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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 |=7%Edkd Cu!4ha.e`
*A_ u_mm*o~)g 设计任务 ~>{<r{H"S |px4a"
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hf%W grO. 4u:{PN VirtualLab Fusion中的工作流程 ]Q^oc 1f~_# EIC 构建光栅结构 QAX+oy −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #+r-$N.7 −倾斜光栅高级设定[用例] {9P<G]Z •光栅衍射效率分析 6#dx%TC −光栅阶序分析器[用例] 4CNK ]2 •使用参数优化进行光栅参数优化 !n
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