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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 i3t=4[~oL x%d+~U;$&
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j[NA3Vj1P 2uFaAAT VirtualLab Fusion一瞥 E{gu39 D ^Dh j<_
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IPd b9ysxuUdS VirtualLab Fusion中的工作流程 6G6Hg&B rg+28tlDn 构建光栅结构 ~ z4T
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] I8HUH*|)n −倾斜光栅高级设定[用例] 3U<\y6/ •光栅衍射效率分析 8+Al+6d|! −光栅阶序分析器[用例] ;5^grr@,4 •使用参数优化进行光栅参数优化 :p@H •使用参数运行的容差分析 yq+<pfaqvK Ht+ng f/Km$#xOr Y M{Q)115 VirtualLab Fusion技术 zf$&+E- GDw4=0u-
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