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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .}KY*y f-at@C1L%L |
CNsa ^T}6oUd 设计任务 AiUICf?{ 8<z]rLQw?% "S$4pj`< IfyyA 光栅光学装置 YyI4T/0s_ ,,*i!%Adw lTNfTO^ `1I@tz| 偏振分析器 yc|j]? 7"L`|O?8) Vq7L:,N9 Q~/TqG
U 优化 $s]c'D) RS`]>K3t l=jfgsjc %m\dNUz4g 参数运行 \Qp #utC0s JN5<=x5r
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kNX"Vo]1 U1&pcwP 偏振相关衍射特性 "^A4 !. &<</[h/B/F 2l43/aCq uo`O$k<; 固定周期二维参数优化 #&+0hS {3RY4HVT? ; aA,H& 二维参数优化——设计#1 -i``yf?P wRwTN"Yg YmP`Gg#>p E}U[VtaC 二维参数优化——设计#2 Ax[!7~s }{Y)[w#R ;lqtw]4v $+` YP 制造公差分析 ["|' f >h3r\r\n3 cU\Er{
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