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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 O'.{6H;t cf*~Gx_l
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WU.eeiX u09D`QPP] VirtualLab Fusion一瞥 &g0r#K AI,E9
3hzz*9/n :`<MlX VirtualLab Fusion中的工作流程 p!<PRms@ q6%m .X7 构建光栅结构 %N\8!aXnf −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] :3J`+V}9; −倾斜光栅高级设定[用例] 04}c_XFFE •光栅衍射效率分析 RmOkb~ −光栅阶序分析器[用例] oJ#;X R •使用参数优化进行光栅参数优化 2uF'\y •使用参数运行的容差分析 * <?KOM XB:E<I'q!3 E5*pD*# 1,we:rwX VirtualLab Fusion技术 fl4'dv e<~bDFH
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