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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4VJzs$ 0D3+R1>_D yr9A0F0 (l8r>V 设计任务 fC GDL6E $ t# ,'M DgT.Lku? ~oA9+mT5 光栅光学装置 X,EYa>RSy_ d)1sP0Z_@ 5m USh3 d<GG( 偏振分析器 b/,!J]W l[ ": tG x]><}!\<& 2<o[@w 优化 1X"H6j[w v#%>uLl 8wpwJs&V @EP{VV 参数运行 QjjJtKz XBWSO@M'
'"]>`=R PP[)h,ZL* 关于光栅周期选择的考虑 z?uQlm*We _l!U[{l*d
aU.0dsq tct5*.| 偏振相关衍射特性 a.}:d30 MZMS?}.2 kYA'PW/[) z@l!\m- 偏振相关衍射特性 b!5tFX;J N7$DRG/<b
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sWJ a[P>SqT4` 偏振相关衍射特性 OU.9 #|q U oY2?W t`8e#n 9 mam5G!$ 固定周期二维参数优化 MY?O/,6 1_j<%1{sZ ^tg6JB;s 二维参数优化——设计#1 Sp`fh7d.( <7FP"YU 0bPJEEd 0'%+X| 二维参数优化——设计#2 g"Q}h cGpN4|*rQ qD$GKN. *<.WL"Qhl 制造公差分析 C;)Xwm>e >d27[% y\|-O<8O xu"94y+ 变光栅周期三维参数优化 x<{;1F,k3 ek(kY6x:
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