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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 o0_H(j? |* g\-2j{  qGi\*sc>x -FS! v^ 设计任务 t9r
R>Y9 $+ORq3  ?L"x >$ ^ f[^.k$3d 光栅光学装置 XCT3:db r_MP[]f|0  I9h{fB 3uL$+F 偏振分析器 y]g5S-G %ed TW[C`  LhSXz>AX AZ
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HN  h1#l12k^' =H"%{VeC5 固定周期二维参数优化 Is97>aid )+.AgqxI  :(I=z6 二维参数优化——设计#1 G
}M! 1?r$Rx<R  oTA'=<W?D p+2uK|T9 二维参数优化——设计#2 P.~sNd oJ G~NhBA9  P d(n|t3[8 Si|8xq$E; 制造公差分析 {9hhfI#3_ ">s0B5F7  *T{KpiuP |\]pTA$2 变光栅周期三维参数优化 eh*F/Gu ltd'"J/r
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