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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 OQ=0>;> ZUg~8VVe =#z8CFq[O qcWY8sYf 设计任务 igGg[I1? 4lCEzWo[/ *i`t4N
A He1hgJ)N 光栅光学装置 O5v)}4 ORdS|y;: LtK= nK vAV{HBQ* 偏振分析器 AJJa<c+j ^J]_O_ee$ WL#E%6p[ g]mR;T3 优化 e'y$X;nIv 3_ P<0% 7A=*3 [t}@>@W| 参数运行 =^5,ua6 ag*5fBF
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Vm8rQFCp74 7W]0bJK+E 偏振相关衍射特性 oa"_5kn, hf1h*x^J VEGp!~D t4H*&U 固定周期二维参数优化 bQ`|G(g-d K2@],E?e%| p?H2W- 二维参数优化——设计#1 JE=3V^k "">{8 h~r&7G@[} =#.qe= 二维参数优化——设计#2 %s),4 I*`;1+` GS@Zc2JPF Gl]z@ZXWIw 制造公差分析 .:(T}\]R sz@Y$<o dml,|k= 9.^2CM6l 变光栅周期三维参数优化 KGP *G
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