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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 uq-`1m} ?D2a"a$^
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1hCU"|VH: csLbzDg VirtualLab Fusion一瞥 HBvyX`- :x[()J~N
c%hXj#; +%,oq]<[, VirtualLab Fusion中的工作流程 $ .$nv~f {V(~ 构建光栅结构 W!\%v" −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] g9JZ#B gZ −倾斜光栅高级设定[用例] 6@/k|t>OT •光栅衍射效率分析 Cj4Y, N −光栅阶序分析器[用例] ko[d axUB •使用参数优化进行光栅参数优化 psmDGSm,& •使用参数运行的容差分析 Ck !"MK4 dL+yd0b* fVY I :vEfJSA
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