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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &Qtp"#{ KtfkE\KP
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qo VirtualLab Fusion一瞥 q(ZB. e-%7F]e
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VirtualLab Fusion中的工作流程 <<7,kfR }{#;;5KrB 构建光栅结构 uS:
A4tN −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] {*M>X}voS −倾斜光栅高级设定[用例] *c~'0|r •光栅衍射效率分析
F1?CqN M −光栅阶序分析器[用例] ~!3t8Hx6 •使用参数优化进行光栅参数优化 .\ ;l-U •使用参数运行的容差分析 B%%.@[o, DU/9/ I?~ tAb;/tM3I dDv{9D, VirtualLab Fusion技术 lQp89*b?=U ' D)1ka.
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