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Njc%_&r 内容简介 ,U,By~s Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 9' 1B/{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6c4&VW 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 xg`h40c 5/><$06rq 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 <~U4* 目录 +>^7vq-\' Preface 1 pE]?x$5U 内容简介 2 rt-\g1x 目录 i b]Kk2S/ 1 引言 1 F'8T;J7 2 光学薄膜基础 2 e9pOisZ;8 2.1 一般规则 2 rt7<Q47QE 2.2 正交入射规则 3 5E\#%K[ 2.3 斜入射规则 6 od<b!4k~s 2.4 精确计算 7 : 9!%ZD 2.5 相干性 8 hi2sec|;< 2.6 参考文献 10 J:dof:q 3 Essential Macleod的快速预览 10 P\m7 - 4 Essential Macleod的特点 32 U'( sn 4.1 容量和局限性 33 _;9! 4.2 程序在哪里? 33 OWjJxORB 4.3 数据文件 35 *O$CaAr\s 4.4 设计规则 35 D>L2o88 4.5 材料数据库和资料库 37 8^^[XbH 4.5.1材料损失 38 k8nLo.O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 .9G<y 4 4.5.2 材料库 41 !c W[G/W8 4.5.3导出材料数据 43 v5ur&egVs 4.6 常用单位 43 8OhDjWVJ 4.7 插值和外推法 46 zoDZZ%{ 4.8 材料数据的平滑 50 #G]! % 4.9 更多光学常数模型 54 z2c5m 4.10 文档的一般编辑规则 55 -4#2/GXNO 4.11 撤销和重做 56 _W!p8cB 4.12 设计文档 57 '(+<UpG_Q} 4.10.1 公式 58 ?^#lWx q 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 :\~+#/=: 4.10.3 沉积密度 59 E:E4ulak 4.10.4 平行和楔形介质 60 =1;= 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9%)=`W 4.10.4 性能 61 "VxWj}+] 4.10.5 保存设计和性能 64 ^nK7i[yF.k 4.10.6 默认设计 64 :6kj EI 4.11 图表 64 4\5uY 4.11.1 合并曲线图 67 eLD?jTi' 4.11.2 自适应绘制 68 WP**a Bp 4.11.3 动态绘图 68 zzGYiF? 4.11.4 3D绘图 69 4pU>x$3$ 4.12 导入和导出 73 R\Z:n* 4.12.1 剪贴板 73 )u ?' ; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &:B<Q$g# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1n*W2:,z 4.13 背景 77 pY8q=Kl 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 f3*?MXxb16 4.15 生成Rugate 84
xFv;1Q 4.16 参考文献 91 1M3%fW 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 qf)$$ qi 5.1 Jobs 92 Wo$%9!W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 cp
Ear 5.3 输入材料 94 oT95^y\9 5.4 设计数据文件夹 95 Tsb{25`+ 5.5 默认设计 95 I 8 6 细化和合成 97 'Yy&G\S 6.1 优化介绍 97 @+,pN6}g 6.2 细化 (Refinement) 98 ~vdkFc(8B 6.3 合成 (Synthesis) 100 w2(guL($ 6.4 目标和评价函数 101 -_VG;$,jE 6.4.1 目标输入 102 ({}( qm 6.4.2 目标 103 Y]`.InG@ 6.4.3 特殊的评价函数 104 he3SR@\T 6.5 层锁定和连接 104 {1J&xoV" 6.6 细化技术 104 +0z 7KO%^^ 6.6.1 单纯形 105 0\{BWNK 6.6.1.1 单纯形参数 106 %Tn#- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 CENVp"C/` 6.6.2.1 Optimac参数 108 v]:=K-1n 6.6.3 模拟退火算法 109 {y
kYW%3s 6.6.3.1 模拟退火参数 109 o@>? *= 6.6.4 共轭梯度 111 qUF'{K 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 SJ'
%
^ 6.6.5 拟牛顿法 112 Z@D*1\TG= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 RWq{Ff}Hk 6.6.6 针合成 113 #:fQ.WWO 6.6.6.1 针合成参数 114 Vsq8H}K 6.6.7 差分进化 114 }w-wSkl1 6.6.8非局部细化 115 G)=HB7u[a 6.6.8.1非局部细化参数 115 (AY9oei> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 fg%&N2/(.B 6.7.1 细化 116 p 5u_1U0 6.7.2 合成 117 kQdt}o]) 6.8 参考文献 117 V)o,1
