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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 rCwjy&SuU^ R*C
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IZ2c<B5& x?ajTzMv VirtualLab Fusion一瞥 ]FJpe^
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VirtualLab Fusion中的工作流程 I|6wPV? PV2cZ/ 构建光栅结构 39W"G7n?v −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] zU+` o?al −倾斜光栅高级设定[用例] qlT'gUt=H •光栅衍射效率分析 ; r SpM −光栅阶序分析器[用例] pg}9baW? •使用参数优化进行光栅参数优化 :v_H;UU •使用参数运行的容差分析 6J|Ee1Ez t"0Z=`Wi G<1awi 1U"Fk3 VirtualLab Fusion技术 IC-k !l7eB@O
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