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@d" 内容简介 rKjQEO$yi Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }??q{B@v 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Jv7M[SJ#x 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n_w,Ew,>5 a'A0CQ
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 A#p@`|H#B 目录 Dg]i}; Preface 1 FTB"C[> 内容简介 2 GnLh qm"\ 目录 i mhs%b4'> 1 引言 1 ~ PP GU1 2 光学薄膜基础 2 `|v#x@s 2.1 一般规则 2 *}0Q S@FN 2.2 正交入射规则 3 M0]fh5O 2.3 斜入射规则 6 %ZxKN ; 2.4 精确计算 7 w68qyG|wM 2.5 相干性 8 ?Jma^ S 2.6 参考文献 10 x^;nfqn| 3 Essential Macleod的快速预览 10 o3`Z@-.G 4 Essential Macleod的特点 32 N1SR nJu<f 4.1 容量和局限性 33 Oc8+an1m 4.2 程序在哪里? 33 3b_#xr- 4.3 数据文件 35 ROfmAc 4.4 设计规则 35 1n5&PNu 4.5 材料数据库和资料库 37 jALo;PDJ 4.5.1材料损失 38 "JGaw_o 4.5.1材料数据库和导入材料 39 kP| !!N 4.5.2 材料库 41 5<S1,u5 4.5.3导出材料数据 43 ES+&e/G"ds 4.6 常用单位 43 Z@*Z@]FC 4.7 插值和外推法 46 \2LCpN 4.8 材料数据的平滑 50 .p5*&i7 4.9 更多光学常数模型 54 6suc0 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]~oM'?&! 4.11 撤销和重做 56 SHaZ-d 4.12 设计文档 57
o]FQ)WRB 4.10.1 公式 58 <.AIVp 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ar{e<&Bny 4.10.3 沉积密度 59 _l Jj 6= 4.10.4 平行和楔形介质 60 BE U[M 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 0r@rXwz 4.10.4 性能 61 cbIW>IbM 4.10.5 保存设计和性能 64 m760K*:i\ 4.10.6 默认设计 64 m]%cNxS 4.11 图表 64 [R~HhM 4.11.1 合并曲线图 67 J)(pGS@ 4.11.2 自适应绘制 68 Ne4A 4.11.3 动态绘图 68 6$zUFIk 4.11.4 3D绘图 69 d`xqs,0f 4.12 导入和导出 73 %1lLUgf3G/ 4.12.1 剪贴板 73 o 1b#q/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Wi|.Z/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9 (&!>z 4.13 背景 77 4bKZ@r% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 O=mJ8W@ 4.15 生成Rugate 84 7j]@3D9[:p 4.16 参考文献 91 ~:0h o 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 I7TMv. 5.1 Jobs 92 Rbl(oj# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9*x9sfCv9 5.3 输入材料 94 =*'`\}];" 5.4 设计数据文件夹 95 abK/!m[q 5.5 默认设计 95 ePF9Vzq 6 细化和合成 97 -8TLnl~[ 6.1 优化介绍 97 )oNomsn 6.2 细化 (Refinement) 98 |ST&,a$( 6.3 合成 (Synthesis) 100 M5q7`
}>G 6.4 目标和评价函数 101 w?R6$n` 6.4.1 目标输入 102 2{qoWys8[ 6.4.2 目标 103 9:m+mpL=9 6.4.3 特殊的评价函数 104 W[vak F 6.5 层锁定和连接 104 1]qhQd-u 6.6 细化技术 104 3Y8%5/D5 6.6.1 单纯形 105 f{vnZ|WD 6.6.1.1 单纯形参数 106 d2(n3Xf 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 4v{gc/g 6.6.2.1 Optimac参数 108 "kL5HD]TC 6.6.3 模拟退火算法 109 Lh0<A% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 N@) D,~ 6.6.4 共轭梯度 111 <vAg\Tv:S 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4iw+3 Q| 6.6.5 拟牛顿法 112 ?iq:Gf 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 y@(U6ZOyx 6.6.6 针合成 113 /!LfEO 6.6.6.1 针合成参数 114 18`?t_8g 6.6.7 差分进化 114 ;+5eE`]a/L 6.6.8非局部细化 115 @hCGV'4 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ms$kL'/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 _ '}UNIL 6.7.1 细化 116 [k.<x'# 6.7.2 合成 117 P3:hGmk8|j 6.8 参考文献 117 -PX {W)Aw 7 导纳图及其他工具 118 ruA!+@or 7.1 简介 118 !W6]+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >Rr]e`3wG 7.2.1 四分之一波长规则 119 NTn-4iJy 7.2.2 导纳图 120 a~{mRh 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 e06r5%|.% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8
/\rmf\ 7.5 斜入射导纳图 141 *f,EDSN1@d 7.6 对称周期 141 X2EC+< 7.7 参考文献 142 {?
