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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 y,D4b6 lj4D:>Ov !6UtwCVR DKG%z~R* 设计任务 Wp[R$/uT UE[5Bw?4X "|6#n34 0~5'O[NhF 光栅光学装置 X(Wd !e}LB%zf v ;q<h \[Dxg`;4
偏振分析器 2$g3ABfV JIl<4 %A %ifq4'?Z ?5A!/`E&% 优化 -Tw96 dv f<`is+" Z*}5M4 }T}9AQ}| 参数运行
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{c'2{`px 5 _k0X)N+li 偏振相关衍射特性 Q]Ymv:M, iBq|] RJo"yB$1e6 ^r u1QDT 固定周期二维参数优化 u*I=. eVobs2s rNgFsFQ>. 二维参数优化——设计#1 [Ch)6p 'w?*4H zHI_U\"8D t8Sblgq 二维参数优化——设计#2 6^vMJ82U G8w<^z>pTg JMMT886 QJL%J 制造公差分析 pZS0;T]W, gD"]uj< /'V(F* g $*035f 变光栅周期三维参数优化 F__j]}? ?R
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