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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B{lj.S`mB QMhvyzkS QG=K^g Z_h-5VU- 设计任务 W5Uw=!LdEY jf^BEz5 ;I/ A8<C w$DHMpW' 光栅光学装置 mz|p=[lR| 7C9_;81_Dt vk4Q2P x:6c @2 偏振分析器 |[Rlg`TQ;* ZYS]Et[Q 9Wv}g"KY0 f}t8V% ^E 优化 ='t}d>l 6E#znRi6IE bn%4s[CVb4 n'@*RvI: 参数运行 RG.wu6Av "U-dw%b}b
4D}hYk$eP0 \2^o,1r/ 关于光栅周期选择的考虑 4Ql9VM%y ij,Rq`}l
ka_(8 ubv>*iO 偏振相关衍射特性 \iP5.3C q-s(2C D&{CC @h9QfJ_f 偏振相关衍射特性 Fs3
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7^7Jh&b)/ klR\7+lK 偏振相关衍射特性 bq2f?uD-} 3$_JNF` 6f:u AFwG T&4f}g/ 固定周期二维参数优化 !nsx!M <aLS4 _G&gF.| 二维参数优化——设计#1 9:*[Q"v _= cU2 R GL2S]UFs zI0d 二维参数优化——设计#2 |R2p^!m l,*5*1lM @^Rl{p _X|prIOb= 制造公差分析 J 5(^VKj f92z/5%V ?N(<w?Gat L~%7=]m 变光栅周期三维参数优化 d'"|Qg_' /,_m\JkwL
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