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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 .y2<2eW hJ4.:
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p+7BsW.l jb![ Lp VirtualLab Fusion一瞥 xA5$!Oq7 7~Ga>BK
v(7A=/W_ 4F4u1r+ VirtualLab Fusion中的工作流程 2M#CJ& pNJM]-D]m~ 构建光栅结构 pOYtN1uN| −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 8W[]#~77b −倾斜光栅高级设定[用例] PC_4#6^5 •光栅衍射效率分析 {G0)mp, −光栅阶序分析器[用例] _Lb& 2PAG •使用参数优化进行光栅参数优化 .nH
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•使用参数运行的容差分析 FVmg&[
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