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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 F*rsi7#!pG V~!lY\
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V''?kVJ #Bo3:B8 VirtualLab Fusion中的工作流程 "HwSW4a] $LOwuvu> 构建光栅结构 #_?m.~`g[ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] W:hg*0z-* −倾斜光栅高级设定[用例] vp|'Yy(9z •光栅衍射效率分析 EV.F/Wh −光栅阶序分析器[用例] -Wm'@4bH •使用参数优化进行光栅参数优化 &@ [pJ2 •使用参数运行的容差分析 /C\tJs E -+t[W tB{HH%cV YU ,fx<c VirtualLab Fusion技术 + J` Qv,0 6tZ ak1=V
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