6]_J 8 典型的镀膜实例 143 BO1Mz=q 8.1 单层抗反射薄膜 145 {?t=*l\S{w 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 5` Q#2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -m-~ 8.4 W-膜层 148 f-3lJ?6 8.5 V-膜层 149
]@<O!fS 8.6 V-膜层高折射基底 150 No h*1u* 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 J0{0B=d; 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n0cqM}P@;! 8.9 四层抗反射薄膜 153 w
5,- +&; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;8ugI 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 05w_/l+ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 m. XLpD 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 f>Ij:b`Z2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 z;Kyg} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 TT>;!nb 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r% qgLP{v 8.17 1/4波长堆栈 162 VRT| OUq 8.18 陷波滤波器 163 "zYlddh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Y>IEB,w 8.20 褶皱 165 &'i>5Y 8.21 消偏振分光器1 169 &t`l,]PQ=6 8.22 消偏振分光器2 171 w%`7,du| 8.23 消偏振立体分光器 172 teET nz_L 8.24 消偏振截止滤光片 173 g#:?Ay-m 8.25 立体偏振分束器1 174 B1\}'g8%f 8.26 立方偏振分束器2 177 'w&,3@Z 8.27 相位延迟器 178 `rQA9;Tn2 8.28 红外截止器 179 n)[{nkS6[ 8.29 21层长波带通滤波器 180 Sl{]Z, 8.30 49层长波带通滤波器 181 `2}Mz9mk 8.31 55层短波带通滤波器 182 !hEtUF 8.32 47 红外截止器 183 >NK*$r8 8.33 宽带通滤波器 184 kWF, *@.B 8.34 诱导透射滤波器 186 MsfY|(/m 8.35 诱导透射滤波器2 188 s<aJ pi{n4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Lxs 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 L%Me
wU0TZ 8.35 增益平坦滤波器 193 ;QS-a 8.38 啁啾反射镜 1 196 /u5MAl.<[ 8.39 啁啾反射镜2 198 fgq#Oi} 8.40 啁啾反射镜3 199 L_Ff* 8.41 带保护层的铝膜层 200 R9^Vk*`gFU 8.42 增加铝反射率膜 201 jq%Qc9y 8.43 参考文献 202 +%oXPG? 9 多层膜 204 'tklz* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 zcy!YB 9.2 内部透过率 204 QT&2&#Z 9.3 内部透射率数据 205 + C aPF 9.4 实例 206 7"FsW3an 9.5 实例2 210 X`ee}C.D_ 9.6 圆锥和带宽计算 212 EH=[!iW ; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 5PqL#Eu`! 10 光学薄膜的颜色 216 1=}+NK! 10.1 导言 216 u%}zLwMH 10.2 色彩 216 !Qy%sY 10.3 主波长和纯度 220 wL\OAM6R 10.4 色相和纯度 221 zT
