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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 hnag<= F)'kN2 XnmQp)nyV cl
kL)7RQ 设计任务 Zq7Y('=`t@ Q[EpE, Jhdo#}Ub Eb66GXF[ 光栅光学装置 oUrNz#U BH"f\oc R&Y+x;({ rnW(<t" 偏振分析器 D+G?:mR Z _W.iBF M:6Yy@#T. X}*\/(fzl 优化 T.\=R c:(Xkzj z\wY3pIr2 ' jAX&7G` 参数运行 ]t$wK ,.;q[s8
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~>vv9-_ 关于光栅周期选择的考虑 qzD<_ynA 6U|An*
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P'PUB 固定周期二维参数优化 CshYUr - 9R$0[HbI3 pjG/` 二维参数优化——设计#1 ->"Z1 ~4-:;8a t5t!-w\M$+ B?M&j 二维参数优化——设计#2 nh"8on]M~ 8NP|>uaj 2h=QJgpCG l-/fFy)T 制造公差分析 2Kg-ZDK8 J ZH~ { Rda~Drz ^:hI bF4G 变光栅周期三维参数优化 \tCxz(vKz y6#AL<W@=
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