7 导纳图及其他工具 118 6&v?)o 7.1 简介 118 0CvsvUN@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [^H"FA[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;bu#8, 7.2.2 导纳图 120 C}g9'jY 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Zwt; d5U 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 i hL/n 7.5 斜入射导纳图 141 gA#RM5x@ 7.6 对称周期 141 #PLEPB 7.7 参考文献 142 Rxpn~QQ 8 典型的镀膜实例 143 "LhUxnll 8.1 单层抗反射薄膜 145 s3s4OAY 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &6 -k#r 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~.Ik#At 8.4 W-膜层 148 }H:F< z* 8.5 V-膜层 149 dP$GThGl 8.6 V-膜层高折射基底 150 sf}Dh 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &Y P#M| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %rQuBi# 1f 8.9 四层抗反射薄膜 153 2pHR_mrb 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 z5\;OLJS, 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 z1OFcqm 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 W3W'oo 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 fr6^nDY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 R 8.15十五层宽带抗反射膜 159 !#ri5{od 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 q*jNH\| 8.17 1/4波长堆栈 162 4fV3Ear=j 8.18 陷波滤波器 163 9V uq,dv 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 aAvsb$ 8.20 褶皱 165 0x2!<z 8.21 消偏振分光器1 169 RNVbcd 8.22 消偏振分光器2 171 Z]w#vLR 8.23 消偏振立体分光器 172 >r/rc`Q 8.24 消偏振截止滤光片 173 UUo;`rkT 8.25 立体偏振分束器1 174 cNpe_LvW 8.26 立方偏振分束器2 177 wbyE;W 8.27 相位延迟器 178 8$N8}q% 8.28 红外截止器 179 `L;eba 8.29 21层长波带通滤波器 180 O^>jdl!TZ 8.30 49层长波带通滤波器 181 q}Z3?W
8.31 55层短波带通滤波器 182 v
]Sl<%ry 8.32 47 红外截止器 183 wu<])&F 8.33 宽带通滤波器 184 31+;]W=
8.34 诱导透射滤波器 186 }G46g#_6d> 8.35 诱导透射滤波器2 188 v<\A% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .Jb$l$5'w 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ^62|d 8.35 增益平坦滤波器 193 +Z2MIC|Ud 8.38 啁啾反射镜 1 196 <|O^>s; 8.39 啁啾反射镜2 198 r9 y.i(j 8.40 啁啾反射镜3 199 ;32#t[ib 8.41 带保护层的铝膜层 200 #BK 9 k>i 8.42 增加铝反射率膜 201 4Q=ftY< 8.43 参考文献 202 9ILIEm: 9 多层膜 204 5pNY)>]t= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 O[17";P 9.2 内部透过率 204 YO{GU7 9.3 内部透射率数据 205 ~wnOV#v 9.4 实例 206 I:(m aMc 9.5 实例2 210 9n]|PEoAB 9.6 圆锥和带宽计算 212 M/D)".; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `D(
xv 10 光学薄膜的颜色 216 39U5jj7i 10.1 导言 216 fa*Cpt: 10.2 色彩 216 T@wcHg 10.3 主波长和纯度 220 Y /TlE? 10.4 色相和纯度 221 (LvS
:?T} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Ou>u% 10.6 色差 226 AEmNHO@%q 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 HWns.[ 10.8 颜色渲染指数 234 &WXY 'A= 10.9 色差计算 235 Dq\ Jz~ 10.10 参考文献 236 3T\l]? z 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 qpoV]#iW 11.1 短脉冲 238 8GPIZh'0h 11.2 群速度 239 6SJ"Tni8 11.3 群速度色散 241 ";[iZ 11.4 啁啾(chirped) 245 Mj>}zbpk/ 11.5 光学薄膜—相变 245 n>,L=wV 11.6 群延迟和延迟色散 246 4:3rc7_
1 11.7 色度色散 246 pN6%&@) = 11.8 色散补偿 249 yAT^VRbv 11.9 空间光线偏移 256 Gz
