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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \#r_H9&s6 .#J3UZ 9="sx 8? y<b0z\ 设计任务 J5T#}!f aB)DX {@%(0d{n} pAuwSn#i 光栅光学装置 ?OyW|jL TbVL71c cFvx*n U;@jl?jnG 偏振分析器 "-?Y UY` *% *^a\2 WV
U9NmvE nL!@#{z 优化 ]Dg0@Y sQs5z~#51* CK</2 w+ nW_ 参数运行 {SJ7Yfs rg}kxvu
%#a%Luq '=.Uz3D'0 关于光栅周期选择的考虑 NN'<-0~ UD`Z;F
&7&*As z:5ROlk0 偏振相关衍射特性 5I,X#}K[ {;DZ@2| :,,y63-f4 %ko 8P 偏振相关衍射特性 V2%wb\_z VBJ]d|
vq7%SEkES CD[=z)<z{ 偏振相关衍射特性 #.YcIR) qL.Y_,[[ ^)l@7XxD {fv8S;|u 固定周期二维参数优化 re J?38( H>iZVE MToQ8qKs 二维参数优化——设计#1 ,{*fOpn #!,`EU 5q`)jd !*) {Y%=/ba W 二维参数优化——设计#2 Bqlc+d: 2{I z >%dAqYi $ Ec*7n6~9 制造公差分析 rxp9B>~ xH#a|iT?( wg_CI,Kq J4c 4Os>3 变光栅周期三维参数优化 nvVsO>2{ o TcmZ0L^O
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