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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 / 8dRql-Ne )h(=X&(d
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D|C!KF ( i Hcy,PBD VirtualLab Fusion中的工作流程 ]*rK; Jjx1`S*i 构建光栅结构 #("E)P −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ,G$<J0R1 −倾斜光栅高级设定[用例] S;!7/z •光栅衍射效率分析 SmP&wNHQf −光栅阶序分析器[用例] 2;SiH]HNS •使用参数优化进行光栅参数优化 8(:O5# •使用参数运行的容差分析 :{#w-oC>6P 3qp\jh=FE `y&2Bf EBUCG"e VirtualLab Fusion技术 )c0 Dofhg &X}i%etp^2
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