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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 *y>| )oS~ish
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F0Z cV>j} 9x9E+DG#( VirtualLab Fusion一瞥
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#8bI4J{dE Q@UY4gA' VirtualLab Fusion中的工作流程
lx~mn~;x Q $>SYvW 构建光栅结构 <^8OYnp −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] An
!i −倾斜光栅高级设定[用例] lHPhZ(Z
•光栅衍射效率分析 ;!>>C0s" −光栅阶序分析器[用例] rX&?Xi1JeV •使用参数优化进行光栅参数优化 Y+~>9-S •使用参数运行的容差分析 c<qJs-C4; c-a;nAR 9,
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