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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7I4G:-V:^ 9;;1 "^4/  g DnG!i+ `xbk)oW# 设计任务 aisX56Lc ee&QZVL>  ,<zZKR_ De|@}@ 光栅光学装置 "z^Ysvw&~ d; @Kz^  =1n>vUW+J \`x'r$CV 偏振分析器 />\.zuAr& uXeB OLC  a(Z" }m ; ,*U,eV 优化 X4i$,$C M 0- >  L~ V
63K L.!:nu]rV 参数运行 Fw:s3ON9} l;Z c[6
 ~ ;m~)D 0*:]e M};P 关于光栅周期选择的考虑 # eE:hiu<v 4$.UVW\
 )." zBc# y >8!qVX 偏振相关衍射特性 \@OKB<ra ycw'>W3.*  _a*Wk OY~5o&Oa 偏振相关衍射特性 7+T\ ?Pmj }f
w SV[nK lK I HBi 偏振相关衍射特性 L6$,<}l oB9Fas!N  2T?t[; - %X G X( 固定周期二维参数优化 XA9$n_| bw D (qT$#  > tP/"4c 二维参数优化——设计#1 [W{`L_" =]W{ u`  >&?wo{b AH=6xtS- 二维参数优化——设计#2 u# =N8 Kt}dTpVFr  tGmyTBgx J+DuQ;k; 制造公差分析 zCvR/ m}Tu^d y  D zDt:.JZ 3)0*hq&83 变光栅周期三维参数优化 6 xz&Qi7w l`$f@'k
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