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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a-E-hX2 $vLV<
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U+"= 设计任务 <VU4rk^= ]pV1T 0#[f2X62B yOK])&c 1级参数优化 o w_y p}A4K#G b H?qijrC D w=Z_+J 结果-容差分析 1bJ]3\ &7w>K6p :#[_Osmf( m_$I?F0 结果-容差分析 MXF"F:-Kn b_jZL'en j 3MciQ` R5eB,FN VirtualLab Fusion一瞥 _`_IUuj$E 8q [c 3rdfg t/*K#]26 VirtualLab Fusion中的工作流程 +%Yc4 ~y2)&x
构建光栅结构 !049K!rP{ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ;(Xe@OtW −倾斜光栅高级设定[用例] .W : •光栅衍射效率分析 9J7J/]7f −光栅阶序分析器[用例] @y(Wy} •使用参数优化进行光栅参数优化 e?| URW •使用参数运行的容差分析 2d2@ J{ Ww96|m akhL\-d)al zZ9<4"CIk VirtualLab Fusion技术 l^!A i6md fp|k }11`98>B6: :Jeo_}e 0
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