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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 yC$7XSr= ,IB)Kk2
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l0_O< EZW?(%b>H VirtualLab Fusion一瞥 N^at{I6C . r"?w
E/ )+hK& oI/ThM`=q VirtualLab Fusion中的工作流程 |th )Q U\6DEnII?! 构建光栅结构 [AwE −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] UGgi) −倾斜光栅高级设定[用例] 31Du@h8YX •光栅衍射效率分析 DR=1';63 −光栅阶序分析器[用例] %V/]V,w:*R •使用参数优化进行光栅参数优化 gH.^NO5\' •使用参数运行的容差分析 Rw%KEUDm n\Nl2u& m ;hDr+&J| fXj VirtualLab Fusion技术 \[jItg,+ Lo4t:H&
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