~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >s3H_X3F 6.6.4 共轭梯度 111 G&i<&.i 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 m0XdIC]s 6.6.5 拟牛顿法 112 TiiMX 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :__z?<?( 6.6.6 针合成 113 [ 0?*J<d 6.6.6.1 针合成参数 114 RLuA^ONI 6.6.7 差分进化 114 w}*2Hz&Q! 6.6.8非局部细化 115 W(
O)J$j 6.6.8.1非局部细化参数 115 Uy8r
!9O 6.7 我应该使用哪种技术? 116 )2
E7>SQc~ 6.7.1 细化 116 3@'3U?Hin 6.7.2 合成 117 ^Fmp"[q 6.8 参考文献 117 d@o1<Q 7 导纳图及其他工具 118 rGPFPsMQ] 7.1 简介 118 1A>>#M=A 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 s d-5AE 7.2.1 四分之一波长规则 119 +&t`"lRl& 7.2.2 导纳图 120 GEJEhwO;H 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mJjd2a"vi 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 r*e<`Is 7.5 斜入射导纳图 141 s*A#; 7.6 对称周期 141 {rp5qgVE< 7.7 参考文献 142 .Y;ljQ 8 典型的镀膜实例 143 |UA)s3Uhxb 8.1 单层抗反射薄膜 145 z)z_] c-X+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 NWK+.{s>m 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 '`.bmiM 8.4 W-膜层 148 6 w"-& 8.5 V-膜层 149 )_$F/ug 8.6 V-膜层高折射基底 150 l Je=z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ==$>M
d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0taopDi;d 8.9 四层抗反射薄膜 153 pq<302uBQ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~Q q0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 AOvn<Q 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 {yPJYF_l 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 xMck A<E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Y!M&8;> 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ?Q`u\G3.m 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 X?p.U 8.17 1/4波长堆栈 162 3zV{cm0 8.18 陷波滤波器 163 *|Cmm>z"7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 d(LX;sq? 8.20 褶皱 165 Wn p\yx` 8.21 消偏振分光器1 169 pf_(?\oz> 8.22 消偏振分光器2 171 .i^aYbB$X 8.23 消偏振立体分光器 172 U
_QCe+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 3+[R ! 8.25 立体偏振分束器1 174 Rh%c<</`0s 8.26 立方偏振分束器2 177 z%$,F9/ 8.27 相位延迟器 178 @"B"*z-d 8.28 红外截止器 179 5e> <i 8.29 21层长波带通滤波器 180 }3{ x G+, 8.30 49层长波带通滤波器 181 .?C-J 8.31 55层短波带通滤波器 182 }p2YRTH x 8.32 47 红外截止器 183 1 uKWvp0\ 8.33 宽带通滤波器 184 -UJ; =/ 8.34 诱导透射滤波器 186 j?5s/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 O!Rw?
Y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 6jdNQC$#B 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 p>GTFXEi6 8.35 增益平坦滤波器 193 Vh%=JL
sK 8.38 啁啾反射镜 1 196 K6C@YY( 8.39 啁啾反射镜2 198 \NIj&euF 8.40 啁啾反射镜3 199 +\@)
1 8.41 带保护层的铝膜层 200 8efQ-^b. 8.42 增加铝反射率膜 201 U{^~X_? 8.43 参考文献 202 x)+3SdH 9 多层膜 204 rKK{*%n 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4P1<Zi+< 9.2 内部透过率 204 y@\R$`0J 9.3 内部透射率数据 205 n/>^!S 9.4 实例 206 #&L[?jEn 9.5 实例2 210 nPAVrDg
O 9.6 圆锥和带宽计算 212 9_~[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >= G{.H 10 光学薄膜的颜色 216 ~Ogtgr 10.1 导言 216 GI]sE]tZ 10.2 色彩 216 YlF<S49loC 10.3 主波长和纯度 220 >?pWbL 10.4 色相和纯度 221 C(RZ09,.S 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 @raw8w\Zj+ 10.6 色差 226 st|;]q9? 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 zvzS$Gpe 10.8 颜色渲染指数 234 -AJ$-y 10.9 色差计算 235 dtXAEL\q 10.10 参考文献 236 qUZm6)p6[a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .Mn+Bd4f 11.1 短脉冲 238 'dkKBLsx 11.2 群速度 239 k^x[(gw 11.3 群速度色散 241 "kYzgi 11.4 啁啾(chirped) 245 CG`s@5y>5 11.5 光学薄膜—相变 245 BA1|%:. 11.6 群延迟和延迟色散 246
PT`];C(he 11.7 色度色散 246 uQ} 0hs 11.8 色散补偿 249 ?0ezr[`. 11.9 空间光线偏移 256 K GVAP 11.10 参考文献 258 ucVWvXCr 12 公差与误差 260 m'L7K K-Y) 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?PMF]ah 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 l'~~hQ{h/ 12.2.1 误差工具 267 u$3wdZ2&m 12.2.2 灵敏度工具 271 *@E Itj ` 12.2.2.1 独立灵敏度 271 F"#8`Ps> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 l'pu?TP{a 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 G>3]A5 12.3 参考文献 276 >z(AQ 13 Runsheet 与Simulator 277 )]\?Yyg] 13.1 原理介绍 277 5|4=uoA< 13.2 截止滤光片设计 277 } Fw/WD 14 光学常数提取 289 +PCsp'D
d 14.1 介绍 289 1l8kuwH 14.2 电介质薄膜 289 4 ^=qc99 14.3 n 和k 的提取工具 295 BW`)q/ 14.4 基底的参数提取 302 vP_V%5~yN 14.5 金属的参数提取 306 J?Ed^B- 14.6 不正确的模型 306 Sxj _gn 14.7 参考文献 311 rO_|_nV[ 15 反演工程 313
IjK 15.1 随机性和系统性 313 v7V.,^6+ 15.2 常见的系统性问题 314 Mp8FYPjZ 15.3 单层膜 314 FXAP]iqo 15.4 多层膜 314 SP&Y|I$: 15.5 含义 319 nJdO~0}3 15.6 反演工程实例 319 3eq VY0q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 yf KJpy 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2u(v hJ
F5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *=6,}rX"I 16.1 光学性质的热致偏移 329 .7BB*!CP 16.2 应力工具 335 "Yk3K^`1T. 16.3 均匀性误差 339 !hBzT7CO 16.3.1 圆锥工具 339 .g|D 16.3.2 波前问题 341 oX2J2O 16.4 参考文献 343 }G:5P3f 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 75O-%9lFF 17.1 引言 345 |o:[*2- 17.2 操作数 345 _$W</8< 18 如何在Function中编写脚本 351 <hYrcOt 18.1 简介 351 *\UxdL 22 18.2 什么是脚本? 351 @iW^OVpp<8 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 EmaVd+Sw 18.4 基础 352 l& |