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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 fU!<HDh VE8;sGaJ
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NB<A>baL* B,{K*-7)MX VirtualLab Fusion中的工作流程 -I=l8m6L JY6
Qp 构建光栅结构 #UbF9})q −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] {P*m;a`} −倾斜光栅高级设定[用例] i'\T R|qd •光栅衍射效率分析 KIWe@e −光栅阶序分析器[用例] QcpXn4/* •使用参数优化进行光栅参数优化 QV\eMuNy •使用参数运行的容差分析 aE2.L;Tk? y '!m4- %plo=RF F;]%V%F.X VirtualLab Fusion技术 {D=@n4JO I(XOE$3
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