9"B 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 JgEPzHgx 10.6 色差 226 !g'kWE[ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 'H0uvvhOp 10.8 颜色渲染指数 234 *?:V)!.2z 10.9 色差计算 235 -c{O!z6sX 10.10 参考文献 236 \C#XKk$OE 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \oA>%+]5 11.1 短脉冲 238 B<%cqz@ 11.2 群速度 239 Y w7txp`i 11.3 群速度色散 241 +`}QIp0 11.4 啁啾(chirped) 245 5_ !s\ 5 11.5 光学薄膜—相变 245 xf% _HMKc 11.6 群延迟和延迟色散 246 3"FvYv{ 11.7 色度色散 246 W US[hx, 11.8 色散补偿 249 fh,kbn==r? 11.9 空间光线偏移 256 6#hDj_(, 11.10 参考文献 258 g0O~5.f 12 公差与误差 260 P;4Y%Dq~Qo 12.1 蒙特卡罗模型 260 JFewOt3 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 E^qJ5pr_P 12.2.1 误差工具 267 D<U^FT 12.2.2 灵敏度工具 271 <n? cRk'. 12.2.2.1 独立灵敏度 271 GJS3O;2* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 |Tv}leJF 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 'guXdX]Gu 12.3 参考文献 276 uGt}H n 13 Runsheet 与Simulator 277
!?)ky `S3 13.1 原理介绍 277 Pu>jECcz 13.2 截止滤光片设计 277 B>C+qj@ 14 光学常数提取 289 JbX"K< nQ 14.1 介绍 289 -Y>,\VEK 14.2 电介质薄膜 289 xP/?E 14.3 n 和k 的提取工具 295 IyK^` y 14.4 基底的参数提取 302 Jui:Ms 14.5 金属的参数提取 306 aG_@--= 14.6 不正确的模型 306 8L1vtYz 14.7 参考文献 311 SbLm 15 反演工程 313 O2{~Q{p 15.1 随机性和系统性 313 w.X MyHj 15.2 常见的系统性问题 314 xbqFek$/r 15.3 单层膜 314 /{Mo'.=Z 15.4 多层膜 314 27J!oin$ 15.5 含义 319 5-*hAOThg 15.6 反演工程实例 319 yxk:5L \A 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #
RoJD:9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 $/p0DY 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 !WSY75 16.1 光学性质的热致偏移 329 Lh@0|k 16.2 应力工具 335 ;*u"hIl1/ 16.3 均匀性误差 339 76::X:76 16.3.1 圆锥工具 339 amTeTo]Tg 16.3.2 波前问题 341 _ck)yY?7 16.4 参考文献 343 \rj>T6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 epN!+(v 17.1 引言 345 r{cmw`WA/P 17.2 操作数 345 +P! ibHfP 18 如何在Function中编写脚本 351 >V%lA3 18.1 简介 351 )d~{gPr. 18.2 什么是脚本? 351 /Fk]>|* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o|kiwr}Y 18.4 基础 352 ^/~ZP?%] 18.4.1 Classes(类别) 352 XQ3"+M_KG 18.4.2 对象 352 t]IHQ8 18.4.3 信息(Messages) 352 #7Fdmnu` 18.4.4 属性 352 9\'JtZO 18.4.5 方法 353 9| g]M:{ 18.4.6 变量声明 353 #Z. QMWq 18.5 创建对象 354 fZ aTckbE 18.5.1 创建对象函数 355 *"nN To 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 J5TT+FQ 18.5.3 丢弃对象 356 8$F"!dc _ 18.5.4 总结 356 dy>5LzqK3 18.6 脚本中的表格 357 FMOO 18.6.1 方法1 357 4aP 96 18.6.2 方法2 357 \wV^uS 18.7 2D Plots in Scripts 358 dAWB.# 18.8 3D Plots in Scripts 359 $PstEL 18.9 注释 360 [I?[N.v 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 @cr/& 18.11 一个更高级的脚本 362 I A%ZCdA; 18.12 <esc>键 364 %*zV&H 18.13 包含文件 365 ?6Wv["% 18.14 脚本被优化调用 366 v<@3&bot 18.15 脚本中的对话框 368 3+l8VX&u! 18.15.1 介绍 368 ^Ig QIN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 o:'@|(& |