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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .!KsF
h,pK Nz.X$zUmY  s $>n U ,G%UU~/a 设计任务 96 <oX:# GW;%~qH[,  vio>P-2Eho U< Xdhgo? 光栅光学装置 5[SwF& zZ Jg[Ao#,==  ]}N01yw|s `8W HV C$ 偏振分析器 )S%t) } Dho6N]86r  K us=.( <A)M^,#o 优化 o= ($'(1 uB.kkkGZ M  A_oZSUrR \(P?=] - 参数运行 !Yb !Au[ f;
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b+$J 关于光栅周期选择的考虑 g) oOravV A,DBq9Z+4R
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 2r!ltG3} qXW\/NT"p< 偏振相关衍射特性 TsaQR2J@ vNGE]+QX  ,O5X80'.g 8O,\8:I# 固定周期二维参数优化 h.>SVQ zU !g]5y=  Bxm ,?=h 二维参数优化——设计#1 %Gh5!e:$SI nL:&G'd  H/O.h@E4X xGwImF$r 二维参数优化——设计#2 LN5LT'CE ,D+ydr  [v"Z2F<.= ;yt6Yp.6e 制造公差分析 SU ~a()" ! d zgi:  (E0 )Fv.eIBY 变光栅周期三维参数优化 J2W-l{`r< |NfFe*q0;8
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