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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 vzAa x k% 3BUSv#w{i  Ms#M+[ a OX7M8cmc+ 设计任务 yjX9oxhtL B)g[3gQ  [=q1 T3 x.6:<y 光栅光学装置 UYJZ YP%r wH&!W~M
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 _C?hH WSf" @o _}g !9= 偏振相关衍射特性 "?xHlYj@ + m}t`FsB.  v>)"HL"XG PiIpnoM 偏振相关衍射特性 HCs?iJ Jhhb7uU+
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xF'EiX ~ ,/F~ Y&1I  ?M9=yA )23H 1 固定周期二维参数优化 )~ J Hgl )'#A$ Fj  7' V@+5 二维参数优化——设计#1 k fY}S <)c)%'v  Fj3a.' |&) dh< 二维参数优化——设计#2 &.Qrs :U oIzj,v8$  agDM~= #F @9RM9zK.q 制造公差分析 6}Ci>_i4# jcf7n` L  ?X<eV1a R "t,xM 变光栅周期三维参数优化 H3 =qe I e\zm7_+i{
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