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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]h=5d09z 4#:C t* f 6L)7Q0Z 7j29wvSp5 设计任务 7#Uzz"^ F/[m.!Eo P,(_y8 b|;h$otC 光栅光学装置 Pjxj$>&;*j 9XhH*tBn7( TB= _r(:l+ IYHNN 偏振分析器 UoUQ6Ij E|jU8qz>P lL
50PU u:6R|%1fNn 优化 |.$7.8g nLC5FA7< wAJ=rRI B|8|f(tsSa 参数运行 [LUqF?K& iq^;c syKb
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8x 关于光栅周期选择的考虑 Hs_7oy|P +@H{H2J 4
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[7g-M/jvY *OIBMx#qxn 偏振相关衍射特性 L6;'V5Mg72 [hk/Rp7{ TJ_6:;4,|_ {`T^&bk 固定周期二维参数优化 [tElt4uG ,A)Z.OWOq 5tzO=gO[ 二维参数优化——设计#1 i[ws%GfEv 8OO[Le]1 fO
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E} m6]6!_ 二维参数优化——设计#2 ll- KK`Ka 7s!rer> rk@qcQR eH[i<Z 制造公差分析 TeO'E<@ 9?~6{!m_9 m|t\w|B2 oA7| s1 变光栅周期三维参数优化 Yx,7e(AI` |.&GmP
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