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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 q{GSsDo-:V DAnb.0
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gt_XAH XocsSs VirtualLab Fusion一瞥 :Sc8PLT fYhR#FVI
-+}5ma \ CK(;J VirtualLab Fusion中的工作流程 Ud#X@xK<h h}|6VJ@. 构建光栅结构 |rFR8srPG −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] MCeu0e^) −倾斜光栅高级设定[用例] 6<Z*Tvk{C •光栅衍射效率分析 i_u
{5 U; −光栅阶序分析器[用例] 's[BK/ •使用参数优化进行光栅参数优化 2vc\= •使用参数运行的容差分析 &Vt2be* :)p)=c8% O4EIE)c d=XpO*v,[ VirtualLab Fusion技术 't(}Rq@ st?gA"5w
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