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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 K
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q6A"+w,N C0RnBu VirtualLab Fusion一瞥 <-Hw@g )BJ Z{E*
V2v}F= \dB)G<_ VirtualLab Fusion中的工作流程 >[$j(k^ {.,-lFb\ 构建光栅结构 ./Y5Vk#Rp\ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Cyn_UE −倾斜光栅高级设定[用例] ['`Vg=O.{ •光栅衍射效率分析 ,MmX(O0 −光栅阶序分析器[用例] <i!:{'% •使用参数优化进行光栅参数优化 :iKk"r,2P[ •使用参数运行的容差分析 5s /fBS ::&hfHR*P h)~i?bq!/ (^U
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