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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 B~WK)UR !O 4<I_EY{
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TH<fbd G4O,^ v;Q VirtualLab Fusion一瞥 I$+%~4
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*e%Dg{_ 3T"#T&eL VirtualLab Fusion中的工作流程 1$);V,DK! 'BqrJfv 构建光栅结构 f( ]R/'o −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 2dXU0095 −倾斜光栅高级设定[用例] e)*mC oR •光栅衍射效率分析 GXarUj s −光栅阶序分析器[用例] ZEL/Ndk •使用参数优化进行光栅参数优化 ?E%U|(S)=L •使用参数运行的容差分析 *C5:#A0 {-o7w0d_ TG4\%S$w >sn" VirtualLab Fusion技术 4Y`! bT` 2IKxh
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