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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 E-_Q3^ C*I~14
[# '38 SdTJ?P+m 设计任务 /\_wDi+# @Ja8~5 :
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i:ZL0nH- <6s?M1J VirtualLab Fusion一瞥 =k1 ,jn+ #iOoi9(
xjOj1Hv AIvIQ$6} VirtualLab Fusion中的工作流程 (,gpR4O[ %Hk9.1hn5 构建光栅结构 HCI|6{k −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] \p-3P)U −倾斜光栅高级设定[用例] UtF8T6PKdW •光栅衍射效率分析 aF9p%HPDw −光栅阶序分析器[用例] 3YG[~o|4 •使用参数优化进行光栅参数优化 4X@
<PX5 •使用参数运行的容差分析 R`wL%I!?f VV*Z5U@b cGhnI& #S/]=D VirtualLab Fusion技术 ) /kf W -Yv0n3
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