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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 @]$qJFXx ,})x1y
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7/*a V,>_L VirtualLab Fusion中的工作流程 Op] L#<&T W)rE_tw,| 构建光栅结构 2?; =TJo$ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] @)0-oa,u+ −倾斜光栅高级设定[用例] ,/V'(\>
•光栅衍射效率分析 q3.L6M −光栅阶序分析器[用例] &=SP"@D •使用参数优化进行光栅参数优化 "m^whHj •使用参数运行的容差分析 J7.}2 Mp;yvatO J:M)gh~# .\*3t/R=X VirtualLab Fusion技术 \<ohe w .;gK*`G2W)
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