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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3e1"5~?'< ( h,F{7 sM[c\Z] .AS,]*?Zn% 设计任务 9j9?;3; +Q&@2 oY" -W vAmi ||NCVGJG 光栅光学装置 zaPR>:r0 P~>nlm82] (b!DJ;(O9 k Er7,c 偏振分析器 l).Ijl}AH; .<hv&t
xSZw, X/"H+l 优化 roQIP%h! ]"_'o~ |[ofc!/ :6{HFMf" 参数运行 GrIdQi^8 )BDi2 : u
7G2N&v> _95tgJ y 关于光栅周期选择的考虑 qxh\umm+2 hG)lVo!L4j
r?*?iw2g )I_I?e 偏振相关衍射特性 cd#TKmh7re E"!*ASN Stpho4+/y |R;=P(0it 偏振相关衍射特性 Rwk|cqr H*IoJL6
L}+!<Ug 9G9lSj5> 偏振相关衍射特性 aleIy}" 9X~^w_cdk #'oKkrl ;?9~^,l 固定周期二维参数优化 iV=#'yY Zup?nP2GkT !j@ 8:j0WY 二维参数优化——设计#1 x&wUPo{ @ck2j3J/ g(Nf.hko AF}HS8eYy 二维参数优化——设计#2 ;RI,zQ gS ]'^Sr ebchHnOd V{r@D!} 制造公差分析 .^,vK7 ub%q<sE* s zg1.& Qt$Q/<8U 变光栅周期三维参数优化 I/l]Yv! t Ks0]8tc
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