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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^>eV}I5ak F}@]Lq+  -D 1 A [ A]
+Azc 设计任务 B1%xU? wSdiF-ue  #B giDLh 6(Ntt 光栅光学装置 KFaYn Hq?dqg' %~  H:WuMw D4 mgodvX 偏振分析器 6 4<*\z_ 9A|9:OdG1  RX^Xtc" ax K/YE7t 优化 sv#b5,>9 *_HF %JYMZ  v_pFI8Cz) I=
cayR 参数运行 t8. 3 jz>b>;
 M=4 b qd~9uo&[Ig 关于光栅周期选择的考虑 S/l6c P Ka%#RNW
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 o]GZq.. ^f ,%dM=i= 偏振相关衍射特性 8kE3\#);\ 1qm*#4x  %u2",eHCB M~+DxnJ= 固定周期二维参数优化 X K)0Mt\ Pa$"c?QUy  g8" H{u 二维参数优化——设计#1 Y n0iu$;n H6/ gRv@  =j{Kxnv >t%@)]*N 二维参数优化——设计#2 Yg jN*8w\ QiJ  l 3 jlKB Y_~otoSoY 制造公差分析 8PWEQ<ev7> a zO7C*_  ;krIuk- Ry? f; s 变光栅周期三维参数优化 \eR ct_ D6C h6i5$
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