I~TWc+G 11.10 参考文献 258 )/ Ud^wi 12 公差与误差 260 CD j~;$[B 12.1 蒙特卡罗模型 260 ubMOD< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rjt8fN 12.2.1 误差工具 267 {n3EGSP# 12.2.2 灵敏度工具 271 _Jz8{` " 12.2.2.1 独立灵敏度 271 *F^wtH` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,:Jus 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 !9*c8bL D 12.3 参考文献 276 ~8 H_u 13 Runsheet 与Simulator 277 3FSqd<t;D 13.1 原理介绍 277 U=Y)V% 13.2 截止滤光片设计 277 NE8 jC7 14 光学常数提取 289 2N#$X'8 14.1 介绍 289 ?rVy2! 14.2 电介质薄膜 289 i=a-<A5x 14.3 n 和k 的提取工具 295 #qU-j/Qf 14.4 基底的参数提取 302 gyHHoZc3 14.5 金属的参数提取 306 ^Jp&H\gI. 14.6 不正确的模型 306 }K1 0Po' 14.7 参考文献 311 :%&Q-kk4! 15 反演工程 313 0Q,g7K<d 15.1 随机性和系统性 313 =.<@`1 15.2 常见的系统性问题 314 NvE}eA# 15.3 单层膜 314 zQ?!f#f 15.4 多层膜 314 e<7.y#L 15.5 含义 319 sKz`aqI 15.6 反演工程实例 319 UrlM%Jnq1 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5hj
15.6.2 反演工程提取折射率 327 d4:`@* 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,)+o 16.1 光学性质的热致偏移 329 <tpmUA[] 16.2 应力工具 335
e:E0 "< 16.3 均匀性误差 339 ,H}_%}10 16.3.1 圆锥工具 339 [L`ZE*z 16.3.2 波前问题 341 _$NIp `d 16.4 参考文献 343 5*PYT=p} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 exh/CK4; 17.1 引言 345 pA.J@,>`}
17.2 操作数 345 Ng><n} 18 如何在Function中编写脚本 351
j1?j6s 18.1 简介 351 =@Dwlze 18.2 什么是脚本? 351 \}6;Kf}\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Mwb/jTp 18.4 基础 352 0`.^MC? 18.4.1 Classes(类别) 352 d\MLOXnLq; 18.4.2 对象 352 WH ?}~u9 18.4.3 信息(Messages) 352 g
6]epp[8 18.4.4 属性 352 lN,/3\B 18.4.5 方法 353 O1%pxX'`S 18.4.6 变量声明 353 nMDxH$O 18.5 创建对象 354 xX3'bsN 18.5.1 创建对象函数 355 ]A
FI\$qB\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 U~{du;\ 18.5.3 丢弃对象 356 {l_{T4xToB 18.5.4 总结 356 7e7 M@8+4 18.6 脚本中的表格 357 Z UKf`m[ 18.6.1 方法1 357 U<XSj#&8| 18.6.2 方法2 357 _(J&aY\ 18.7 2D Plots in Scripts 358 s &Dg8$ 18.8 3D Plots in Scripts 359 9[!,c`pw 18.9 注释 360 _AV1WS;^^8 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 O/:UJ( e{ 18.11 一个更高级的脚本 362 s}5cSU!| 18.12 <esc>键 364 j Ja$a [ 18.13 包含文件 365 6cqP2!~ 18.14 脚本被优化调用 366 ly% F."v 18.15 脚本中的对话框 368 umz;F 18.15.1 介绍 368 Q
4CjA3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 V)Z70J<' 18.15.3 输入框函数 370 EM>}0V 18.15.4 自定义对话框 371 ( mxT2"fC 18.15.5 对话框编辑器 371 ~HQ9i%exg 18.15.6 控制对话框 377 2|\A7. 18.15.7 更高级的对话框 380 OY[e.N
t& 18.16 Types语句 384 (SSRY 9 18.17 打开文件 385 5J8r8` t 18.18 Bags 387 Bq/:Nd[y 18.13 进一步研究 388 yA{W 19 vStack 389 .4.b*5 19.1 vStack基本原理 389 }@if6(0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 at2FmBdu C 19.3 五棱镜 393 m*e{\)rd# 19.4 光束距离 396 CctJFcEZ 19.5 误差 399 &A#~)i5gF 19.6 二向分色棱镜 399 ?UM*Xah 19.7 偏振泄漏 404 fs/*V~@ 19.8 波前误差—相位 405 ]v+31vdf:O 19.9 其它计算参数 405 >u9Nz0?j 20 报表生成器 406 gGfoO[B 20.1 入门 406 hsu{ey p 20.2 指令(Instructions) 406 oyo(1> 20.3 页面布局指令 406 JTi!Xu5Jq 20.4 常见的参数图和三维图 407 (a9d/3M 20.5 表格中的常见参数 408 j,]Y$B 20.6 迭代指令 408 1CLL%\V 20.7 报表模版 408 boG_f@dv( 20.8 开始设计一个报表模版 409 F R|&^j6 21 一个新的project 413 fNGZ o 21.1 创建一个新Job 414 E*i#?u 21.2 默认设计 415 &/,|+U[ 21.3 薄膜设计 416 9@+5LZR 21.4 误差的灵敏度计算 420 Z|}G6]h 21.5 显色指数计算 422 `~eUee3b.~ 21.6 电场分布 424 |7x\m t 后记 426 K98i[,rP 此书是精装版硬壳封面和封底,另外也是Macleod先生,生前的最后一本书,同时也非常具有收藏价值,感兴趣的加我微信购买 gv5*!eI
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