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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6ZcXS =-w;zx
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VirtualLab Fusion一瞥 z8"7u/4v{ 1Ipfw
E"6X|I n nn+_TMu VirtualLab Fusion中的工作流程 `:p1&OS rOcg+5 构建光栅结构 I-DXb
M −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] '1Y\[T* −倾斜光栅高级设定[用例] \vRd} •光栅衍射效率分析 9%tobo@J~n −光栅阶序分析器[用例] vcv CD7MD •使用参数优化进行光栅参数优化 du_4eB •使用参数运行的容差分析 =^tA_AxVw uOd&XW qtMD CXZ^n 5Sva}9H VirtualLab Fusion技术 mV)+qXC Dvc&RG
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